JPS594429A - 真空圧入装置 - Google Patents
真空圧入装置Info
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- JPS594429A JPS594429A JP11269282A JP11269282A JPS594429A JP S594429 A JPS594429 A JP S594429A JP 11269282 A JP11269282 A JP 11269282A JP 11269282 A JP11269282 A JP 11269282A JP S594429 A JPS594429 A JP S594429A
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空雰囲気中ｉこおいて多段ｌこ配設した金
型ｌこ各々保持させた部品を加熱しｔコ伏態で圧入処理
する真空圧入装置に関するものである。
型ｌこ各々保持させた部品を加熱しｔコ伏態で圧入処理
する真空圧入装置に関するものである。
従来、この種の装置としては、金型を支持するとともｌ
こ該金型に保持させた部品を加熱する熱盤を電気ヒータ
ｌこよって加熱するものが知られている。ところが、こ
のようなも°のでは、各熱盤に設けた各ヒータ毎に電気
配線をしなけれはならないため真空チャツバ貫通部ｆこ
多数の導入端子（ヒータ用及び熱電対用）が必要）こな
り真空雰囲気の維持が困難であるとともｆこ、各ヒータ
毎１こ温度調整を行なわなければならないため温調手段
も多数を要し、また真空チャンバ内１こおける配線も複
雑１こなり、さら１こ、加熱時にヒータ絶縁材や配線材
等からガスが放出されるという問題がある。
こ該金型に保持させた部品を加熱する熱盤を電気ヒータ
ｌこよって加熱するものが知られている。ところが、こ
のようなも°のでは、各熱盤に設けた各ヒータ毎に電気
配線をしなけれはならないため真空チャツバ貫通部ｆこ
多数の導入端子（ヒータ用及び熱電対用）が必要）こな
り真空雰囲気の維持が困難であるとともｆこ、各ヒータ
毎１こ温度調整を行なわなければならないため温調手段
も多数を要し、また真空チャンバ内１こおける配線も複
雑１こなり、さら１こ、加熱時にヒータ絶縁材や配線材
等からガスが放出されるという問題がある。
本発明は、このような事情に着目してなされたもので、
従来の電気ヒータＩこよろ加熱方式に代えて、内部ｌこ
熱媒体流通空間を有してなる熱盤と真空チャンバの外部
に配設され返還された熱媒体を所定の温度に調整して吐
出する単一の温調ユニットと、この温調ユニットから吐
出される熱媒体ｆ Ｑｉｌ記貞空ヂマンパ内に導いで複
数の熱源の熱媒体流通２８間内を順次ｌこ通過さ（を通
過後の熱媒体をｎＩ記貞空ヂマンバ外へ導出さぜでｎｉ
Ｉ記温に１．１ユニット−５，返還する熱媒体循環系路
とを設けろことｆこよっＵ’、／ｌｉｌ述しＩこ問題を
ことごとく解消することができる真空圧入装置を提供す
るものでｉ）る。
従来の電気ヒータＩこよろ加熱方式に代えて、内部ｌこ
熱媒体流通空間を有してなる熱盤と真空チャンバの外部
に配設され返還された熱媒体を所定の温度に調整して吐
出する単一の温調ユニットと、この温調ユニットから吐
出される熱媒体ｆ Ｑｉｌ記貞空ヂマンパ内に導いで複
数の熱源の熱媒体流通２８間内を順次ｌこ通過さ（を通
過後の熱媒体をｎＩ記貞空ヂマンバ外へ導出さぜでｎｉ
Ｉ記温に１．１ユニット−５，返還する熱媒体循環系路
とを設けろことｆこよっＵ’、／ｌｉｌ述しＩこ問題を
ことごとく解消することができる真空圧入装置を提供す
るものでｉ）る。
以［、本発明の一実施例をＨｔ図〜第４図を参照して説
明４−ろ。
明４−ろ。
真空ヂＹシバ１内１こ複数枚の熱源２１〜２８を上ト乃
向１ｒ−所定の間隔なｉ）けで配設しでいろ。すなわ＋
”ｌ、 ｎｉｌ記各熱盤熱源〜２８は、左、右両端部を
案内ｔ１３．８＋仁スー７−イド可能Ｉこ支持さげで水
ＳＶ（こ保持、； ｉ＋、 Ｌ： １． ａ＞ ’ｒｒ
、ｎｉｌ 配室１’ｌ ＄１’ ８．８Ｉコ−定ＣＤ
間隔’ｔｔＦ＋ １７ ’（、−１ｉ’ｉｌ ｔ”１′
シｌこストッパ４・・・に、１、って所定高さ位ｔＰ：
ｆ を仁係１１゛されでいろ。そして、これら各熱［２
１〜２１＋の内部３こＩＪｌそねぞれ熱媒体でｉ）ろ湿
部が流通Ｖろ熱（１１／体流通空間５・・・が形成され
でＪ、ｉす、これら名熱源２１〜２８の外面ｌこはｎｉ
ｌ記熱媒体流通空間５１こ連通ずるｎｌ＋ｌｔ１−１６
と油流出１１７とがそれぞれ１１１１．１さけてま）る
。そし゛Ｃ１３１数段目に（Ｙ ｒＥする複数の熱源２
Ｉ、２Ｂ、２ｎ、２７の熱媒体流ｉｉＴ！空間５・・・
をラセン管８・・を介して直列Ｉこ接続１ろとともＩこ
、偶数段目１こ存在する複数の熱源２２．２４．２ｇ、
２８０）熱媒体流通空間５・・・をラセン管９・・・を
介して直列ｆこ接続しでいる。ま１．＝ １． を段目
の熱源２１の油流入口６と２段目の熱源２２の油流入口
６とを外部から真空チマンパｌ内１こ挿入しｊコ油導入
管路１１の終端ｆこ接続するとともに、７段目の熱源２
７の油流出Ｆｉｔ ７ ト８ 段目ノ熱源２８ｒｒ）油
ＭＦ、 出１−．−１７ ト’ＪＴ ｌ１ｉｌ ｉｆ［
；’ＰＬ空ヂャンバ１円から外部へ延出する油導出管路
１２の始端分岐部１２ｆＬ、１２１目こ接続しでいる。
向１ｒ−所定の間隔なｉ）けで配設しでいろ。すなわ＋
”ｌ、 ｎｉｌ記各熱盤熱源〜２８は、左、右両端部を
案内ｔ１３．８＋仁スー７−イド可能Ｉこ支持さげで水
ＳＶ（こ保持、； ｉ＋、 Ｌ： １． ａ＞ ’ｒｒ
、ｎｉｌ 配室１’ｌ ＄１’ ８．８Ｉコ−定ＣＤ
間隔’ｔｔＦ＋ １７ ’（、−１ｉ’ｉｌ ｔ”１′
シｌこストッパ４・・・に、１、って所定高さ位ｔＰ：
ｆ を仁係１１゛されでいろ。そして、これら各熱［２
１〜２１＋の内部３こＩＪｌそねぞれ熱媒体でｉ）ろ湿
部が流通Ｖろ熱（１１／体流通空間５・・・が形成され
でＪ、ｉす、これら名熱源２１〜２８の外面ｌこはｎｉ
ｌ記熱媒体流通空間５１こ連通ずるｎｌ＋ｌｔ１−１６
と油流出１１７とがそれぞれ１１１１．１さけてま）る
。そし゛Ｃ１３１数段目に（Ｙ ｒＥする複数の熱源２
Ｉ、２Ｂ、２ｎ、２７の熱媒体流ｉｉＴ！空間５・・・
をラセン管８・・を介して直列Ｉこ接続１ろとともＩこ
、偶数段目１こ存在する複数の熱源２２．２４．２ｇ、
２８０）熱媒体流通空間５・・・をラセン管９・・・を
介して直列ｆこ接続しでいる。ま１．＝ １． を段目
の熱源２１の油流入口６と２段目の熱源２２の油流入口
６とを外部から真空チマンパｌ内１こ挿入しｊコ油導入
管路１１の終端ｆこ接続するとともに、７段目の熱源２
７の油流出Ｆｉｔ ７ ト８ 段目ノ熱源２８ｒｒ）油
ＭＦ、 出１−．−１７ ト’ＪＴ ｌ１ｉｌ ｉｆ［
；’ＰＬ空ヂャンバ１円から外部へ延出する油導出管路
１２の始端分岐部１２ｆＬ、１２１目こ接続しでいる。
そし−にれら各始端分岐部１２ａ 、 １２１．＋ ｔ
こは、それぞれ流量制御弁１３．１４が介Ｒシテｉｌ）
ル。まｊ、−１ｆＩ！Ｉ ＮＬ’＋各熱盤２熱源２８相
互間（こ形成される空間ｌこ１ｉ、」−１下対をなす金
型１５・・・が図示し４Ｃい部品を保持（７で一組づつ
配設さｉｌ、ぞれぞれＦ側の熱源２１〜２７１こ、１：
って支持さＪｌ、でいろ。そして、前記真空チャンバ１
の外部ｆこは、人［１１６ＦＬ＋こ返還されｔこ油を１
９１定の温度１こ調整し′Ｃ出ロ１６ｔｌから吐出さ・
ｌｔろ単一の温調ユニソ１−１６を設けでいる。温調ユ
ニッｌ−１６（」、ｌ］ｉｔバ１４人ＩＩＩ １６ ｎ
から内部１こ取り入オした油を一時的に貯留オろ冷却用
タンク１７と、こり〕タンク１７内の油を必要ｆこ応じ
゛Ｃ冷却ずろクーラ１８と、ｆｌｉｔ記タンク１７から
導出さけｌこ１１１１を一時的に貯留する加熱用タ：ノ
ク１９と、各種温ＩＷセン→ノー２１．２２．２８から
のフィードバック信号１こ基いて通？７てを制御さＪｌ
、／ｌｉｌ記クシクり９内の油を所定の温度１こまでノ
用熱°４゛るに一夕２４と、０１１バ己タンク１９から
導出さ−せｌ二淵油を婬圧さしトでｎｉｌ ｆｆｌ’！
出ロ１６１）から逐次り１部−１，１１１出さＨるポン
プ２５とを具備しＣ゛なるもので、千）す、２６は、加
熱に、ｌ、り膨張してｆｌｉｔ記タンク１９から溢れ出
１、−油を貯留゛４ろ１こめの膨張タンクである。そし
て、ｎＩＩ記油導油導入管路１１．１１ｉ１記−７４＝
ン管８・・・、９・・・と、ｌ’ｌｉｌ記油導出管路１
２とから構成さ第１ろ熱媒体循環系路２７の始端２”Ｉ
ｎ ヲｆｌｉｌ記温調ユ＝ ソＩ・１６ （７）出１−
１１５１＋ ＋ｃＦｍ１６ｔろとともｌこ、終端２７１
）を／Ｉｉｌ記温にす４ユニッｌ−Ｉ Ｇ Ｏ）入ｍｌ
１６１１に接続しでいろ。さらｌこ、ｎｉＩ記真空ヂ
ャンバ１の底部には圧入機構２８を設けている。圧入（
幾構２８は、最Ｆ段の熱源２１の下面に対向配置。
こは、それぞれ流量制御弁１３．１４が介Ｒシテｉｌ）
ル。まｊ、−１ｆＩ！Ｉ ＮＬ’＋各熱盤２熱源２８相
互間（こ形成される空間ｌこ１ｉ、」−１下対をなす金
型１５・・・が図示し４Ｃい部品を保持（７で一組づつ
配設さｉｌ、ぞれぞれＦ側の熱源２１〜２７１こ、１：
って支持さＪｌ、でいろ。そして、前記真空チャンバ１
の外部ｆこは、人［１１６ＦＬ＋こ返還されｔこ油を１
９１定の温度１こ調整し′Ｃ出ロ１６ｔｌから吐出さ・
ｌｔろ単一の温調ユニソ１−１６を設けでいる。温調ユ
ニッｌ−１６（」、ｌ］ｉｔバ１４人ＩＩＩ １６ ｎ
から内部１こ取り入オした油を一時的に貯留オろ冷却用
タンク１７と、こり〕タンク１７内の油を必要ｆこ応じ
゛Ｃ冷却ずろクーラ１８と、ｆｌｉｔ記タンク１７から
導出さけｌこ１１１１を一時的に貯留する加熱用タ：ノ
ク１９と、各種温ＩＷセン→ノー２１．２２．２８から
のフィードバック信号１こ基いて通？７てを制御さＪｌ
、／ｌｉｌ記クシクり９内の油を所定の温度１こまでノ
用熱°４゛るに一夕２４と、０１１バ己タンク１９から
導出さ−せｌ二淵油を婬圧さしトでｎｉｌ ｆｆｌ’！
出ロ１６１）から逐次り１部−１，１１１出さＨるポン
プ２５とを具備しＣ゛なるもので、千）す、２６は、加
熱に、ｌ、り膨張してｆｌｉｔ記タンク１９から溢れ出
１、−油を貯留゛４ろ１こめの膨張タンクである。そし
て、ｎＩＩ記油導油導入管路１１．１１ｉ１記−７４＝
ン管８・・・、９・・・と、ｌ’ｌｉｌ記油導出管路１
２とから構成さ第１ろ熱媒体循環系路２７の始端２”Ｉ
ｎ ヲｆｌｉｌ記温調ユ＝ ソＩ・１６ （７）出１−
１１５１＋ ＋ｃＦｍ１６ｔろとともｌこ、終端２７１
）を／Ｉｉｌ記温にす４ユニッｌ−Ｉ Ｇ Ｏ）入ｍｌ
１６１１に接続しでいろ。さらｌこ、ｎｉＩ記真空ヂ
ャンバ１の底部には圧入機構２８を設けている。圧入（
幾構２８は、最Ｆ段の熱源２１の下面に対向配置。
１）１こ押圧子２９を油圧シリンダ３１１こ」゛って昇
降動作させ得ろようｌこ構成し１こもので、Ｉ’ｌｉｌ
記抑圧子２９を」二昇させた場合ｌこ該押圧子２９とｎ
ｉＩ記真空チャンバ１の天壁１ａとによって１ｌｉｌ記
熱盤２１〜２８カＪ−、、Ｆから挟圧されるＪ：う１こ
なっている。そして、前記抑圧子２９の下面と真空チャ
ンバ１のピストンロッド以通孔１ｂの開口端面との囲ｌ
こベローズ３２を気密１こ介設して、前記真空ヂマシバ
１円、の真空）を囲気を保持するよう１こしでいる。
降動作させ得ろようｌこ構成し１こもので、Ｉ’ｌｉｌ
記抑圧子２９を」二昇させた場合ｌこ該押圧子２９とｎ
ｉＩ記真空チャンバ１の天壁１ａとによって１ｌｉｌ記
熱盤２１〜２８カＪ−、、Ｆから挟圧されるＪ：う１こ
なっている。そして、前記抑圧子２９の下面と真空チャ
ンバ１のピストンロッド以通孔１ｂの開口端面との囲ｌ
こベローズ３２を気密１こ介設して、前記真空ヂマシバ
１円、の真空）を囲気を保持するよう１こしでいる。
なお、８３はｎｉｌ記熱媒体循環系路２７の途中に介設
（ツタ開閉弁、８４１．ｔ Ａｉｌ ｇＱ熱熱源１１２
４．２７）温Ｉ隼を表示する温度指示計である。
（ツタ開閉弁、８４１．ｔ Ａｉｌ ｇＱ熱熱源１１２
４．２７）温Ｉ隼を表示する温度指示計である。
まｔコ、本実施例１こおいては、内部を等しい構成ｌこ
してなる真空チマンパ１を２室並夕１しこ設りＣおり、
これら１こ対応しで熱媒体循環系路２７も２木並Ｊｌｌ
ｔコｆ＆ Ｌｊ ｒ−ｙ ｉ１ティｙ、。そし’ｒ、
ｎ！Ｉ 記？Ｉｉｌ ；ＪＩ、Ｉ ” 二ノＩ−１６＋
ｔは、ｒｌｉｌ Ｒ＋３各熱媒体？Ｊ＋’ｉ環系路２７
．２７１こそノ１ぞれ対応する対をなす入口１６３ 、
＋６ Ｒ、ポンプ２５．２５および出口１６）１、】
６１】等が設（ｊられている。
してなる真空チマンパ１を２室並夕１しこ設りＣおり、
これら１こ対応しで熱媒体循環系路２７も２木並Ｊｌｌ
ｔコｆ＆ Ｌｊ ｒ−ｙ ｉ１ティｙ、。そし’ｒ、
ｎ！Ｉ 記？Ｉｉｌ ；ＪＩ、Ｉ ” 二ノＩ−１６＋
ｔは、ｒｌｉｌ Ｒ＋３各熱媒体？Ｊ＋’ｉ環系路２７
．２７１こそノ１ぞれ対応する対をなす入口１６３ 、
＋６ Ｒ、ポンプ２５．２５および出口１６）１、】
６１】等が設（ｊられている。
次いで、この装置の作動を説明する。
温調ユニット１６の出口１６ｂから逐時吐出される所定
温度Ｉこ加熱された湿部は、熱媒体循環系路２７を構成
する油導入管路１１を通して真空チャンバ１内ｌご案内
され１段目および２段目の熱源２１．２２の各熱媒体流
通空間５内Ｅζそれぞれ導入される。そして、１段目の
熱源２に内に入った湿部はラセン管８・・・ｌこ案内さ
れて奇数段目の熱源２２．２６２７を順次Ｉこ通過して
ゆくととも１こ、２段目の熱源２２内Ｉこ入った湿部は
ラセン管９・・・１ζ案内されて偶数段目の熱源２４．
２６．２Ｂを順次１こ通過してゆく。
温度Ｉこ加熱された湿部は、熱媒体循環系路２７を構成
する油導入管路１１を通して真空チャンバ１内ｌご案内
され１段目および２段目の熱源２１．２２の各熱媒体流
通空間５内Ｅζそれぞれ導入される。そして、１段目の
熱源２に内に入った湿部はラセン管８・・・ｌこ案内さ
れて奇数段目の熱源２２．２６２７を順次Ｉこ通過して
ゆくととも１こ、２段目の熱源２２内Ｉこ入った湿部は
ラセン管９・・・１ζ案内されて偶数段目の熱源２４．
２６．２Ｂを順次１こ通過してゆく。
この際、各熱源２１〜２８と湿部との間で熱交換が行な
われ、前記各熱源２１〜２８が等しく加熱される。
われ、前記各熱源２１〜２８が等しく加熱される。
こうして熱交換を終えた奇数系列Ａ側の湿部と偶数系列
Ｂ側の湿部とはそれぞれ対応する流量制御弁１３．１４
を通過した後ｌこ再び合流し、油導出管路１２を通して
前記温調ユニット１６の入口１６＆１こ返還される。こ
の循環を何度か繰返すうちｌこ前記各熱源２１〜２８が
所定の温度Ｉζ加熱され、この熱が金型１５・・・を介
して部品１こ伝達され該部品が圧入処゛理、Ｉこ適した
温度になる。この状態で圧入機構２８のシリンダ８１を
駆動させて抑圧子２９を上方へ押上げると、熱源２１〜
２８が順次上方へ押上げられていき、最上段の熱源２８
が真空チャシバ１の天壁１ａｌこ当接する。さら１こ押
圧子２９を押上げでいくと、各金型１５・・・はその上
下の熱源２１〜２８１ζ挾まれて上、下から押圧される
ので該金型１５・・・の上、下が相寄り、該金型１５・
・・に保持させた部品に圧入処理が施される。この後は
、抑圧子２９を引下げて各熱源２Ｎ〜２８を元の位置ま
で戻し、各金型１５・・・を真空チャンバ１内から取出
せばよい。
Ｂ側の湿部とはそれぞれ対応する流量制御弁１３．１４
を通過した後ｌこ再び合流し、油導出管路１２を通して
前記温調ユニット１６の入口１６＆１こ返還される。こ
の循環を何度か繰返すうちｌこ前記各熱源２１〜２８が
所定の温度Ｉζ加熱され、この熱が金型１５・・・を介
して部品１こ伝達され該部品が圧入処゛理、Ｉこ適した
温度になる。この状態で圧入機構２８のシリンダ８１を
駆動させて抑圧子２９を上方へ押上げると、熱源２１〜
２８が順次上方へ押上げられていき、最上段の熱源２８
が真空チャシバ１の天壁１ａｌこ当接する。さら１こ押
圧子２９を押上げでいくと、各金型１５・・・はその上
下の熱源２１〜２８１ζ挾まれて上、下から押圧される
ので該金型１５・・・の上、下が相寄り、該金型１５・
・・に保持させた部品に圧入処理が施される。この後は
、抑圧子２９を引下げて各熱源２Ｎ〜２８を元の位置ま
で戻し、各金型１５・・・を真空チャンバ１内から取出
せばよい。
なお、もし前記各系列Ａ、Ｂへの温油供給量が等しくな
く、シたがって該系列Ａ、Ｂ、こ属する熱源２１〜２８
の温度が等しくならない場合は、流量制御弁１８又は１
４を調節して流通する油量は等しくすればよい。また、
圧入処理終了後はヒータ２４を止めクーラ１８を作動さ
せて真空チャンバ１内を冷却すれは、該真空チャシバ１
内が常温ｌこ戻るまでに要する時間を短縮でき、それだ
け次の圧入作業を早く開始することができる。
く、シたがって該系列Ａ、Ｂ、こ属する熱源２１〜２８
の温度が等しくならない場合は、流量制御弁１８又は１
４を調節して流通する油量は等しくすればよい。また、
圧入処理終了後はヒータ２４を止めクーラ１８を作動さ
せて真空チャンバ１内を冷却すれは、該真空チャシバ１
内が常温ｌこ戻るまでに要する時間を短縮でき、それだ
け次の圧入作業を早く開始することができる。
このように、この実施例１乙よれば、従来の電気ヒータ
式のものに比べて、真空チャンバを貫通するのは供給用
の管路２本と吐出用の管路２本の計４本分、すなわち４
カ所で済むので多数の導入端子を設けてなるものよりも
真空雰囲気の維持が容易であり、温調ユニットは１つあ
ればすべての熱源の温度を制御することができるので多
数の温調ユニットを必要とするという問題はなくなり、
真空チャンバ内の配管も２系列の直列式という簡単なも
のでよいので複雑な配線は不要となり、熱源の加熱【こ
湿部を使用しているので加熱時ｆこ絶縁材や配線材等か
らガスが発生するという問題も生じず、さら１こ、温調
ユニットにクーラを設けているので圧入処理後、次の圧
入作業開始まで層こ要する時間を短縮することができる
といった効果を奏する。
式のものに比べて、真空チャンバを貫通するのは供給用
の管路２本と吐出用の管路２本の計４本分、すなわち４
カ所で済むので多数の導入端子を設けてなるものよりも
真空雰囲気の維持が容易であり、温調ユニットは１つあ
ればすべての熱源の温度を制御することができるので多
数の温調ユニットを必要とするという問題はなくなり、
真空チャンバ内の配管も２系列の直列式という簡単なも
のでよいので複雑な配線は不要となり、熱源の加熱【こ
湿部を使用しているので加熱時ｆこ絶縁材や配線材等か
らガスが発生するという問題も生じず、さら１こ、温調
ユニットにクーラを設けているので圧入処理後、次の圧
入作業開始まで層こ要する時間を短縮することができる
といった効果を奏する。
なお、本発明は前記実施例暑こ限られないのは勿論であ
り、真空チャンバ内の熱源の熱媒体流通空間の系列は単
数でも２系列より多（でもよく、例えば、熱源の段数が
前記実施例よりも多い場合甚こ゛は、第５図に示すよう
に、１．４．７．１０段目の熱源２１．２ｓ１２１１．
２９を直列に接続しでなる第１系列Ｃと、２．５．８．
１１段目の熱源２２．２４２７．２１０を直列に接続し
てなる第２系列りと、３．６．９．１２段目の熱源２Ｂ
、２６．２９２１２ケ直列ＩＣ接続してなる第８系列Ｅ
とを共通の真空チャンバ１内ｌこ構成してもよい。要は
、各熱源を等しい温度に加熱することができろようにし
たものであればよい。また、温調ユニットＣζはクーラ
を設けなくてもよいが、クーラを設けたものの方が自然
冷却によるものよりも作業能率が良くなるという効果が
ある。また、同時に湿部を供給する真空チャンバの数は
２室１こ限られないのは勿論であり、８室以上の真空チ
ャンバ内ｌこ同時Ｉこ湿部を供給することができるもの
でも１室だけに湿部を供給することができるようにした
ものであってもよい。さらｌこ、熱媒体は湿部ｌこ限ら
れず、同様の効果を奏する流体であればよく、例えは蒸
気であってもよ（）。
り、真空チャンバ内の熱源の熱媒体流通空間の系列は単
数でも２系列より多（でもよく、例えば、熱源の段数が
前記実施例よりも多い場合甚こ゛は、第５図に示すよう
に、１．４．７．１０段目の熱源２１．２ｓ１２１１．
２９を直列に接続しでなる第１系列Ｃと、２．５．８．
１１段目の熱源２２．２４２７．２１０を直列に接続し
てなる第２系列りと、３．６．９．１２段目の熱源２Ｂ
、２６．２９２１２ケ直列ＩＣ接続してなる第８系列Ｅ
とを共通の真空チャンバ１内ｌこ構成してもよい。要は
、各熱源を等しい温度に加熱することができろようにし
たものであればよい。また、温調ユニットＣζはクーラ
を設けなくてもよいが、クーラを設けたものの方が自然
冷却によるものよりも作業能率が良くなるという効果が
ある。また、同時に湿部を供給する真空チャンバの数は
２室１こ限られないのは勿論であり、８室以上の真空チ
ャンバ内ｌこ同時Ｉこ湿部を供給することができるもの
でも１室だけに湿部を供給することができるようにした
ものであってもよい。さらｌこ、熱媒体は湿部ｌこ限ら
れず、同様の効果を奏する流体であればよく、例えは蒸
気であってもよ（）。
本発明は、以上のような構成であるから、単−の温調ユ
ニットによって熱媒体の温度を管理するだけで、すべで
の熱源の温度を一定１こ保っことが可能であり、加熱用
のヒータと温度検出用の熱伝対を用いて多数の熱源の温
度を各別ｌこ制御する場合に比べて温調システム全体の
構成をはるかＩこ簡略なもの醗こ才ることができる。ま
た、そ第１に伴って、真空チャンバの壁を貫通する部材
の数も少なくなる上１こ、ヒータ絶縁材や配線材等から
ガスが放出されるという不都合も錬くなるｔこめ、真空
チャンバ内の真空管理が容易となり、信頼性の高い真空
圧入作業を遂行することができる真空Ｅ人装置を提供で
きるものであろう
ニットによって熱媒体の温度を管理するだけで、すべで
の熱源の温度を一定１こ保っことが可能であり、加熱用
のヒータと温度検出用の熱伝対を用いて多数の熱源の温
度を各別ｌこ制御する場合に比べて温調システム全体の
構成をはるかＩこ簡略なもの醗こ才ることができる。ま
た、そ第１に伴って、真空チャンバの壁を貫通する部材
の数も少なくなる上１こ、ヒータ絶縁材や配線材等から
ガスが放出されるという不都合も錬くなるｔこめ、真空
チャンバ内の真空管理が容易となり、信頼性の高い真空
圧入作業を遂行することができる真空Ｅ人装置を提供で
きるものであろう
第１図〜第４図は本発明の一実施例を示し、第１図は真
空チャンバ内を示す一部省略した正面図、第２図は配管
説明図、第３図は熱源の内部を示す平断面図、第４図は
全体の回路説明図である。 第５図は本発明の他の実施例を示す概略回路説明図であ
る。 １・・・真空チャンバ ２１〜２１２ ・・・熱源２
７・・・熱媒体循環系路 ２８・・・圧入機構代理人
弁理士 赤澤−博
空チャンバ内を示す一部省略した正面図、第２図は配管
説明図、第３図は熱源の内部を示す平断面図、第４図は
全体の回路説明図である。 第５図は本発明の他の実施例を示す概略回路説明図であ
る。 １・・・真空チャンバ ２１〜２１２ ・・・熱源２
７・・・熱媒体循環系路 ２８・・・圧入機構代理人
弁理士 赤澤−博
Claims (1)
- 真空チャンバと、この真空チャンバ内ｉこ多段に配設さ
れ内部１こ熱媒体流通空間を有してなる熱盤と、これら
各熱盤間１こそれぞれ配設され圧入すべき部品を所定の
位置Ｅこ保持する複数組の金型と前記真空チャンバの外
部ｌこ配設され返還されｔコ熱媒体を所定の温度Ｊこ調
整して吐出する単一の温調ユニットと、この温調ユニッ
トから吐出される熱媒体を前記真空チャンバ内に導いて
複数の熱盤の熱媒体流通空間内を順次に通過させ通過後
の熱媒体を前記真空チャンバ外へ導出させて前記温調ユ
ニットへ返還する熱媒体循環系路と、前記各熱盤を相寄
る方向Ｉこ移動させて前記金型ｔこ保持された部品に圧
入処理を施す圧入機構とを具備してなることを特徴とす
る真空圧入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11269282A JPS594429A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 真空圧入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11269282A JPS594429A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 真空圧入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS594429A true JPS594429A (ja) | 1984-01-11 |
| JPS6236736B2 JPS6236736B2 (ja) | 1987-08-08 |
Family
ID=14593093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11269282A Granted JPS594429A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 真空圧入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594429A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5410956A (en) * | 1992-06-30 | 1995-05-02 | Meiki Co., Ltd. | Vacuum hot platen press with airtight covers in sliding contact with tensile strength members |
-
1982
- 1982-06-29 JP JP11269282A patent/JPS594429A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5410956A (en) * | 1992-06-30 | 1995-05-02 | Meiki Co., Ltd. | Vacuum hot platen press with airtight covers in sliding contact with tensile strength members |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6236736B2 (ja) | 1987-08-08 |
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