JPS5948603A - 長さ又は角度測定装置 - Google Patents
長さ又は角度測定装置Info
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- JPS5948603A JPS5948603A JP58145812A JP14581283A JPS5948603A JP S5948603 A JPS5948603 A JP S5948603A JP 58145812 A JP58145812 A JP 58145812A JP 14581283 A JP14581283 A JP 14581283A JP S5948603 A JPS5948603 A JP S5948603A
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- Japan
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
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- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/247—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using time shifts of pulses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念による長さ又
は角度の測定装置に関する。
は角度の測定装置に関する。
公知の長さ測定装置では走査ユニットによつて相互に位
相のずれた二つのアナログ信号が発生し、そのうちアナ
ログ信号の相互位相の調整のために一つのアナログ信号
が増巾混合段の第一入力部に入り、その第二人力部に調
整電圧が供給され、調整電圧は他のアナログ信号から導
き出されかつ電気的調整部材を介して調整可能である。
相のずれた二つのアナログ信号が発生し、そのうちアナ
ログ信号の相互位相の調整のために一つのアナログ信号
が増巾混合段の第一入力部に入り、その第二人力部に調
整電圧が供給され、調整電圧は他のアナログ信号から導
き出されかつ電気的調整部材を介して調整可能である。
この構成は必要な電気的要素のためにコスト高でありか
つ故障があシ、そのためこの電気的要素を含む評価装置
の交換の際に位置調整は失われる。
つ故障があシ、そのためこの電気的要素を含む評価装置
の交換の際に位置調整は失われる。
更にアナログ走査信号の振巾の調整のための光電的位置
測定装置では走査ユニットの走査格子を通って入射する
光量をねじによって調整することが公知でおる。
測定装置では走査ユニットの走査格子を通って入射する
光量をねじによって調整することが公知でおる。
本発明はそのような位置測定装置で簡単な手段によって
評価装置と無関係に予め与えられた位相角の調整を可能
にすることを課題の基礎とする。
評価装置と無関係に予め与えられた位相角の調整を可能
にすることを課題の基礎とする。
この課題は本発明によれば特許請求の範囲第１項の特徴
部によって解決される。
部によって解決される。
本発明によって得られる利益は提案された手段が評価装
置の交換の際でも保持されるよう橙位相角の支障のない
調整を可能にすることにある。
置の交換の際でも保持されるよう橙位相角の支障のない
調整を可能にすることにある。
本発明の有利な他の構成は実施態様項から得られる。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第１ａ図、第１ｂ図は測定尺１を備えた公知の長さ測定
装置を示し、そのインクリメント目盛２は走査ユニット
て走査され、走査ユニットはランプ３、コンデン
サ４、走査板５及び光電要素６ａ 、６ｂを有する。走
査板５はインクリメント目盛７ａ、７ｂを備えた二つの
走査格子Ａ、Ｂを有し、インクリメント目盛は測定尺１
の目盛２のように格子定数Ｃを有する交互にくり返す透
明及び不透明のしまから成り、目盛７ａは目盛７ｂに対
して測定方向Ｘに（ｎ±７）Ｃだけ位相がずらされてい
る。ランプ３から発せられる光はコンデンサ４、走査板
５の走査格子Ａ、Ｂの目盛７ａ、７ｂ、測定尺１の目盛
を通り、走査格子Ａ、Ｂに付設された光電要素６ａ、６
ｂ上に来る。
装置を示し、そのインクリメント目盛２は走査ユニット
て走査され、走査ユニットはランプ３、コンデン
サ４、走査板５及び光電要素６ａ 、６ｂを有する。走
査板５はインクリメント目盛７ａ、７ｂを備えた二つの
走査格子Ａ、Ｂを有し、インクリメント目盛は測定尺１
の目盛２のように格子定数Ｃを有する交互にくり返す透
明及び不透明のしまから成り、目盛７ａは目盛７ｂに対
して測定方向Ｘに（ｎ±７）Ｃだけ位相がずらされてい
る。ランプ３から発せられる光はコンデンサ４、走査板
５の走査格子Ａ、Ｂの目盛７ａ、７ｂ、測定尺１の目盛
を通り、走査格子Ａ、Ｂに付設された光電要素６ａ、６
ｂ上に来る。
走査ユニットと測定尺１との間の測定方向Ｘにおける相
対運動の際に光は目盛２，７ａ、７ｂで変調され、その
結果光電要素６ａ 、 ６１）は二つのアナログ信号Ｓ
Ａ、ＳＢを発生し、アナログ信号は測定運動の方向識別
及び格子ピッチの細分を可能にするだめにＣ／４だけ位
相のずれた目盛７ａ、７ｂのために位相角ψ＝９０°だ
けずらされている。
対運動の際に光は目盛２，７ａ、７ｂで変調され、その
結果光電要素６ａ 、 ６１）は二つのアナログ信号Ｓ
Ａ、ＳＢを発生し、アナログ信号は測定運動の方向識別
及び格子ピッチの細分を可能にするだめにＣ／４だけ位
相のずれた目盛７ａ、７ｂのために位相角ψ＝９０°だ
けずらされている。
測定尺１の目盛２と走査板５の目盛７ａ、７ｂは相互に
僅かな間隔に配設されておシ、その間隔は機械的々不完
全性に基いて部分の偏差をもたらす。この偏差が両アナ
ログ信号ＳＡ、 Ｓ３０間の位相角ψ−９０°に誤差を
生じさせないために、ランプ３はコンデンサ４に対して
光ができる限りコンデンサ４から平行に出るように調整
される。しかし回避できない加工公差のためにアナログ
信号ＳＡ、 ＳＢ間の位相角誤差が生じ得、その誤差は
測定装置の電気的運転の際にはじめて認められる。
僅かな間隔に配設されておシ、その間隔は機械的々不完
全性に基いて部分の偏差をもたらす。この偏差が両アナ
ログ信号ＳＡ、 Ｓ３０間の位相角ψ−９０°に誤差を
生じさせないために、ランプ３はコンデンサ４に対して
光ができる限りコンデンサ４から平行に出るように調整
される。しかし回避できない加工公差のためにアナログ
信号ＳＡ、 ＳＢ間の位相角誤差が生じ得、その誤差は
測定装置の電気的運転の際にはじめて認められる。
格子ピッチの正確な細分のために必要な位相角ψを光の
平行性を変えることなく調整するために第２図によれば
走査板５′上に走査格子Ｂと走査格子Ａとが設けられて
おり、走査格子Ａは二つの部分格子Ａ１ ｒ Ａ２から
成る。走査格子Ｂに対して部分格子Ａ！は位相角（ψ＋
α）、部分格子Ａ２は位相角（ψ−α）ずらされている
。走査格子Ｂには光電要素ＰＢ が、そして部分格子
ＡＩ ｒ Ａ２には共通に周期的アナログ信号ｓＢ、ｓ
Ａを得るための光電要素ＰＡ が付設されている（第
３図）。アナログ信号ｓＡ は部分格子ＡＩ ｒＡ２
によって得られるアナログ部分信号ＳＡ１．ＳＡ。
平行性を変えることなく調整するために第２図によれば
走査板５′上に走査格子Ｂと走査格子Ａとが設けられて
おり、走査格子Ａは二つの部分格子Ａ１ ｒ Ａ２から
成る。走査格子Ｂに対して部分格子Ａ！は位相角（ψ＋
α）、部分格子Ａ２は位相角（ψ−α）ずらされている
。走査格子Ｂには光電要素ＰＢ が、そして部分格子
ＡＩ ｒ Ａ２には共通に周期的アナログ信号ｓＢ、ｓ
Ａを得るための光電要素ＰＡ が付設されている（第
３図）。アナログ信号ｓＡ は部分格子ＡＩ ｒＡ２
によって得られるアナログ部分信号ＳＡ１．ＳＡ。
から合成される。アナログ信号ＳＢ に対してアナロ
グ部分信号ＳＡ１は位相角（ψ＋α）、そしてアナログ
部分信号ＳＡ２は位相角（ψ−α）ずらされている（第
３ａ図）。
グ部分信号ＳＡ１は位相角（ψ＋α）、そしてアナログ
部分信号ＳＡ２は位相角（ψ−α）ずらされている（第
３ａ図）。
第２図によれば部分格子ＡＩ ＋ ４のだめの走査板５
′における必要な位相角の訴整のために部分格子ＡＩ
＋ Ａ２を通って入射する光量の調整のためのねじＴＡ
ｌ、ＴＡ、が設けられている。アナログ部分信号ＳＡ□
の振巾の減少によって部分信号Ｓ Ａ、／が得られ、部
分信号は部分信号ｓＡ と共にアナログ信号ＳＢ
に対して位相角グ大きいψだけずらされているアナログ
信号ｓＡ′を生ずる。（第５ｂ図）。アナログ部分信号
ｓＡ８の振巾の減少によって部分信号８Ａ１＃が得られ
、部分信号は部分信号日Ａ と共にアナログ信号ＳＢ
に対して位相角ψ“だけ小さい角ψだけずらされたア
ナログ信号ＢＡｌを生ずる（第３ｃ図）。
′における必要な位相角の訴整のために部分格子ＡＩ
＋ Ａ２を通って入射する光量の調整のためのねじＴＡ
ｌ、ＴＡ、が設けられている。アナログ部分信号ＳＡ□
の振巾の減少によって部分信号Ｓ Ａ、／が得られ、部
分信号は部分信号ｓＡ と共にアナログ信号ＳＢ
に対して位相角グ大きいψだけずらされているアナログ
信号ｓＡ′を生ずる。（第５ｂ図）。アナログ部分信号
ｓＡ８の振巾の減少によって部分信号８Ａ１＃が得られ
、部分信号は部分信号日Ａ と共にアナログ信号ＳＢ
に対して位相角ψ“だけ小さい角ψだけずらされたア
ナログ信号ＢＡｌを生ずる（第３ｃ図）。
走査格子Ｂのためのねじガ によってアナログ信号８Ｂ
の振巾は調整される。
の振巾は調整される。
部分格子ＡＩ ＋ ４に対して一つの光電要素ＰＡだけ
設けられればよいことは有利である。
設けられればよいことは有利である。
図示しない方法で部分格子ＡＩ ＋ ４に別々の光電要
素も付設されることができ、それらのアナログ信号は合
成される。両部分信号の合成によってｓＡＩ ”” ５
ＡＩＯ＋ｓＡ１．５ｉｎ（ｃＡ）ｔ＋α） （第７図
）、５Ａ２＝８Ａ２ｏ＋８Ａ２１Ｓ１ｎ（ωを一α）
から合成アナログ信号ＳＡ が生じ、合成ア
ナログ信号は最も簡単な場合 ｓＡ、ｏ＝ ｓＡ、。＝ ＳＡｏ／２ ＝ ＳＡ、１
＝８Ａ２１ ＝ ”Ａ、／２ 、Ｓｉｎ ｗｔ＊ｃ
ｏｅａ −０ｏｓ （ａ＋ｔｓ８１ｎα）、８Ａ ＝”
ＡＯ＋ＳＡ、 ’１ ｓ １ｎ ｗ ｔ ａ ｏ ｅα
となる。合成アナログ信号ＳＡ の定数には、Ｋ＝
変調／平行光＝ ５Ａ１０ｏｓα”／ｓＡ、、％であっ
てＯｏｓα で減少する。
素も付設されることができ、それらのアナログ信号は合
成される。両部分信号の合成によってｓＡＩ ”” ５
ＡＩＯ＋ｓＡ１．５ｉｎ（ｃＡ）ｔ＋α） （第７図
）、５Ａ２＝８Ａ２ｏ＋８Ａ２１Ｓ１ｎ（ωを一α）
から合成アナログ信号ＳＡ が生じ、合成ア
ナログ信号は最も簡単な場合 ｓＡ、ｏ＝ ｓＡ、。＝ ＳＡｏ／２ ＝ ＳＡ、１
＝８Ａ２１ ＝ ”Ａ、／２ 、Ｓｉｎ ｗｔ＊ｃ
ｏｅａ −０ｏｓ （ａ＋ｔｓ８１ｎα）、８Ａ ＝”
ＡＯ＋ＳＡ、 ’１ ｓ １ｎ ｗ ｔ ａ ｏ ｅα
となる。合成アナログ信号ＳＡ の定数には、Ｋ＝
変調／平行光＝ ５Ａ１０ｏｓα”／ｓＡ、、％であっ
てＯｏｓα で減少する。
実際上α＝１５’、ＩＦであり、その結果定数には最大
１−０ｏｓ １５０＝３．４％しか減少しない。
１−０ｏｓ １５０＝３．４％しか減少しない。
第４図には４個の走査格子Ａ、Ｂ、Ｏ，Ｄを備えた走査
板５〃が示されてお漫、走査格子はそれぞれ位相角ψ＝
９０°ずらされている。走査格子Ａは二つの部分格子Ａ
ｌｔ Ａ２から成り、走査格子Ｂは二つの部分格子Ｂ１
＋ ”ｉｌから成る。走査格子りに対して部分格子Ａ
１は位相角（ψ十α）部分格子Ａ２は位相角（ψ−α）
ずらされている。
板５〃が示されてお漫、走査格子はそれぞれ位相角ψ＝
９０°ずらされている。走査格子Ａは二つの部分格子Ａ
ｌｔ Ａ２から成り、走査格子Ｂは二つの部分格子Ｂ１
＋ ”ｉｌから成る。走査格子りに対して部分格子Ａ
１は位相角（ψ十α）部分格子Ａ２は位相角（ψ−α）
ずらされている。
部分格子ＡＩ ＋ ４には共通して光電要素ＰＡ が
、部分格子Ｂ１ ＋ Ｂ２には共通して光電要素ＰＢ
が、走査格子Ｃには光電要素Ｐ。が、そして走査格子
りには光電要素ＰＤ が周期的なアナログ信号ｓＡ、
ｓＢ、 ｓｃ、 ｓＤの取得のために付設されている
。アナログ信号ＳＡ はアナログ部分信号Ｅ’ＡＩ
ｌ ５Ａｌｌから合成され、そしてアナログ信号ＳＢ
はアナログ部分信号ＳＳ から合成さＢＢ２ れる。アナログ信号８Ａ に対してアナログ部分信号
ＳＡ１は位相角（ψ＋α）、アナログ部分信号８Ａ、は
位相角（ψ−α）ずれている。アナログ信号８ｏ に
対してはアナログ部分信号ＳＢ１は位相角（ψ十α）、
そしてアナログ部分信号ＳＢ０は位相角（ψ−α）ずら
されている（第５図）０ 第４図によれば部分格子ＡＩ ＋Ａ２ ＋ ”１ ｒ
ＢＺ のための走査板５Ｎにおける必要な位相角ψの調
整のために、同時に部分格子ＡＩ ＋ ４ ＊ Ｂ１
＋ Ｂ２を通る光量の調節のためのねじＴＡｌ ＋ Ｔ
Ａｌ ’ ＴＢｌ ’ Ｔ”＊が設けられている。ねじ
Ｔ。、ＴＤによってアナログ信号Ｓ。、ｓＤの振巾が調
整される。
、部分格子Ｂ１ ＋ Ｂ２には共通して光電要素ＰＢ
が、走査格子Ｃには光電要素Ｐ。が、そして走査格子
りには光電要素ＰＤ が周期的なアナログ信号ｓＡ、
ｓＢ、 ｓｃ、 ｓＤの取得のために付設されている
。アナログ信号ＳＡ はアナログ部分信号Ｅ’ＡＩ
ｌ ５Ａｌｌから合成され、そしてアナログ信号ＳＢ
はアナログ部分信号ＳＳ から合成さＢＢ２ れる。アナログ信号８Ａ に対してアナログ部分信号
ＳＡ１は位相角（ψ＋α）、アナログ部分信号８Ａ、は
位相角（ψ−α）ずれている。アナログ信号８ｏ に
対してはアナログ部分信号ＳＢ１は位相角（ψ十α）、
そしてアナログ部分信号ＳＢ０は位相角（ψ−α）ずら
されている（第５図）０ 第４図によれば部分格子ＡＩ ＋Ａ２ ＋ ”１ ｒ
ＢＺ のための走査板５Ｎにおける必要な位相角ψの調
整のために、同時に部分格子ＡＩ ＋ ４ ＊ Ｂ１
＋ Ｂ２を通る光量の調節のためのねじＴＡｌ ＋ Ｔ
Ａｌ ’ ＴＢｌ ’ Ｔ”＊が設けられている。ねじ
Ｔ。、ＴＤによってアナログ信号Ｓ。、ｓＤの振巾が調
整される。
増巾器ｖ１ ＋ ｖ２の出力にアナログ信号８１＋Ｓ！
が生じ、そのゼロ点（対称）及び反対位相はねじＴＡ、
、ＴＡ、 、ＴＢ□、ＴＢ、 、Ｔｏ、ＴＤＯ回動に
よって調整されることができ、その結果位相は信号ピッ
チの正確な細分に好適である。
が生じ、そのゼロ点（対称）及び反対位相はねじＴＡ、
、ＴＡ、 、ＴＢ□、ＴＢ、 、Ｔｏ、ＴＤＯ回動に
よって調整されることができ、その結果位相は信号ピッ
チの正確な細分に好適である。
部分信号ＳＡ１．ＳＡ、はアナログ信号８Ｂ に対し
て位相角（ψ十αｌ）、（ψ−α２）だけずらされるこ
ともできる。
て位相角（ψ十αｌ）、（ψ−α２）だけずらされるこ
ともできる。
部分格子及び走査格子の部分的遮蔽は図示しない方法で
、絞りによっても行われることができる。
、絞りによっても行われることができる。
４土立
第３図は走査ユニットのアナログ信号の指示ダイヤグラ
ム、 第４図は本発明の特徴を備えた他の走査板、第５図は走
査ユニットのアナログ信号の他の指針ダイヤグラム、 第６図は光電要素の回路図そして 第７図はアナログ信号のグラフ。
ム、 第４図は本発明の特徴を備えた他の走査板、第５図は走
査ユニットのアナログ信号の他の指針ダイヤグラム、 第６図は光電要素の回路図そして 第７図はアナログ信号のグラフ。
図中符号
Ａ、Ｂ 走査格子
ＡＩ ＋ ’ｌ ＋ ”Ｉ ＋ Ｂ２ 部分格子８
Ａ、ＳＢ アナログ信号 ｓＡ、、日Ａ２１”Ｂｌ 、ｓＢ、アナログ部分信号α
１角 一α２角 ψ 位相角 代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史
Ａ、ＳＢ アナログ信号 ｓＡ、、日Ａ２１”Ｂｌ 、ｓＢ、アナログ部分信号α
１角 一α２角 ψ 位相角 代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史
Claims (4)
- （１）測定目盛とこの測定目盛を走査する走査ユニット
を備えた二つの相対的に移動可能な対象物の長さ又は角
度測定装置であって、走査ユニットは相互に位相のずれ
だアナログ信号を得るために相互に位相のずれた少なく
とも二つの走査格子を備えた走査板を有し、アナログ信
号は評価装置に供給されるものにおいて、 少なくとも一つの走査格子（Ａ、Ｂ）は少なくとも二つ
の部分格子（４＋ ４ ＋ ”ｔ ｌ Ｂ２ ）から成
り、そのうちの一つの部分格子（ＡＩ １ Ｂ１ ）は
予め設定された位相角（ψ）に対して角（十α１）だけ
、そして他の部分格子（４＋ ％ ）は角（−α２）だ
けずらされており、 部分格子（ＡＩ ＋ ’２ ＋ Ｂ１ ｒ Ｂｚ ）は
位相角（ψ）の調整のために部分的に遮蔽されることが
でき、走査格子（ＡＩ Ｂ）に属するアナログ信号（８
Ａ。 ｓＢ）は部分格子（ＡＩ ＋ ４ ＋ Ｂｌ ＋ Ｂ２
）から得られるアナログ部分信号（” ＡＩ ” Ａ
Ｓ ｌ ” Ｂｌ ｒ ＳＢｇ ）から合成されている
ことを特徴とする長さ又は角度の測定装置。 - （２）部分格子（Ａ１ ＋ Ａ２＋ Ｂ１ ＋ Ｂ２
）の部分的遮蔽のためにねじ（ＴＡ、 、ＴＡ、 、Ｔ
Ｂ□＋’ｒＢ、）が設けられている、特許請求の範囲第
１項記載の長さ又は角度の測定装置。 - （３）部分格子の部分的遮蔽のために絞シが設けられて
いる、特許請求の範囲第１項記載の長さ又は角度の測定
装置。 - （４）走査格子（ＡＩＢ）の画部分格子（ＡＩＴ Ａｘ
＋ ＢＩ ！ Ｂｊ）に共通の光電要素（ＦＡ、 ｐ
Ｂ）が付設されている、特許請求の範囲第１項記載の長
さ又は角度の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3229846A DE3229846C2 (de) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE3229846.3 | 1982-08-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948603A true JPS5948603A (ja) | 1984-03-19 |
| JPH0246087B2 JPH0246087B2 (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=6170585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58145812A Granted JPS5948603A (ja) | 1982-08-11 | 1983-08-11 | 長さ又は角度測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4461083A (ja) |
| EP (1) | EP0102472B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5948603A (ja) |
| AT (1) | ATE20282T1 (ja) |
| DE (2) | DE3229846C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006017615A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Ricoh Co Ltd | マーク検出装置、回転体駆動装置及び画像形成装置 |
| JP2008082820A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Ricoh Co Ltd | 位置検知装置、速度検出装置、移動制御装置、ベルト搬送装置、回転体駆動装置、および画像形成装置 |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3216616C2 (de) * | 1982-05-04 | 1985-06-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3416864C2 (de) * | 1984-05-08 | 1986-04-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrische Meßeinrichtung |
| US4672201A (en) * | 1985-11-14 | 1987-06-09 | Acu-Rite Incorporated | Phase controlled incremental distance measuring system |
| DE3541199C1 (de) * | 1985-11-21 | 1987-06-25 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung |
| GB8615196D0 (en) * | 1986-06-21 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| US4912322A (en) * | 1986-08-15 | 1990-03-27 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Optical type displacement detecting device |
| DE3715908A1 (de) * | 1987-05-13 | 1988-12-01 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Einrichtung zur laengenmessung |
| DE3901535C1 (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-26 | Aeg Olympia Office Gmbh, 2940 Wilhelmshaven, De | |
| DE3930303A1 (de) * | 1989-09-11 | 1991-03-14 | Litton Precision Prod Int | Elektrooptische abtasteinheit fuer ein laengen- oder winkelmessgeraet |
| DE4017954C1 (ja) * | 1990-06-05 | 1991-08-29 | Pav Praezisions-Apparatebau Ag, Vaduz, Li | |
| DE4040794A1 (de) * | 1990-12-17 | 1992-06-25 | Ems Technik Gmbh | Verfahren und lagegeber zur lagebestimmung eines positionierkoerpers relativ zu einem bezugskoerper |
| US5345076A (en) * | 1991-11-06 | 1994-09-06 | The Boeing Company | Optically trimmed sensor for reducing influence of differential node losses |
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