JPS594412A - 空気高性能微粒子フイルタ−エレメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は主として所謂クリーンルーム化の周辺機器とし
て用いられる高性能空気ｆ過装置に関するものである。

高性能微粒子エアーフィルターエレメント（ＨＥ　Ｐ　
Ａ　：　Ｈｉ！Ｉｈ　Ｅｆｉｊｉｃｉｇｎｃｙ　ｐａｒ
ｔｉｅｕｌａｔｇＡｉｒ　Ｆｉｌｔａｒ　Ｅｌｅｍｅｎ
ｔ　）　ｋ’！捕塵率９９．９７％とされ、電子超集積
回路、高級写真フィルム、超精密、化学、医薬２機械等
の製造工場及び医療手術室等のクリーンルーム化（高度
清浄室）に欠くことのできない周辺機器として開発され
たものである。

このフィルターエレメント用のｒ材は通気の圧力降下を
防ぎ、高い捕塵率を確保するため普通硝子極細繊維（径
０．３〜０．５μｔ）を用いた極めて強度の低い薄葉紙
（厚さ約０．５♂）が使用されている。エレメントの構
造は２紙をコ状に屈曲させ、この屈曲袋溝内に、形状保
持のサポータ−用として波形に折り曲げられたセパレー
ターが挿入しである。

この驚くべき高性能をもつフィルター（捕塵率９９．９
７％）も構造上の脆弱さに問題があって、運搬中、輸送
中及び据付時の少しの衝動、持ち運び方等の一寸した不
注意の取扱いによってこの高性能が容易に破壊せられる
脆弱さを持っていることを多くの実例が内外の文献によ
って紹介されている。

本発明者はこの問題を検討した結果従来の破損率を著し
く改善する方式を見出した。以下図面を参照して詳述す
る。

第１図は従来のフィルターエレメントを説明するもので
、Ｆは１紙でありコ状ジグザグ状に屈曲され空気はＸ方
向から入りｆ紙Ｆを通過して矢印Ｙ方向に流れる。

Ａ、Ｂはエレメントの枠組の一部を示し、Ｐは接着部を
示す。

ターの谷底部は隣接する他のセパレーターの山頂部と、
又山頂部は他の異なる隣接せる谷底部とそれぞれｆ紙Ｆ
を挟持して密接（接着でない）し形態保持を維持してい
る（第１図（ロ）、（ハ）、に）参照）。

然しこの一体化形態保持能力は隣接する二層のセパレー
ターＳのそれぞれの山と谷が相対向密接して維持される
ものである（第１図（ハ）、に）参照）。若しズレがあ
ると第２図のように変位して型崩れを生じ、最悪の場合
はｆ紙ＦをセパレーターＳ端で破損傷せしめる原因とな
るものである。

これが損傷率の高い在来のフィルターエレメントの構造
的脆弱欠陥となっているものである。

こうした１紙を介して隣接するセパレーターの密接部に
ズレ（第２図のｄｈ　）が発生する原因はセパレーター
が薄板（厚さ約０．０５％）の波形状折り曲げの板金製
（例、アル゛ミ、ステンレス等）なるため波形ピッチに
製作上それ程の正確さを求め雌く、また剛性も著しく低
く、エレメント組立萌のセパレーター単体の取扱い及び
エレメント組立中の不注意によるセパレータの変形が上
述の隣接するセパレーター相互のズレとなる。尚厄介な
ことには隣接するセパレーター各個は１紙の袋内にあっ
て外見上この異状の発見が難かしい状態にある。

このズレが上述取扱いの未熟、不注意等による衝動、据
付方法の悪さによってフィルターエレメント内容物の形
態保持を崩し、事故を発生する原因となる。

即ちこのＨＥＰＡフィルターエレメントハ常・に１紙、
セパレーター及び枠組が緊縛一体となっていることが重
要な具備すぺぎ必要条件である。

以上の必要条件を具備せしめるため本発明はセパレータ
ーＳの折り曲げ波形方向を長さの方向と傾斜せしめ対向
隣接するセパレーターにおいては逆傾斜にし折り曲げる
。従って組立時隣接するセパレーターは互にその波形は
交錯する配置となる。

その互の波形傾斜角度は１つのセパレーターの波底部が
隣接するセパレーターの２つ（またはそれ以上）の波形
の波高部と対向密着するよう取る。

即ち隣接するセパレーターの波形は交錯し２点又は２点
以上で対向支持しているため如伺なるケースにも互に支
持点を外すことがない。従ってエレメントの内容物が互
に緊密に組み合され少しの衝動位では動かない構造的に
強靭なものとなる。

第３図は本発明の詳細な説明するものである。第６図（
イ）は相隣接する２つのセパレーターの分解平面図、（
ロ）は相隣接するセパレーターの積重ね斜視図、Ｃ”１
）　−Ｇ”ｔ）　、　Ｇ”＋ｓ）はセパレーターＰ紙組
の平面図、正面図及び側面図を三面図にて示したもので
ある。

Ｓはセパレーター、Ｆは１紙、０は２つの隣接するセパ
レーターの対向支接点を示す。

即ちｆ紙Ｆを挾んで隣接相対向すべきジグザグ屈折のセ
パレーターＳ＋　１８２の波形方向を通風方向に対し小
角度相互に逆向きに傾斜させ、相互の波形の山頂部及び
谷底部が相交錯するようにし、各山頂部及び谷底部が２
点又は２点以上の点０においてＰ紙Ｆを挾んで対接しＰ
紙Ｆを挾持保持する態様を示している。

、このようにして各セパレーターＳがコ状屈曲Ｐ紙Ｆの
各袋溝Ｇ内に挿入され、これ等が数十組並列にしてフィ
ルターエレメント枠内に組込まれ、ＨＥＰＡフィルター
エレメントが構成される。

尚、第５図に示される通風孔Ｈはセパレーターの上下空
間部間の流通を可能としセパレーター表裏に生ずる空気
抵抗を等分化するイコーライザーの役目を果す。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のＨＥＰＡフィルターエレメントの説明図
で、その（イ）図は一部切開斜視図、（ロ）図はＰ紙構
成の一部拡大斜視図、（ハ）図は１紙を両側セパレータ
ーで保持している態様を説明する斜視図、に）図は（ハ
）図のＣ紙保持部縁の断面図であり、第２図は従来セパ
レーターの変位状態を説明する図である。第６図は本発
明の詳細な説明するもので、その（イ）図は対向上ノく
レータ−の分解平面図、仲）図は対向セパレーターを対
向積重した斜視図、０％１）　、　（／％２）　、　（
１）１）は七ノくレータ−１紙組の配置を説明する平面
図、正面図及び側面図である。 Ｆ・・・１紙、Ａ、Ｂ・・・組枠、Ｐ・・・接着部、Ｓ
・・・セパレーター、Ｇ・・・袋溝、０・・・交錯点、
Ｈ・・・通風孔。 以　　上 に一ノ （ハ、） ′１′３　　口 （ハｆ） （Ａｓ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）、空気高性能微粒子フィルターエレメントの１紙
   をジグザグに屈曲し、その各屈曲袋溝内に波状に折り曲
   げたセパレーターを挿入して該１紙の形状保持を行うに
   当り、１紙を介し”Ｃ相接−する各セパレーターの波状
   折り曲げ方向を互に逆向きに傾斜して製作したものを装
   備することを特徴とする高性能微粒子フィルターエレメ
   ント。
2. （２）、相対向するセパレーターの相対傾斜角度がセパ
   レーターの一条の波形の山頂部又は谷底面支持されるこ
   とを特徴とする特許請求の範・囲第１項記載の高性能微
   粒子フィルターエレメント。
3. （３）、セパレーターに表裏に通じる通風孔を設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に記載
   の高性能微粒子フィルターエレメント。