JPS5939929U - 半導体熱処理装置用石英ボ−ド操作ツ−ル - Google Patents

半導体熱処理装置用石英ボ−ド操作ツ−ル

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Publication number
JPS5939929U
JPS5939929U JP13487882U JP13487882U JPS5939929U JP S5939929 U JPS5939929 U JP S5939929U JP 13487882 U JP13487882 U JP 13487882U JP 13487882 U JP13487882 U JP 13487882U JP S5939929 U JPS5939929 U JP S5939929U
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JP
Japan
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heat treatment
treatment equipment
operation tool
semiconductor heat
quartz boat
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Pending
Application number
JP13487882U
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English (en)
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仁張　育夫
「たに」野　重喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS5939929U publication Critical patent/JPS5939929U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ないし第３図は従来の半導体熱処理装置を示し、
第１図および第２図はいずれも夫々が装置の断面図、第
３図は第２図の装置の一部（ふた体）を示す正面図、第
４図は従来の装置における石英ボート操作ツールを説明
するための側面図、第５図以降はこの考案の１実施例の
装置の石英ボート操作ツールを説明するためのもので、
第５図は側面図、第６図は第５図の一部の転がり部材を
Ａ方向から視た側面図、第７図は別の転がり部材を第６
図にならって示す側面図である。 １・・・加熱容器、４・・・石英ボート、６ａ・・・石
英ロンド、１６ａ・・・転がり部材、１６ｂ・・・板車
輪、１６Ｃ・・・回転円筒体（ローラー）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 加熱容器中の石英ボートにロッド部を伸ばして加熱容器
    中の石英ボートを押しまたは引くボート操作ツールにお
    いて、石英ボートとの接触が石英ボートの操作方向に転
    動する転がり部材でなされていることを特徴とする半導
    体熱処理装置用石英ボート操作ツール。
JP13487882U 1982-09-07 1982-09-07 半導体熱処理装置用石英ボ−ド操作ツ−ル Pending JPS5939929U (ja)

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JP13487882U JPS5939929U (ja) 1982-09-07 1982-09-07 半導体熱処理装置用石英ボ−ド操作ツ−ル

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JPS5939929U true JPS5939929U (ja) 1984-03-14

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