JPS5945925U - ベルト炉用保護装置 - Google Patents

ベルト炉用保護装置

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JPS5945925U
JPS5945925U JP14207882U JP14207882U JPS5945925U JP S5945925 U JPS5945925 U JP S5945925U JP 14207882 U JP14207882 U JP 14207882U JP 14207882 U JP14207882 U JP 14207882U JP S5945925 U JPS5945925 U JP S5945925U
Authority
JP
Japan
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protection device
belt furnaces
gas
belt
belt furnace
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Pending
Application number
JP14207882U
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English (en)
Inventor
菅野　昌吉
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の保護装置の回路図、第２図は本考案実施
例の回路図である。 なお図において、１・・・・・・点火ヒーター０Ｎ−Ｏ
ＦＦスイッチ、２・・・・・・ヒユーズ、３・・・・・
・トランス、４・・・・・・点火ヒーター、５・・・・
・・タイマー、６・・・・・・タイマーに付属している
接点（ａ接点）、７・・・・・・電磁弁（ＮＣ）、であ
る。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体素子をマウントするベルト炉においてＨ２ガスの
    爆発を防止するためＨ２ガス燃焼用点火ヒーターが完全
    に赤熱した後、Ｈ２ガスが流れる事を特徴としたベルト
    炉用保護装置。
JP14207882U 1982-09-20 1982-09-20 ベルト炉用保護装置 Pending JPS5945925U (ja)

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JP14207882U JPS5945925U (ja) 1982-09-20 1982-09-20 ベルト炉用保護装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9303223B2 (en) 2006-09-05 2016-04-05 Cerion, Llc Method of making cerium oxide nanoparticles

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9303223B2 (en) 2006-09-05 2016-04-05 Cerion, Llc Method of making cerium oxide nanoparticles
US9340738B2 (en) 2006-09-05 2016-05-17 Cerion, Llc Method of making cerium oxide nanoparticles

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