JPS5954800U - 真空システム - Google Patents
真空システムInfo
- Publication number
- JPS5954800U JPS5954800U JP15124082U JP15124082U JPS5954800U JP S5954800 U JPS5954800 U JP S5954800U JP 15124082 U JP15124082 U JP 15124082U JP 15124082 U JP15124082 U JP 15124082U JP S5954800 U JPS5954800 U JP S5954800U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evacuated
- chamber
- pressure
- vacuum pump
- rough
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は被排気室
の圧力変化を示す図である。 １：被排気室、２：粗引弁、３，１２：油回転ポンプ、
４：高真空排気弁、５：油拡散ポンプ、６：真空計、７
：制御回路、８：リーク弁、９．１０：スイッチ、１１
：遅延回路。
の圧力変化を示す図である。 １：被排気室、２：粗引弁、３，１２：油回転ポンプ、
４：高真空排気弁、５：油拡散ポンプ、６：真空計、７
：制御回路、８：リーク弁、９．１０：スイッチ、１１
：遅延回路。
Claims (1)
- 被排気室内を排気するための粗引用真空ポンプ及び本引
用高真空ポンプと、該被排気室内の圧力を測定するため
の真空計とを備え、該測定された圧力と予め設定された
基準圧力とを比較し、該測定圧力が基準圧力以上の時は
該粗引用真空ポンプによって該被排気室を粗引し、該測
定圧力が基準圧力以下の時は該被排気室を該高真空ポン
プによって自動的に本川するように構成した真空システ
ムにおいて、該被排気室の排気指令の後、一定時間経過
後に該排気システムを動作させるようにしたことを特徴
とする真空システムの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15124082U JPS5954800U (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 真空システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15124082U JPS5954800U (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 真空システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954800U true JPS5954800U (ja) | 1984-04-10 |
| JPS6224063Y2 JPS6224063Y2 (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=30335203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15124082U Granted JPS5954800U (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 真空システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954800U (ja) |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP15124082U patent/JPS5954800U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6224063Y2 (ja) | 1987-06-19 |
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