JPS594485U - 半導体検出器 - Google Patents

半導体検出器

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Publication number
JPS594485U
JPS594485U JP10051782U JP10051782U JPS594485U JP S594485 U JPS594485 U JP S594485U JP 10051782 U JP10051782 U JP 10051782U JP 10051782 U JP10051782 U JP 10051782U JP S594485 U JPS594485 U JP S594485U
Authority
JP
Japan
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semiconductor detector
detector
scattered
band
detecting
Prior art date
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Application number
JP10051782U
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English (en)
Inventor
龍田　茂
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS594485U publication Critical patent/JPS594485U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体検出器の正面図と断面図、第２図
は第１図の検出器によるイオンエネルギ計測系構成図と
検出のイオンエネルギスペクトル図、及び第３図は本考
案の実施例を示す半導体検出器正面図である。 図中、１１は表面電極、１２は半導体基体、１３は空乏
層、１４は背面電極、１９は半導体検出器及び２２は本
考案の表面電極である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被検出固体表面に照射され散乱したビームを検出する検
    出部の形状が帯状とされてなることを特徴とする半導体
    検出器。
JP10051782U 1982-07-01 1982-07-01 半導体検出器 Pending JPS594485U (ja)

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JP10051782U JPS594485U (ja) 1982-07-01 1982-07-01 半導体検出器

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JP10051782U JPS594485U (ja) 1982-07-01 1982-07-01 半導体検出器

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JPS594485U true JPS594485U (ja) 1984-01-12

Family

ID=30237753

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JP10051782U Pending JPS594485U (ja) 1982-07-01 1982-07-01 半導体検出器

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