JPS5954608A - 粗不活性ガス中の酸素分除去方法 - Google Patents
粗不活性ガス中の酸素分除去方法Info
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- JPS5954608A JPS5954608A JP57163537A JP16353782A JPS5954608A JP S5954608 A JPS5954608 A JP S5954608A JP 57163537 A JP57163537 A JP 57163537A JP 16353782 A JP16353782 A JP 16353782A JP S5954608 A JPS5954608 A JP S5954608A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
活の不活性カスをiず□る際、副生成物として得られた
1[1不?、9性ガ玉を□、供り、した水素ガスと)1
、にgt金属触媒層(こ通す□ことて、当該カス中に含
まれている酸素を、水(こ変換して除去する方法の改良
に関する。
1[1不?、9性ガ玉を□、供り、した水素ガスと)1
、にgt金属触媒層(こ通す□ことて、当該カス中に含
まれている酸素を、水(こ変換して除去する方法の改良
に関する。
従来のこの種酸素除去方法は、@″;1図に示すi[1
1’<白金、パラジウム等による貴金属触媒11轄1の
流入前段バイブI) lこ水素調整弁Cを介して、水素
供給バイブdを連結ず乞と八番こ、当8W′触媒層aの
流出後段バイブQ”+こは水素分析ど1[fr:連結し
、当該分析、?t、 fの分析結果に基づ、いて前記水
素調整弁Cを制御するよう(こしている。
1’<白金、パラジウム等による貴金属触媒11轄1の
流入前段バイブI) lこ水素調整弁Cを介して、水素
供給バイブdを連結ず乞と八番こ、当8W′触媒層aの
流出後段バイブQ”+こは水素分析ど1[fr:連結し
、当該分析、?t、 fの分析結果に基づ、いて前記水
素調整弁Cを制御するよう(こしている。
ずなわち!11不話1生ガス中の11g素に対して、常
に過剰きみの水素を与えな同れば、未反応の酸素が、第
3図の流出後段バイブCに連結される図示しない不活性
ガス精製装置に偉人されてしまつこと\なり、この結果
アルゴンガス等の純1 □ 度が低下すると共に収率にも影響してくるため、
−常5に可成り大+1目こ過剰な水素ガスが供給される
よう水素分析側fの水素濃度設定点が定y〕られ、□
当該設定点と同分析計fによる測定調度との比較によつ
℃、当該過剰供給が行なわれるようにしている。
に過剰きみの水素を与えな同れば、未反応の酸素が、第
3図の流出後段バイブCに連結される図示しない不活性
ガス精製装置に偉人されてしまつこと\なり、この結果
アルゴンガス等の純1 □ 度が低下すると共に収率にも影響してくるため、
−常5に可成り大+1目こ過剰な水素ガスが供給される
よう水素分析側fの水素濃度設定点が定y〕られ、□
当該設定点と同分析計fによる測定調度との比較によつ
℃、当該過剰供給が行なわれるようにしている。
このkめ従来法によるとき(才、可成り移置の・ 水素
が酸素の除去に参画することなく無駄に消費されてしま
い極めて不・経済で:あるだけでなく、組下活性ガス中
の酵素分は、可成りの変動を伴うものであり、しかも水
素分析31としても良好な感度と信頼□性没有す基もの
5人手が困難であるため、〒素濃度の急変、ζこ対して
追従するこ′とができず、酸素が充分に除去しされない
よう1 な事件の発生を完全(こ回避することが困難であった。
が酸素の除去に参画することなく無駄に消費されてしま
い極めて不・経済で:あるだけでなく、組下活性ガス中
の酵素分は、可成りの変動を伴うものであり、しかも水
素分析31としても良好な感度と信頼□性没有す基もの
5人手が困難であるため、〒素濃度の急変、ζこ対して
追従するこ′とができず、酸素が充分に除去しされない
よう1 な事件の発生を完全(こ回避することが困難であった。
本願では上記従来法の難点に鑑み、その第1発明では適
切なるf段によりi11不話性ガス中の酸素を除去する
に必要な化学量論量としτの水素供給用をifii算し
、当該演算値lこよって水素ガフの供給量を制御し、常
に過不足のない水素ガスを供給して、O11記従来例の
欠陥を解消しようとしており、第2の発明では、第1の
発明(仁、シ11金属触媒層の流出後段側におけるガス
の水素#度検知結果(こより得られた添加水素量の決定
讐素ケ加算すること4こより、万一にも、水素ガス0(
給電の不足が生じないようにし、しかも過剰な水素供給
による長歌の水素消費を回避しようとしヱいる。
切なるf段によりi11不話性ガス中の酸素を除去する
に必要な化学量論量としτの水素供給用をifii算し
、当該演算値lこよって水素ガフの供給量を制御し、常
に過不足のない水素ガスを供給して、O11記従来例の
欠陥を解消しようとしており、第2の発明では、第1の
発明(仁、シ11金属触媒層の流出後段側におけるガス
の水素#度検知結果(こより得られた添加水素量の決定
讐素ケ加算すること4こより、万一にも、水素ガス0(
給電の不足が生じないようにし、しかも過剰な水素供給
による長歌の水素消費を回避しようとしヱいる。
本発明4f実施するのに用いることのできる装置7″1
”例につき先ず説示すれば、第2図にあってυ1金属仰
1! ’AUIr’目1)にI’ll不活性ガスを導入
する流入niJ段バイブ(2)には、従来例と同じく水
素調整Jl’ +31fc J!:(ifii I−た
水素イJ(給パイプ(4)が連結されているた1′Iで
なく、その0iI段側には粗茶活性ガス流1晴。
”例につき先ず説示すれば、第2図にあってυ1金属仰
1! ’AUIr’目1)にI’ll不活性ガスを導入
する流入niJ段バイブ(2)には、従来例と同じく水
素調整Jl’ +31fc J!:(ifii I−た
水素イJ(給パイプ(4)が連結されているた1′Iで
なく、その0iI段側には粗茶活性ガス流1晴。
ヒンジ゛−(5)と酸素濃度センサー(6)とが同パイ
プ(2)Iこ連結され、さらに当d亥jjlij者(5
1161の出力が次j々のll’l幹器(7)に接続さ
ノし、回器(7)の出力側(才、加分型(8)を介して
、水素供給バイブ(4)に連結され、かつ前照水素調整
弁(3)音制御する水素流邦。
プ(2)Iこ連結され、さらに当d亥jjlij者(5
1161の出力が次j々のll’l幹器(7)に接続さ
ノし、回器(7)の出力側(才、加分型(8)を介して
、水素供給バイブ(4)に連結され、かつ前照水素調整
弁(3)音制御する水素流邦。
調節計(9)に接続されている。
さらに同図に示す装置にあっては、前記′lt金属触媒
層(1)の流出後段バイブ’Cl0IIこ、同バイブα
ω内のガス番こつき水素の濃度を検知する水素濃度セン
サー01)が旧設されており、同センサー(11)が接
続されている水素濃度調節ffl’02)の出力信号が
前記加算器(8)に入力される購成となっている。
層(1)の流出後段バイブ’Cl0IIこ、同バイブα
ω内のガス番こつき水素の濃度を検知する水素濃度セン
サー01)が旧設されており、同センサー(11)が接
続されている水素濃度調節ffl’02)の出力信号が
前記加算器(8)に入力される購成となっている。
これに対し詔3図の装置例にあっては、演算器(7)の
出力が尿素流量調節it tq+に印加され、同調節計
(9)の出力側と、水素濃度調節111171の出力側
と□が加算器(8)に接続され、回器(8)の出力によ
って水素供給バイブ(4)の水素調整弁(3)が制6■
されるようにな□っている点が、第2図のものと相違し
ている。
出力が尿素流量調節it tq+に印加され、同調節計
(9)の出力側と、水素濃度調節111171の出力側
と□が加算器(8)に接続され、回器(8)の出力によ
って水素供給バイブ(4)の水素調整弁(3)が制6■
されるようにな□っている点が、第2図のものと相違し
ている。
こメで第2、第3図に示されている破線θmは、水素濃
度調節計02)が故障し、その出力が加算器(8)(こ
印加されなくなった場a、当該故1(1ンの発生によっ
て故障信号が同調節30カから水素a鼠調節計19)に
導入されるようにしであることを示しており、この結果
同調Q1jp t、Qlは、Al1記、化学匿論;d金
例えば1〜2%増とした水素ガスが供与さノア、るよう
、水素11周!とブ1[3+が11川御されるようにし
てあり、こ\で土2+4iした制御下段には、P I
+)制6111、P1制御またはON、OIi l”制
41ヲ抹11りすることができること、ダ)ちるんであ
る〇そこでΔ・7#i第1発+jJ id係議方法では
、上記の仏間を月jいることにより、精留塔と相アルゴ
ン塔を具備したflL フルボ/採取プロセスにて採取
サワ、た、1列えは1■アルゴンガス(アルゴン96〜
!] 8 Vo7%、酸素1〜2 Vo1%、窒素1〜
2Vot%)が、流入ni1段パイプ(21IC図示さ
れヱないコンプレッサーによって、3〜4にりr /c
nl 程TJCにシIl用導入される。
度調節計02)が故障し、その出力が加算器(8)(こ
印加されなくなった場a、当該故1(1ンの発生によっ
て故障信号が同調節30カから水素a鼠調節計19)に
導入されるようにしであることを示しており、この結果
同調Q1jp t、Qlは、Al1記、化学匿論;d金
例えば1〜2%増とした水素ガスが供与さノア、るよう
、水素11周!とブ1[3+が11川御されるようにし
てあり、こ\で土2+4iした制御下段には、P I
+)制6111、P1制御またはON、OIi l”制
41ヲ抹11りすることができること、ダ)ちるんであ
る〇そこでΔ・7#i第1発+jJ id係議方法では
、上記の仏間を月jいることにより、精留塔と相アルゴ
ン塔を具備したflL フルボ/採取プロセスにて採取
サワ、た、1列えは1■アルゴンガス(アルゴン96〜
!] 8 Vo7%、酸素1〜2 Vo1%、窒素1〜
2Vot%)が、流入ni1段パイプ(21IC図示さ
れヱないコンプレッサーによって、3〜4にりr /c
nl 程TJCにシIl用導入される。
この導入により当該徂アルゴンカスにつき、前記の粗茶
活性カス流[h七)シー(5)1こより同ガスの総アル
ゴン量が知らlし、かつ酸素濃度センサー(6)により
02のajwが判明するがら、演算□゛ 4
刀の1什9によりo2の流量から、当該流ボの02をJ
゛度112(、、)とするために四する化学)d−論量
としての水素供、給量、を計算することができる。
活性カス流[h七)シー(5)1こより同ガスの総アル
ゴン量が知らlし、かつ酸素濃度センサー(6)により
02のajwが判明するがら、演算□゛ 4
刀の1什9によりo2の流量から、当該流ボの02をJ
゛度112(、、)とするために四する化学)d−論量
としての水素供、給量、を計算することができる。
そして後述のように水素@′度調節#1u2)がら加算
器′、(8)に導入される信号がないとずれば、上記演
算器(7)による水素供給、量により、水素流量調節計
(9)が制御され、同調節計(9)によって水素調整弁
(3)が、制、?al:さ・れる結果、水素供給パイプ
(4)がら流入前段/ぐイブ(21に供与さ、+する水
素ガスは、相アルゴン中に含まれている02を水に変換
するに要する化学、量論量たけ送り込オれること\なる
。
器′、(8)に導入される信号がないとずれば、上記演
算器(7)による水素供給、量により、水素流量調節計
(9)が制御され、同調節計(9)によって水素調整弁
(3)が、制、?al:さ・れる結果、水素供給パイプ
(4)がら流入前段/ぐイブ(21に供与さ、+する水
素ガスは、相アルゴン中に含まれている02を水に変換
するに要する化学、量論量たけ送り込オれること\なる
。
炊(こ第2発明では、第1発明の&0ぎ水素供給量のみ
に基づいて、水素ガスの(JCLj量全全決定てしまう
のではなく、゛貴金属触媒JT4[]1を通過して流出
後段パイプa1こ流入したガスにつき、R+1記水素濃
度七ンサー(Illにより水素濃度が検知され、これが
水素濃度調節!I’Q21に導入されることによって、
当該調節計u21iこあって予め設定しておいた水素濃
度の設定値と、」二記の検知値との差異により、同調節
計ozがらの出力が加算器(8)(こ印加され、がくし
て上述の化学駁論蚤である水素供給量とが加算され、当
該加算出力が術2図にあって流量調節計(9)lこ導入
され、同調節計(!9)の出力lこよる水素調整弁(3
)の割病11こより、水素カフ0供り量が調整されるこ
とになる。
に基づいて、水素ガスの(JCLj量全全決定てしまう
のではなく、゛貴金属触媒JT4[]1を通過して流出
後段パイプa1こ流入したガスにつき、R+1記水素濃
度七ンサー(Illにより水素濃度が検知され、これが
水素濃度調節!I’Q21に導入されることによって、
当該調節計u21iこあって予め設定しておいた水素濃
度の設定値と、」二記の検知値との差異により、同調節
計ozがらの出力が加算器(8)(こ印加され、がくし
て上述の化学駁論蚤である水素供給量とが加算され、当
該加算出力が術2図にあって流量調節計(9)lこ導入
され、同調節計(!9)の出力lこよる水素調整弁(3
)の割病11こより、水素カフ0供り量が調整されるこ
とになる。
さらにこ\で本願発明の具体例を示せば、前記の妬くコ
ンプレッサーにて51圧すること(こより;3〜4 K
g r/arl の圧力をもった粗アルゴンガス(アル
ゴン98%、酸素1%、N21%)カIfi7N+++
″/b たけ、流入前段パイプ(2)に導入される〇 これ(こより当該流量センサー(5)が1’ 57 N
y++’/11を、そして酸素一度センサー(6)が1
%を測知すること\なり、これらt L’%大したンψ
;算器(7)が、02の流、jj?; ]、 57 ’
N +d/ h (c ’R出L、す、I?Iコ(js
学針論[6としての水素供給量すなわち1i57x
z= 3.14 N 111”/ b (実際上この場
合にあって314N +++’/ hに(吊かの量を加
算して、これを水素供給力)、とするようにしてもよい
。)の信号を加算器(81番こ導入する。
ンプレッサーにて51圧すること(こより;3〜4 K
g r/arl の圧力をもった粗アルゴンガス(アル
ゴン98%、酸素1%、N21%)カIfi7N+++
″/b たけ、流入前段パイプ(2)に導入される〇 これ(こより当該流量センサー(5)が1’ 57 N
y++’/11を、そして酸素一度センサー(6)が1
%を測知すること\なり、これらt L’%大したンψ
;算器(7)が、02の流、jj?; ]、 57 ’
N +d/ h (c ’R出L、す、I?Iコ(js
学針論[6としての水素供給量すなわち1i57x
z= 3.14 N 111”/ b (実際上この場
合にあって314N +++’/ hに(吊かの量を加
算して、これを水素供給力)、とするようにしてもよい
。)の信号を加算器(81番こ導入する。
−・方流出後段パイプaO)に流出し℃くるガス成分は
アルゴン98%、821%、酸素は貴金属触媒Is +
1.l iこよって1. ppm以Fとなり、■I2は
07〜10乃となるが、水素濃度センツー0111とよ
って当該ガスの水素濃度が07%と1tltl知され、
これが水素濃度調節#(’ 02) lこ導入されると
、同調節計(1zの設寓値が0.8%だとすれば、同バ
イブθ0)の水素濃度が08%となるような添加水素量
1.2Npy?/hを添加すべき信号が加算器(8)に
刊与され、回器(8)からは3.14 +1.2 =
4.34 NJ/ hの信号が水素流量調節計(9)に
導入され、これにより水素調整弁(3)が制御されるこ
と\なる。
アルゴン98%、821%、酸素は貴金属触媒Is +
1.l iこよって1. ppm以Fとなり、■I2は
07〜10乃となるが、水素濃度センツー0111とよ
って当該ガスの水素濃度が07%と1tltl知され、
これが水素濃度調節#(’ 02) lこ導入されると
、同調節計(1zの設寓値が0.8%だとすれば、同バ
イブθ0)の水素濃度が08%となるような添加水素量
1.2Npy?/hを添加すべき信号が加算器(8)に
刊与され、回器(8)からは3.14 +1.2 =
4.34 NJ/ hの信号が水素流量調節計(9)に
導入され、これにより水素調整弁(3)が制御されるこ
と\なる。
本願、障1発明では前記実施例により具現される通り、
精留手段にて抽出された組下活性ガスに、水素ガスを供
与しソ、これを6金やパラジウム等を用いた貴金属□触
媒管(こ通ずことにより、当該相不活性ガス中の、、酸
□素分を水として除去ず、る、方法において、上記貴金
属触媒1ri o流入^11段側にあって組下循性ガス
につぎ、その総流1と、酸素外の濃度を検知し□、これ
ら両検知値による□ 演算により、当該酵素分の除去に必要な化学(i4論ボ
[としての水素供給量・を決定して、当紙供給11’+
に基づく水素Nl!J整弁の制御ζこより水素ガスを供
′Jするようにしたから、常に必要かつ充分な水素ガス
を供与し得ること\なり、水素の無駄な消費がなく、さ
らに第2の発明では第1発明の如く化学量論量としての
水素供給量を決定するたけでなく、vJ金属触媒層の流
出後段側にあって、当該ガスの水素濃度を検知し、当該
検知値が予め設定し、た濃度(1r1となるよう添加水
素化を決足し、前記決定の水素供給量に、この添加水累
月を加算した量にhl、づく水素調整弁の制御により水
素ガスを供与するようにしたから、相アルゴンガヌ等の
酸素含有率に大きな変動があっても充分に追従して、水
素を適、鼠だけ供給でき、従って純度の高い不活性ガス
を高収率で精製でき、しかも長駆に無駄な水素ガスを消
費してしまうといった従来法の欠陥を解消することがで
きる。
精留手段にて抽出された組下活性ガスに、水素ガスを供
与しソ、これを6金やパラジウム等を用いた貴金属□触
媒管(こ通ずことにより、当該相不活性ガス中の、、酸
□素分を水として除去ず、る、方法において、上記貴金
属触媒1ri o流入^11段側にあって組下循性ガス
につぎ、その総流1と、酸素外の濃度を検知し□、これ
ら両検知値による□ 演算により、当該酵素分の除去に必要な化学(i4論ボ
[としての水素供給量・を決定して、当紙供給11’+
に基づく水素Nl!J整弁の制御ζこより水素ガスを供
′Jするようにしたから、常に必要かつ充分な水素ガス
を供与し得ること\なり、水素の無駄な消費がなく、さ
らに第2の発明では第1発明の如く化学量論量としての
水素供給量を決定するたけでなく、vJ金属触媒層の流
出後段側にあって、当該ガスの水素濃度を検知し、当該
検知値が予め設定し、た濃度(1r1となるよう添加水
素化を決足し、前記決定の水素供給量に、この添加水累
月を加算した量にhl、づく水素調整弁の制御により水
素ガスを供与するようにしたから、相アルゴンガヌ等の
酸素含有率に大きな変動があっても充分に追従して、水
素を適、鼠だけ供給でき、従って純度の高い不活性ガス
を高収率で精製でき、しかも長駆に無駄な水素ガスを消
費してしまうといった従来法の欠陥を解消することがで
きる。
第1図は従来の粗茶活性ガス精製方法全実施する装装置
の・配管説明図、第2図と第3図□は本願発明に係る除
去方法を実施するのζこ用い得る装置の夫々異種例を示
した配管説明図である。 (++・・・・・貴金属IQ!媒層 (3)・・・・・水素調整弁 第1図 第2図 第3図
の・配管説明図、第2図と第3図□は本願発明に係る除
去方法を実施するのζこ用い得る装置の夫々異種例を示
した配管説明図である。 (++・・・・・貴金属IQ!媒層 (3)・・・・・水素調整弁 第1図 第2図 第3図
Claims (3)
- (1)精留1段にて抽出されたill不話性ガスに、水
素ガヌを供与して、これを白金やバランラム等ヲ用いた
責金属廻;媒層に通すことにより、当該組下詰性カス中
の酸累分倉永として除去する方法において1.、I:配
貨金属触媒層のif+し入111段側ICあって粗茶活
性ガスにつき、その総流量、と、酸素外の濃度を検知し
1.これら両検知値による41(算により、当該酵素分
、の除去に心髄な化学!を論量としての水素供給量を決
定して、当該供給量に基づく水素調整弁の制御(こより
水素ガスを供与する」、91こしたことを特徴とする(
11不話性カス中の酵素分除去方法。 - (2)債留丁段、こて抽出された粗茶活性ガス番こ、水
素カスを供すして、これを白金やバラ/ヒへ等を用いた
貴金属触媒層″うに通ずことにより、当該粗不活性ガス
中の酸素外を水として除去する方法【こおいて、上記貴
金属触媒層の流入前段側にあって粗茶活性ガスにつき、
その総流量と、酸素外の濃度を検知し、これら両検知値
による演算により、当該酵素分の除去に必要な化学量論
量としての水素供給量:を決定し、かつ同上貴金属触媒
層の流出後段側にあって、当該ガスの水素濃度を検知し
、当該検知値が予め設定した濃度値となるよう添加水素
量を決定し、前記決定の水素供給量に、この添加水素量
を加算した量に基づく水素調整弁の制?allにより水
素ガスを供与するようにしたことを特徴とする組下活性
ガス中の酵素分除去方法。 - (3) 故μψ発生により発せられる故障信号によっ
て、化学量論量としての水素fJL給量(こ、所定の量
率を乗しτ得られたものを添加水素量として、当該水素
供給itこ加算し、この加算により得られた量に基づく
水素調整弁の制御lこより水素ガスを供与する□よう(
こしたことを特徴とする特11′1請求の範σ打第2記
載戦の組下活性ガス中の酸素分除去力法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163537A JPS5954608A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 粗不活性ガス中の酸素分除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163537A JPS5954608A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 粗不活性ガス中の酸素分除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954608A true JPS5954608A (ja) | 1984-03-29 |
Family
ID=15775761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57163537A Pending JPS5954608A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 粗不活性ガス中の酸素分除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954608A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205607A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-11 | デーエスエム ナムローゼ フェンノートシャップ | アンモニアの接触的燃焼による酸化窒素の製造法 |
| JPH05269305A (ja) * | 1992-03-24 | 1993-10-19 | Kurita Water Ind Ltd | 脱酸素方法及び装置 |
| JP2010180197A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-08-19 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 消化ガスの脱酸素方法及び装置 |
| JP2010229248A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 消化ガスの脱酸素方法及び装置 |
| JP2010235825A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 消化ガスの脱酸素方法及び装置 |
| JP2012031049A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-02-16 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | ヘリウムガスの精製方法および精製装置 |
| JP2018150246A (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | 国立大学法人東北大学 | 有機化合物析出方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314690A (en) * | 1976-07-28 | 1978-02-09 | Hitachi Ltd | Method and device for controlling argon purifying apparatus |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP57163537A patent/JPS5954608A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2018150246A (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | 国立大学法人東北大学 | 有機化合物析出方法 |
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