JPS5943865A - 防振合金材料の加工法 - Google Patents
防振合金材料の加工法Info
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- JPS5943865A JPS5943865A JP15254382A JP15254382A JPS5943865A JP S5943865 A JPS5943865 A JP S5943865A JP 15254382 A JP15254382 A JP 15254382A JP 15254382 A JP15254382 A JP 15254382A JP S5943865 A JPS5943865 A JP S5943865A
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- vibration
- alloy material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は例えばｌｉ”ｅ−Ｃｒ−、Ａｌの３７［；素
から成る防振合金材料のダンピング効果を低下させるこ
となく表面の機械的特性を増すための蒸着法と防振材料
の加工法に関する。
から成る防振合金材料のダンピング効果を低下させるこ
となく表面の機械的特性を増すための蒸着法と防振材料
の加工法に関する。
金属材料が構造材料として広く一般に使われるのは、そ
の優れた強度による。その金属材料は、しばしば入間に
とって、きわめて耳ぎわすな騒音を発生する。最近、金
属材料の騒音による労働災害の問題が犬きく取り上げら
れ、それ（（半ない振動、・吸音防止用の所らしい防振
片歌材料が開発された。防振材料は、金属材料に大きな
減Ｎｔ＋ヒを兼ね備えさせろことができればよい。減尺
能とは振動エネルギーを熱に変える能力をいう。ｐｉ音
防止のＢｆ否は、せ金の内部摩擦に依存するものである
。
の優れた強度による。その金属材料は、しばしば入間に
とって、きわめて耳ぎわすな騒音を発生する。最近、金
属材料の騒音による労働災害の問題が犬きく取り上げら
れ、それ（（半ない振動、・吸音防止用の所らしい防振
片歌材料が開発された。防振材料は、金属材料に大きな
減Ｎｔ＋ヒを兼ね備えさせろことができればよい。減尺
能とは振動エネルギーを熱に変える能力をいう。ｐｉ音
防止のＢｆ否は、せ金の内部摩擦に依存するものである
。
内部摩擦が大きいほど、減衰効果は著しくなり、共鳴曲
線も偏平となり、共鳴振幅が小さくなる。
線も偏平となり、共鳴振幅が小さくなる。
これらの防１辰材料は、・血度がｉ＊ ′ｆにつれ防敗
係数が反比例的に減少するＩ・項四がある。これらの防
振８歌を分類すると、（１）複む型、（２）強磁性型、
（３）転位型、（４）双晶型に分けらｈる。
係数が反比例的に減少するＩ・項四がある。これらの防
振８歌を分類すると、（１）複む型、（２）強磁性型、
（３）転位型、（４）双晶型に分けらｈる。
このような材料を機械設計の中で構造材料として用いる
ならば、機械騒音をその音源に陸いて抜本的に解消する
ことが期待できる。しろ・１〜、を幾械構造材料として
用いるためには、機械部品仕様に適合した特性を保持し
なければならない。一般に機械部品材料はａ造、鍛造及
び冷間引抜き一俸の＞参炭硬化したものが使われる。鋳
造及び虚漬品は、一般に防振台金の複合型が１吏われる
。しかし、１幾械部品の可動部、例えばエンジンのロッ
カー゛アーム、タペット及びタベットクチガネ等は靭性
及び機械的強度が安来されるため、冷間引抜き鋼棒をガ
ス 炭硬化処理など行なって１史用されている。
ならば、機械騒音をその音源に陸いて抜本的に解消する
ことが期待できる。しろ・１〜、を幾械構造材料として
用いるためには、機械部品仕様に適合した特性を保持し
なければならない。一般に機械部品材料はａ造、鍛造及
び冷間引抜き一俸の＞参炭硬化したものが使われる。鋳
造及び虚漬品は、一般に防振台金の複合型が１吏われる
。しかし、１幾械部品の可動部、例えばエンジンのロッ
カー゛アーム、タペット及びタベットクチガネ等は靭性
及び機械的強度が安来されるため、冷間引抜き鋼棒をガ
ス 炭硬化処理など行なって１史用されている。
そのため、機械部品の可動部が、騒音の発生源となり、
エンジンメーカーは、２次加工性の良好な強磁性型防振
合金材料の１発に注目している。強磁性型のナイレンタ
ロイは２次加工は４易であるが、２次加工後、磁区壁調
整に、温度１０００±２００ ’０でサイレント処理を
行なうため、表面が軟質化され耐摩耗性に弱く、構造機
械部品への１．６用ができなかった。その対策として、
硬ｉｔクロームメッキ処理にてナイレンタロイの表面硬
化をｒｊなったが、その結果はメッキ層の欠陥冶度が尚
く基板界面での残留応力による振動減衰能が低下するな
どの欠点があった。また蒸着法も試みたが、プラズマエ
ツチング処理のみでは振動減衰効果は良好であるが、基
板界面の結合力に影響する耐摩耗性が変動するなど蒸着
処理柔性の設定が最大の課題であった。
エンジンメーカーは、２次加工性の良好な強磁性型防振
合金材料の１発に注目している。強磁性型のナイレンタ
ロイは２次加工は４易であるが、２次加工後、磁区壁調
整に、温度１０００±２００ ’０でサイレント処理を
行なうため、表面が軟質化され耐摩耗性に弱く、構造機
械部品への１．６用ができなかった。その対策として、
硬ｉｔクロームメッキ処理にてナイレンタロイの表面硬
化をｒｊなったが、その結果はメッキ層の欠陥冶度が尚
く基板界面での残留応力による振動減衰能が低下するな
どの欠点があった。また蒸着法も試みたが、プラズマエ
ツチング処理のみでは振動減衰効果は良好であるが、基
板界面の結合力に影響する耐摩耗性が変動するなど蒸着
処理柔性の設定が最大の課題であった。
この発明の目的は、構造機械部品の騒音の発生源となる
可動部品材料に、加工性が谷易な１）Ｉ振廿裟材料ザイ
レンタロイの応用に関［７、靭性を保持し機械的特性を
満すだめの右４截着処理を行なっても、振動減衰能を保
持するザイレノタロイの加工法を佛供するものである。
可動部品材料に、加工性が谷易な１）Ｉ振廿裟材料ザイ
レンタロイの応用に関［７、靭性を保持し機械的特性を
満すだめの右４截着処理を行なっても、振動減衰能を保
持するザイレノタロイの加工法を佛供するものである。
この発明に係る防振什釡材料ナイレノタロイの機械的特
性を増すだめの加工法は、冷延鋼棒及び鍛造鋼材を用い
、’？’ｒ＋部品檀度にＩＪＩＩ工した女、サイレント
処理（＋０００±２００”Ｃ）を行なったものに、規定
の厚さの金＋Ｉｉ蒸着を行なっても、防振合接材料ナイ
レンタロイの扇動減衰能を１呆待ｌ〜でなることを特徴
としている。その蒸着法は九空紫肩、スパッタリング、
・イオンプノーティング及び反応性’−ＩＬＪ（ＡＫ）
を用い全て一達成された。防県ｉ：を椴材料すイレンタ
ロイＪｌ（板と暎界面の請は力ば［）ＩＩ処理幼果に依
存する。その前処理幼果は湿式洗滌とプラズマエツチン
グを併用することにより達１戊された。
性を増すだめの加工法は、冷延鋼棒及び鍛造鋼材を用い
、’？’ｒ＋部品檀度にＩＪＩＩ工した女、サイレント
処理（＋０００±２００”Ｃ）を行なったものに、規定
の厚さの金＋Ｉｉ蒸着を行なっても、防振合接材料ナイ
レンタロイの扇動減衰能を１呆待ｌ〜でなることを特徴
としている。その蒸着法は九空紫肩、スパッタリング、
・イオンプノーティング及び反応性’−ＩＬＪ（ＡＫ）
を用い全て一達成された。防県ｉ：を椴材料すイレンタ
ロイＪｌ（板と暎界面の請は力ば［）ＩＩ処理幼果に依
存する。その前処理幼果は湿式洗滌とプラズマエツチン
グを併用することにより達１戊された。
サイレンタロイの振動減衰能を保持しつつ、耐摩耗性及
び表面の機械的性質を増すための蒸着条件は蒸着速度、
反応ガスの種類、基板温度及び堆積膜厚に依存するため
、規制する必要がある。蒸着法を用いて金属及び金属酸
化物被膜を形成し、機械的性質を増したサイレンタロイ
は、硬ペクロームメッキを施したものと比べ振動減衰能
が格段に憂れ、未処理丈イレンタロイと同等であること
が確認された。
び表面の機械的性質を増すための蒸着条件は蒸着速度、
反応ガスの種類、基板温度及び堆積膜厚に依存するため
、規制する必要がある。蒸着法を用いて金属及び金属酸
化物被膜を形成し、機械的性質を増したサイレンタロイ
は、硬ペクロームメッキを施したものと比べ振動減衰能
が格段に憂れ、未処理丈イレンタロイと同等であること
が確認された。
上述したナイレンタロイの機械的特性を増すための金属
及び金４・酸化物を形成し７てなる蒸着法は、前処理と
して溶剤超音波洗滌及びプラズマエツチング処理を充分
性なった後、蒸着法を用いて歌属及び金属「酸化物を形
成することによって容易に生産することがある。
及び金４・酸化物を形成し７てなる蒸着法は、前処理と
して溶剤超音波洗滌及びプラズマエツチング処理を充分
性なった後、蒸着法を用いて歌属及び金属「酸化物を形
成することによって容易に生産することがある。
この発明によれ、′ば、Ｆｅ−Ｃｒ−４１の３元系合金
からなる防１辰台今材料ナイレンタロイを基材とし、蒸
着法を用いてＰｉ及びＣｒを３μ以上−１０μ以下の膜
厚を形成することによりサイレンタロイの靭性を保持し
つつ表面のｆ＠械内的特性増すことができ、しかも、振
動減衰能を保持した１、弯造用１慢織部品への活用をｒ
ＩＴ化にしたものでろろ。蒸着法（・こｔり表面の［炎
内的特性を１冑した防糸材料リ−イレ／りＩＪイは、エ
ンジン寺に利用ｆろことにｔす・所１ｆせが格段と減少
し、労１動災告の間、？１ｉへのＩｆｆ決の糸１」とな
るものである。
からなる防１辰台今材料ナイレンタロイを基材とし、蒸
着法を用いてＰｉ及びＣｒを３μ以上−１０μ以下の膜
厚を形成することによりサイレンタロイの靭性を保持し
つつ表面のｆ＠械内的特性増すことができ、しかも、振
動減衰能を保持した１、弯造用１慢織部品への活用をｒ
ＩＴ化にしたものでろろ。蒸着法（・こｔり表面の［炎
内的特性を１冑した防糸材料リ−イレ／りＩＪイは、エ
ンジン寺に利用ｆろことにｔす・所１ｆせが格段と減少
し、労１動災告の間、？１ｉへのＩｆｆ決の糸１」とな
るものである。
上述した防帳合金材料のブイレンタロイｊｆよ、腹合型
の二礎鉄用防振行金と併用することｉＣより所皆硼もよ
り効果的に減少することがｔＵｊ寺ＣきＡものでめろ。
の二礎鉄用防振行金と併用することｉＣより所皆硼もよ
り効果的に減少することがｔＵｊ寺ＣきＡものでめろ。
以′Ｆ図面を参照して、この績明を詳イ１１１に、説明
する。第１図は、この発明に糸る防糸訃（φ材料ナイレ
ンタロイのイオンブレーティング族ａ ｔｂによる捲着
の１列である。；８１図の特徴ゲよ、放電ガスの吸蔵に
よる格子欠陥密度の減少と蒸着膜の耐摩耗性向上のため
に、ガス放電によるプラズマエツチングと蒸着工程を分
離させた装、置である蒸着用基板（１濠は基板取付用ド
ラム（５）に取付けられ定求ノにで回転すると共に個々
の基板も膜厚を均一にするために回転方式を採用した。
する。第１図は、この発明に糸る防糸訃（φ材料ナイレ
ンタロイのイオンブレーティング族ａ ｔｂによる捲着
の１列である。；８１図の特徴ゲよ、放電ガスの吸蔵に
よる格子欠陥密度の減少と蒸着膜の耐摩耗性向上のため
に、ガス放電によるプラズマエツチングと蒸着工程を分
離させた装、置である蒸着用基板（１濠は基板取付用ド
ラム（５）に取付けられ定求ノにで回転すると共に個々
の基板も膜厚を均一にするために回転方式を採用した。
イオンブレーティング蒸着法は排気１調節弁（２）を開
放し高真空排気系（３）により真空槽（１）を１０−３
〜１０ ’ Ｔｏｒｒにした後、磁界（、［■Ｋｊるガ
ス放電発生器（９）のアノード１８）とカンードｆ１３
１間にプラズマ（ｌυを発生させプラズマエツチング処
理を行ない、その後抵抗発熱器（６）の蒸発源（力から
気化された蒸気流Ｂｉ３を基板（１（ト）に均一に蒸着
させる方式を採用した。また、金属酸化物等の蒸着はガ
ス導入口（４）から反応ガスを尋人ｌ−蒸着を行なった
。
放し高真空排気系（３）により真空槽（１）を１０−３
〜１０ ’ Ｔｏｒｒにした後、磁界（、［■Ｋｊるガ
ス放電発生器（９）のアノード１８）とカンードｆ１３
１間にプラズマ（ｌυを発生させプラズマエツチング処
理を行ない、その後抵抗発熱器（６）の蒸発源（力から
気化された蒸気流Ｂｉ３を基板（１（ト）に均一に蒸着
させる方式を採用した。また、金属酸化物等の蒸着はガ
ス導入口（４）から反応ガスを尋人ｌ−蒸着を行なった
。
第２図は上述した蒸着方式によりＣｒｔ’ｌ’ｒ及びＴ
ｉｅｚを蒸着した試片を用い、片持梁の撮動減衰形態を
示した線図である。線図は縦軸に振幅（ｒｕｍ ）横軸
に時＋ｂ’１（ｓｅｃ）をとり振ｌＩｇ変化を示した線
図。
ｉｅｚを蒸着した試片を用い、片持梁の撮動減衰形態を
示した線図である。線図は縦軸に振幅（ｒｕｍ ）横軸
に時＋ｂ’１（ｓｅｃ）をとり振ｌＩｇ変化を示した線
図。
（２人）は防ａａ＝金Ｆ”ｅ −Ｃｒ−Ｍ、 ３元什
歌のシ゛イレント処理なしのｌ辰動減衰杉態を示した庫
図。
歌のシ゛イレント処理なしのｌ辰動減衰杉態を示した庫
図。
（２Ｂ）はサイレント処理したもの及びＣｒ＊Ｔｉ＊Ｔ
ｉＯ２を蒸着した試片で振動減衰能の艮好なものの線図
である。蒸着前の前処理条件と蒸着膜厚分布による防振
効果の有無は、片持梁の憑４減衰線図から容易に求めら
れる。例えば、金属の前処理に一般に利用されるサンド
ブラスト処理と溶剤洗滌を併合し艶ものと溶剤洗滌のみ
のものにクロームを３μ蒸着した試片の撮動減衰１１斐
図から対数減衰率（ｌｏｇ ｒ１／ｒ２＝δ）を求めた
結果、ナンドブラスト処理品は、艮好な振動減衰率を１
０１とした場合、対数減衰率が４０チも低Ｆ Ｌ、た。
ｉＯ２を蒸着した試片で振動減衰能の艮好なものの線図
である。蒸着前の前処理条件と蒸着膜厚分布による防振
効果の有無は、片持梁の憑４減衰線図から容易に求めら
れる。例えば、金属の前処理に一般に利用されるサンド
ブラスト処理と溶剤洗滌を併合し艶ものと溶剤洗滌のみ
のものにクロームを３μ蒸着した試片の撮動減衰１１斐
図から対数減衰率（ｌｏｇ ｒ１／ｒ２＝δ）を求めた
結果、ナンドブラスト処理品は、艮好な振動減衰率を１
０１とした場合、対数減衰率が４０チも低Ｆ Ｌ、た。
従って、強磁性形の防振合金材料の振動減衰４ノ果は蒸
着時の前処Ｌ′！ｌ！条件及び蒸着条件とそのＩ膜厚に
依存するものである。
着時の前処Ｌ′！ｌ！条件及び蒸着条件とそのＩ膜厚に
依存するものである。
第３図は第１図の蒸着法により蒸着した試片の膜厚に対
する対数減衰率（δ）の低下と硬＋ｆ変化を示した線図
。第３図で得られた蒸着条件は、（１）蒸着時の真空度
５Ｘ１０−３〜１０ ’ Ｔｏｒｒ、 Ｌ２）堆積速度
０．５μ〜１μ／分、（３）到４に突変１０ ’Ｔｏｒ
ｒであった。第３図は横軸に蒸ＮＩ膜厚、左縦ｌｌｌ１
ＩＩにサイレント処理剤の減衰率を１００９！＋とし、
蒸）／１模厚による対数減衰率の低下を１００分率で示
し、右縦軸は谷＆Ｆ属膜厚に対するマイクロビッカース
硬度（ＨＭｖ） Ｚ化を示し、蒸着！漠の機械的性質の
変化と防（辰功果の関係を表わした。線図（３υは、ク
ロームの蒸着膜厚と対数減衰率の低下を示す１礫図、線
図い２はクローム蒸着膜厚と硬度変化を示す線図。線図
１刈はチタン蒸着膜厚と硬度変化を示す１腺図である。
する対数減衰率（δ）の低下と硬＋ｆ変化を示した線図
。第３図で得られた蒸着条件は、（１）蒸着時の真空度
５Ｘ１０−３〜１０ ’ Ｔｏｒｒ、 Ｌ２）堆積速度
０．５μ〜１μ／分、（３）到４に突変１０ ’Ｔｏｒ
ｒであった。第３図は横軸に蒸ＮＩ膜厚、左縦ｌｌｌ１
ＩＩにサイレント処理剤の減衰率を１００９！＋とし、
蒸）／１模厚による対数減衰率の低下を１００分率で示
し、右縦軸は谷＆Ｆ属膜厚に対するマイクロビッカース
硬度（ＨＭｖ） Ｚ化を示し、蒸着！漠の機械的性質の
変化と防（辰功果の関係を表わした。線図（３υは、ク
ロームの蒸着膜厚と対数減衰率の低下を示す１礫図、線
図い２はクローム蒸着膜厚と硬度変化を示す線図。線図
１刈はチタン蒸着膜厚と硬度変化を示す１腺図である。
左属チタン膜は、膜中の酸素の配位数によって硬度も増
大するが、その硬度変化は蒸着時の酸素分圧にべ存する
。・窮４図は蒸着膜の耐摩耗性を解析した線図である。
大するが、その硬度変化は蒸着時の酸素分圧にべ存する
。・窮４図は蒸着膜の耐摩耗性を解析した線図である。
耐摩耗性の試験はサイレンタロイ嘴板に蒸着クローム膜
厚１０μを形成したものを用い、鋼球に硬質クロームメ
ッキ及び蒸着法にて被覆したクローム膜を試片とし、被
覆された／−球と鋼板を接触させ、鋼球に荷重２ ｋｇ
、速度０．６１７１／分の条件で鋼板上を作動さぜ、
作動距ｉ碓に対する鋼球の摩耗量を試験路ｒ後超音波洗
滌と乾燥を行ない、重駄減で示す方法を採用した。縦軸
は摩耗４ｔ（ｍｇ）横軸は移動距離（ホ）で示した。、
茗４図の実線は蒸着クローム膜の膜厚による摩耗量の変
化を示し、点線は硬質クロームメッキ膜の摩耗量の関係
を表わした線図である。
厚１０μを形成したものを用い、鋼球に硬質クロームメ
ッキ及び蒸着法にて被覆したクローム膜を試片とし、被
覆された／−球と鋼板を接触させ、鋼球に荷重２ ｋｇ
、速度０．６１７１／分の条件で鋼板上を作動さぜ、
作動距ｉ碓に対する鋼球の摩耗量を試験路ｒ後超音波洗
滌と乾燥を行ない、重駄減で示す方法を採用した。縦軸
は摩耗４ｔ（ｍｇ）横軸は移動距離（ホ）で示した。、
茗４図の実線は蒸着クローム膜の膜厚による摩耗量の変
化を示し、点線は硬質クロームメッキ膜の摩耗量の関係
を表わした線図である。
第４図の線図（４１）は蒸着クローム１漠厚４．／ＩＺ
！Ｊ）６１１図、線図Ｉ侶ｓ ｔ４２１は蒸着と硬質ク
ローム膜・ツキ膜厚３μの線図。線図（４３ｐ ｔ４′
ｊｊは蒸着と硬質り１コームメ・ツキ膜厚１０μの線図
である。
！Ｊ）６１１図、線図Ｉ侶ｓ ｔ４２１は蒸着と硬質ク
ローム膜・ツキ膜厚３μの線図。線図（４３ｐ ｔ４′
ｊｊは蒸着と硬質り１コームメ・ツキ膜厚１０μの線図
である。
第４図の耐摩耗性の解析結果は、湿式り・１−ムメッキ
と蒸着では明らかに摩耗量が異なることを示した。摩耗
量の相Ａは湿式メッキでは電析中に陰イオンの吸着によ
る格子欠陥密度の」・θ大が１酎摩耗性を１氏丁させる
ことである。
と蒸着では明らかに摩耗量が異なることを示した。摩耗
量の相Ａは湿式メッキでは電析中に陰イオンの吸着によ
る格子欠陥密度の」・θ大が１酎摩耗性を１氏丁させる
ことである。
以Ｆに、防振合金材料ナイレンタロイの防振効果を保持
しつつ、表面のＦ＆械的特性を増まための加工法に関し
、クローム及びチタン模の形成法と膜厚形成範囲を設定
した本発明の具体的）！：θｍ例をあげ説明する。
しつつ、表面のＦ＆械的特性を増まための加工法に関し
、クローム及びチタン模の形成法と膜厚形成範囲を設定
した本発明の具体的）！：θｍ例をあげ説明する。
〔実肩列１〕
防振合金材料サイレント処理の表面の機械的性質を増す
ために、硬質クロームメツキをＩ進こし、膜厚に対する
対数減衰率を測置した結果、硬質クロームメッキの対数
減衰率（δ）は膜厚によって低Ｆするが、サイレント処
理片の対数、減衰率を１００俤とし相対比を取った場合
、膜厚１μでも４０チと低下した。従って第４図から耐
摩耗性と振動減衰率等を考慮した場合、硬゛成りローム
メッキによるナイレンタロイの機械的性質の改質では殆
んど幼果はみられなかった。
ために、硬質クロームメツキをＩ進こし、膜厚に対する
対数減衰率を測置した結果、硬質クロームメッキの対数
減衰率（δ）は膜厚によって低Ｆするが、サイレント処
理片の対数、減衰率を１００俤とし相対比を取った場合
、膜厚１μでも４０チと低下した。従って第４図から耐
摩耗性と振動減衰率等を考慮した場合、硬゛成りローム
メッキによるナイレンタロイの機械的性質の改質では殆
んど幼果はみられなかった。
〔実施例２〕
蒸着時の前処理による振動減衰率と耐摩耗性の相関を求
めた結果、第１図の装置を用い、プラズマエツチング処
理だけのものは振動減衰率は良好であるが、耐摩耗性が
悪く歩留も６０チ程度であった。また前処理のサンドブ
ラスト処理に溶剤超音波洗滌を併合したものと、溶剤超
音波／７Ｉｌ：滌のみによる金属環４後の振動減衰率を
解析した結果、サンドブラスト処理を肩こしたものは、
対数減衰率（δ）で４０優も低ドしたが溶剤超音波洗滌
條のみのものは、対数減衰率（δ）がナイレント処理片
と同等で歩留も９９チと向トした。
めた結果、第１図の装置を用い、プラズマエツチング処
理だけのものは振動減衰率は良好であるが、耐摩耗性が
悪く歩留も６０チ程度であった。また前処理のサンドブ
ラスト処理に溶剤超音波洗滌を併合したものと、溶剤超
音波／７Ｉｌ：滌のみによる金属環４後の振動減衰率を
解析した結果、サンドブラスト処理を肩こしたものは、
対数減衰率（δ）で４０優も低ドしたが溶剤超音波洗滌
條のみのものは、対数減衰率（δ）がナイレント処理片
と同等で歩留も９９チと向トした。
〔実施例３〕
全４蒸着法のスパッタリング法を用い蒸着し耐摩耗性を
評価したところ、スパッタリング模では耐摩耗性が悪く
蒸着後４００′ａ以上で熱処理を行なうと耐摩耗性が艮
くなる傾向を示した。スパッタリング模の耐摩耗性の低
−ドは、蒸着時のグラズマガスイオンの吸蔵による格子
欠陥密度の増大が原因でちる。従って、スパッタリング
法で蒸着する場オけ、スパッタ膜形成後、４００”０以
上のｌ温度で脱ガス処理を行なう必要があった。
評価したところ、スパッタリング模では耐摩耗性が悪く
蒸着後４００′ａ以上で熱処理を行なうと耐摩耗性が艮
くなる傾向を示した。スパッタリング模の耐摩耗性の低
−ドは、蒸着時のグラズマガスイオンの吸蔵による格子
欠陥密度の増大が原因でちる。従って、スパッタリング
法で蒸着する場オけ、スパッタ膜形成後、４００”０以
上のｌ温度で脱ガス処理を行なう必要があった。
〔、Ｉ！怖副列４
〕タン蒸着の場合、活性化反応１ｔ％）蒸着も試みたが
、その反応ガスには、Ｎ２・０２・Ｃ：（４ｔＯ２等を
用いた。Ｎ２とＣ１（４ｔ０２では族４痒向の残留応力
が高く、振動減衰率が低下したが、０２では振動減衰率
も良好で、不活性ガスとの分圧比によって表面硬度がＡ
整できた。従−）て、図３〜４から蒸着時の厚膜による
欠陥冶度の増大を予測し、クローム膜厚と同等に規制し
たものである。
、その反応ガスには、Ｎ２・０２・Ｃ：（４ｔＯ２等を
用いた。Ｎ２とＣ１（４ｔ０２では族４痒向の残留応力
が高く、振動減衰率が低下したが、０２では振動減衰率
も良好で、不活性ガスとの分圧比によって表面硬度がＡ
整できた。従−）て、図３〜４から蒸着時の厚膜による
欠陥冶度の増大を予測し、クローム膜厚と同等に規制し
たものである。
〔実施例５〕
前処連条１は溶剤超音波洗滌とプラズマエツチング処理
を併合したものとし、第１図のイオングレーティング装
ｆｔを用い蒸着試片を解析し７とところ、第３図から防
振合金材料＋７−イレンタロイの金属蒸着ｊ膜厚とＳ動
減衰率の低下は、クローム膜厚１０μで約１０％低ドす
ることから、上限膜厚を１０μと限定した。さらに、４
４図から耐摩耗性と膜厚の関係を求め、蒸着膜厚の下限
は３μに限定した。
を併合したものとし、第１図のイオングレーティング装
ｆｔを用い蒸着試片を解析し７とところ、第３図から防
振合金材料＋７−イレンタロイの金属蒸着ｊ膜厚とＳ動
減衰率の低下は、クローム膜厚１０μで約１０％低ドす
ることから、上限膜厚を１０μと限定した。さらに、４
４図から耐摩耗性と膜厚の関係を求め、蒸着膜厚の下限
は３μに限定した。
従って、Ｃｒｙ’ｒｉ及びｒｉＯｚ、ｄ厚が３μ以上１
０μ以下に限定され、ナイレンタロイに蒸着した試片は
、第２図の線図（２Ｂ）の減衰線図と同等で、表面の機
械的１生質を向上し４造用機械部品への適用をｏＴ能に
したものである。さらに、第１図の疾１＃を用いること
により破産を１ｌＩＴ能にしたものである。
０μ以下に限定され、ナイレンタロイに蒸着した試片は
、第２図の線図（２Ｂ）の減衰線図と同等で、表面の機
械的１生質を向上し４造用機械部品への適用をｏＴ能に
したものである。さらに、第１図の疾１＃を用いること
により破産を１ｌＩＴ能にしたものである。
第１図は本発明に用いた蒸着装置ｄの１列でちる。
第２図は防振台会材料ナイレンタロイのナイレント処理
の有無と蒸着処理試片の撮動振幅の減衰形態を示した線
図。第３図は蒸着膜厚に対する振動減衰能の低下率と硬
度変化を示す線図で、振動減衰能に関する上限膜厚を規
制する線図である。第４図は硬直メッキと蒸着膜質の相
異を耐摩耗性から評価した線図で耐１≠耗性１（関する
上限膜厚を１＃制する線図である。 ■・・・真空槽、２・・・排′、ｆｔ調節升、３・・・
へ）１！排気系、４・・・ガス導入口、５・・・同転用
基板取付ド、ンム、６・・・抵抗加熱器、７・・・蒸発
源、８・・・アノード、９・・・ガス放電発生ｄ診、１
０・・パＩ化磁気コイル、１１・・・ガス放電プラズマ
域、１２・・・蒸気流、１：３・・・基板、２Ｎ・・・
サイレント処理しない基板の振動減衰線図、２Ｂ・・・
サイレント処１艷［片及び俵着片の振動減衰が良好な線
図、３１・・・蒸着試片の・辰勅減哀の低下線図、３２
・・・り【コーム礪庸莫の１莫厚による硬！ｃｃ化、線
図、３３・・・チタン薫屑模の４厚変化による硬度変化
線図、４１〜４３・・・蒸腐りローム膜厚斐化と耐摩耗
特性の線図、 ４）〜４ご・・・硬直クローム膜厚変ｒヒと耐摩耗Ｌｒ
！ｆ注の線図。 代理人 弁哩士 則 近 冴 佑 （は力１１名） 第１図 第２図 第 ３ 図 （、Ｕ〕 第４図 （η）
の有無と蒸着処理試片の撮動振幅の減衰形態を示した線
図。第３図は蒸着膜厚に対する振動減衰能の低下率と硬
度変化を示す線図で、振動減衰能に関する上限膜厚を規
制する線図である。第４図は硬直メッキと蒸着膜質の相
異を耐摩耗性から評価した線図で耐１≠耗性１（関する
上限膜厚を１＃制する線図である。 ■・・・真空槽、２・・・排′、ｆｔ調節升、３・・・
へ）１！排気系、４・・・ガス導入口、５・・・同転用
基板取付ド、ンム、６・・・抵抗加熱器、７・・・蒸発
源、８・・・アノード、９・・・ガス放電発生ｄ診、１
０・・パＩ化磁気コイル、１１・・・ガス放電プラズマ
域、１２・・・蒸気流、１：３・・・基板、２Ｎ・・・
サイレント処理しない基板の振動減衰線図、２Ｂ・・・
サイレント処１艷［片及び俵着片の振動減衰が良好な線
図、３１・・・蒸着試片の・辰勅減哀の低下線図、３２
・・・り【コーム礪庸莫の１莫厚による硬！ｃｃ化、線
図、３３・・・チタン薫屑模の４厚変化による硬度変化
線図、４１〜４３・・・蒸腐りローム膜厚斐化と耐摩耗
特性の線図、 ４）〜４ご・・・硬直クローム膜厚変ｒヒと耐摩耗Ｌｒ
！ｆ注の線図。 代理人 弁哩士 則 近 冴 佑 （は力１１名） 第１図 第２図 第 ３ 図 （、Ｕ〕 第４図 （η）
Claims (1)
- 合金成分がＦｅ−Ｃｒ−ｋｌの３元素から成る防振合金
材料を基材として、その機械的特性を満すための加工法
に関し、蒸着法を用いて、Ｉｌｌ ｊ及びＣｒ膜厚を３
μ以上−１０μ以下に形成してなることを特徴とする防
振合金材料の加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15254382A JPS5943865A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 防振合金材料の加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15254382A JPS5943865A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 防振合金材料の加工法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5943865A true JPS5943865A (ja) | 1984-03-12 |
Family
ID=15542750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15254382A Pending JPS5943865A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 防振合金材料の加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5943865A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4946747A (en) * | 1987-04-30 | 1990-08-07 | Balzers Ag | Machine element and method of making |
| CN103866322A (zh) * | 2014-03-21 | 2014-06-18 | 佛山市红利建材有限公司 | 铝材真空镀膜工艺 |
-
1982
- 1982-09-03 JP JP15254382A patent/JPS5943865A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4946747A (en) * | 1987-04-30 | 1990-08-07 | Balzers Ag | Machine element and method of making |
| CN103866322A (zh) * | 2014-03-21 | 2014-06-18 | 佛山市红利建材有限公司 | 铝材真空镀膜工艺 |
| CN103866322B (zh) * | 2014-03-21 | 2016-09-07 | 恩平建高实业有限公司 | 铝材真空镀膜工艺 |
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