JPS5941685A - 流体モ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は流体モータに関するものである。

２個のピストンと２個のシリンダを備え、２個のシリン
ダ内に交互に生ずる流体圧力によって動作し、両ピスト
ンを前後動さぜるようにしたモータは、以前からすでに
周知である。この種のモータは、ノコギリ等機械工具用
のドライバや、アクチュエータ、２１？ンゾとして一般
に使われている。

流体モータを作動させるためには、いずれかの作動流体
を用いなければならず、又適当なバルブ手段を使って各
シリンダへ作動流体が交互に流入出するようにしなけれ
ばならない。従来の装置では、作動流体を供給するだめ
のバルブ手段としてさまざまなものが使われている。し
かし、これら従来のバルブ手段のほとんどは、構造が非
常に複雑で、幾つかの可動部を含んでいる。従って、作
動流体が適宜対応するチャンバへ流入出するようにバル
ブ手段を適切にタイミング合せするための機構は、不良
調整や支障を生じやすく、バルブ手段自体もつっかえや
摩損を生じやすい。摩損が進むと、バルブ手段の周囲に
形成したシールが損われる。

ポンプとして使われる流体モータの場合には、ポンプ吸
排される流体の移動を制御するために、さらに別のノ々
ルゾ手段が必要である。この別のバルブ手段は、通常４
個の別々のバルブから成る。

本発明は、作動流体の流れを制御するだめのノ々ルブ式
切換手段が２つの動作位置を持つ１個の一体部材から成
るような、極めて簡単な構造の流体モータを提供するも
のである。ここで作動流体の流れを切換えるのに使う手
段を指す゛パルプ式切換手段“という用語は、シールを
除いたものを意味する。但し実際には、バルブ式切換手
段の周囲にそれぞれシールが配置される。本発明のモー
タは１個の可動部分しか含まないから、バルブ式切換手
段が１個よシ多くの可動部分を含む従来のモータより信
頼度が高くなる。又、可動部分が１個だけであるから、
可動部分の移動によって摩擦を生ずる表面積が小さくな
る結果、構成部品の摩損が減少する。さらに、数個の部
材をシールするよシ、１個の一体部材をシールする方が
容易である。さらに又、この１個の一体部材はノ・ウジ
ングから簡単に取υ外せるので、必要なときにはシール
を容易に交換できる。

本発明の一実施例では、バルブ式切換手段を第１及び第
２の動作位置へ停止させるための簡単な戻り止め手段が
設けられる。す々わち、バルブ式切換手段の外周面に軸
方向に離間した一対の溝が形成される一方、バルブ式切
換手段が両動作位置のいずれかに達したとき溝の一方又
は他方に嵌合する２個のバネ付ぜ−ルがシリンダ内に設
けられる。２個のバネ付４ｒ−ルは相互に対向して配置
されるため、バルブ式切換手段に加わる力がバランスさ
れる。このことは、バルブ式切換手段が軸方向に定めら
れたその移動方向からはずさずに、しかもバルブ切換手
段に高い摩擦力を生せしめずに、大きな力をバネ付？−
ルで与えられることを意味している。

（１３） 又本発明の実施例では、各ピストンとそのシリンダの間
のシールが転勤形ダイアフラムシールで構成され、ベロ
フラム社から製造販売されているような織布強化ポリマ
ーで作られる。但し、本発明のシールにおける強化用織
布はダイアフラムの端部にまで延びず、端部の手前で終
端しているため、ダイアフラムの周囲で良好なシールが
得られ、従って織布の繊維を通じた流体の浸透を防ぐこ
とができる。

さらに、流体モータがポンプとして使われる本発明の実
施例では、吸排流体の流れを制御するため、１ンビング
区域内に新規なバルブ式切換手段が設けられる。この・
々ルブ式切換手段はわずか２個のバルブから成）、それ
ぞれ組合せ形の傘−口ばし状バルブで構成される。これ
ら組合せ形の傘−口ばし状バルブは非常に簡単な圧力制
御式のノ４ルブで、それぞれが従来技術における少くと
も２個のバルブに相当する役割を果す。

以下本発明の一実施例を添付の図面を参照して詳しく説
明する。

第１図は流体モータ１０を示しておシ、図示例の場合流
体モータ１０はポンプとして機能する。

ここに示した。ｊ９ンプは、ソーダシロップのボンピン
グを目的として設計されたものだが、その他多くの用途
にも使える。流体ポンプ１０のハウジングは、３つの部
分１２，１４及び１６から成る。

ハウジング内には、第１シリンダ１８．第２シリンダ２
０２作動流体入ロポー）、２２．２個の作動流体出１コ
導管２４，２５．ポンピング流体入口ポ−）２６　、及
びポンピング流体出口ポート２８が設けられている。第
１，２作動流体出口導管２４゜２５は、図示のように２
個の分離したポートとしてハウジングから出るようにし
てもよいし、あるいは途中で交じわらせ、共通した１個
の出口列？−トとしてハウジングから出るようにしても
よい。

第１ピストン３０と第２ピストン３２がロッド３３で相
互に固着され、それぞれ対応したシリンダ１８゜２０内
に収納されるよう配置される。

両シリンダ１８．２０の間に形成された孔３５内で、ス
ツールバルブ３４が作動流体の交互切換手段として機能
し、まず作動流体を第１シリンダ１８へ供給し第２シリ
ンダ２０を空にした後、次には作動流体を第２シリンダ
２０へ供給して第１シリンダ１８を空にする。作動流体
が圧縮空気管の加圧流体のときは、大気へ排出される場
合もある。但し、作動流体を周囲よシ低圧とすることも
可能で、この場合にはピストンの動く向きがここで説明
する向きと逆になる。つまり、高圧作動流体の代シに低
圧作動流体が使われるときは、作動流体入口ポート２２
が流体をシリンダから低圧領域側へ流れさせ、そのシリ
ンダ内に低圧を形成する一方、出口導管２４．２５が周
囲の流体をシリンダ内へと移動させることによって低圧
流体を排出又は解放する。スプールバルブ３４は、第１
シリンダ１８と絶えず流体導通する第１の内部導管３６
と、第２シリンダ２０と絶えず流体導通する第２の内部
導管３８を含む。複数のＯリングシール４０が設けられ
、スゾールノぐルブ３４と７１ウジング１４の孔３５０
間をシールしている。スツールバルブ３４の各端にはそ
れぞれバネ４２が設はラレ、各バネ４２はピストン３０
．３２からのエネルギーを吸収すると共に、そのエネル
ギーをスプールバルブ３４へ伝える役割を果す。

スツールバルブ３４はさらに、パルプを２個の動作位置
のうちいずれか一方に保持するだめの戻少止め手段を有
する。この戻シ止め手段は、スツールバルブ３４の外周
面に形成された２本の溝４４．４６と、ハウジング１４
の適切な横断穴４９．５１中に対向して配置され、バネ
荷重の加えられた一対の４？−ル４８．５０とから成る
。第２図に示すように、２個のバネ付？−ル４８．５０
は環状溝４４．４６と嵌合して、スプールバルブ３４を
２つの位置に停止させる。又一対のバネ付ｄ？−ル４８
．５０は相互に対向して配置されているため、スツール
バルブ３４に加わる力はバランスされている。スプール
バルブ３４の両端は常に異った圧力にさらされているの
で、スプールバルブ３４を一方向又拡他方向に押動させ
ようとする力が常時存在する。この力によってスツール
バルブ３４が移動を生じないように、スツールバルブ（
１７） には充分な力が加わっていなければならない。図示の実
施例の場合、この力はノ９ネ付ゾール４８゜５０によっ
て与えられる。例えば、ノクネ付ゾールを１個しか設け
ないなどして、不均衡で大きな力が横断方向にスツール
バルブへ加わると、スツールバルブ３４に摩擦力が作用
する結果、スツールバルブが拘束され動かなくなってし
まう。しかし図示例のように、対向して配置されバラン
スされた一対のが−ル４８，５０を使っているため、ス
ツールバルブを拘束することなくそれを所定の位置に保
持可能とするのに充分な大きさの力が得られる。

各シリンダ１８．２０内にはそれぞれ転勤形ダイアフラ
ムシール５２，５４が設けられ、対応するピストン３０
．３２とシリンダ１８．２０の間をシールしている。各
ダイアフラムシール５２゜５４はそれぞれのシリンダ１
８．２０を、内側チャンバ５６，５８と外側チャン／４
６０．６２へ分離スる。内側チャンバ５６，５８はスツ
ールバルブ３４と常に流体連通し、作動流体を受は入れ
る。

（１８） ここで、ダイアフラムシール５２．５４は織布強化ポリ
マーから成るが、織布はダイアフラムの内外両端にまで
延びないようにされる。これによって、流体が織布の繊
維を通じて浸透するのを防ぎ、良好なシールを得ること
ができる。

外側チャンバ６０．６２は導管６１．６３を介してポン
ピング流体の入口ポート２６と出口ポート２８に流体連
通し、ピンピングされる流体を受は入れる。外側チャン
バ６０．６２とポンピング流体人出口ｙＪ？−）２６，
２８の間に、一対のパルプチャンバ６５．６７が設けら
れている。バルブチャンバ６５．６７はボン！吸入され
る流体の流れを規制するポンピング流体切換手段８４．
６６をそれぞれ含んでいるため、流体はポンピング流体
入口、ｊｅ−ト２６を通ってハウジング内へ吸入朴ると
共に、ポンピング流体出口ポート２７を通ってハウジン
グ外へ排出される。図示例の場合１．Ｊ？ポンピング流
体切換手段組合わされた２個の傘−口ばし状バルブ６４
．６６から成り、これらバルブがそれぞれ外側チャンバ
６０．６２及びポンピング流体ポート２６．２８と流体
連通している。

第１の傘−口ばし状バルブ６４社傘状部分７ｏを有し、
チャンバ６５内の圧力がポンピング流体出口ボートの圧
力より低いと、この傘状部分７ｏが穴開きバルブプレー
ト７１に当接してパルプチャンバ６５を流体出口ポート
２８がらシールする一方、チャンバ６５内の圧力が出口
ポートの圧力より高いと、傘状部分７ｏが湾曲し吸入さ
れた流体を第１の外側チャンバ６０及びパルプチャンバ
６５からポンピング流体出口ポート２８へと移動可能に
する。バルブ６４はさらに口ばし状部分７６を含み、両
チャン”６５）６０内の圧力が入口ポートの圧力より低
いと、口ばし状部分７６が開き吸入された流体をポンピ
ング流体入口ポート２６からパルプチャンバ６５を通シ
第１の外側チャンバ６０へと移動可能にする一方、両チ
ャンバ６５．６０内の圧力が入口ポートの圧力より高い
と、口ばし状部分７６が閉じ流体の流入を妨げる。

同じように、第２の傘−口ばし状パルプ６６も傘状部分
７４を有し、これによって吸入された流体が第２の外側
チャンバ６２からポンピング流体出口ボート２８へ移動
するのを可能にする一方、流体の反対方向への移動を妨
げる。又バルブ６６は口ばし状部分７２を有し、これに
よって流体がポンピング流体入口ポート２６がら第２の
外側チャンバ６２へ移動するのを可能にする一方、流体
の反対方向への移動を妨げる。

流体モータ１０の組立ては、次のように行われる。スプ
ールバルブ３４．ピストン３０，３２をつ女ぐロッド３
３及び傘−口ばし状パルプ６４゜６６をハウジング中央
部１４内の所定位置に挿入する。次にダイアフラムシー
ル５２．５４とピストン３０．３２を所定の場所に固定
した後、ハウジング両端部１２．１６を位置決めし、ボ
ルト止めあるいはその他周知の手段で固定する。この際
、ハウジング両端部１２．１６が、ダイアフラムシール
５２．５４を所定の位置に締付ける。本発明の流体モー
タ１０は従来のモータよセはるかに信頼性が高くなるだ
けでなく、シールの交換等補修が必要なときは、ハウジ
ング両端部１２，１６の（２１） りち一方を外すだけで簡単に補修ができる。ハウジング
両端部１２．１６のいずれかを外せば、スフ’　−／ｌ
／　Ａシブ３４を取シ除くことができ、０リング４０も
全て交換可能である。

上記のように構成された流体モータ１ｏの動作を次に説
明する。第１及び２図に示すように、スプールバルブ３
４が第１の位ｔっｔ、ｂボール４８゜５０が環状溝４４
に嵌合する位置にあるとき、作動流体は作動流体入口ポ
ート２２とスプールバルブ３４内の第１内部導管３６を
経て、第１の内側チャンバ５６へと入る。同時に、第２
の内側チャンバ５８内にある作動流体は、スプールバル
ブ内の第２内部導管３８と第２の作動流体出口導管２５
を経て排出される。これによって、第１のピストン３０
に高い圧力が作用する一方、第２のピストン３２には低
い圧力が作用するため、両ピストンは左方向へ移動する
。両ピストンが左方向へ移動すると、第１の外側チャン
バ６ｏ内にあった流体は傘−口ばし状バルブ６４の傘状
部分７ｏを通じて汲み出され、デンビング流体出口ポー
ト２８を経て−・ウジングの外へ出る。同時に、吸入さ
れた流体は、ポンピング流体入口ボート２６と第２傘−
［１ばし状）Ｚシブ６６の口ばし部分７２を通シ、第２
の外側チャンバ６２内に引き入れられる。第２ピストン
３２が左方向へ移動すると、スツールバルブ３４の右端
にあるバネ４２に当接する。バネ４２は、第２ピストン
３２から加わる力が充分大きくなり、環状溝４４と嵌合
する？−ル４８゜５０によって与えられる保持力を上回
るようになるはで、第２ピストンからの力を吸収し貯え
る。

保持力の方が相対的に小さくなると、ポール４８゜５０
は環状溝４４から外れ、バネ４２に貯えられていた力が
解放される。この結果、スツールバルブ３４は左方向へ
押され、ポール４８．５０が今腿は環状溝４６と嵌合す
る。

ここで今スノールノ９ルブ３４は第２の位置にあｐ１作
作動体の内側チャンバ５６．５８との連通が逆転する。

すなわち、作動流体は作動流体入口ポート２２と第２の
内部導管３８を経て第２の内側チャンバ５８へ入る。こ
れと同時に、第１内側チヤンバ５６内の作動流体は、第
１の内部導管３６と第１の作動流体出口導管２４を通っ
て排出される。これによって、ｍ２ピストン３２に高い
圧力が加わる一方、第１ピストン３０には低い圧力が加
わることになるから、両ピストンが今度は右方向へ移動
する。この結果、第２の外側ナヤンパ６２内にあった吸
入流体は、バルブ６６の傘状部分７４とポンピング流体
出口４−）２８を経て汲み出される。又同時に、吸入流
体はポンピング流体入口ボート２６と第１バルブ６４の
口ばし状部分７６を通り、第１の外側チャン・々６０内
へと引き込まれる。この状態は、第１ピストン３０がス
プールバルブ３４の左端にある／Ｊネ４２にぶつかり、
バネ４２を圧縮して紀２の環状溝４６から？−ル４８．
５０を移動させるのに充分な力が生ずる時点まで継続す
る。そしてこの時点に達すると、？−ル４８，５０が第
１の環状溝４４へ嵌合するまで、スツールバルブ３４は
再度右方向へ移動し、スプール・々ルブを第１の位置へ
戻す。その後は、同様なプロセスが繰シ返される。

このように、本発明の上記実施例によれば、２つの動作
位置をとるようにした１つのスツールバルブから成る簡
単な切換手段が得られる。スツールバルブの移動は、自
らの前後動につれてスツールバルブを押動するピストン
と、ピストンから加わる力をそれがバネ付のが−ルで与
えられる保持力に充分打ち勝つ大きさになるまで貯える
と共に、打ち勝つ大きさに達すると貯えられた力を解放
しスプールバルブを別の位置へ移動させるバネと、スプ
ールバルブを２つの動作位置に停止させるバネ付？−ル
とによって制御きれる。この機構は簡単で、流体連通が
正確な時点に開閉するよう容易にタイミングを合わせる
ことができ、支障やつっかえが生じる可能性を減じ且つ
スムースな動作を確実に行えるようにバランスされてい
る。さらにこの機構は、従来の装置と比べ摩損が少いは
かシでなく、誤動作が生じた場合にも容易に補修できる
。又本発明の装置では、ポンピングされる流体のバルブ
切換えが簡単化されるから、−ングの信頼性も向上する
。

（２５） 以上説明した一例は本発明の好ましい実施例に過ぎず、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できること
は当業者にとって自明である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って作られた流体モータの断面図、
第２図は第１図に示した流体モータの拡大破断断面図で
、スツールバルブをその２つの動作位置に停止させる手
段を示す図である。 １０・・・流体モータ（ポンプ）、１２，１４，１６・
・・ハウノング各部、１８・・・第１シリンダ、２０・
・・第２シリンダ、２２・・・作動流体入口）ｊ’−）
、２４゜２５・・・作動流体出口導管、２６・・ポンピ
ング流体入口ポート、２８・・ポンピング流体出口ｙｌ
ｅ　−ト、３０・・・第１ピストン、３２・・・第２ピ
ストン、３３・・・ロッド、３４・・・スツールバルブ
、３５・・・孔、３６・・・第１内部導管、３８・・・
第２内部導管、４０・・・０リング、４２・・・バネ、
４４．４６・・・環状溝、４８．５０・・・ゾール、４
９．５１・・・横断穴、５２゜５４・・・ダイアフラム
シール、５６．５８・・・内（１１１１チヤンバ、６０
．６２・・・外側チャンバ、６１．６３（２６） ・・・導管、６４．６６・・・ポンピング流体切換手段
（傘−口ばし状バルブ）、６５．８７・・・パルプチャ
ンバ、７０．７４・・・傘状部分、７１・・・穴開きバ
ルブプレート、７２．７６・・・口ばし状部分。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ａ、相互に固着された第１及び第２のピストン； ｂ、それぞれ第１及び第２ピストンが内部に装着される
   ように配置された第１及び第２のシリンダを有するハウ
   ジング； Ｃ０該両ピストンと対応する両シリンダとの間をそれぞ
   れシールする第１及び第２のフレキシブルシール； ｄ、該ハウジングに設けられた作動流体を受は入れる入
   口ポートと、該作動流体を排出するための第１及び第２
   の出口導管； ｅ、まず作動流体を該第１シリンダへ供給し且つ第１の
   位置にある該第２シリンダから排出し、次に作動流体を
   該第２シリンダへ供給し且つ第２の位置にある該第１シ
   リンダから排出することを交互に繰シ返すための手段で
   、孔内において動作し該第１と第２位置を交互にとる１
   個のスプールバルブから成る作動流体切換手段； ｆ、該スプールバルブの周囲をシールするための手段； ｇ、該作動流体切換手段を該第１と第２の間で移動させ
   るだめの手段；及び り１両シリンダ内の交互に増減する圧力によって生じる
   両ピストンの運動から該作動流体切換手段を動作するの
   に必要な力を引き出すだめの手段； から成ることを特徴とする流体モータ。 ２、　ａ、　　相互に固着された第１及び第２のピスト
   ン； ｂ、それぞれ第１及び第２ピストンが内部に装着される
   ように配置された第１及び第２のシリンダを有するハウ
   シング； Ｃ０該両ピストンと対応する両シリンダとの間をそれぞ
   れシールする第１及び第２のフレキシブルシール； ｄ、該ハウジングに設けられた作動流体を受は入れる入
   口ポートと、該作動流体を排出するだめの第１及び第２
   の出口導管； ｅ、まず作動流体を該第１シリンダへ供給し且つ第１の
   位置にある該第２シリンダから排出し、次に作動流体を
   該第２シリンダへ供給し且つ第２の位置にある該第１シ
   リンダから排出することを交互に繰シ返し、第１及び第
   ２シリンダとそれぞれ常に流体連通ずる第１及び第２の
   内部導管を備えたスプールバルブから成る作動流体切換
   手段であって、該スツールバルブが２つの異−）だ位置
   へ移動可能であり、第１の位置において第１内部導管が
   入口ポートと流体連通し且つ第２内部導管が第２の出口
   導管と流体連通し、さらに第２の位置において第１内部
   導管が第１の出口導管と流体連通し且つ第２内部導管が
   入口ポートと流体連通するよう彦手段；及び ｆ、該作動流体切換手段を該第１及び第２位置の間で移
   動させるだめの手段； から成ることを特徴とする。流体モータ。 ３、上記のフレキシブルシールが、転動形グイアフラム
   と、上記第１及び第２位置で作動流体切換手段を停止さ
   せる手段とから成ることを特徴とする特許請求の範囲第
   １又は２項に記載の流体モータ。 ４、スプールバルブを第１及び＠２位置の間で移動させ
   るだめの上記手段が、スプールバルブへ力を加える上記
   両ピストンから成り、さらに該両ピストンから加えられ
   る力を貯えると共に核力をスツールバルブへ伝えるため
   のバネをスプールバルブの各端に備えることを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項に記載の流体モータ。 ５、上記スツールバルブが第１及び第２のシリンダを接
   続する孔内に位置し、さらに両ピストンがスプールバル
   ブの方へ移動したときそれぞれの２ストンがスツールバ
   ルブの端部に設けたバネに当接するように、スツールバ
   ルブが両シリンダ内へ突き出ていることを特徴とする特
   許請求の範囲第４項に記載の流体モータ。 ６、　上記１個のスプールバルブが第１及び第２シリン
   ダとそれぞれ常に流体連通する第１及び第２の内部導管
   を有し、且つこれらの内部導管を入口ポート及びそれぞ
   れに対応した出口導管とへ変互に流体連通させることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の流体モータ。 ７、作動流体切換手段を第１及び第２の位置に停止させ
   るための上記手段が、スプールバルブの外周面に形成し
   た溝と、該溝に嵌合する２つの対向したバネ付ボールか
   ら成ることを特徴とする特許請求の範囲第４項に記載の
   流体モータ。 ８、スツールバルブを第１及び第２の位置に停止させる
   だめの上記手段が、スプールバルブの外周面に形成した
   第１及び第２の環状溝と、相互に対向して配置され且つ
   両溝にその反対側で嵌合する２個のバネ付ゴールとから
   成り、（５） 該両ボールが第１環状溝に位置合せされたとき該環状溝
   と嵌合してスツールバルブを上記第１の位置に停止させ
   る一方、上記第２ピストンがスツールバルブを押したと
   き、両が一ルが第１環状溝から外れて第２ｇＩ状溝の方
   へ移動し、スプールバルブを上記第２の位置に停止させ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第４項に記載の流体
   モータ。 ９、上記フレキシブルシールのそれぞれが対応するシリ
   ンダを内側と外側チャンバへ分割し、該内側チャンバの
   それぞれが上記の作動流体切換手段と流体連通してお）
   、上記ハウジングがさらに該円外側チャンバと流体連通
   したポンビ／グ流体人出口ポート及び該ポンピング流体
   人出ロポートと該円外側チャンバの間に設けられた醪ン
   ピング流体切換手段を有し、上記両ピストンの移動によ
   って吸入流体を該ポンビ／グ流体入口ポートを経てハウ
   シング内へ汲み入れると共に該ポンピング流体出口ポー
   トを経てハウジングの外へ吐き出すよう（６） に該ポンピング流体切換手段が動作することを特徴とす
   る特許請求の範囲第１又は２項に記載の流体モータ。 １０、　　上記のポンピング流体切換手段が組合わされ
   た２個の傘−口ばし状バルブから成ることを特徴とする
   特許請求の範囲第９項に記載の流体モーフ。 １１、ａ、　　ポンピング流体人出ロポートと１作動流
   体入口号？−トと、第１及び第２の作動流体出１］導管
   とを有するノ・ウジング； ｂ、該ハウジング中に形成された第１及び第２のシリン
   ダ及び、該第１及び第２のシリンダ内にそれぞれ装着さ
   れ、相互に固着された第１及び第２のピストン； Ｃ１それぞれ一方のピストンとそれに対応するシリンダ
   の間をシールし、各シリンダを内側及び外側のチャンバ
   へ分割するように作動する第１及び第２のフレキシブル
   シールであって、両外側チャンバが該ボンピング流体出
   入口ポートに流体連通し、側内側チャンバがそれぞれ対
   応する作動流体出口導管と作動流体入口ポートに流体連
   通されるようなシール；ｄ、該側内側チャンバと作動流
   体人出口ｙｌｅ−トの間に配置され、第１の内側チャン
   バに常時流体連通された第１の内部導管と第２の内側チ
   ャンバに常時流体連通された第２の内部導管とを有し、
   ２つの異った動作位置へ移動可能なスツールバルブであ
   って、第１の位置にあるとき、第１の内部導管が作動流
   体入口ポートに流体連通し且つ第２の内部導管が第２の
   作動流体出口導管に流体連通する一方、第２の位置にあ
   るとき、第１の内部導管が第１の作動流体出口導管に流
   体連通し且つ第２の内部導管が作動流体入口ポートに流
   体連通するようなスプールパルプ；及ヒ ｅ、　ポンピング流体人出日月？−トと両外側チャンバ
   の間に配置され、該両ピストンの移動によって吸入流体
   をポンピング流体入口ポートを経てハウジング内へ汲み
   入れると共にポンピング流体出口ポートを経てハウジン
   グの外へ吐き出すように動作するポンピング流体切換手
   段； から成ることを特徴とする流体作動式ポンプ。 １２、上記のポンピング流体切換手段が、それぞれ両外
   側チャンバ及びポンピング流体人出口と流体連通する２
   個の組合わされた傘−口ばし状バルブから成ることを特
   徴とする特許請求の範囲第１１項に記載の流体作動式ポ
   ンプ。 １３、　一対の内部シリンダと、該シリンダ内にそれぞ
   れ配置された一対のピストンとを有し、シリンダ内の両
   ピストンがシリンダ内で交互に生ずる作動流体の圧力に
   よって移動されるハウジング； 該ハウジングに形成され、両ピストンと流体連通ずる１
   ！ｇ１及び第２の＞Ｗンビング流体チャンバ； 該ハウジングに形成され、該両ポンピング流体チャンバ
   と流体連通するポンピング流体人出口デート；及び ポンピング流体人出ロポートと雨月ｆンビン（９） グ流体チャンバの間に配置され、該両ピストンの移動に
   よってポンピング流体が４２ンピング流体入ロボートを
   経て汲み入れると共にポンピング流体出口ボートを経て
   吐き出すように動作する一対の組合わされた傘−口ばし
   状バルブ； から成ることを特徴とする流体作動式ポンプ。 １４、　　それぞれがピストンとそれに対応したシリン
   ダの間をシールするように動作すると共に、織布強化ポ
   リマーから成る一対の転勤形ダイアフラムシールをさら
   に備え、該強化用織布がダイアフラムシールの最内外径
   よシも手前で終端しておシ、織布の繊維を介して流体が
   浸透するのを防いでいることを特徴とする特許請求の範
   囲第１３項に記載の流体作動式Ｉンプ。 １５、第１及び第２の内部導管を有するスプールパルプ
   をさらに備え、該内部導管のそれぞれが対応するシリン
   ダと常時流体連通しておシ、該シリンダへの加圧作動流
   体の供給と該シリ（１０） ン〆からの作動流体の排出を交互に行うことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１４項に記載の流体作動式号？ン！
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