JPS5932856A - アモルフアスシリコンの水素分析装置 - Google Patents
アモルフアスシリコンの水素分析装置Info
- Publication number
- JPS5932856A JPS5932856A JP14363482A JP14363482A JPS5932856A JP S5932856 A JPS5932856 A JP S5932856A JP 14363482 A JP14363482 A JP 14363482A JP 14363482 A JP14363482 A JP 14363482A JP S5932856 A JPS5932856 A JP S5932856A
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- JP
- Japan
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- hydrogen
- heating
- amorphous silicon
- heater
- gas
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/14—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by using distillation, extraction, sublimation, condensation, freezing, or crystallisation
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、アモルファスシリコンに含有ζｈでいる水素
を分析するだめの装置に関１−る。
を分析するだめの装置に関１−る。
太陽１１池の素材さして脚光を浴ひている一γモルファ
スノリコンは、その製造プロセス中で取り体重れた水素
の積によって耐クラツク性、ｆ＄５気伝導伝導性び光透
過性が著るしく１響を受けるため、この水素の１粁を管
理する必要がある。
スノリコンは、その製造プロセス中で取り体重れた水素
の積によって耐クラツク性、ｆ＄５気伝導伝導性び光透
過性が著るしく１響を受けるため、この水素の１粁を管
理する必要がある。
従来、このようなアモルファスシリコンの分析には、通
常、第１図に示したような装置ｈ’、っオり試料加熱炉
Ｆ内の真空容器Ｓに四極質相分析側Ｍを接続してなる分
析装置を用い、真空容器Ｓ内にアモルファスシリコンＴ
を収容（２、真空排気装置Ｐによって容器Ｓ内及び四極
質鋪分析組Ｍを高真空に引きながらステップ状に加熱温
度を上げ、アモルファスシリコン片１゛から発生するガ
スｔ Ａ Ｔｌ＜極質量分析組Ｍで検出する手法が用い
られていた。
常、第１図に示したような装置ｈ’、っオり試料加熱炉
Ｆ内の真空容器Ｓに四極質相分析側Ｍを接続してなる分
析装置を用い、真空容器Ｓ内にアモルファスシリコンＴ
を収容（２、真空排気装置Ｐによって容器Ｓ内及び四極
質鋪分析組Ｍを高真空に引きながらステップ状に加熱温
度を上げ、アモルファスシリコン片１゛から発生するガ
スｔ Ａ Ｔｌ＜極質量分析組Ｍで検出する手法が用い
られていた。
しかし、この方法では、容器Ｓ内及び７極′ｈ柘分析１
Ｍを高真空に引く関係−ヒ、排気に要する時間が長く、
しかも発４′Ｅガスを吸引により検出系に揮ぶため、１
つの試料につき２時間半以上もの時間を必要としく第２
図）、さらには配管系統中のリーク等により検出誤差が
生じ易い吉いう問題があったり 本発明は、このような問題に鑑み、”アモルファス７リ
コン収容体内で発生した水素を熱伝導ガヌ分析組、又は
熱伝導反型検出器付カスクｔ】７トグラフ（以下、単に
熱伝導度型カス検出装置（！−貯一ふ）で分析１−るこ
吉により短時間で、しかも正確にアモルファスノリコン
の水素を分析するこきのてきる新たな分析装置を提供す
るこ吉をｌｌ的さする。
Ｍを高真空に引く関係−ヒ、排気に要する時間が長く、
しかも発４′Ｅガスを吸引により検出系に揮ぶため、１
つの試料につき２時間半以上もの時間を必要としく第２
図）、さらには配管系統中のリーク等により検出誤差が
生じ易い吉いう問題があったり 本発明は、このような問題に鑑み、”アモルファス７リ
コン収容体内で発生した水素を熱伝導ガヌ分析組、又は
熱伝導反型検出器付カスクｔ】７トグラフ（以下、単に
熱伝導度型カス検出装置（！−貯一ふ）で分析１−るこ
吉により短時間で、しかも正確にアモルファスノリコン
の水素を分析するこきのてきる新たな分析装置を提供す
るこ吉をｌｌ的さする。
すなわち、本発明の！稍緒さするところは、１４１１熱
１１Ｘｌ”ｆ４ （ｋにアモルファス・ノリコンを収？
イし、−Ｉｌｌ ７’Ｔｈ１−＋−ｔ−ｒ ＩＩア−／
ｆスヲ捕、シ、なから７七）しノアフ／リー１ンを階段
状に外淵加熱し、このさき発生するガスを仙ｆｕｌｌに
接続′、（、た熱伝唐ｊυ′型ガス検出装置に強制的に
′排出して分析するように１−た屯Ｋ Ｕ ＆）、 に
ｉ−ト、本発明の杵ｈ４１を図示した実廁例に基−づい
゛Ｃ説明オる○ だ）、３図（１、本発明の一実嬶例を示すもの一７あ−
）で、図中符号１し１、外周１に＋−−タ２を備えた大
径の試ｆ１加熱管３と、これに蚊〈小径の発生ガス排出
前’ ｃ！−からｌＡ゛る石英隻の了モルノアス／リコ
ン収容体で、力＋１熱゛枦５の一１ｌ枠から突出した加
熱管３端ににｔ”ノヨイ′ノド６を介（２，て窒素ガス
ボ′／ベアから柾ひたギヤリアガス導入管が接続（、せ
ｌ−加熱炉６の他端から突出１−、 Ｙ、：排出管Ａ端
にＶ、ｔ／ヨイント８を介して熱伝漕度型カス模出装匝
９に到ｚ１分４Ｊ■カス唐出宜が接続し１，１いる、１
［１１は、試料の温度を・段階状に性基させる温良制
イ卸装置＾て、そ０）入力端峠二は熱伝導度Ｊ（リカス
検出装置冷Ｑがら（ハ水累検出信号が入力（１，また出
力端ｉ−ｊ： 、 、−を二ｌｉ１．： Ｉ−、１−ヒ
ータ２に接続さｉ１゛ｒいて、ガス検出装置９の１争出
悄号が所定レベノ１以ＩＪ声なるＩＷに、ヒータ２を設
電［、。
１１Ｘｌ”ｆ４ （ｋにアモルファス・ノリコンを収？
イし、−Ｉｌｌ ７’Ｔｈ１−＋−ｔ−ｒ ＩＩア−／
ｆスヲ捕、シ、なから７七）しノアフ／リー１ンを階段
状に外淵加熱し、このさき発生するガスを仙ｆｕｌｌに
接続′、（、た熱伝唐ｊυ′型ガス検出装置に強制的に
′排出して分析するように１−た屯Ｋ Ｕ ＆）、 に
ｉ−ト、本発明の杵ｈ４１を図示した実廁例に基−づい
゛Ｃ説明オる○ だ）、３図（１、本発明の一実嬶例を示すもの一７あ−
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径の試ｆ１加熱管３と、これに蚊〈小径の発生ガス排出
前’ ｃ！−からｌＡ゛る石英隻の了モルノアス／リコ
ン収容体で、力＋１熱゛枦５の一１ｌ枠から突出した加
熱管３端ににｔ”ノヨイ′ノド６を介（２，て窒素ガス
ボ′／ベアから柾ひたギヤリアガス導入管が接続（、せ
ｌ−加熱炉６の他端から突出１−、 Ｙ、：排出管Ａ端
にＶ、ｔ／ヨイント８を介して熱伝漕度型カス模出装匝
９に到ｚ１分４Ｊ■カス唐出宜が接続し１，１いる、１
［１１は、試料の温度を・段階状に性基させる温良制
イ卸装置＾て、そ０）入力端峠二は熱伝導度Ｊ（リカス
検出装置冷Ｑがら（ハ水累検出信号が入力（１，また出
力端ｉ−ｊ： 、 、−を二ｌｉ１．： Ｉ−、１−ヒ
ータ２に接続さｉ１゛ｒいて、ガス検出装置９の１争出
悄号が所定レベノ１以ＩＪ声なるＩＷに、ヒータ２を設
電［、。
た温１け］差だＶ１１段階ｙｉ濡さぜろよう（ｆ構成さ
れている、なお、図中符脣１１１」、・髪゛ヤリＴガス
ｉ’ｉｌｆ ｆｉｔｉｌｉｌｌ商１弁を示（でいる。
れている、なお、図中符脣１１１」、・髪゛ヤリＴガス
ｉ’ｉｌｆ ｆｉｔｉｌｉｌｌ商１弁を示（でいる。
次に、ζ−のように構成さ」１Ａ−装置胃の動作にて）
い−（説明する。
い−（説明する。
せイ゛、分（’Ｉ＋す−＼き了士〕Ｌ７アスノ１１′−
１゛／片を１１１４各休１に収容［、こ１１の各管路に
窒素ツノスポソベ７から妙ひｆ、−′セキ９丁カス冶入
″１″（、、！−熱伝）鼻ｊ隻４１．リガス険出装置色
９ Ｋ、 ｊ：ｊｌる分析ガス勇出面ン・それぞれ７・
、・ｆ／トロ、８により気密的に接続不る。つきしで、
ギヤ１１丁力、プｒｘｔ、 ＠１１ｔｌｌ債１）弁１１
Ｖ？−よＶ）−・升ｌど酊、詰（ハ？侶素カスをｔｌｌ
ｔ（１、同時に温ｊψ卸ｌ ｒｆｌｌｌ装置１（１を介
しでヒータ２にＪ ［ＩＴ、 ｔ、でアモルファスシリ
コ：）片ｆ 氾１ノ役１昔の温川−で力１１熱す乙と、
アモルファスシリコン片から所崩１．た水素は、−・イ
目１１の加熱管３端がら而、入１−る窒素Ｊブスにより
−ｊｉ５Ｉｊ Ｈｉｌｌ的に仙１（１ｊの刊ｆｉｌｌ管
４からガス検出装置綻９に向けて送ｔ）出さ才１て）炙
出される。他方、？Ｍ Ｉ８： ｉｉ’ｌ 側１装置Ｎ
１０ ｒｉ、ｔｔ ７ 検出？ｉ置９の検出信号ケ受
け、これが１９＋宇レベルＪ−Ｌ上である旧聞、つまり
水素の放出が←にいでいる間Ｕ、この部用て加熱を絖イ
目−１、水素の放出が停市しマカス検出装信９からの検
出信号のレベルｙ５： ｆ９ｉ 宇Ｌｚベル以Ｆになる
Ｊ−１温１リ−制御装＠１０）、ｊｌ二−タ２の温川を
段階的に夕ＩＹ痛させ、１−ｊ、後はトロ己した卯ｌイ
乍を繰り）返１−ζ、とにょＶ）、７モルファ７／リコ
ソ片に包−１′れ１いる水素のｍ、及びその結合状態を
分析７７、。
１゛／片を１１１４各休１に収容［、こ１１の各管路に
窒素ツノスポソベ７から妙ひｆ、−′セキ９丁カス冶入
″１″（、、！−熱伝）鼻ｊ隻４１．リガス険出装置色
９ Ｋ、 ｊ：ｊｌる分析ガス勇出面ン・それぞれ７・
、・ｆ／トロ、８により気密的に接続不る。つきしで、
ギヤ１１丁力、プｒｘｔ、 ＠１１ｔｌｌ債１）弁１１
Ｖ？−よＶ）−・升ｌど酊、詰（ハ？侶素カスをｔｌｌ
ｔ（１、同時に温ｊψ卸ｌ ｒｆｌｌｌ装置１（１を介
しでヒータ２にＪ ［ＩＴ、 ｔ、でアモルファスシリ
コ：）片ｆ 氾１ノ役１昔の温川−で力１１熱す乙と、
アモルファスシリコン片から所崩１．た水素は、−・イ
目１１の加熱管３端がら而、入１−る窒素Ｊブスにより
−ｊｉ５Ｉｊ Ｈｉｌｌ的に仙１（１ｊの刊ｆｉｌｌ管
４からガス検出装置綻９に向けて送ｔ）出さ才１て）炙
出される。他方、？Ｍ Ｉ８： ｉｉ’ｌ 側１装置Ｎ
１０ ｒｉ、ｔｔ ７ 検出？ｉ置９の検出信号ケ受
け、これが１９＋宇レベルＪ−Ｌ上である旧聞、つまり
水素の放出が←にいでいる間Ｕ、この部用て加熱を絖イ
目−１、水素の放出が停市しマカス検出装信９からの検
出信号のレベルｙ５： ｆ９ｉ 宇Ｌｚベル以Ｆになる
Ｊ−１温１リ−制御装＠１０）、ｊｌ二−タ２の温川を
段階的に夕ＩＹ痛させ、１−ｊ、後はトロ己した卯ｌイ
乍を繰り）返１−ζ、とにょＶ）、７モルファ７／リコ
ソ片に包−１′れ１いる水素のｍ、及びその結合状態を
分析７７、。
実施例
１・）さ１３ ［１ｒｎｍ、内径６脹、肉片１畔の已料
加熱Ｔｒ （’−１長さ７０門、内径２肺、肉）ν１門
の発句カス排出管をイ〕Ａ−ろ石英製のアモルファスノ
リコン収答体を、その両端３０ｍｍを残（１加熱炉内に
１゜１１へ゛し、この内部にアー１−ルフ・Ｔスシリコ
：７片を収容し、熱伝専現）４リカス恢）４１装置の水
素伸出イ＾号が苓ＩＬ ｆ、ｒる１１４１ ＆？ニヒー
タの温１すｆ、 １ ［１０ｄｅｇ −１” ッ上昇
をぜ１ ｑ ｔ、＋ ０℃寸で加熱した己−ころ、２．
Ａ図に示しまたような油１定結果がイ蒔ら」ｔ、これ
／ハら１靜：料につき従来の１１５の２７分で分析てＡ
ろこ吉がわか−）た。
加熱Ｔｒ （’−１長さ７０門、内径２肺、肉）ν１門
の発句カス排出管をイ〕Ａ−ろ石英製のアモルファスノ
リコン収答体を、その両端３０ｍｍを残（１加熱炉内に
１゜１１へ゛し、この内部にアー１−ルフ・Ｔスシリコ
：７片を収容し、熱伝専現）４リカス恢）４１装置の水
素伸出イ＾号が苓ＩＬ ｆ、ｒる１１４１ ＆？ニヒー
タの温１すｆ、 １ ［１０ｄｅｇ −１” ッ上昇
をぜ１ ｑ ｔ、＋ ０℃寸で加熱した己−ころ、２．
Ａ図に示しまたような油１定結果がイ蒔ら」ｔ、これ
／ハら１靜：料につき従来の１１５の２７分で分析てＡ
ろこ吉がわか−）た。
以上、説明し１こように未発明によ士１１ｄｊ下士ノ１
ファスンリコン片を加熱し７、発生し、た水素をギヤリ
アガスにより熱伝導度３〜リガス検出装置に−（Ｊｔ給
シフ１分析するように（、Ｔ−ので、常ＦＬ下での迅速
な分析が５１能きなるはかり）でなく、リーク等の発４
ト鮫因をなくシ、て検串柑ｊす″を高めるこきかで６．
４た熱伝２ｎ度型カス検出装置の模ＩＪ−１（ｉ４号に
基づいてア〔：ルファズノリコンを段階的にｊＪ１１熱
制剣電るように構成しｆ：ので、水素の結合状ｊ７１ｊ
及びその月を自ゲｊ的かつ簡便に分（ハすることができ
る。
ファスンリコン片を加熱し７、発生し、た水素をギヤリ
アガスにより熱伝導度３〜リガス検出装置に−（Ｊｔ給
シフ１分析するように（、Ｔ−ので、常ＦＬ下での迅速
な分析が５１能きなるはかり）でなく、リーク等の発４
ト鮫因をなくシ、て検串柑ｊす″を高めるこきかで６．
４た熱伝２ｎ度型カス検出装置の模ＩＪ−１（ｉ４号に
基づいてア〔：ルファズノリコンを段階的にｊＪ１１熱
制剣電るように構成しｆ：ので、水素の結合状ｊ７１ｊ
及びその月を自ゲｊ的かつ簡便に分（ハすることができ
る。
第１図ｔ、置従沫の分（Ｊ１装置′１〜の一例を示す装
置ｆｆのプロ ツク図、似２図ｔよ、−ｎｉｌ Ｌ装置
ｉ１７しでよるγ） ／１．７）アスノリコソの分析結
果を示す図、第５図ケ、１・本発明の一″寿殉例４・示
す装置ｆｉのブロック図、７〜４図は、木元明装置偵に
よる一１′（−ルファスヅリニ１゛）の分析結果を示す
図である。 １・ ｒモルファス７リコン収容体 ２ ヒータ １３゛加熱炉 ７４−ヤリ了ガス源 ９・１（］〜伝心型カス検串装置 １１］ 温１すｆｌｉ制御装置
置ｆｆのプロ ツク図、似２図ｔよ、−ｎｉｌ Ｌ装置
ｉ１７しでよるγ） ／１．７）アスノリコソの分析結
果を示す図、第５図ケ、１・本発明の一″寿殉例４・示
す装置ｆｉのブロック図、７〜４図は、木元明装置偵に
よる一１′（−ルファスヅリニ１゛）の分析結果を示す
図である。 １・ ｒモルファス７リコン収容体 ２ ヒータ １３゛加熱炉 ７４−ヤリ了ガス源 ９・１（］〜伝心型カス検串装置 １１］ 温１すｆｌｉ制御装置
Claims (1)
- 一端が・Ｖヤリアガス源と他端が熱伝２ｎ１度型ガヌ検
出手段と連通ずるアモルファスシリコン収容体き、該収
容体を加熱する加熱手段き、」−記検出手段の出力に基
づいて上８ｅ加熱手段を制御し、上記収容体を段階的に
加熱する制御手段よし〕なる丁モルノアスノリコンの水
素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14363482A JPS5932856A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | アモルフアスシリコンの水素分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14363482A JPS5932856A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | アモルフアスシリコンの水素分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932856A true JPS5932856A (ja) | 1984-02-22 |
Family
ID=15343317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14363482A Pending JPS5932856A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | アモルフアスシリコンの水素分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932856A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63184546U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-28 | ||
| JP2021018191A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 国立大学法人群馬大学 | 昇温脱離分析装置及び昇温脱離分析方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS532600A (en) * | 1976-06-25 | 1978-01-11 | Bayer Ag | Composite for molding |
| JPS5431840A (en) * | 1977-08-15 | 1979-03-08 | Hitachi Ltd | Water supply system for water-lubricated bearing for hydraulic machine |
-
1982
- 1982-08-18 JP JP14363482A patent/JPS5932856A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS532600A (en) * | 1976-06-25 | 1978-01-11 | Bayer Ag | Composite for molding |
| JPS5431840A (en) * | 1977-08-15 | 1979-03-08 | Hitachi Ltd | Water supply system for water-lubricated bearing for hydraulic machine |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63184546U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-28 | ||
| JP2021018191A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 国立大学法人群馬大学 | 昇温脱離分析装置及び昇温脱離分析方法 |
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