JPS593823B2 - ウエハ−保持装置用駆動装置 - Google Patents
ウエハ−保持装置用駆動装置Info
- Publication number
- JPS593823B2 JPS593823B2 JP53073536A JP7353678A JPS593823B2 JP S593823 B2 JPS593823 B2 JP S593823B2 JP 53073536 A JP53073536 A JP 53073536A JP 7353678 A JP7353678 A JP 7353678A JP S593823 B2 JPS593823 B2 JP S593823B2
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- wafer
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- plate
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- wafer holding
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はイオン注入装置でウェハーにイオン注入処理
を行なうのにあたわ、真空室内において、ウエ・・一を
イオン圧入位置で保持する保持装置を、。
を行なうのにあたわ、真空室内において、ウエ・・一を
イオン圧入位置で保持する保持装置を、。
その保持のために駆動する駆動装置に関する。イオン注
入装置において、ウェハーをキャリア−内に収納してお
き、これをその重力を利用して傾斜ガイド上をスライド
させて真空室内に搬入し、及びここから搬出するように
したものは別途発明 。され出願されている。このよう
なイオン注入装置によると、キャリア−は傾斜ガイドに
のつているため、水平線に対して傾斜した状態にある。
ところでウエ・・一は１枚毎にキャリア−から押上げ装
置によつてピックアップされ、続いて保持装置に保持さ
れるのであるが、これら押上げ装置の押上５ げ方向並
ひに保持装置の保持面はキャリア−に対して垂直方向に
なければならない。したがつてこれらはいずれも水平線
に対して、キャリア−の傾斜角たけ傾斜していなければ
ならないことになる。一方前記保持装置は押上げられて
きたウエ・・一１０を定位置に保持するのにレバーを利
用しているが、このレバーを駆動するのに、外部から力
を付与することが必要である。前記レバーは、ウェハー
の保持面と平行する平面内を移動してウエ・・一を保持
するので、その駆動力も前記保持面と平行する１５方向
に付与しなければならない。したがつて上述のように保
持面が水平線に対して傾斜しているときは、前記駆動力
も水平線に対して傾斜する方向に付与しなければならな
いことになる。第１図は従来の駆動装置を示す。
入装置において、ウェハーをキャリア−内に収納してお
き、これをその重力を利用して傾斜ガイド上をスライド
させて真空室内に搬入し、及びここから搬出するように
したものは別途発明 。され出願されている。このよう
なイオン注入装置によると、キャリア−は傾斜ガイドに
のつているため、水平線に対して傾斜した状態にある。
ところでウエ・・一は１枚毎にキャリア−から押上げ装
置によつてピックアップされ、続いて保持装置に保持さ
れるのであるが、これら押上げ装置の押上５ げ方向並
ひに保持装置の保持面はキャリア−に対して垂直方向に
なければならない。したがつてこれらはいずれも水平線
に対して、キャリア−の傾斜角たけ傾斜していなければ
ならないことになる。一方前記保持装置は押上げられて
きたウエ・・一１０を定位置に保持するのにレバーを利
用しているが、このレバーを駆動するのに、外部から力
を付与することが必要である。前記レバーは、ウェハー
の保持面と平行する平面内を移動してウエ・・一を保持
するので、その駆動力も前記保持面と平行する１５方向
に付与しなければならない。したがつて上述のように保
持面が水平線に対して傾斜しているときは、前記駆動力
も水平線に対して傾斜する方向に付与しなければならな
いことになる。第１図は従来の駆動装置を示す。
１は主真空室フ０ の壁面で、その右側を主真空室、左
側を外部とする。
側を外部とする。
２はウェハーを収納したキャリア−でその自重で傾斜し
たレール又はコロ３に沿つてスライドして主真空室内に
搬送され、及び外部へ搬出される。
たレール又はコロ３に沿つてスライドして主真空室内に
搬送され、及び外部へ搬出される。
４はキャリヤー２から押上げられてきた１枚ク５ のウ
ェハーを保持する保持装置で、その一例を概略的に示し
たのが第２図である。
ェハーを保持する保持装置で、その一例を概略的に示し
たのが第２図である。
この構成は保持板５の裏面（押上げられてきたウェハー
がのる面を表面とする。）にピン６Ａ、６Ｂを中心とし
て揺動自在の、ほぼく字型のレバー８Ａ、８Ｂを有マ０
し、その下端にウェハー保持用のローラ９Ａ、９Ｂが
回転自在に支持されている。各レバー ８Ａ、８Ｂの反
対側の端部にはピンＩＯＡ、ＩＯＢがあつて、これは案
内用ブロック１１に形成された長孔１２に移動自在に嵌
入してある。案内用ブロツ■５ ク１１は、軸受ブロッ
ク１３によつて支持された案内軸１４Ａ、１４Ｂの下端
と連結されてある。この案内軸の上端にヘッドプレート
１５が固定されてあり、これはバネ１６によつて常時上
昇力が与えられている。第２図は、ヘツドプレート１５
がバネ１６の弾力に抗して押下げられた状態を示す。
がのる面を表面とする。）にピン６Ａ、６Ｂを中心とし
て揺動自在の、ほぼく字型のレバー８Ａ、８Ｂを有マ０
し、その下端にウェハー保持用のローラ９Ａ、９Ｂが
回転自在に支持されている。各レバー ８Ａ、８Ｂの反
対側の端部にはピンＩＯＡ、ＩＯＢがあつて、これは案
内用ブロック１１に形成された長孔１２に移動自在に嵌
入してある。案内用ブロツ■５ ク１１は、軸受ブロッ
ク１３によつて支持された案内軸１４Ａ、１４Ｂの下端
と連結されてある。この案内軸の上端にヘッドプレート
１５が固定されてあり、これはバネ１６によつて常時上
昇力が与えられている。第２図は、ヘツドプレート１５
がバネ１６の弾力に抗して押下げられた状態を示す。
このときは、案内軸１４Ａ，１４Ｂの下降によつて案内
用プロツク１１も下降し、これによつて各レバー８Ａ，
８Ｂはピン６Ａ，６Ｂを中心として、下端が外側に広が
るように回動する。これによつて両ローラ９Ａ，９Ｂ間
は広まり、このとき下方から上昇してくるウエ・・−の
通過に何ら支障のないようにする。ウエハ一の中心が両
ローラ９Ａ，９Ｂ間を通過した頃から、それまでヘツド
プレート１５を押下げていた外力を徐々に解除してい〈
と、これにともなつてバネ１６の弾力によつて案内軸１
４Ａ，１４Ｂ、案内用プロツク１１が上昇し、各レバー
８Ａ，８Ｂもその下端間の距離がせばまるように回動す
る。そして押上げられていたウエハ一の下端縁をローラ
９Ａ，９Ｂが下方から保持する。このとき以後、それま
でウエハ一を押上げていた押上げ機構は下降する。イオ
ン注入処理を終えたウエハ一をキヤリヤ一にもどすには
、さきの動作とは逆に動作させればよい。なお、１７は
保持板５の表面に揺動自在に設けられたレバー、１８は
その先端に支持されたローラで、これは押上げられてき
たウエハ一の上端縁を上から保持するためのものである
。ところで第１図に示ず従来の駆動装置、つまり上記し
た保持装置４のヘツドプレート１５を下方に駆動するた
めの駆動装置２０は、支持柱２１の上端のピン２２を中
心として揺動自在の駆動レバー２３及びこれを回動させ
るためのピストン機構２４とから構成されている。
用プロツク１１も下降し、これによつて各レバー８Ａ，
８Ｂはピン６Ａ，６Ｂを中心として、下端が外側に広が
るように回動する。これによつて両ローラ９Ａ，９Ｂ間
は広まり、このとき下方から上昇してくるウエ・・−の
通過に何ら支障のないようにする。ウエハ一の中心が両
ローラ９Ａ，９Ｂ間を通過した頃から、それまでヘツド
プレート１５を押下げていた外力を徐々に解除してい〈
と、これにともなつてバネ１６の弾力によつて案内軸１
４Ａ，１４Ｂ、案内用プロツク１１が上昇し、各レバー
８Ａ，８Ｂもその下端間の距離がせばまるように回動す
る。そして押上げられていたウエハ一の下端縁をローラ
９Ａ，９Ｂが下方から保持する。このとき以後、それま
でウエハ一を押上げていた押上げ機構は下降する。イオ
ン注入処理を終えたウエハ一をキヤリヤ一にもどすには
、さきの動作とは逆に動作させればよい。なお、１７は
保持板５の表面に揺動自在に設けられたレバー、１８は
その先端に支持されたローラで、これは押上げられてき
たウエハ一の上端縁を上から保持するためのものである
。ところで第１図に示ず従来の駆動装置、つまり上記し
た保持装置４のヘツドプレート１５を下方に駆動するた
めの駆動装置２０は、支持柱２１の上端のピン２２を中
心として揺動自在の駆動レバー２３及びこれを回動させ
るためのピストン機構２４とから構成されている。
ピストン機構２４のピストン２５はピストンロツド２６
によつて駆動レバー２３とピン結合されてあり、ピスト
ン２５の上昇によつて駆動レバー２３を時計方向に回動
させ、ヘツドプレート１５を押下げる。ピストン２５に
はその下面にベローズ２７が連結されてあり、ここに外
部から供給管２８を経て供給される圧縮空気によつて伸
張し、ピストン２５を上昇させる。２８は復帰用のバネ
である。
によつて駆動レバー２３とピン結合されてあり、ピスト
ン２５の上昇によつて駆動レバー２３を時計方向に回動
させ、ヘツドプレート１５を押下げる。ピストン２５に
はその下面にベローズ２７が連結されてあり、ここに外
部から供給管２８を経て供給される圧縮空気によつて伸
張し、ピストン２５を上昇させる。２８は復帰用のバネ
である。
しかしながら、このような構成によると、駆動レバー２
３による駆動力は、保持装置４の保持面と平行する方向
には作用せず、そのため、ヘツドプレート１５、案内軸
１４Ａ，１４Ｂに不自然な力を付与するので、これらに
無理な運動を押しつけるようになつて好ましいものでは
ない。
３による駆動力は、保持装置４の保持面と平行する方向
には作用せず、そのため、ヘツドプレート１５、案内軸
１４Ａ，１４Ｂに不自然な力を付与するので、これらに
無理な運動を押しつけるようになつて好ましいものでは
ない。
又駆動レバー２３は回動するので、ヘツドプレート１５
を押下げる距離にも限界がある。これらを解決するため
に、ピストンロツド２６によつて直接ヘツドプレート１
５を駆動すればよいが、そのためには、駆動装置２０を
保持装置４の上方に設置しなければならず、これによる
と、主真空室の高さを充分高くとらなければならないこ
とになり、スペースをそれだけ広くする必要があつて好
ましくない〜 この発明はウエ・・一の保持装置に、保持のための駆動
力を、傾斜した保持面に平行に何ら無理なく付与するこ
とを目的とする。
を押下げる距離にも限界がある。これらを解決するため
に、ピストンロツド２６によつて直接ヘツドプレート１
５を駆動すればよいが、そのためには、駆動装置２０を
保持装置４の上方に設置しなければならず、これによる
と、主真空室の高さを充分高くとらなければならないこ
とになり、スペースをそれだけ広くする必要があつて好
ましくない〜 この発明はウエ・・一の保持装置に、保持のための駆動
力を、傾斜した保持面に平行に何ら無理なく付与するこ
とを目的とする。
第３図以降に示すこの発明の実施例について説明すると
、空気圧シリンダなどのような駆動源より、溶接ベロー
ズ３１で壁面１に真空シールされた連結軸３２は主真空
室内の駆動装置３３に連結され、連結軸３２の軸方向つ
まり横方向の駆動によつて駆動装置３３に動力が伝達さ
れる。
、空気圧シリンダなどのような駆動源より、溶接ベロー
ズ３１で壁面１に真空シールされた連結軸３２は主真空
室内の駆動装置３３に連結され、連結軸３２の軸方向つ
まり横方向の駆動によつて駆動装置３３に動力が伝達さ
れる。
駆動装置３３はハウジング３４とここに収納される平行
リンク機構３５とから構成されざいる。ハウジング３４
の両側面３６には、その詳細を第４図に示すように、連
結軸３２と平行する一対の溝３７，３８と、保持装置４
の保持面と平行する方向（したがつて案内軸１４Ａ，１
４Ｂと平行する方向）に沿びる溝３９が形成されてある
。又平行リンク機構３５は、前記保持面と平行する駆動
板４０及び伝達板４１と、これら駆動板４０、伝達板４
１の両側縁の上下を枢着連結するリンク４２，４３とか
らなｖ、これらによつて平行四辺形が形成されてある。
そして各リンクと各板４０，４１の連結個所に回動自在
にコロ４６〜４９が設置されてある。コロとしてはボー
ルベアリングの外輪を利用するようにしてもよい。駆動
板４０はその軸５０に連結軸３２が枢着されてある。又
伝達板４１には、ヘツドプレート１５を押下げるための
押し金具５１が固定されてある。そしてコロ４６は溝３
７内に、コロ４８は溝３８内に、更にコロ４７，４９は
溝３９内に嵌合し、各溝内を移動自在とされている。な
お、５２は押し金具５１の突出窓である。今連結軸３２
を駆動源によつて右横方向へ駆動すると、コロ４６，４
８が溝３７，３８に案内されて同方向に移動し、これに
ともなつて駆動板４０も同方向に平行移動する。
リンク機構３５とから構成されざいる。ハウジング３４
の両側面３６には、その詳細を第４図に示すように、連
結軸３２と平行する一対の溝３７，３８と、保持装置４
の保持面と平行する方向（したがつて案内軸１４Ａ，１
４Ｂと平行する方向）に沿びる溝３９が形成されてある
。又平行リンク機構３５は、前記保持面と平行する駆動
板４０及び伝達板４１と、これら駆動板４０、伝達板４
１の両側縁の上下を枢着連結するリンク４２，４３とか
らなｖ、これらによつて平行四辺形が形成されてある。
そして各リンクと各板４０，４１の連結個所に回動自在
にコロ４６〜４９が設置されてある。コロとしてはボー
ルベアリングの外輪を利用するようにしてもよい。駆動
板４０はその軸５０に連結軸３２が枢着されてある。又
伝達板４１には、ヘツドプレート１５を押下げるための
押し金具５１が固定されてある。そしてコロ４６は溝３
７内に、コロ４８は溝３８内に、更にコロ４７，４９は
溝３９内に嵌合し、各溝内を移動自在とされている。な
お、５２は押し金具５１の突出窓である。今連結軸３２
を駆動源によつて右横方向へ駆動すると、コロ４６，４
８が溝３７，３８に案内されて同方向に移動し、これに
ともなつて駆動板４０も同方向に平行移動する。
この移動により、リンク４２，４３を介してコロ４７，
４９は溝３９に案内されて移動し、伝達板４１は溝３９
の延長方向に平行移動する。溝３９は保持面と平行して
いるので、駆動板４１の移動に基く押し金具５１は保持
面と平行する方向に沿つてヘツドプレート１５、したが
つて案内軸１４Ａ，１４Ｂを押下げることになる。この
押下刃は案内軸１４Ａ，１４Ｂと同方向であることはい
うまでもなく、これによつてこの押下刃はヘツドプレー
ト１５、案内軸１４Ａ，１４Ｂに何ら無理なく作用し、
又その押下距離が制限されることもない。ここで連結軸
３２を逆に左横方向に，駆動すれば、さきとは逆に駆動
板４０、伝達板４１、リンク４２，４３が移動し、押し
金具５１は上昇する。
４９は溝３９に案内されて移動し、伝達板４１は溝３９
の延長方向に平行移動する。溝３９は保持面と平行して
いるので、駆動板４１の移動に基く押し金具５１は保持
面と平行する方向に沿つてヘツドプレート１５、したが
つて案内軸１４Ａ，１４Ｂを押下げることになる。この
押下刃は案内軸１４Ａ，１４Ｂと同方向であることはい
うまでもなく、これによつてこの押下刃はヘツドプレー
ト１５、案内軸１４Ａ，１４Ｂに何ら無理なく作用し、
又その押下距離が制限されることもない。ここで連結軸
３２を逆に左横方向に，駆動すれば、さきとは逆に駆動
板４０、伝達板４１、リンク４２，４３が移動し、押し
金具５１は上昇する。
そしてヘツドプレート１５はバネ１６の弾力によつて当
初の位置に復帰する。な卦第３図に示すようにベローズ
３１で連結軸３２を真空シールして主真空室内に導入し
、外部から連結軸３２を直接駆動して駆動装置３３を動
作するようにして卦くと、従来のように圧縮空気を主真
空室内に導入するための供給管２８を壁面１に貫通する
際の真空シールは不必要となり、又供給管２３とシリン
ダとの取外しができないことによるメンテナンスの際の
支障もなくなるといつた利点がある。
初の位置に復帰する。な卦第３図に示すようにベローズ
３１で連結軸３２を真空シールして主真空室内に導入し
、外部から連結軸３２を直接駆動して駆動装置３３を動
作するようにして卦くと、従来のように圧縮空気を主真
空室内に導入するための供給管２８を壁面１に貫通する
際の真空シールは不必要となり、又供給管２３とシリン
ダとの取外しができないことによるメンテナンスの際の
支障もなくなるといつた利点がある。
以上詳述したように、この発明によれば、保持装置の保
持面が傾斜していても、その傾斜方向に一致させて保持
機構の１駆動力を付与することができ、したがつて無理
な力は加わらず、しかも下降距離に制限を受けることが
ないといつた効果を奏する。
持面が傾斜していても、その傾斜方向に一致させて保持
機構の１駆動力を付与することができ、したがつて無理
な力は加わらず、しかも下降距離に制限を受けることが
ないといつた効果を奏する。
第１図は従来装置の断面図、第２図は保持装置の主要部
分の裏面図、第３図はこの発明の実施例を示す断面図、
第４図は・・ウジングの側断面図、第５図は平行リンク
機構の斜視図である。 ４・・・・・・保持装置、３２・・・・・・連結軸、３
３・・・・・・駆動装置、３４・・・・・・・・ウジン
グ、３５・・・・・・平行リンク機構、３７，３８，３
９・・・・・・溝、４０・・・・・・駆動板、４１・・
・・・・伝達板、４２，４３・・・・・・リンク、４６
〜４９・・・・・・コロ。
分の裏面図、第３図はこの発明の実施例を示す断面図、
第４図は・・ウジングの側断面図、第５図は平行リンク
機構の斜視図である。 ４・・・・・・保持装置、３２・・・・・・連結軸、３
３・・・・・・駆動装置、３４・・・・・・・・ウジン
グ、３５・・・・・・平行リンク機構、３７，３８，３
９・・・・・・溝、４０・・・・・・駆動板、４１・・
・・・・伝達板、４２，４３・・・・・・リンク、４６
〜４９・・・・・・コロ。
Claims (1)
- １ 真空室の外部からの駆動力が付与される駆動板と、
ウェハー保持装置にウェハー保持のための下降力を付与
する伝達板と、前記駆動板及び伝達板の各側面に枢着さ
れるリンクとによつて平行リンク機構を構成し、前記駆
動板の側面に支持されたコロを、前記平行リンク機構を
収納するハウジングの側面に前記駆動板の駆動力と同方
向に沿つて形成された溝に摺動自在に嵌合し、又前記伝
達板の側面に支持されたコロを、同じく前記ウェハー保
持装置の傾斜されたウェハー保持面と平行する方向に沿
つて形成された溝に摺動自在に嵌合してなるウェハー保
持装置用駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53073536A JPS593823B2 (ja) | 1978-06-16 | 1978-06-16 | ウエハ−保持装置用駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53073536A JPS593823B2 (ja) | 1978-06-16 | 1978-06-16 | ウエハ−保持装置用駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS551120A JPS551120A (en) | 1980-01-07 |
| JPS593823B2 true JPS593823B2 (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=13521040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53073536A Expired JPS593823B2 (ja) | 1978-06-16 | 1978-06-16 | ウエハ−保持装置用駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593823B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150783U (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-18 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120653U (ja) * | 1982-02-10 | 1983-08-17 | 日本真空技術株式会社 | ウエハグリツプ装置 |
| JPS58164237U (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-01 | 日本真空技術株式会社 | ウエハグリツプ装置 |
-
1978
- 1978-06-16 JP JP53073536A patent/JPS593823B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150783U (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS551120A (en) | 1980-01-07 |
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