JPS5934085A - 弁装置 - Google Patents
弁装置Info
- Publication number
- JPS5934085A JPS5934085A JP14190082A JP14190082A JPS5934085A JP S5934085 A JPS5934085 A JP S5934085A JP 14190082 A JP14190082 A JP 14190082A JP 14190082 A JP14190082 A JP 14190082A JP S5934085 A JPS5934085 A JP S5934085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- valve
- valve seat
- planetary gear
- valve plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弁板を弁座に圧接して流体管路を閉止する弁装
置に係り、特に遊星歯車でもって弁板を兼用した弁装置
に関する。
置に係り、特に遊星歯車でもって弁板を兼用した弁装置
に関する。
弁板を弁座に圧接して流体管路を閉止するタイプの弁装
置は真空系管路に使用する弁装置として特に重要である
が、一般的にはその機構か複雑で且つ大型のものが多か
った。
置は真空系管路に使用する弁装置として特に重要である
が、一般的にはその機構か複雑で且つ大型のものが多か
った。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、遊星歯車機
構の原理を利用して簡易な機構で小型に製作し得る弁装
置を提供することを目的としている。
構の原理を利用して簡易な機構で小型に製作し得る弁装
置を提供することを目的としている。
以下図面に従って本発明の実施例について説明する。
第１図は本発明に係る弁装置の実施例の部分破断斜視図
、茅２図は同じく部分破断平面図である。
、茅２図は同じく部分破断平面図である。
環状の絵本１０の両面ｌこは円板状のグ１り面１１と１
Ｙがが０リング１２と１２′を介して気密に冠着されて
いる。
Ｙがが０リング１２と１２′を介して気密に冠着されて
いる。
面前記側板１１と１１′には中心から外れた位置に相対
向して開口部１３がそれぞれ設けられていて、これら開
口部には配管１４がそれぞれ気密に接続されていて全体
として流体管路を構成している。
向して開口部１３がそれぞれ設けられていて、これら開
口部には配管１４がそれぞれ気密に接続されていて全体
として流体管路を構成している。
また側板の内部には円弧状に形成した内歯歯車１５が固
設されてあり、その一端側所定個所には後述する遊星歯
車を当接停止するための適宜形状のストッパ１６が前記
側板の内部≦こ設けられている。
設されてあり、その一端側所定個所には後述する遊星歯
車を当接停止するための適宜形状のストッパ１６が前記
側板の内部≦こ設けられている。
１７は弁座部であって、開口部１３と同位置かつ側板の
内部側に設けられている。
内部側に設けられている。
：３０は七−夕であ−）で、このモータの軸にはウオー
ム３Ｉか同軸に取付けられてあり、ウオーム３１はウオ
ームホイール３２と咬合うことにより、回転トルクの方
向を直角に偏向させ、一方ウオームホイール３２の軸３
２１の先端にはスパイラル歯車３３が取付けられている
。もう一つのスパイラル歯車３４はｔａｒｓ記スパイラ
ル歯車３３と咬合っており、スパイラル歯車３４の軸は
後述の駆動歯車３７の軸と平行となるように構成されて
いる。
ム３Ｉか同軸に取付けられてあり、ウオーム３１はウオ
ームホイール３２と咬合うことにより、回転トルクの方
向を直角に偏向させ、一方ウオームホイール３２の軸３
２１の先端にはスパイラル歯車３３が取付けられている
。もう一つのスパイラル歯車３４はｔａｒｓ記スパイラ
ル歯車３３と咬合っており、スパイラル歯車３４の軸は
後述の駆動歯車３７の軸と平行となるように構成されて
いる。
しかして側板１１の所要位置には小径の軸孔３６が開設
されていて、前記スパイラル歯車調に直結した回転駆動
軸３４１はブッシング３５を介し−て、軸孔３６を気密
でかつ軸方向安位自在に貫通し、回転トルクを筒体１０
の内部に設けた駆動歯車３７に伝えるように構成されて
いる。またあはスプリングであって、スパイラル歯車３
４とブッシング３５との間隙に一定力にて圧縮された状
態で駆動軸３４１に遊嵌されている。駆動歯車３７と回
転駆動軸３４１の関係は図示のとおりビン３４Ｐを介し
て回転方向および軸方向とも一体的に結合されている。
されていて、前記スパイラル歯車調に直結した回転駆動
軸３４１はブッシング３５を介し−て、軸孔３６を気密
でかつ軸方向安位自在に貫通し、回転トルクを筒体１０
の内部に設けた駆動歯車３７に伝えるように構成されて
いる。またあはスプリングであって、スパイラル歯車３
４とブッシング３５との間隙に一定力にて圧縮された状
態で駆動軸３４１に遊嵌されている。駆動歯車３７と回
転駆動軸３４１の関係は図示のとおりビン３４Ｐを介し
て回転方向および軸方向とも一体的に結合されている。
しかもこの駆動歯車３７は中央部か凸状をなしてその段
部が押え板４０の溝４０′に挿入された形で係止さオ］
ている。
部が押え板４０の溝４０′に挿入された形で係止さオ］
ている。
３９は弁板を兼ねる遊星歯車であ−）で、この遊星歯車
３９は前記内歯歯車１５の内歯と噛合する一方、レバ状
の押え板４０でもって駆動歯車３７と一定の関係で結合
されている。なお遊星歯車３９には弁座部と対応した位
置１こ０リング４１が設けられて弁座部を圧接した際ｌ
（気密性か保持されるようになっている。なお４２はウ
オーム３１、ウオームホイール３２、スパイラル歯車３
３．３４等を保持するためのハウジングであって、側板
１１に固設されている。また遊星歯車３９の突起部４３
（第２図参照）は押え板４ｏの段付孔４４に緩嵌してお
り、凸部を接して互に逆向きに配設された２枚の球面状
スプリングワッシャ４５ 、４５を介してボルト４６で
軸支されている。
３９は前記内歯歯車１５の内歯と噛合する一方、レバ状
の押え板４０でもって駆動歯車３７と一定の関係で結合
されている。なお遊星歯車３９には弁座部と対応した位
置１こ０リング４１が設けられて弁座部を圧接した際ｌ
（気密性か保持されるようになっている。なお４２はウ
オーム３１、ウオームホイール３２、スパイラル歯車３
３．３４等を保持するためのハウジングであって、側板
１１に固設されている。また遊星歯車３９の突起部４３
（第２図参照）は押え板４ｏの段付孔４４に緩嵌してお
り、凸部を接して互に逆向きに配設された２枚の球面状
スプリングワッシャ４５ 、４５を介してボルト４６で
軸支されている。
次に上記のように構成した実施例についてその動作を説
明する。
明する。
電源入りによりモータ３０ ｉ；Ｊ回転するが、その回
転トルクは前述の如く、ウオーム３１、ウオームホイー
ル３２、スパイラル歯車３３、スパイラル歯車３４そし
て駆動軸３４】の順に伝達される。その際１こスパイラ
ル歯車３４はスパイラル歯車３３によって回転［・ルク
か伝達されると同時に軸方向の分力も発生ずる。しかし
軸方向の分力はスプリングあのバネ力の方か大きいので
駆動歯車３７か回転しうる期間は前記スパイラル歯車３
４は回転力のみ伝達する。
転トルクは前述の如く、ウオーム３１、ウオームホイー
ル３２、スパイラル歯車３３、スパイラル歯車３４そし
て駆動軸３４】の順に伝達される。その際１こスパイラ
ル歯車３４はスパイラル歯車３３によって回転［・ルク
か伝達されると同時に軸方向の分力も発生ずる。しかし
軸方向の分力はスプリングあのバネ力の方か大きいので
駆動歯車３７か回転しうる期間は前記スパイラル歯車３
４は回転力のみ伝達する。
駆動歯車３７の回転はこれと咬合っている遊星歯車１こ
伝達される結果、遊星歯車３９は内歯歯車１５によって
案内されつ＼、第１図に図示した矢印方向に公転運動し
、弁座部１７の直上に来たとき、ストッパ１６に当接し
て停止する。
伝達される結果、遊星歯車３９は内歯歯車１５によって
案内されつ＼、第１図に図示した矢印方向に公転運動し
、弁座部１７の直上に来たとき、ストッパ１６に当接し
て停止する。
遊星歯車３９か停止することにより、これと咬合ってい
る駆動歯車３７も回転を停止する。
る駆動歯車３７も回転を停止する。
しかしこの際、モータ３０は更に回転を続＋ｊようとす
るか前述の如く駆動歯車３７か停止しているためスパイ
ラル歯車３４は回転することかできず、伝達された回転
□トルクは軸方向の分力として現われ、前記スパイラル
歯車３４は軸方向へ移動しようとする。
るか前述の如く駆動歯車３７か停止しているためスパイ
ラル歯車３４は回転することかできず、伝達された回転
□トルクは軸方向の分力として現われ、前記スパイラル
歯車３４は軸方向へ移動しようとする。
一方スパイラル歯車３４に固設されている駆動軸３４１
が遊嵌する側板１１′の軸穴４７は軸方向に余裕を持た
せて穿設されているので、スパイラル歯車３４は前述の
軸方向分力により、スプリングあのバネ力（圧縮力）に
抗して軸方向に移動し、駆即Ｊ＄＋ｂ３４１を介して駆
動歯車３７を下方に押す。するとこの歯車３７に係止さ
れた押え板４０はその他端凸部４０５を支点とし突起部
４３を作用点とするテコとして機能し、遊星歯車３９ず
なわぢ弁板を倍増の力で弁座部の方向に抑圧し、流体管
路を閉止する。この際遊星歯車３９は前述の如く余裕を
もって押え板４０の段付穴４４に緩嵌軸支されているの
で、遊星歯車３９は弁座部１７に対して均一にＪ（（を
理なく圧接される。そして弁座部１７が遊星歯車３９に
よ−〕て圧接閉止されると、図示しないリミットスイッ
チにより、モータの電源はＩＵｊとなり、モータ３０は
停止する１、尚この場合、スプリング３８の復元力によ
、・てスパイラル歯車３４は逆転しようとするトルクが
発生ずるが、ウオームホイール３２とウオーム３Ｉによ
って逆転か阻止されるので、スパイラル歯車３４は軸方
向に移動したま＼、復帰できず、従って遊星歯車３９は
弁座ｆ４ｊ≦１７に圧接された状態で保持される。
が遊嵌する側板１１′の軸穴４７は軸方向に余裕を持た
せて穿設されているので、スパイラル歯車３４は前述の
軸方向分力により、スプリングあのバネ力（圧縮力）に
抗して軸方向に移動し、駆即Ｊ＄＋ｂ３４１を介して駆
動歯車３７を下方に押す。するとこの歯車３７に係止さ
れた押え板４０はその他端凸部４０５を支点とし突起部
４３を作用点とするテコとして機能し、遊星歯車３９ず
なわぢ弁板を倍増の力で弁座部の方向に抑圧し、流体管
路を閉止する。この際遊星歯車３９は前述の如く余裕を
もって押え板４０の段付穴４４に緩嵌軸支されているの
で、遊星歯車３９は弁座部１７に対して均一にＪ（（を
理なく圧接される。そして弁座部１７が遊星歯車３９に
よ−〕て圧接閉止されると、図示しないリミットスイッ
チにより、モータの電源はＩＵｊとなり、モータ３０は
停止する１、尚この場合、スプリング３８の復元力によ
、・てスパイラル歯車３４は逆転しようとするトルクが
発生ずるが、ウオームホイール３２とウオーム３Ｉによ
って逆転か阻止されるので、スパイラル歯車３４は軸方
向に移動したま＼、復帰できず、従って遊星歯車３９は
弁座ｆ４ｊ≦１７に圧接された状態で保持される。
次にモータ３０を前述と逆方向に回゛転すると、Ａｊｌ
述と逆の経過をたとり、開口部は開放され、流体の移動
は自由となる。なお」−記実施例においＣは二ｍ（ｌ動
源としてモータを使用した場合について説明したが、本
発明はこれに限定されることなく、油圧モータ等を使用
することも可能であり、またエアンリンダ等１こよる往
復運動を利用して、へりカルラツクを介してスパイラル
歯車３４を直接駆動させることも勿論可能である。
述と逆の経過をたとり、開口部は開放され、流体の移動
は自由となる。なお」−記実施例においＣは二ｍ（ｌ動
源としてモータを使用した場合について説明したが、本
発明はこれに限定されることなく、油圧モータ等を使用
することも可能であり、またエアンリンダ等１こよる往
復運動を利用して、へりカルラツクを介してスパイラル
歯車３４を直接駆動させることも勿論可能である。
以上説明した如く本発明は一連の減速歯車列のうちの遊
星歯車を弁板に兼用すると共に、弁板の移動、弁板の弁
座部への圧接等をすべて前記の減速歯列によって行わせ
ているので、簡易な構造で小型化し得る効果を有すると
共に、弁板を弁挫に圧接し得るので特に真空管路用弁装
置として有効である。
星歯車を弁板に兼用すると共に、弁板の移動、弁板の弁
座部への圧接等をすべて前記の減速歯列によって行わせ
ているので、簡易な構造で小型化し得る効果を有すると
共に、弁板を弁挫に圧接し得るので特に真空管路用弁装
置として有効である。
第１図は本発明に係る実施例の部分破断斜視図、第２図
は同じく部分破断平面図である。。 １０・・・篩体、１５・・・内歯歯車、１６・・・スト
ッパ、］７・・・弁座部、３０・・・モータ、３１・・
・ウオーム、３２・・・ウオーム歯車、３３．３４・・
・スパイラル歯車、あ・・・スプリング、３７・・・駆
動歯車、３９・・・遊星歯車、麹・・・押え板。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士大西孝治
は同じく部分破断平面図である。。 １０・・・篩体、１５・・・内歯歯車、１６・・・スト
ッパ、］７・・・弁座部、３０・・・モータ、３１・・
・ウオーム、３２・・・ウオーム歯車、３３．３４・・
・スパイラル歯車、あ・・・スプリング、３７・・・駆
動歯車、３９・・・遊星歯車、麹・・・押え板。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士大西孝治
Claims (1)
- （１）流体管路の弁座部に弁板を進退させること１こよ
り、流体管路を開閉する弁装置において、駆動両車１こ
より、自転しつ＼、内歯歯車１こ沿って公転する遊星歯
車を弁板として構成し、前記公転ｌこよりこの弁板を弁
座部に対して進退させるようにするとともに流体管路の
閉止時弁板を弁座部こと圧接させる機構を合わせ備え有
したことを特徴とする弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14190082A JPS5934085A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14190082A JPS5934085A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 弁装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5934085A true JPS5934085A (ja) | 1984-02-24 |
| JPS6346309B2 JPS6346309B2 (ja) | 1988-09-14 |
Family
ID=15302769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14190082A Granted JPS5934085A (ja) | 1982-08-16 | 1982-08-16 | 弁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5934085A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333209A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
-
1982
- 1982-08-16 JP JP14190082A patent/JPS5934085A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333209A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6346309B2 (ja) | 1988-09-14 |
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