JPS5946667U - ポリシヤの研磨布ブラツシング装置 - Google Patents

ポリシヤの研磨布ブラツシング装置

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Publication number
JPS5946667U
JPS5946667U JP1982140453U JP14045382U JPS5946667U JP S5946667 U JPS5946667 U JP S5946667U JP 1982140453 U JP1982140453 U JP 1982140453U JP 14045382 U JP14045382 U JP 14045382U JP S5946667 U JPS5946667 U JP S5946667U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing cloth
brushing device
cloth brushing
polisher
shaft
Prior art date
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Granted
Application number
JP1982140453U
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English (en)
Other versions
JPS6218371Y2 (ja
Inventor
正治 木下
正美 遠藤
優 池辺
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Toshiba Corp
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
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  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す概要断面図、第２図は
第１図の■−■線による部分拡大断面図、第３図はブラ
シの軸の取付状態を示す一部破断拡大図、第４図は第３
図に示したブラシの軸を外す場合の状態を示す一部破断
拡大図、第５図は本考案の他の実施例を示す一部破断要
部拡大正面図、第６図は第５図に示した装置の非ブラッ
シング状態を示す平面図である。 １・・・上噺盤、２・・・下定盤、３．４・・・研磨布
、１０．１９・・・ギヤ、１２・・・サブシリンダ、１
５・・・メインシリンダ、２１・・・駆動源、２３・・
・軸受、２８・・・ブラシ、２９・・・ブラシの軸、３
０．３６・・・スリーブ、３１・・・駆動軸、３４・・
・ピン、３５・・・スフリング、３７・・・ストッパ。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）互いに反対方向へ回転する上定盤と下定盤との間
    の外方に駆動源によって回転される軸を設け、この軸に
    円筒形状のブラシを取付け、該ブラシを上下の定盤で挟
    圧するようにしたポリシャの研磨布ブラッシング装置。
  2. （２）ブラシが軸に対して折り曲げ可能に連結されてい
    る実用新案登録請求の範囲第１項記載のポリシャの研磨
    布ブラッシング装置。
JP1982140453U 1982-09-16 1982-09-16 ポリシヤの研磨布ブラツシング装置 Granted JPS5946667U (ja)

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JP1982140453U JPS5946667U (ja) 1982-09-16 1982-09-16 ポリシヤの研磨布ブラツシング装置

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JP1982140453U JPS5946667U (ja) 1982-09-16 1982-09-16 ポリシヤの研磨布ブラツシング装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5946667U true JPS5946667U (ja) 1984-03-28
JPS6218371Y2 JPS6218371Y2 (ja) 1987-05-12

Family

ID=30314464

Family Applications (1)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016199333A1 (ja) * 2015-06-12 2016-12-15 信越半導体株式会社 ワークの加工装置

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WO2016199333A1 (ja) * 2015-06-12 2016-12-15 信越半導体株式会社 ワークの加工装置
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US10335918B2 (en) 2015-06-12 2019-07-02 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Workpiece processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6218371Y2 (ja) 1987-05-12

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