JPS5954253A - 半導体素子のボンデイング用アルミニウム線材 - Google Patents
半導体素子のボンデイング用アルミニウム線材Info
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- JPS5954253A JPS5954253A JP57165486A JP16548682A JPS5954253A JP S5954253 A JPS5954253 A JP S5954253A JP 57165486 A JP57165486 A JP 57165486A JP 16548682 A JP16548682 A JP 16548682A JP S5954253 A JPS5954253 A JP S5954253A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、゛１′、導体の升ツブ電極ど外部り−ｌ−’
Ｆｅ１ｔどを接続りるボン）（ング用ｊｌルミニウｌ
＼線［Ｊ Ｌ：二関ザるちのＣ１１′！ｉに超音波ボン
５” ｒングは勿論、熱＋を着ボンーｉイングによる接
続（！ｌ’ｉｌ Ｉｌｌ：に１するしのである。
Ｆｅ１ｔどを接続りるボン）（ング用ｊｌルミニウｌ
＼線［Ｊ Ｌ：二関ザるちのＣ１１′！ｉに超音波ボン
５” ｒングは勿論、熱＋を着ボンーｉイングによる接
続（！ｌ’ｉｌ Ｉｌｌ：に１するしのである。
従来ボンｊ５インク用覇＋４．（にＪ、す゛１冒薄体の
ブッ／電（〜と外部リード部とを接続りる方法にはＰ！
’ １．’ｌ−首小ンラ−インクと超音波ボンーフ５ｒ
ングか用いられでいる。熱ｔｌンｉホンディングは、・
１ζン−ｊ” ｒング円線）Ｊの端γｉＢを電気的に又
（，１、酸水素炎（清解し、−での際形成されたボール
を押潰しＣ２！ｉ（１・〜４０ （１℃の温度に加熱し
た半導体のブツ／電（う１ど外部リード部（こ、千動又
（，１、自動式ボン−ｙインク、・シンにより接続して
いる。また超７４波ホンフ（ングは、つｌ−ツブニと呼
（、丁れる超音波伝導用の１） １２４４用い、ボン７
′インク用線イΔの側面を超ｔ′−波−１ネルｌ’−Ｉ
ＪＪ、り押潰し℃゛１′１′導捧プ電極と外ｊ１１（リ
−１へ部に、手動兄（３Ｌ自動式ボンディング！シン（
こ」、すＤｉ Ｓａｃ Ｌ／ （いる。、川音（皮ボン
ディングは熱月、ｉ：ｆボンデｒングに比べ１８続【Ｊ
要りるｎ、）間が２−へ・３イー１艮い欠Ｊｌａがあり
、史（こ超ｔ）（皮ボン７（ンク（，１１、つ」ツシ（
ツバ１１（祠用１ｆ”ｉ ｋよ−） Ｔ ホン−Ｊ”
イ：、ｚ クニｈｌｉｉ口１１ヲイｊし、’ｌ’ ｔｒ
ｏ＋内の一方向に限られる欠点があり、族０４状に配置
された半２９体素子の接枢、（こは使用しり１１い欠点
が（ｊうつ ｌこ 。
ブッ／電（〜と外部リード部とを接続りる方法にはＰ！
’ １．’ｌ−首小ンラ−インクと超音波ボンーフ５ｒ
ングか用いられでいる。熱ｔｌンｉホンディングは、・
１ζン−ｊ” ｒング円線）Ｊの端γｉＢを電気的に又
（，１、酸水素炎（清解し、−での際形成されたボール
を押潰しＣ２！ｉ（１・〜４０ （１℃の温度に加熱し
た半導体のブツ／電（う１ど外部リード部（こ、千動又
（，１、自動式ボン−ｙインク、・シンにより接続して
いる。また超７４波ホンフ（ングは、つｌ−ツブニと呼
（、丁れる超音波伝導用の１） １２４４用い、ボン７
′インク用線イΔの側面を超ｔ′−波−１ネルｌ’−Ｉ
ＪＪ、り押潰し℃゛１′１′導捧プ電極と外ｊ１１（リ
−１へ部に、手動兄（３Ｌ自動式ボンディング！シン（
こ」、すＤｉ Ｓａｃ Ｌ／ （いる。、川音（皮ボン
ディングは熱月、ｉ：ｆボンデｒングに比べ１８続【Ｊ
要りるｎ、）間が２−へ・３イー１艮い欠Ｊｌａがあり
、史（こ超ｔ）（皮ボン７（ンク（，１１、つ」ツシ（
ツバ１１（祠用１ｆ”ｉ ｋよ−） Ｔ ホン−Ｊ”
イ：、ｚ クニｈｌｉｉ口１１ヲイｊし、’ｌ’ ｔｒ
ｏ＋内の一方向に限られる欠点があり、族０４状に配置
された半２９体素子の接枢、（こは使用しり１１い欠点
が（ｊうつ ｌこ 。
−ｆｌｕ ニホン’ｊイン’）円線４４ ｔ＝ ｔ、Ｉ
ｌ、次（１） Ｊ、’）ＩＪ ’Ｉ＜ｉ刊が要求されＣ
いる。
ｌ、次（１） Ｊ、’）ＩＪ ’Ｉ＜ｉ刊が要求されＣ
いる。
（１）引張強さが人Δい事。
（２）耐食１１１が優れている“」へ。
〈３）ホール形状／ｌ＜ ４１球（熱１ｉ着ホンノ゛ｒ
ンクの場合）に近く、イの人込さにハノツ１が少４「い
事。
ンクの場合）に近く、イの人込さにハノツ１が少４「い
事。
（４）ホンｊゞ（ングｉ殺の接合強１０．が大きいＪｌ
と、。
と、。
これ等のＱ：ｊ Ｉ’ｌを満足づるホンデｒング用ｆ！
！！ ＋４どしては、金又は金合金線祠或は）′ルミ−
ラム２Ｖはノ′ルミニウム合金線祠が用いられ（いるが
、令■は金合金線４４ Ｌ；ｌ−ビスＩ・が高く、）１
ルミ−ウノ、Ｍ ＋、１アルミニウム合金線利は、・前
記（＋ ） （３） （７）’１．’ｉ性をｉｆ４５
Ｊｌりることがｕ＋ ６す゛、熱ｊ１ネ１には使用りる
ことがで゛ぎないしので′あった。
！！ ＋４どしては、金又は金合金線祠或は）′ルミ−
ラム２Ｖはノ′ルミニウム合金線祠が用いられ（いるが
、令■は金合金線４４ Ｌ；ｌ−ビスＩ・が高く、）１
ルミ−ウノ、Ｍ ＋、１アルミニウム合金線利は、・前
記（＋ ） （３） （７）’１．’ｉ性をｉｆ４５
Ｊｌりることがｕ＋ ６す゛、熱ｊ１ネ１には使用りる
ことがで゛ぎないしので′あった。
本発明はこれに相１力、熱圧ｆ１ホン−、ｉ−”−（ン
グのｒり能なアルミニウム合金線材を開光リペく、種）
Ｚ検問の結果、前記時（４＋を満）、Ｐし、超８波ボン
ディングは勿論、熱圧着ボンディングに使用りることか
できるボンーフィング用アルミニウム合金線月を開発し
たものて゛、Ｎｉ０．３〜２ｗｔ％（以下ｗｔ％を単ニ
％ ト記Ｍ ） Ｓ ｉ Ｏ，（１２％ Ｃ／、 ト、
Ｉ ｅ ０．０？’Ｍ Ｊ：ｌ ｌ、Ｃ１１０，０３％
］５ストを倉（７Ｊ、残部ノノルミ−ウノ、がｌ″）４
することを特ｉ？＆どりる（、）のＣ’ （ｌうる１、
即らホブを明線（Ａ ｉ、Ｉ、〕〕′ルミーウノ＼、二
番（・１すＬ Ｓ’：ｉを添加シーＣボン−１’ イシ
’ｊ ＩＩ口！ｉｌ ＪＡトＬ （具備ｉＪｌ＼ｉＬ’
ｌ１ｌＩ記特ｆ’！ＩＩ ｔご７：） イテ検合した
結果、Ｎｉ 、 ｓｉ 、 ｌ−ｅ及びＣ１，１を上
記組成範囲内η含イｊ １．１１．めること（、二より
、Ｊこれ等元素のｌ動作用にＪ、（・〕１記’４１１ノ
１をンＩ：１）足し１クツこらの（−′ある。
グのｒり能なアルミニウム合金線材を開光リペく、種）
Ｚ検問の結果、前記時（４＋を満）、Ｐし、超８波ボン
ディングは勿論、熱圧着ボンディングに使用りることか
できるボンーフィング用アルミニウム合金線月を開発し
たものて゛、Ｎｉ０．３〜２ｗｔ％（以下ｗｔ％を単ニ
％ ト記Ｍ ） Ｓ ｉ Ｏ，（１２％ Ｃ／、 ト、
Ｉ ｅ ０．０？’Ｍ Ｊ：ｌ ｌ、Ｃ１１０，０３％
］５ストを倉（７Ｊ、残部ノノルミ−ウノ、がｌ″）４
することを特ｉ？＆どりる（、）のＣ’ （ｌうる１、
即らホブを明線（Ａ ｉ、Ｉ、〕〕′ルミーウノ＼、二
番（・１すＬ Ｓ’：ｉを添加シーＣボン−１’ イシ
’ｊ ＩＩ口！ｉｌ ＪＡトＬ （具備ｉＪｌ＼ｉＬ’
ｌ１ｌＩ記特ｆ’！ＩＩ ｔご７：） イテ検合した
結果、Ｎｉ 、 ｓｉ 、 ｌ−ｅ及びＣ１，１を上
記組成範囲内η含イｊ １．１１．めること（、二より
、Ｊこれ等元素のｌ動作用にＪ、（・〕１記’４１１ノ
１をンＩ：１）足し１クツこらの（−′ある。
しかしく線（Ａの組成ｆｌ＝ｉ？囲を一１記の如く限定
したのは次の理由による０の（゛ある。
したのは次の理由による０の（゛ある。
Ｎ ＋ 含（ｉ ｆｆｌ ヲＯ，：ｌ−” ２％ Ｌ
ｌ’ｌＪ定り、 タ（Ｄ ハ、含イ１ｍ１ｆｉ Ｏ，３
％未１ｉＱ−ｃは充分４１強度がｉｌ ”’＞れり゛、
２％を越えるど線（Ａの耐食・１７１及びボール形状が
悪＜ ’ｃｉル／ｊ メｒ アＺ＋ 、、 Ｉｔ、７．
： Ｓ ｉ Ｏ，０２％ 以１’、ｌ’ ００ 、０２
’Ｍ′＋以−１・、Ｃ＋＋ （１，（１３％」メ十と
限定したの口、何れｂ強麿向十に自効なるも、これを越
え（金石ロッメルど、耐食１（１及びボール形状をｎｌ
しくりるため（，３ｉ０．（１１％以−Ｆ’、 Ｆｅ
Ｏ，０１％ＰＩ ’−Ｆ’ 、 （、： ｔｌＯ、ｆ）
１ ％以下とりることか望ましい。
ｌ’ｌＪ定り、 タ（Ｄ ハ、含イ１ｍ１ｆｉ Ｏ，３
％未１ｉＱ−ｃは充分４１強度がｉｌ ”’＞れり゛、
２％を越えるど線（Ａの耐食・１７１及びボール形状が
悪＜ ’ｃｉル／ｊ メｒ アＺ＋ 、、 Ｉｔ、７．
： Ｓ ｉ Ｏ，０２％ 以１’、ｌ’ ００ 、０２
’Ｍ′＋以−１・、Ｃ＋＋ （１，（１３％」メ十と
限定したの口、何れｂ強麿向十に自効なるも、これを越
え（金石ロッメルど、耐食１（１及びボール形状をｎｌ
しくりるため（，３ｉ０．（１１％以−Ｆ’、 Ｆｅ
Ｏ，０１％ＰＩ ’−Ｆ’ 、 （、： ｔｌＯ、ｆ）
１ ％以下とりることか望ましい。
５１：ｌζζ本川明線４Ａ、ノノルミーウ／、地σ中に
１’６１ Ｊ、れる十記Ｊメ外の元素（，１伺れし耐食
１（１及び小−舟形状を悪くりるため、できる限り少艶
に抑える必要があり、これ等不純物元素の含有用の合°
８１を０．０１％以下史には０．００５％以下に抑える
ことが望ましい。このためにＩＬＬ Ｉｌｉ ＩσＱ９
，９！ｉ％Ｊスー１のアルミニウム地金中、」−記含右
元素以外の不純物元素の少ないものを選択使用りるか或
は純度！］ ９ 、９ り％ｊス１、望ましくは胴ｊ度
９９’、９９５％以−１−の高純アルミニウ１１地金を
使用りるどよい。
１’６１ Ｊ、れる十記Ｊメ外の元素（，１伺れし耐食
１（１及び小−舟形状を悪くりるため、できる限り少艶
に抑える必要があり、これ等不純物元素の含有用の合°
８１を０．０１％以下史には０．００５％以下に抑える
ことが望ましい。このためにＩＬＬ Ｉｌｉ ＩσＱ９
，９！ｉ％Ｊスー１のアルミニウム地金中、」−記含右
元素以外の不純物元素の少ないものを選択使用りるか或
は純度！］ ９ 、９ り％ｊス１、望ましくは胴ｊ度
９９’、９９５％以−１−の高純アルミニウ１１地金を
使用りるどよい。
以ト木発明１ｉ！ｉ！月を実施例につい（説明りる。
純度９９，９９９％の高純度アルミニウム地金を冶解し
、これにＮｉ 、Ｓｉ 、Ｆｃ及びＯＬｌ ヲＩ’ｉ１
合金どして添加し／、＝ ｉｎ ｔ）、 造し、第′１
表に承り組成の含金鋳洩を１１〒Ｉ、：。これを熱間ｊ
■延後伸線加］二しく直径３０１ｔのアルミニウｌＸ合
金４４ｊ■ｌ線どした。これ等極細線についＣ強Ｉσ及
び耐食性を測定した７、またこれ等極細線を用い（通常
の手動式熱ＩＬ ｎボン−７ｒング装置を用いて、線材
端部を電気的【ご溶解し、形成されたボールを半導体の
ブップ雷極ど外部リード部に接続し、形成されたボール
形状と、ボンｊインク後の島）４Ｊの強庶を測定（２ｋ
ＩＩ Ｃ−れ等の結果を第１表に＋ＪＩ記した３゜ 尚耐食１）ｌ： ＬＩ Ｊ Ｉ Ｓ ｌ ２３７ ’Ｉ
にＪ’、ｊ −５（鵬水＋１．１１′Ｂ試験により判定
した１１．１、！ご）′ル°ミーウム線（Δの溶融によ
るホール形状ＩＪ、 ＋１視にＪ、り判定１７に、。
、これにＮｉ 、Ｓｉ 、Ｆｃ及びＯＬｌ ヲＩ’ｉ１
合金どして添加し／、＝ ｉｎ ｔ）、 造し、第′１
表に承り組成の含金鋳洩を１１〒Ｉ、：。これを熱間ｊ
■延後伸線加］二しく直径３０１ｔのアルミニウｌＸ合
金４４ｊ■ｌ線どした。これ等極細線についＣ強Ｉσ及
び耐食性を測定した７、またこれ等極細線を用い（通常
の手動式熱ＩＬ ｎボン−７ｒング装置を用いて、線材
端部を電気的【ご溶解し、形成されたボールを半導体の
ブップ雷極ど外部リード部に接続し、形成されたボール
形状と、ボンｊインク後の島）４Ｊの強庶を測定（２ｋ
ＩＩ Ｃ−れ等の結果を第１表に＋ＪＩ記した３゜ 尚耐食１）ｌ： ＬＩ Ｊ Ｉ Ｓ ｌ ２３７ ’Ｉ
にＪ’、ｊ −５（鵬水＋１．１１′Ｂ試験により判定
した１１．１、！ご）′ル°ミーウム線（Δの溶融によ
るホール形状ＩＪ、 ＋１視にＪ、り判定１７に、。
第゛１表から明らかなＪ、うに、ホ′５こ明ｔ！ｉ！
ｉＡ Ｎｏ １− Ｎ Ｏ，８は何れし従来線側ホン）
ｒジグＮ０１４ど同等の強度及び１ｌｉＪ食′１ノ１を
イ］し、雷′、、（的＋＝ ＜’、Ｈ１，に状のホール
か形成され、熱月６ホンノｒンクが１１１能である（−
とか判る１、Ｊれ（ＪスＪ シｔ；Ｌ宋釘１（祠Ｎ（１
１７１’（−は電気的（ごホールが形成されり゛、熱月
肴ホン）（ンクがイ・１り能Ｃある、。
ｉＡ Ｎｏ １− Ｎ Ｏ，８は何れし従来線側ホン）
ｒジグＮ０１４ど同等の強度及び１ｌｉＪ食′１ノ１を
イ］し、雷′、、（的＋＝ ＜’、Ｈ１，に状のホール
か形成され、熱月６ホンノｒンクが１１１能である（−
とか判る１、Ｊれ（ＪスＪ シｔ；Ｌ宋釘１（祠Ｎ（１
１７１’（−は電気的（ごホールが形成されり゛、熱月
肴ホン）（ンクがイ・１り能Ｃある、。
また本ｙ６明線月の組成１・１１間よりタトれる比較線
（ＡＮ ０．１０ ＝ ＋３？１−Ｌｌ、耐食□ｌ’ｌ
／Ｊ＜劣り、Ｎ：ｒ：イＨ＋；＋ ｏ：＋少４「い比
較線側ＮＯ，９Ｚ’はホール形状ｉＪ、 ＋ｒ’ｉ球（
Ｊχ「るらのの、ホンディンＱ後の引張強さか小さいと
い−）欠点かあることか判ル、 １ｉｒ にＮ ｉ ’
５ （ｊＩｎ Ｃ／） 少く； イ比較合金Ｎ００９（
−は電気的（こホールか形成、さ１′シリ、熱１着１１
（ンデイングが小ｉｉ■能どイ１イ）ことか判る。
（ＡＮ ０．１０ ＝ ＋３？１−Ｌｌ、耐食□ｌ’ｌ
／Ｊ＜劣り、Ｎ：ｒ：イＨ＋；＋ ｏ：＋少４「い比
較線側ＮＯ，９Ｚ’はホール形状ｉＪ、 ＋ｒ’ｉ球（
Ｊχ「るらのの、ホンディンＱ後の引張強さか小さいと
い−）欠点かあることか判ル、 １ｉｒ にＮ ｉ ’
５ （ｊＩｎ Ｃ／） 少く； イ比較合金Ｎ００９（
−は電気的（こホールか形成、さ１′シリ、熱１着１１
（ンデイングが小ｉｉ■能どイ１イ）ことか判る。
このＪ、・）に本琵明ｒ！ｉｔ ４／１１．１熱１．’
、ｆ’、 ４’＋小ンｊ ｒンクにお（：Ｊる０り記諸
特１′！Ｉを嵩足りる１）の（゛、″１′導体素了のボ
ンティング用線（Ａどじで高１曲イ１金×は金合金線に
代わり、−二１ス１〜か安＜、＋Ｊ＋：１同雪の凹能を
１ｑることか−Ｃきる顕茗４Ｔ効宋を奏りる６の（（ｌ
りる。
、ｆ’、 ４’＋小ンｊ ｒンクにお（：Ｊる０り記諸
特１′！Ｉを嵩足りる１）の（゛、″１′導体素了のボ
ンティング用線（Ａどじで高１曲イ１金×は金合金線に
代わり、−二１ス１〜か安＜、＋Ｊ＋：１同雪の凹能を
１ｑることか−Ｃきる顕茗４Ｔ効宋を奏りる６の（（ｌ
りる。
三：丁わ■７山１丁−μ］く１１什）
昭和５７汗１０１”１２０目
特Ｒ′１庁長官 Ｊへ°（−６不１１）（更賛１゜串１
′１の表示 昭和１５７年 特ＲＴＩＷ！ 第１ （−＞ ５４８
Ｃ３号３ 補ｉ「をづ−る名 名 称 古’ｔｌ’Ｊ１’：ｊ列、金ｌ爪」業株
式／Ｊ＞？ｌ （ｉ也１ン１）英 ヒル３階 明に口１書の発明の詳細な説明の欄 （” ’３’ｌ 、 ” Ｚ、”“・層宇山 １１−
］ σ） Ｉノ＼＋ ’；’ｑ：１、明細μ
４第８頁第９行１ｔｌ ｌ’ Ｎ ｉ ＊’ｆ＋ｔｉ１
１ トｉｌ’ｉＫ）を１特にＮ１含右吊１とｉｌ ｉｌ
−’りる１゜２、同第８頁第’１２Ｌ＋−・・第１４
（”ｈ ｋ’： ｒ １！ｉ １．、− Ｎｉ含イｊ吊
の少４Ｔい比較合金Ｎ ｏ、 ９ （” ｋｌｌ電気的
Ｊホールが形成されづ゛、熱ｊ１ｉボンラインクが不ｉ
［能とイ「ることがＩ′１する。７１と（（りるをＪ’
ｉｌｌ除りる。
′１の表示 昭和１５７年 特ＲＴＩＷ！ 第１ （−＞ ５４８
Ｃ３号３ 補ｉ「をづ−る名 名 称 古’ｔｌ’Ｊ１’：ｊ列、金ｌ爪」業株
式／Ｊ＞？ｌ （ｉ也１ン１）英 ヒル３階 明に口１書の発明の詳細な説明の欄 （” ’３’ｌ 、 ” Ｚ、”“・層宇山 １１−
］ σ） Ｉノ＼＋ ’；’ｑ：１、明細μ
４第８頁第９行１ｔｌ ｌ’ Ｎ ｉ ＊’ｆ＋ｔｉ１
１ トｉｌ’ｉＫ）を１特にＮ１含右吊１とｉｌ ｉｌ
−’りる１゜２、同第８頁第’１２Ｌ＋−・・第１４
（”ｈ ｋ’： ｒ １！ｉ １．、− Ｎｉ含イｊ吊
の少４Ｔい比較合金Ｎ ｏ、 ９ （” ｋｌｌ電気的
Ｊホールが形成されづ゛、熱ｊ１ｉボンラインクが不ｉ
［能とイ「ることがＩ′１する。７１と（（りるをＪ’
ｉｌｌ除りる。
二［糸売ンｒｌトに戸４ （自 光）
１１（（和５）Ｅ）イ１−０月１４０
’ｔ’ｒｉｉ’ｔ／−、＋ｍ’自’ Ｐ；ｌｅ肘、Ｊ夫
ＪｊＷ１、事１′１の表示 昭和５７年 特ｉ’ｆ願 第１（汀μＥ３０脣２、発明
の名称 半導ｆ水素子のホンーｉ、ｒング用ｉ′ルミ二シノ将！
４１ＪＪ３、補ｉＴ二をりる者 ｑ（イ１１どの関係 １！１ハ’ｌｉ１．ｊ願人イー１
所 神奈川県甲塚山東へ幅！）’Ｉ Ｉ’ｄ
’１缶ε３）；名 称 古河特殊金属Ｔ業株式会
ン１ く他′口］）４、代理人 イ１ 所 東東部千代［■１［スフ１１１１＋１
１１；重物町１０吊曲〒１０１ 英 ビル：’３
１ｔＰｉ電話（２ｈ２） ［ｉ［ｉｌ！ｌ （代）氏
名 （６３１１） 弁理ｌ′Ｉ’ｔ １
ｌｌｉ ｉ１″１！：ｊ、補１１゜の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ン市 １１ ０ １人ｊ ′？ダ
１、Ｉす］細用第′１（（下から第１１ （−１１口７
二（’、’ｊ４ｊ Ｊ１イ１小ンｊイングＩどｄうるを
［熱１−１着ホンｔ ｒンク〈超７４波（Ｊｌ用１代ら
含む５．Ｌス１股中に；：小月ン１ボン）インクどｈう
）１ど削ｊＩＩノる１゜ ２、同２頁第１２？Ｉ・〜・第１８１」にＩＨ１昂汲小
ンボンングは・・・・・・使用しｆｌｌい欠点があ一１
／：ｌ、、１どあるを下ムし：の通り＝”Ｊ 、ｉｌで
り−る１゜］超？１波ホンｉ（ング（３し′）１ツ゛ノ
のわ！ｉ ４Ａ川１ｂ′１にょ−） （ホンディング（
、二号向刊を右じ、’ｌＩ「ｌｎ内の方向に限られるた
め、ｊ＋’Ｉ Ｑ・ｌ払に配置され／＝ ：Ｆ−、’ｒ
ｌ！ｒ体県了の接続（には半）ｐ体ズミＴを回申！、さ
けイ）へｊｃｒ）不利’ｌｔ−／Ｉ−Ｌ；、銅！ １．
！’ Ｍ ｉｆ、ン−ｔ’ ４ンク（、二比べＩ＞；
１／’１：に川りる１１６間ハ、＜２−・３１）“１長
い欠Ｊｊ、１ハ＼あるｔ＋ Ｉ叉曲、ＩＧ音）皮ボンｉ
イング（、ド１′導イホ累（４−１川熱（１く）ことな
しに適用できること！、ｌ Ｊ、る利点ら人さい１）の
かある。
ＪｊＷ１、事１′１の表示 昭和５７年 特ｉ’ｆ願 第１（汀μＥ３０脣２、発明
の名称 半導ｆ水素子のホンーｉ、ｒング用ｉ′ルミ二シノ将！
４１ＪＪ３、補ｉＴ二をりる者 ｑ（イ１１どの関係 １！１ハ’ｌｉ１．ｊ願人イー１
所 神奈川県甲塚山東へ幅！）’Ｉ Ｉ’ｄ
’１缶ε３）；名 称 古河特殊金属Ｔ業株式会
ン１ く他′口］）４、代理人 イ１ 所 東東部千代［■１［スフ１１１１＋１
１１；重物町１０吊曲〒１０１ 英 ビル：’３
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［槍小シデ−ｔ ’、−・ダには金或いは・Ｃの合金線
が、又超音波ポジ１゛インクにＩ、１． ’ｉ’ルミー
ウ１１或いはその合金線が用いられるのがｉｎ’、＋例
（（シフる１゜しかるに両者の利点を引かしく ’＋’
＋’； ｒ：、ａ Ｖ、 ｆ；１．２００℃以ドの加熱
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ングｉｊ］能４ｒらしめる４Ｃらは′、ぞの１１程は人
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１と（（するを１前記の通り金）こは金合金１とｉ’ｌ
’ ｉｌ： ９る。１４、同第３貞第１０７−ｉに［１
ス）〜が高く、Ｉルミーウ１１゜１どあるを１前記のり
６点（に加えＣ１ストが高いど言う人きな欠点し持っＣ
いる。、 ／’Ｉ にｆ ；にのアルミニウム１どム
Ｉ’ ｉｌ！１する１゜５、同第３３０第１１１７に［
前記＜１＞（：３）Ｉど（（りるを［前記： （’ｌ
）〜（／Ｉ）の何れか１とＭｌ ＋Ｌづる。
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ｉｌｉ！ｖｌど８Ｅｉ′Ｊ−りる、。
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Claims (1)
- （１）Ｎｉ０．３へ一２ｗｔ％、３ｉ （１，０２ｗ
ｔ％１スート、ＦＣ！ ０．（１２ＷＩ ％以下、Ｃ
１１０，０３ｗｔ ％ Ｇ／、 ’ｌ’ ＠ ＊み、残
部ノフルミニウムから’ｅＫ ’Ｋ）４”！４体晃子の
ボンデ゛イング用ｊフルミニウム線拐 （２＞Ｎｒ 、ｓｌ、 ［二ｅ、Ｃ１１以外の不純物元
素が金種 ０．０１ｗｔ％以ドであるアルミニウムを用
いる特ｉｉＴ ａｔ’Ｊ求の範囲第１項記載の半を（ホ
累了のホンディング用ノフルミニウム線（Δ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57165486A JPS5954253A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 半導体素子のボンデイング用アルミニウム線材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57165486A JPS5954253A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 半導体素子のボンデイング用アルミニウム線材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954253A true JPS5954253A (ja) | 1984-03-29 |
| JPH0141021B2 JPH0141021B2 (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=15813312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57165486A Granted JPS5954253A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 半導体素子のボンデイング用アルミニウム線材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954253A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956737A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | 半導体素子のボンデイング用Ａｌ線 |
| CN103757493A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-30 | 安徽欣意电缆有限公司 | 一种汽车线用Al-Fe-Cu-Ni铝合金及其线束 |
-
1982
- 1982-09-22 JP JP57165486A patent/JPS5954253A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956737A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | 半導体素子のボンデイング用Ａｌ線 |
| CN103757493A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-30 | 安徽欣意电缆有限公司 | 一种汽车线用Al-Fe-Cu-Ni铝合金及其线束 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0141021B2 (ja) | 1989-09-01 |
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