JPS5936151U - マスク製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマスク製造装置を示す要部斜視−図、第
２図は第１図の装置に供給する帯状素材を示す平面図、
第３図および第４図は本考案のマスク製造装置の一実施
例を示す要部斜視図および第３図における位置調整手段
の構成を示す図、第５図は第３図の装置に供給される帯
状素材を示す平面図である。 １・・・・・・帯状素材（帯状体）、２・・・・・・搬
入ローラ、３・・・・・・搬送路、４・・・・・・分離
ローラ、５・・・−・・・マスク部、５ａ、　　５ｂ・
・・・・・半エツチング部、５ａ、　　５ｂ・・・・・
・不要素材、７・・・・・・チャック、８・・・・・・
スライドユニット、９・・・・・・マスク、１０・・・
・・・搬出ローラ、　　　　　１４・・・−・・・カッ
タ、１５・・・・・・フォトヘッド、２２゜２５・・・
・・・サーボ機構、２３・・・・・・演算処理装置、□
２４・・・・・・位置検出装置、２８・・・・・・検出
孔。 −第１図 第２図−

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）帯状素材の長さ方向に沿う両端部に連続的な半エ
   ツチング部を設けると共に、この対向する半エツチング
   部間に複数の半エツチング部を設けて多数のマスク部を
   連続的に形成し、前記半エツチング部で区分される不要
   素材を剥取って所定形状のマスクを製造するマスク製造
   装置において、前記帯状素材を搬送する搬送手段と、こ
   の搬送手段に配置されかつ搬送中の帯状素材のマスク部
   の位置を検出する位置検出手段と、前記搬送手段に配置
   されかつ帯状素材の両端部の不要素材を半エツチング部
   から分離する分離手段と、この分離手段以降の搬送手段
   に配置されかつマスク部間の不要素材を剥取る剥取り手
   段と、前記位置検出手段によって剥取り手段の動作開始
   位置をスライドさせる位置調整手段とを具備してなるこ
   とを特徴とするマスク製造装置。
2. （２）位置検出手段が、マスク部に対応して帯状素材の
   不要素材に形成された検出孔に光を照射してマスク部の
   位置を検出する光検出機構を備えてなることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載のマスク製造装置
   。
3. （３）剥取り手段が、位置検出手段からの制御信号によ
   って動作するサーボ機構によりスライドされてなること
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項もしくは第
   ２項記載のマスク製造装置。