JPS5937689Y2 - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
- Publication number
- JPS5937689Y2 JPS5937689Y2 JP2205279U JP2205279U JPS5937689Y2 JP S5937689 Y2 JPS5937689 Y2 JP S5937689Y2 JP 2205279 U JP2205279 U JP 2205279U JP 2205279 U JP2205279 U JP 2205279U JP S5937689 Y2 JPS5937689 Y2 JP S5937689Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide body
- drive source
- measured
- telescoping mechanism
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は光ファイバを用いて被測定物のたとえば長さな
どを測定する光学式測定装置に関する。
どを測定する光学式測定装置に関する。
たとえば、被測定物の長さを測定する手段としては、ノ
ギスやマイクロメータを用いた接触式測定手段と、顕微
鏡を用いた非接触式、すなわち光学式手段とがある。
ギスやマイクロメータを用いた接触式測定手段と、顕微
鏡を用いた非接触式、すなわち光学式手段とがある。
接触式測定手段は、その測定を簡便に行なえるという利
点を有する反面、被測定物の外形状などによって上記ノ
ギスやマイクロメータを使用することができる範囲に制
限を受けるという不便がある。
点を有する反面、被測定物の外形状などによって上記ノ
ギスやマイクロメータを使用することができる範囲に制
限を受けるという不便がある。
この点、上記顕備鏡による光学式測定手段は、被測定物
の外形状に係わらずその輪郭を測定することができると
いう利点がある。
の外形状に係わらずその輪郭を測定することができると
いう利点がある。
しかしながら、顕微鏡を用いた光学式測定手段によると
、被測定物の測定領域を変えたい場合には、その都度対
物レンズや接眼レンズの倍率を変えなげればならず、非
常に不便であり、しかも顕微鏡によって測定可能な被測
定物の大きさに制限を受けるという欠点もある。
、被測定物の測定領域を変えたい場合には、その都度対
物レンズや接眼レンズの倍率を変えなげればならず、非
常に不便であり、しかも顕微鏡によって測定可能な被測
定物の大きさに制限を受けるという欠点もある。
本考案は上記事情にもとづきなされたもので、その目的
とするところは、顕微鏡のレンズに代り光学系として複
数の光ファイバを用い、これら光ファイバの検出端を任
意に位置決めすることができるようにして、被測定物の
形状や大きさに制限を受けずにこの被測定物のたとえば
長さなどを測定することができるようにした光学式測定
装置を提供することにある。
とするところは、顕微鏡のレンズに代り光学系として複
数の光ファイバを用い、これら光ファイバの検出端を任
意に位置決めすることができるようにして、被測定物の
形状や大きさに制限を受けずにこの被測定物のたとえば
長さなどを測定することができるようにした光学式測定
装置を提供することにある。
以下、本考案の一実施例を第1図と第2図にもとづいて
説明する。
説明する。
図中1は両端が支持体2,2によって保持され水平に設
けられた丸棒状のガイド体である。
けられた丸棒状のガイド体である。
このガイド体1には伸縮機構3が設げられている。
この伸縮機構3は、適当な長さの一対の第1のリンク4
・・・を交差させ、この交点を軸5で回動自在に連結し
たものを複数組、各リンク4・・・の末端を軸5・・・
で回動自在に連結するとともに両端に位置する第1のリ
ンク4・・・の末端にはこの第1のリンク4・・・の半
分の長さの第2のリンク6・・・を軸5・・・で閉鎖状
に回動自在に連結してなる。
・・・を交差させ、この交点を軸5で回動自在に連結し
たものを複数組、各リンク4・・・の末端を軸5・・・
で回動自在に連結するとともに両端に位置する第1のリ
ンク4・・・の末端にはこの第1のリンク4・・・の半
分の長さの第2のリンク6・・・を軸5・・・で閉鎖状
に回動自在に連結してなる。
この伸縮機構3の一側に位置する各軸5・・・の下端に
は、上記ガイド体1に摺動自在に嵌合した保持部として
の保持体7・・・が取着されている。
は、上記ガイド体1に摺動自在に嵌合した保持部として
の保持体7・・・が取着されている。
これら保持体7・・・の側面にはたとえばバンド8など
によってそれぞれ光ファイバ9a、9b、・・・9eの
一端部が所定ピッチで垂直に保持されている。
によってそれぞれ光ファイバ9a、9b、・・・9eの
一端部が所定ピッチで垂直に保持されている。
これら光ファイバ9a、9b・・・の他端部端面にはそ
れぞれ光電変換素子10・・・が対向して設けられ、こ
れら光電変換素子10・・・は演算器11に電気的に接
続されている。
れぞれ光電変換素子10・・・が対向して設けられ、こ
れら光電変換素子10・・・は演算器11に電気的に接
続されている。
上記光ファイバ9a、9b。・・・の一端部端面には、
上面に被測定物12を載置した平板状の載置体13が配
設されている。
上面に被測定物12を載置した平板状の載置体13が配
設されている。
この載置体13は、光を透過させる材料から形成されて
いて、その下面側には光源14が対向して配設されてい
る。
いて、その下面側には光源14が対向して配設されてい
る。
渣た、上記伸縮機構3には第2図に示すように駆動機構
15が連結されている。
15が連結されている。
この駆動機構15は、第1の駆動源16と第2の駆動源
17とからなり、第1の駆動源160回転軸18は案内
溝19に上記ガイド体1と直交する方向に摺動自在に設
けられた第1の移動体20に螺合している。
17とからなり、第1の駆動源160回転軸18は案内
溝19に上記ガイド体1と直交する方向に摺動自在に設
けられた第1の移動体20に螺合している。
この第1の移動体20と上記伸縮機構3の他側中心に位
置する軸5とが連結杆21によって連結されている。
置する軸5とが連結杆21によって連結されている。
上記第1の駆動源16は第2の移動体22上に載置固定
され、この第2の移動体22に上記第2の駆動源17の
回転軸23が上記第1の駆動源16の回転軸18と直交
する角度で螺合している。
され、この第2の移動体22に上記第2の駆動源17の
回転軸23が上記第1の駆動源16の回転軸18と直交
する角度で螺合している。
なお、第2の移動体22は案内溝24に沿って摺動自在
である。
である。
したがって、第1の駆動源16が作動すると、伸縮機構
3の各リンクの傾斜角度θが変わるから、保持体7・・
・がガイド体1に沿って摺動し、これら保持体7・・・
、すなわち保持体I・・・に一端部を固定した光ファイ
バ9a 、 9b 、・・・のピッチが変わるようにな
っている。
3の各リンクの傾斜角度θが変わるから、保持体7・・
・がガイド体1に沿って摺動し、これら保持体7・・・
、すなわち保持体I・・・に一端部を固定した光ファイ
バ9a 、 9b 、・・・のピッチが変わるようにな
っている。
また、第2の駆動源17が作動すると、各保持体I・・
・は、これらのピッチが一定のitガイド体1に沿って
移動する。
・は、これらのピッチが一定のitガイド体1に沿って
移動する。
なお、第1、第2の駆動源16,17は制御装置25に
よって制御されるのだが、この制御装置25は上記演算
器11と電気的に接続され、この演算器11に第1の駆
動源16の回転軸18の回転角度、すなわち第1の移動
体20の移動量によって変化する各保持体7・・・のピ
ッチを演算するようになっている。
よって制御されるのだが、この制御装置25は上記演算
器11と電気的に接続され、この演算器11に第1の駆
動源16の回転軸18の回転角度、すなわち第1の移動
体20の移動量によって変化する各保持体7・・・のピ
ッチを演算するようになっている。
つぎに、作用について説明する。
曾ず、光源14をONし、光源14から出力された光で
載置体13の下面を照射すると、その光のうち被測定物
12と対応する部分以外を照射した光が載置体13を透
過する。
載置体13の下面を照射すると、その光のうち被測定物
12と対応する部分以外を照射した光が載置体13を透
過する。
そして、載置体13を透過した光は、その部分に一端面
を対向させた光ファイバに入射し、この光ファイバの他
端面に設けられた光電変換素子10・・・によってその
ことが検知される。
を対向させた光ファイバに入射し、この光ファイバの他
端面に設けられた光電変換素子10・・・によってその
ことが検知される。
ここで、載置体13を透過した光を伸縮機構3の長手方
向最外側の一対の光ファイバ9a、9eが検知したとす
ると、上記被測定物12の長さ寸法は一対の光ファイバ
9a、9eの間隔よりも小さいことになる。
向最外側の一対の光ファイバ9a、9eが検知したとす
ると、上記被測定物12の長さ寸法は一対の光ファイバ
9a、9eの間隔よりも小さいことになる。
そこで、第1の駆動源16を作動させ、伸縮機構3を次
第に縮めて光ファイバ9a。
第に縮めて光ファイバ9a。
9b、・・・、9eのピッチを小さくしてゆくと、上記
一対の光ファイバ9a、9cの端面が被測定物12の上
方にきたときに、これら一対の光ファイバ9a、9eに
光信号が入射しなくなり、そのことを上記一対の光ファ
イバ9a 、9eから光信号を受ける光電変換素子10
,10で検知できる。
一対の光ファイバ9a、9cの端面が被測定物12の上
方にきたときに、これら一対の光ファイバ9a、9eに
光信号が入射しなくなり、そのことを上記一対の光ファ
イバ9a 、9eから光信号を受ける光電変換素子10
,10で検知できる。
したがって、この瞬間における第1の駆動源16による
第1の移動体20の駆動量から各光ファイバ9a□、・
・・、9eのピッチを知れハ、一対ノ光ファイバ9a、
9eの間隔、すなわち被測定物12の長さ寸法を求める
ことができる。
第1の移動体20の駆動量から各光ファイバ9a□、・
・・、9eのピッチを知れハ、一対ノ光ファイバ9a、
9eの間隔、すなわち被測定物12の長さ寸法を求める
ことができる。
なお、上記説明では、伸縮機構3の中心に設けられた光
ファイバ9cと被測定物12の長さ方向の中心とが一致
していることを前提としているが、これらの中心が一致
していない場合は、伸縮機構3を縮めていったときに一
対の光ファイバ9a。
ファイバ9cと被測定物12の長さ方向の中心とが一致
していることを前提としているが、これらの中心が一致
していない場合は、伸縮機構3を縮めていったときに一
対の光ファイバ9a。
9eのうち、一方だけに光信号が入射しなくなることが
ある。
ある。
そのような場合には第2の駆動源17を作動させ、伸縮
機構3全体をガイド体1に沿って移動させることにより
、一対の光ファイバ9a。
機構3全体をガイド体1に沿って移動させることにより
、一対の光ファイバ9a。
9eが受ける光信号を同じ条件にしながら第1の駆動源
16を作動させれば、被測定物12の長さ寸法を知るこ
とができる。
16を作動させれば、被測定物12の長さ寸法を知るこ
とができる。
以上述べたように本考案は、ガイド体の軸方向に沿って
伸縮する伸縮機構に設けられた複数の保持部に光ファイ
バの一端を被測定物に対向させて保持し、これら光ファ
イバの他端に光電変換素子を対向して設け、上記伸縮機
構の伸縮方向中心部に第1の駆動源を連結してこの伸縮
機構を中心部を基準として左右対称に伸縮させるととも
に、伸縮機構全体を第2の駆動源によって上記ガイド体
に沿って移動させることができるようにした。
伸縮する伸縮機構に設けられた複数の保持部に光ファイ
バの一端を被測定物に対向させて保持し、これら光ファ
イバの他端に光電変換素子を対向して設け、上記伸縮機
構の伸縮方向中心部に第1の駆動源を連結してこの伸縮
機構を中心部を基準として左右対称に伸縮させるととも
に、伸縮機構全体を第2の駆動源によって上記ガイド体
に沿って移動させることができるようにした。
したがって、被測定物が光学装置に対して一定の状態で
対向していなくとも、伸縮機構全体を移動させることに
よりこれらの中心を一致させることができ、しかも伸縮
機構は伸縮方向の中心部を基準にして左右対称に伸縮す
るため被測定物の両端を左右一対の光ファイバが同じ条
件で検出するので、被測定物の測定を容易かつ確実に行
なえる。
対向していなくとも、伸縮機構全体を移動させることに
よりこれらの中心を一致させることができ、しかも伸縮
機構は伸縮方向の中心部を基準にして左右対称に伸縮す
るため被測定物の両端を左右一対の光ファイバが同じ条
件で検出するので、被測定物の測定を容易かつ確実に行
なえる。
さらに、被測定物の外形状や大きさあるいは測定領域な
どにほとんど制限を受けることもない。
どにほとんど制限を受けることもない。
第1図は本考案の一実施例の概略的構成を示す側面図、
第2図は同じく第1図■−■線に沿う断面図である。 1・・・・・・ガイド体、3・・・・・・伸縮機構、7
・・・・・・保持体(保持部)、9 a F 9 b
t・・・、9e・・・・・・光ファイバ、10・・・・
・・光電変換素子、12・・・・・・被測定物、15・
・・・・・駆動機構。
第2図は同じく第1図■−■線に沿う断面図である。 1・・・・・・ガイド体、3・・・・・・伸縮機構、7
・・・・・・保持体(保持部)、9 a F 9 b
t・・・、9e・・・・・・光ファイバ、10・・・・
・・光電変換素子、12・・・・・・被測定物、15・
・・・・・駆動機構。
Claims (1)
- ガイド体と、このガイド体の軸方向に沿って伸縮自在に
設けられた複数の保持部を有する伸縮機構と、この伸縮
機構の伸縮方向の中心部に連結され上記伸縮機構を伸縮
させ上記保持部のピッチ間隔を上記ガイド体の軸方向に
沿う直線上で任意に変える第1の駆動源と、上記伸縮機
構全体を上記ガイド体の軸方向に沿って移動させる第2
の駆動源と、上記各保持部に一端を被測定物と対向させ
て保持され他端に光電変換素子が対向して設けられた複
数の光ファイバとを具備したことを特徴とする光学式測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2205279U JPS5937689Y2 (ja) | 1979-02-22 | 1979-02-22 | 光学式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2205279U JPS5937689Y2 (ja) | 1979-02-22 | 1979-02-22 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55122110U JPS55122110U (ja) | 1980-08-30 |
| JPS5937689Y2 true JPS5937689Y2 (ja) | 1984-10-19 |
Family
ID=28856092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2205279U Expired JPS5937689Y2 (ja) | 1979-02-22 | 1979-02-22 | 光学式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5937689Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-02-22 JP JP2205279U patent/JPS5937689Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55122110U (ja) | 1980-08-30 |
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