JPS5948054U - 半導体ウエハ−の収納容器 - Google Patents
半導体ウエハ−の収納容器Info
- Publication number
- JPS5948054U JPS5948054U JP1982142991U JP14299182U JPS5948054U JP S5948054 U JPS5948054 U JP S5948054U JP 1982142991 U JP1982142991 U JP 1982142991U JP 14299182 U JP14299182 U JP 14299182U JP S5948054 U JPS5948054 U JP S5948054U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage container
- semiconductor wafer
- wafer storage
- container
- handle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図はそれぞれ本考案の実施例を示す斜
視図である。 尚、図において、１・・・・・・半導体ウェハー収納容
器本体、２・・・・・・手掛り、３，４・・・・・・把
手である。
視図である。 尚、図において、１・・・・・・半導体ウェハー収納容
器本体、２・・・・・・手掛り、３，４・・・・・・把
手である。
Claims (1)
- 半導体ウェーハを収める樹脂製の容器に於いて、容器の
側面の−乃至二ケ所に把手又は手掛りを具備している事
を特徴とする半導体ウェハーの収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982142991U JPS5948054U (ja) | 1982-09-21 | 1982-09-21 | 半導体ウエハ−の収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982142991U JPS5948054U (ja) | 1982-09-21 | 1982-09-21 | 半導体ウエハ−の収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948054U true JPS5948054U (ja) | 1984-03-30 |
Family
ID=30319316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982142991U Pending JPS5948054U (ja) | 1982-09-21 | 1982-09-21 | 半導体ウエハ−の収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948054U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55148417A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-19 | Nec Kyushu Ltd | Magazine case for accommodating semiconductor substrate |
| JPS5717143B2 (ja) * | 1977-09-13 | 1982-04-09 |
-
1982
- 1982-09-21 JP JP1982142991U patent/JPS5948054U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5717143B2 (ja) * | 1977-09-13 | 1982-04-09 | ||
| JPS55148417A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-19 | Nec Kyushu Ltd | Magazine case for accommodating semiconductor substrate |
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