JPS5943342A - 湿度センサ材料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は湿度の測定、１５１制御及び調節等を行うに際
（７て用する湿１Ｂ、センザ材料に関するものである。

近年、セＩ（々の分野で湿度の測定、制御及び調節が行
われ、高性能でありかつ小型軽量で取扱いが簡単な電気
式湿度センサ材料の要求が高く、これらの開発が活発に
行われている。そして一般にり゛ゞルマニウノ１、セレ
ン、シリコン半導体ヲ用イタモの、金属酸化物を用い／
ζもの及び酸化働手：・ｎ体を用いたものなど多くの湿
間センーリ相１１Ｉが知らｊしでいる１、 しかしｒルマニウノ・、セレン、シリコン１’　；ｊ＋
ｆ＋を用いたものは、材料の安定イしに長時間を要し′
特性の再現性や安定ｔｆ：に多くの間）１′パがあυ、
待（ｌζ−セレンについてＣ，毒性にも問題がある。又
金に、’％　ｔｉ”、化物を用いたものは全般的に抵抗
が１７６＜ガ用性に−としいきらいがあり、酸化働手２
．す１１＼を用いたイ）のには例えばマグネタイトの如
く肖！黒−リ・イクルを（よる特性のヒステリシスが大
きく、片／ｃぞ７１．ものブ稗；％１４過程にお、ける
熱処理によって該マダイ・タイト（Ｆｅ３Ｏ４）の表面
が徐々に酸化しで７’４ｐ″ｅｚＯｑに変化１７易いた
め、’ｆｂ”　を生の安定１生が爬、い　又ｆｌｌ＋に
へ□１ｒ＋３０゜＋ＴｉＯ！系ｒ　５ｎ０４−＋−５ｂ
ｔＯｓ系＋　Ｌｉ、、Ｕ−Ｆｅ２（、）、糸へ゛・ｔの
酸化物半導体を用いたものは、−ソ、の１１へＩオーが
低く、製造方法も複雑で、工程数が多いフ（二めＩＩｊ
現１り１宿竹性の安定性がどうしても低く／Ｊ、、：］
のがｙｒｔ目られない。

このように、従ニ・（二の一般に知らｉ　シた溝！、＋
Ｂ＜４ヒンザ利料にＱ：１、いろいろな未解決の問題が
あり　、　’！’！＋’に低Ｈ，Ｈ１一度毎（域から高
を星度領域の広範囲にわたってＵモ抗？ｊ化が急峻で直
線的であり、ヒスプリシスが力、＜、かつ低湿度領域に
コ・・いても実用上測定＜ｊｆ献な抵抗価をもち安価に
１業的に製造しゃすい等の上４１２望′＋２、わ、る１
冒］ハ（の’ｔ、Ｊ”　１山をイイするものｈｅｒ、　
！混在のところ皆ｊＪｔ’ｊで２らるとｉつ−ＣもＭ’
ｌ　Ｕではンよい。

ここ、に木地ｌ’ｉ明凸ｊ、（Ｆは、に記のような間！
、、ｊｉ毛、解決するため、種々の研究を行っブこ結果
、ｊｌｊｊ腎”１５材としＣ？ｆ記する一般式で表わさ
れる合成リン脂ｊ１４［七ツマ。

（これらをｙ江汁し〕ζ・Ｉ′り一′、尤たｔよこれら
ケ？昔（高し７′こ、！？すＺの少くとも１紳を用いる
こ、ニーによジ湿度鉢化に応じ′Ｃの抵抗がｕＩ線的に
大きく衆化し、低湿度領域においでも実用上′６１１定
”Ｊ　ｆｉｇ　７１７：抵抗値をもち、かつ湿度λ化に
対して殆んど行ｔｋのヒス１リンスがない等のｉ“ｉ％
い特性金示し、しかも安価で大ｈ１−生））゛Ｃ円能な
湿１ノ支ｉｙンサ材料が１１すられることを見出しこの
発明に１１］達したのである５、即ちこの発明ン」１、
一般式、 − （式中Ｘは−Ｃ’ｉＴｓ又ｔＪ、−Ｈ，Ｉ乞はビニル基
等を菖む重合可能な基、又ｎ、　＆よ整数を表わす１、
）で表わされる合成リン脂質モノマー、これら１．−　
ｊ！（合したンｊ？リマーまたはこれら′ｆｆ：斉４４
１イ与したポリーマーの少くとも１種を感湿利として用
いたことｔ　／Ｉ’、ｈ徴とする湿Ｕ（センザ材料であ
る。

本発明における感湿＋４（ｒ；Ｌ　、　−Ｆ、記の一般
式で示されるように極１生基をもつリンＪ１′ＩｊｊＪ
］（と１則鎖に（中々の置換基をもつビニルモノマが結
合した＋１’Ｌ　；１ｊｌｊ　’ｆイｊするものである
。これらの感湿イ〕におけるＩβ涛冒’ｉＢ＆、＋、極
性基をもつリン脂質が本Ｔｔ的な役割を担っているもの
と考えられ、即し、本発明による上記の／ｌ＋２湿利か
すぐれた特性を示す理由が該Ｊｉへむ、１４４の（１ｆ
ハス要素としての構造式に示した如き分子内に一対のイ
オンをもつリン脂質に依存し、該、リン脂／Ｅ）ｉ、の
一対の・イ勿ンが、１　ｆＦ、ｌのｌＩ、０分子の吸脱
シｉ′イに関−Ｉｊシて八′るためＨ，２０分子の吸脱
着点１！ｌ″ｉ：Ｊ：枦へめで−Ｆｉ＋、　（かつ定電
的にイｊわれるものと考えられる。又本発明においてそ
の感湿’ｒ＃　ｔｆｆｋ　＆ユ上記一般式で示したＸ。

）え及びｎによる種類にｔ−を依存しないものと考えて
良い、 次に、一般式で表わされる本発明による感瀞旧にお０る
Ｉｔは、！１”４にビニル基等衾含む重合可能な基の多
種のものが考えられ特にこれ全特定のものに限定する会
費性は少ない。しかＩ〜このＲが次の基、即ち Ｃ）ｂ　＝　ＣＸ ■ ＣＪ、’ｂ　””　ＣＸ Ｃ０Ｎｌ−ＩＣ）ｂ−−２又（′ｊ二 又ｉ、ｊ　−１ｆ　ｃｉｔものりよ、’ｊＡ　段１’ｌ
’５で（、？１ら７）”ｊ＜　：Ｉ４ｒ的Ｋ　；ＩＦｆ
Ｊ兄できりト帛′（・（上“（ｆげ−ご・−らることｊ
シ１１７ｊ　％：３でき／、の−Ｃイノ−±しい１、目
来、水元り「１によるＩｈｉ’、　ｌ実ヒンν−ト１料
Ｃ土ｔｉ己Ｘ、ｌｊ：メ　ｎ　以外の４ｔｔｈｉ　ｔｌ
：基の　リ　ン′Ｊ石：ｌ’ｊ　’ａ：　　几−ｔｒ　
１十）ｉｙｒリン月旨′Ｊ斗１云ツマがにりらノＬ　ｉ
ｊ況７）合イ）　Ｃｕ１１！シー（−ノリ６目才・［と
しで土？ｉｂ　’ｃ　（既；ｌ）回４Ｍ　Ｏ，−）　Ｉ
Ｙｇ＋　湿’１７　を土ｙ：ｉ：　ＪｉＪＩ　ｉｔ’ｐ
　ａ　ｔｔ　ｈ。

この発り、１月において上ンＩＳシたｌ、・、＼イ′□
、透イＪｏｃン胃／ｉ−ニイ１乙゛Ｊ−心ための材料と
しては’、Ｊ’Ｌ　’Ｉ”ｊ”的に、１１ （１１１２”　ｎ ａｔ？ １１２ Ｃ１（３ ポリメタクリル酸メチ７Ｌ−ＣＨ，ｓ Ｌ　　Ｃ Ｃ−０−Ｃｆ−ＩＳ。

１ ｔ、）−Ｃ−Ｃ４ｂ １ ＣＨ１ ＮＮ′−人口・ンビスアクリルアミド ｃＨ２−二ＣＨｅｌｌ　−二ａ　ｔ。

１ ＣＯＮＩ−１−（゛月、　　心、１ｉ（−Ｃ（’）等が
最も好ましく用いられる１、叉上記Ａ１：ζｊｉｌ！ｊ
　＊、ｔ　ｌニガラス、セラミック等をａ、３（ｉとす
る多孔ｙｒ体Ｑ′＜−菖ｒ、！−させたオーク成で用い
るのも非′７１九に好ましい１、以下実施例と共にへ発
明とり、外的に１．イ、す１４イ）５、実施例１ 感湿利とし２−Ｏ１１□・・造式、 Ｃｌｌ、。

薯 ＣＨ２＝Ｃ − 即ら２−（メタクリロイルオキシ）−エチル−２−−（
トリメブールアンモニウム）−エテルホスホネートのリ
ン脂質モノマ１１及びＮＮ′−メブシンビスアクリルア
ミド０．０５Ｆを蒸留水３．５ｍｅに持拌溶解し水溶液
を−！ｊ！’ｌ製した。こｉ＞をガラスフィルタを通（
７て沖ｊのシた後減圧脱気し的ちに図１に示すようなり
シ型金電極を形成したＡｔ２０３セラミツク基板上にス
ピンコ　トして薄ｎ・Ａを形成させた。

しかる後２５０Ｗ晶圧水銀灯を３１１−！Ｊ間前照射７
で〕ｌ（合させて感湿１１１：＼とした。

−カ一対のクシ！−１り金’Ｔｔ　４（ｑ　ｉ、ｉ：　
Ａ４　ｏｓ　セラミツクツｆ板上に金・く〜スミ−ラス
クリーン印刷し篩温で焼成して形成さ所た。士たリード
線４７′ｊ、リード取付部−４−の感溝ＩＪＬｊを剥自
１（７でリー　ドｐＡを接経：し湿度センザセルとした
。

第１図においで１はＡ４０３士ラうツクノ、（Ａ；・・
、２゜３　ｔＪ、その同一面上にクシ型に１□（）りら
れ７′ｉＴ拓、（化５．１゜５　ｉ、、Ｌ　コノ１１Ｊ
ｙ　＋？、２１３　Ｋ−ｔ　７１（’：／ｌ［）’ｇ　
；Ｘ　ｊｌ、りり一ト線である。′曲（１気２，３間の
市’、ｒ、Ｌ　：ｌｌＶ抗と屯気谷）−ｉを測定周波数
１．２０１１乙、　１１Ｇ■ｚ及び１０バｒ−ＩＺとか
えて測定した９、 第２図１、この湿１庄センーリセルに９いて、周？７．
１４数Ｉ　ＫＨｚで測２ト１〜た揚台の相対洞ｊｕ−に
９’Ｊ　７ｆｚ）抵抗イ；：゛１を対数で示したＩＰ！
１′性図で、′ら９、回ｉ゛＋（＋からこの浄ｔｌ、Ｑ
−センザ材料は、広いｆｉｉｉｊ　ＩＪ）−→ｊｉＬ囲
に１）左、って４−１（わｉ、　ｆｉｉ’＋の対数がｉ
ｎ、線面に、かつン急峻に変化−，Ｊる（−とがねＺ？
・る。しかも、２０チの低湿度（〈−も・いても！ｊに
抗イ１１′目、１、はｌ？ｉ″１０７Ωと測定しうるｔ
ｉ’ｉ：；囲にＱ、１、いり′（−いる　７−二お、測
定周波数をかえで１８＋１１屋し、りζソ）負も相対性
ｉ’；　ｆ、Ｉ′ｊｉに対する抵抗値にＣ」殆んど変化
は品められ庁か−；）た。

次に第３図は、周波数を〃１えで（↑ＩＩＩ定し１７−
１゛−ｓ合の相対湿１隻と電気キマーとの門竹畳イ示（
７図中ＦＬ　ｉｌ、　１．２０ＫＬ−１ｚ　、、ｂ←Ｅ
ｌｌへＨ−７，−ｃ　６」、１　（ｌ　ＪＧ１７．にｊ
、−りる１ｉｉＣｉ（＋る。同図〃＼ら中温Ｊｐ”ｒ−
４ｊｊｊ　域７ｊｚら＋１ｉ１ｉ’Ｍ　ｊ、！＞（’ｐ
ｊ（Ｊ、ｒ７９　ｆｉ−ｉ、＞　ｐＩ　Ｚ）で１０．気
Ｗ　Ｍ　＆：Ｉ、スイツヂ的に増大しかつその変化用Ｖ
よ低周波数はど人きいことがわかる。

同様に湿度ザイクル試験を行ったがヒステリシスｔま殆
んど閂めらノ１ず、応答速度も極めて早いこと’ｋ　＊
　Ｒｔ、　ｆｒニー。

なお図示した例は典型的なものであるが、本発明の湿度
センヤ材料金用いれば、組成の相異により若干の勾配の
違いがあるにぜよその傾向は同じで　イｈ　つ　ブこ　
。

更にこの実力ｔｔｉ　ｆ！’１１乞）、合成リン脂ｔ′
１モノ−ｒ−の紫夕■Ｐ昌←合による商号（−ＤＩ′’
Ｗであるが、他の例えば溶液ｊ■を合、塊状Φ合等、辿
猟の重合方法でＩｉＮ合し、高分子１ｆｆＪ、ｌ・し〃
二ものでも良いこと（Ｊ、云うまでもない３、この実施
例のｌＨｌ　（オ発明による湿再七ツーリ゛旧料ｅ１１
、茜分子薄＋１−１＝’！の（Ｎ成で用いるＣ−とがで
きるため、極めで早い応答孔１＾ｆＩを示すこと、ｊ匣
形成が容易である（−とから安価で、犬お一生燕が口１
能である利点をイ【している。

実施例２ 台用”５＼形成＋−（料として示゛リビニルアノシコー
ルに：加ズたΔ・；曹イ利に一ついてカニ　−ｆ−、，
２−（メタクリ［＋イルオキシ）　：Ｊ−７’−ルー２
−（トリメチルアン壬！−ウノ・）エチルポスボネート
のリン脂ｉ−ｔツマ１２、ポリビニールアル：ｊ−ル０
５２、及びＮ　、　Ｎ’−メチｔ／ンビスＪ’クリルア
ζｌ・゛（１，０５ｔ　ｆ蒸留水８５ｍｅにＵ：、　ｆ
ｉｔ　ｆｌＭ　ｊ’ｌｌ！Ｉ、　ｉ、−水ｆ：’：　’
ＩＰ　Ｌ’−より実ハ゛（１イ（１１１と同様の方ｌ）
、にでＡｔ、　０．十シミツク基板−Ｊ二に感湿膜を形
成した。

第４図にこの湿１．（１センリ十四の１−１へＨｚ＆１
．」、・りる相対湿度−Ｐ、、、；気抵抗竹１（１を示
１゜、同［ン１（・（−よ］１ば一＋４施例１に比べ−
やや抵抗値が面いが、−１，１，ｌ；　Ｊ−ｒ：白１１
１の対外（はやｔ；１：υ直糾的にｙ化している（−と
がわかイ、）、周ｉ７！Ｊ、数　１−　か　え　て　１
ｌｌｌｌ　ｆ　　ｔ、プｃ　＋４　　汗　も　−丁　１
１己　１ｉＪ　Ｊ、’＋ｉ、　イビ１　に　’／＋ｉ　
／ｒ５　Ｌｉ１ｉ、みらｉｌ、なか−）ｆＣ。

次に第５図に回５（・藪に用対湿用−１１・＋　”、Ｅ
　′行ｊ、、ＩＩ１口・Ｉｈ：示（−だが、同図から’
、ｔｘ〕ｔＱＨ（ＸＩＪ　］、　ｉη但７’Ｌ：曲約−
Ｚ”・（・）す、立し上がりが、ｌ：　ｆ）篩？Ｗ　Ｉ
＝Ｗ、　ｆ、：１　、Ｅ　ＶＣＥ′、−’　？いるＣ“
−９とがわかる。こＩｔはボ′リビご４、ルア刀こトー
ルを力ＩＩ　；＜八−（−とによりリン）敗Ｊｉ４尤の
１（川か一３０分ｊへミ少Ｉ、ｊ代抗イト１が若；Ｆ　
＋ｔｆ１＜な−）ていＺ）ことに１２．）ものとＩ′）
五１．ｊ）る３、しかし、感度、＋ａ＾答速度などの特
性は′、）（）施βｔ＋＋　ｉと回等であり、台Ｂ７．
４形成利料を用いることによりより強い良Ｉｊｊ４の薄
膜が得られることが認められる。

なお、この実施例２の相対湿度−′Ｉｌ、気抵抗特性に
おいて、７暖１焦セン゛リセルの市、極楢造をかえる０
とにより７；１．気抵抗値を下げることができる。又こ
の場合−卜述した一般式で表わされた湿ＩＷ十ンサ＋イ
料のうら、Ｘが−ＣＨ５、ＲがＣ１１２＝ＣＣ二〇 ０　　（ＣＨ，２）ｎ−、 ■が２の２−（メタクリルロイルメキシ）エヂ２レー２
−（）！７メチルアンモニウム）、エチルホスホネート
の合成リン脂ｈモノマに対（〜て曹腓形成材料と１−で
ポリビニルアルコールを用いた例を示したが、ポリエチ
レンイミン、ポリーＬ−アラニン等他の水溶性高分子重
合体を用いても感湿特性ｔ；Ｌ同様の傾向企示しブζ。

更に他の合成リン脂式モノマ全用いた場合゛、各々の合
成リン脂質モノマ又ｉ↓これらを重合したポリマが漕力
′（′する溶媒にＩｊＪ清な高分子重合体を合成形成材
料に随時用いることができる。例えば上Ｉ尼一般式で、
Ｘが−ＣＩＪ、、１（がＣＨ，、二・（：Ｃ＝　０ （）−（ＣＨ，）。−５ ｎが１０の１０−　（メタクリ「Ｊイルオキシ）−デシ
ル−２−（）　ＩＪＪｔルアンモ；、つ１１）ニブール
ホスポネートの合成リン脂質モノマ又はこれを７１１合
したポリマけ、ジメチルホルム・アミドに溶庁ｒｉるた
め、ジメチルホルムアミドに司沼な、ポリメタクリル〔
孜メチル、ポリ（Ａ化ビニル等の高分子７（ｉ合体を薄
膜形成材料として用いることができ同材の感湿特性を示
すものであった。

又、この実施例では、合成リン脂１’ｃ　’ｃ　ｉ（＜
自したポリマと台Ｂへ形成月別とよりなる湿Ｉノ、（セ
ンツ材料を用いた例を示したが、上記１〜／こと同４−
ｆ；に０成リン脂質モノマと薄膜形成月料とよりなる湿
Ｉ焦十ンザ材料も同様に用いられ略同１．（ｒｉな感湿
！１￥ｌ’ｌを小−シ。、実施例３ ２−（メタクリロイルＡキシラエチル　２−（トリメチ
ルアンモニウム）ニブールホスホネートのリン脂質上ツ
マ−１２を蒸留水１　ｍｅに溶解し、その水溶液を両面
に角、極を設けた多孔質ガラス板に含νさぜ７７−３、
得られたセンザセルのＩ　ＫＨｚにおいて測定した、相
対湿度−霜、気抵抗特性を第６図に示す２、同図から、
合成リン脂質モノマを多孔質材料に含浸させた湿屋セン
サ月料が、実施例１゜２で示（７たと同様に浸度変化に
対して抵抗値の対数が直線的に急峻に変化しており、か
つ低湿度領（−入においても抵抗値Ｕ実測可能な値を示
すことが明らかでちる。

かかる合成リン脂質毛ツマあるいはこれらを重合したポ
リマを多孔４ｉｊ利料に含浸させる構成の群ＩＪ１．セ
ン・す月料ヲｊ、その製ｙａが極めて容易である利点が
ある。

以−Ｆの説明から明らかなように本発明による湿匹セン
ヤＨ料即ち感湿（（によれｉ、「、広い湿度範囲にわた
って相対湿度に対−する抵抗［１“（の対数が直ＰＪ１
的かつ勾配が急峻であるため、品感μ（な湿度セ／“す
をイする（−一ができる。又、７足裏ザイクルによるヒ
ステリシスが殆んどなく、低湿度領域に於いても実用上
測定可能な抵抗値をイ１しでｊ、−り応酋速１ノ１−が
イ低めて早いことによるｒｓｖｘ　＋主の良いずぐＪｔ
た実用的ガ湿良センザ全得ること〃・できる３、ヌ相対
湿度と電気容量との関係で、そのスイッチ的な！１“！
￥　ｔ’ｔ′を利用して高感度なン・λ点センザとして
使用できる等々産業機器、家庭？ｊｆ、化製品、に・（
扛（Ｕ後置ｍ広い分野の湿度制御を必要とする分ｌＩｌ
］″に利用１しで優れた効果を期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に↓る湿度センリ旧旧企Ｊ１」い−ζ、
↑１ｙ成した湿度センザセルの１０１１ｆ小ず平面１２
−１、（゛（九２図は第１の実施例における相対ｉＪ１
へ１９−と抵抗との関係を示す特性図、第３図な−（同
相対７！＋’Ｊ、問と札、気谷」１．との関係全示す特
性図、第４１”Ｘｌ及び第５図１１−　’ｆ：れぞれ第
２の実施例における２ｒ３２　、第：目ソ（１に対応す
る％　１生はｌ、帛６図り、２Ｉル３の実力１）ｄｌ−
１にＪ＝、−ける爪２図に対応する４＆　１％図であ２
）。、１・・・ＡＬ２０ｇセラミック基（反、２，３　
クシ刃１リス）λ′虻す１本べ、　　４　　、　５　・
・　リ　　−　ド線。 第１図 ２　　１　　　　　　　０ ０　　　　２０　　　４−０　　　６０　　　８０　　
　１００ネｎ対シ界度（プ） 第３図 ネ目　対三界度（％） ０　　　　　２０　　　　４０　　　　６０　　　　８
０　　　　１００ネＨ文寸　二）４ハ１　　（％） ０　　　　２０　　　４０　　　６０　　　８０　　　
　ｔｏ。 木目　文杓星　バ〔（％） 木目文）三１２ハ〔（％） 手続補正書 昭和・年□月　′１−１ ７１、旨：′］庁長官若杉和夫　殿 １、−１］１件の表示 湿度センザ材料 ３　補止を１＝る者 ’、１ｌｆｌとの関係　　　　　特　ｎ’ｔ　　出願ノ
（（０２９）沖電気工業株式会社 ７１　　代　１２１１　　ノ＼、 ’　　？）ｌｉ　ｉｒ：命’７　ノ１．”ｌ　（’Ｊ’
　　　ｆｌｆｌ　ｆｌｌ　　　年　　月　　１１　（自
発的）（３，浦１１′のλ１象 ４＞　Ｎ”ｌ請求の師、囲、発明の詳細な説明の（岡７
−１ｉ１ｉ１１の内容 に償び／１　′ （１）　　本願の特許請求の範囲を別紙のようにＷＪｌ
−ｔＥ　−Ｊる。 （２）　　明細書７頁の式、 ＣＨ２＝ＣＸ Ｃ０Ｎ１：（−ＣＨ２− を次式、 ＣＨ２二ＣＸ ■ Ｃ０ＮＨ（Ｃ）＆　）ｎ− に削正する。 （、つ）同９頁のポリメタクリル酸メチルの式を下記の
如く訂正する。 １ ０］ （４）　　ＩＭＪ　１０　真のポリエチシンデレフタレ
−１・の式を下記の如く削正する、 特許請求の範囲 （１）−・般式、 １ Ｒ−ＯＰ　　Ｏ（ＣＨ２）２　Ｎ＋Ｘ３□ 〇− （式中Ｘは−ＣＨ，、又は−１■、■心はビニル基等を
含１−１＝重合可能な基、又ｎは整数を表わす、）で表
わされる合成リン脂質モノマー、とＪｌらを重合し−に
ポリマーまたはこれらを架橋しプこポリマーの少くとも
１種を感湿相として用いたことを／ｈ徴とするｊ！ｉｉ
“７度セン′す相オ・Ｉ。 （２）ｌＩ′存ｔ′１゛請求の範囲（１）項における感
溝イ」が一般式、１ Ｒ−０−Ｐ−０−（ＣＨ２）、、Ｎ　Ｘ３〇− で表わされ、かつ人中のＲが ＣＨ２＝　ＣＸ Ｃ（ＪＮＲ−（ＣＨ２）、−、又は ｎ　ｆ弓整叔を表わすものである ことをｒｒ＊徴とするン′φ度）こンザＦ’＋’　２−
１’　Ｑ（剖Ｑ’＃　ｔＴ”ｇ？４求（Ｄ　！ｉ）　ｔ
ｔｒｌ　第を項ｍ＋載の合ＤＶ、　’ｊ　７脂’、ｉ′
（七ツマ−５これらを重合した。」？リーｒ、−また（
・、１、ζ、れ１）を架橋したポリマの少くとも１　ｆ
ｉｌｉと、れ９膜形成イ」刺としての茜分子Ａ１合体と
かしなること金１１ツ徴とする湿度センザ相料。 （４）前記薄ルΔ形成相科とし一〇、水、アルコール、
クロロホルム＋ツメチルホルムアミドに可溶な市。 分−ｆ重合体、例えはポリビニルアルコール、月１＝　
ＩＪエチレシンミ／、ボ１７−　ｆ、−フ゛ラニン、ポ
リビｔ７リドン、デンプン、グリコ−ダン、ンｊとリメ
タクリルｍメ＝ｙル、７式すスチレン、ポリ塩化ビニル
、ポリ耐酸ビニル、ポリエチレンプレフタＬ／−ト、エ
ポギシ樹脂等の少くとも１種を用いた特ｄ′ｆ請求の範
囲第２項記載の湿度センサイ」料。 （５）１時計請求範囲第１項記載の合成リン脂質モノマ
又に１、こね、し１車イ１したポリマ舌：、ガラス、セ
ラミック′：、９−からなる多孔質材ｔ１に含υさぜた
ことをＱ！ｊ　ｒｉ文とすルア（ＩＩｊＩｆセンリ゛相
料。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）一般式、 １ ＲＯＰ　　Ｏ（ＣＨｔ）　Ｎ＋Ｘｓ 〇− （式中Ｘは＝Ｃ）ｉｓ又は−Ｈ１ｉｔはビニル基等を含
   む重合可能な基、又ｎけ整数を表わす３、）で表わされ
   る合成リン脂質モノマー、これらを重合したポリマーま
   たはこれらを架橋したポリマーの少くとも１種を感湿材
   として用いたことをｌ特徴とする湿度センザ利料。 （２、特許請求の範囲（］）項における感湿利が一般式
   、１ Ｒ−０−Ｐ−０−（Ｃ１ｉ））２Ｎ　　Ｘｓ− で表わされ、かつ式中のＲが ＣＨ２＝ＣＸ 暑 ＣＩｈ＝ＣＸ Ｃ０ＮＩＩ　　Ｃ１Ｉ２−１　　又ｔ」−ｎは整数を表
   わすものである ことを特徴とする湿度センサ（゛」料。 （３）特許請求の範囲第１項Δ己載の合成リン脂１′ノ
   士ツマ−１これらを重合したポリマ、またＣ」これらを
   架橋したポリマの少くとも１（・ｎと１．Ｉ７　＋１１
   ′１形成（３料としての高分子、曳合捧とからなイ）Ｃ
   とを′１、“ｌ″で孜とする湿度センサー料。 （４）前記薄膜形成拐料として、水、アルコール、クロ
   ロホルム、ジメチルホルムアミドに可溶な高分子重合体
   、例えばポリビニルアルコール、ポリエチレンイミン、
   ポリーＬ−アラニン、ポリピロリドン、デンプン、グリ
   コーゲン、ポリメタクリル酸メチル、ポリスチレン、ポ
   リ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリエチレンテレフタ
   レート、エポギシ樹脂等の少くとも１種を用いた特許請
   求の範囲第２項記載の湿度センサ材料。、 （５）特許請求範囲第１項記載の合成リン脂質モノマ又
   はこ・れらを重合したポリマを、ガラス、セラミック等
   からなる多孔質材料に含浸させたことを特徴とする湿度
   センザ材料。