JPS5938748A - 露光方法 - Google Patents
露光方法Info
- Publication number
- JPS5938748A JPS5938748A JP57149754A JP14975482A JPS5938748A JP S5938748 A JPS5938748 A JP S5938748A JP 57149754 A JP57149754 A JP 57149754A JP 14975482 A JP14975482 A JP 14975482A JP S5938748 A JPS5938748 A JP S5938748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- round bar
- coating film
- photosensitive liquid
- exposure method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転軸等の細い金属製丸棒（中空、中実、円柱
形、円錐形等を含む）、の表面に凹部をエツチング加工
するに際し、丸棒の表面に予め四部のパターンをレジス
トとして露光形成する方法に関する。
形、円錐形等を含む）、の表面に凹部をエツチング加工
するに際し、丸棒の表面に予め四部のパターンをレジス
トとして露光形成する方法に関する。
従来、細い金属製丸棒の表面に、その周方向に沿って多
数のパターンを光学的に焼付ける場合には、パターンを
柔軟性のある薄いフィルム上に多数形成し、これを感光
液を予め塗布し、乾燥させた該丸棒の表面に巻き付けて
周囲から露光する方法とか、パターン形成物（ガラス又
はフィルム）を感光液を予め塗布し、乾燥させた丸棒の
表面に線接触させ、その紳接触部をスリット光にて露光
し乍ら一回転する方法などが一般的に採用されている。
数のパターンを光学的に焼付ける場合には、パターンを
柔軟性のある薄いフィルム上に多数形成し、これを感光
液を予め塗布し、乾燥させた該丸棒の表面に巻き付けて
周囲から露光する方法とか、パターン形成物（ガラス又
はフィルム）を感光液を予め塗布し、乾燥させた丸棒の
表面に線接触させ、その紳接触部をスリット光にて露光
し乍ら一回転する方法などが一般的に採用されている。
しかしこれら従来の方法では、感光液塗膜にフィルム等
のパターン支持体が接触する為、感光液塗膜に損傷を与
えやすく、まだフィルムを巻き付ける場合においては、
巻き付けの始点・終点でのパターンのつき合せが生ずる
為、接合部でのパターンの連続性に関する精度が損われ
たり、つき合せ作業の為に多くの時間を費している。特
に径の小さい丸棒に対しては露光作業が困難であり、自
動化、限度比も困難であるなど多くの欠点がある。
のパターン支持体が接触する為、感光液塗膜に損傷を与
えやすく、まだフィルムを巻き付ける場合においては、
巻き付けの始点・終点でのパターンのつき合せが生ずる
為、接合部でのパターンの連続性に関する精度が損われ
たり、つき合せ作業の為に多くの時間を費している。特
に径の小さい丸棒に対しては露光作業が困難であり、自
動化、限度比も困難であるなど多くの欠点がある。
本発明は、以上の如き従来法の欠点を改善するもので、
パターン支持体と丸棒とが非接触でしかも精度よく焼付
け（露光）処理が出来る露光方法を提供することを目的
とする。
パターン支持体と丸棒とが非接触でしかも精度よく焼付
け（露光）処理が出来る露光方法を提供することを目的
とする。
以下図面に基づいて、本発明の実施例につき説明する。
図において、０１は細い金朽製丸棒で、例えばレコード
プレーヤーのターンテーブル用回転軸の素材であり、０
４はそのジャーナル部である。
プレーヤーのターンテーブル用回転軸の素材であり、０
４はそのジャーナル部である。
丸棒θＯのジャーナル部０には予め感光液が塗布され、
乾燥されて塗膜が形成されている。
乾燥されて塗膜が形成されている。
０４１は上記塗膜に焼きつけられる油溝用パターンを有
する原版である。このパターンは例えばＶ字形に設定さ
れ、多数のものが、等ピッチで原版に形成されている。
する原版である。このパターンは例えばＶ字形に設定さ
れ、多数のものが、等ピッチで原版に形成されている。
上記丸棒０１と原版Ｑ４）とは第２図で示されるような
駆動系により一定の関係の下に動かされる。
駆動系により一定の関係の下に動かされる。
すなわち、（至）は電動機ＯＱによυ回転される原動歯
車、（イ）は中間歯車、ｃ力は従動歯車であり、従動歯
車の軸の延長上に上記丸棒ＯＩが固定されている。
車、（イ）は中間歯車、ｃ力は従動歯車であり、従動歯
車の軸の延長上に上記丸棒ＯＩが固定されている。
まだ、原動歯車（イ）と同軸にプーリ（２４が固定され
ており、とのプーリにより駆動されるベルトＱ０に移動
盤Ｑ８１が連結され、この上に上記原版０弔が固定され
る。
ており、とのプーリにより駆動されるベルトＱ０に移動
盤Ｑ８１が連結され、この上に上記原版０弔が固定され
る。
従って電動機０樽の駆動により丸棒が矢印（ａ）の方向
に回転する間原版ａ４が矢印（ｂ）の方向に動かされ、
その間パターンが丸棒の上記感光性塗膜に等ピッチで焼
き付けられることになる。
に回転する間原版ａ４が矢印（ｂ）の方向に動かされ、
その間パターンが丸棒の上記感光性塗膜に等ピッチで焼
き付けられることになる。
パターン焼き付けのだめの光学系は第１図で示される構
成となっており、（３０は光源である）Ｉθ−ａｄレー
ザ装置、０７Ｊは回転多面色、Ｃ３４）は集光レンズ、
（、（Ｇ）け投影レンズである。レーザビームは多面鏡
０２で間欠的に反射されつつレンズで集光され、そのう
ちパターンを透過した光が加工物０（浄上にそのパター
ンの像を結ぶ。
成となっており、（３０は光源である）Ｉθ−ａｄレー
ザ装置、０７Ｊは回転多面色、Ｃ３４）は集光レンズ、
（、（Ｇ）け投影レンズである。レーザビームは多面鏡
０２で間欠的に反射されつつレンズで集光され、そのう
ちパターンを透過した光が加工物０（浄上にそのパター
ンの像を結ぶ。
この場合、スリット幅１〜２ｍ１１、投影倍率１１５〜
１／１０とすれば加工物−ヒに結仰幅約２００７ｊｍの
像を得ることができる。
１／１０とすれば加工物−ヒに結仰幅約２００７ｊｍの
像を得ることができる。
なお、歯車（１（全いわ＠は丸棒θ１とグー’） （２
４１が同一角速度で回転するよう設定され、グーＩＪ
（２４＋は原版の縮小光学像と丸棒表面とが同期して移
動するようその径が設定されている。そして例えば上記
光学像の上記塗膜への焼付縮小率１１５ のとき、プー
リ径は九俸径の５倍とされる。プーリは任意の径のもの
と交換可能であるから、任へ径の丸棒に画像流れを生ず
ることなくパターン露光を行なうことができる。
４１が同一角速度で回転するよう設定され、グーＩＪ
（２４＋は原版の縮小光学像と丸棒表面とが同期して移
動するようその径が設定されている。そして例えば上記
光学像の上記塗膜への焼付縮小率１１５ のとき、プー
リ径は九俸径の５倍とされる。プーリは任意の径のもの
と交換可能であるから、任へ径の丸棒に画像流れを生ず
ることなくパターン露光を行なうことができる。
以上のような手１１Ｋ（で塗膜にパターンが焼き付けら
れた丸棒は現像されてパターン部の金属表面が露出せし
められ、しかる後エツチング加工に供されてパターンに
相応する油溝が形成されることになる。
れた丸棒は現像されてパターン部の金属表面が露出せし
められ、しかる後エツチング加工に供されてパターンに
相応する油溝が形成されることになる。
以上のように、本発明に係るトπ光方法は、表面に感光
液を塗布した細い金属製丸棒を回転させ、かつ所定パタ
ーンを等ピッチで形成した原版を走行させつつ、上記パ
ターンに光を照射してその透過光を上記感光液の塗膜に
照射することにより、その塗膜に上記パターンを等ピッ
チで多数形成することを特徴とするものであるから、パ
ターンの原版と感光性塗膜とを非接触で露光することが
できる。
液を塗布した細い金属製丸棒を回転させ、かつ所定パタ
ーンを等ピッチで形成した原版を走行させつつ、上記パ
ターンに光を照射してその透過光を上記感光液の塗膜に
照射することにより、その塗膜に上記パターンを等ピッ
チで多数形成することを特徴とするものであるから、パ
ターンの原版と感光性塗膜とを非接触で露光することが
できる。
従って、感光性塗膜を傷つけないで良好なるエツチング
を施すことができる。
を施すことができる。
図は本発明に係る露光方法を実施するだめの装置の一例
を示し、第１図はその概略正面図、第２図は第１図のト
」線断面図である。 １０・・・・・・・・・・・・・・・金Ｒ製丸棒１２・
・・・・・・・・・・・・・・ジャーナル部１４・・嗜
・・・・・・・・・・・・原 版特許出願人 大日本印
刷株式会社 代理人 弁理士 小 西 γｆ 美才１図 才 ２ 図
を示し、第１図はその概略正面図、第２図は第１図のト
」線断面図である。 １０・・・・・・・・・・・・・・・金Ｒ製丸棒１２・
・・・・・・・・・・・・・・ジャーナル部１４・・嗜
・・・・・・・・・・・・原 版特許出願人 大日本印
刷株式会社 代理人 弁理士 小 西 γｆ 美才１図 才 ２ 図
Claims (1)
- 表面に感光液を塗布した細い金属製丸棒を回転させ、か
つ所定パターンを形成した原版を走行させつつ、上記パ
ターンに光を照射してその透過光を上記感光液の塗膜に
照射することにより、その塗膜に上記パターンを拡大も
しくは縮小して又は同寸にて多数形成することを特徴と
する露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57149754A JPS5938748A (ja) | 1982-08-28 | 1982-08-28 | 露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57149754A JPS5938748A (ja) | 1982-08-28 | 1982-08-28 | 露光方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5938748A true JPS5938748A (ja) | 1984-03-02 |
Family
ID=15482015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57149754A Pending JPS5938748A (ja) | 1982-08-28 | 1982-08-28 | 露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5938748A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4885140A (ja) * | 1972-02-14 | 1973-11-12 | ||
| JPS5234215A (en) * | 1975-09-05 | 1977-03-16 | Kubota Ltd | Method of planting mediummsized or largeesized seedlings and seedling box thereof |
| JPS53116902A (en) * | 1977-03-22 | 1978-10-12 | Michiya Kk | Method of engraving one direction expanding or shortening of printing plate and device therefor |
| JPS5636432B2 (ja) * | 1975-10-25 | 1981-08-24 |
-
1982
- 1982-08-28 JP JP57149754A patent/JPS5938748A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4885140A (ja) * | 1972-02-14 | 1973-11-12 | ||
| JPS5234215A (en) * | 1975-09-05 | 1977-03-16 | Kubota Ltd | Method of planting mediummsized or largeesized seedlings and seedling box thereof |
| JPS5636432B2 (ja) * | 1975-10-25 | 1981-08-24 | ||
| JPS53116902A (en) * | 1977-03-22 | 1978-10-12 | Michiya Kk | Method of engraving one direction expanding or shortening of printing plate and device therefor |
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