JPS5954841U - 発光分光分析用グロ−放電装置 - Google Patents

発光分光分析用グロ−放電装置

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Publication number
JPS5954841U
JPS5954841U JP14300282U JP14300282U JPS5954841U JP S5954841 U JPS5954841 U JP S5954841U JP 14300282 U JP14300282 U JP 14300282U JP 14300282 U JP14300282 U JP 14300282U JP S5954841 U JPS5954841 U JP S5954841U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge device
glow discharge
electrode body
emission spectrometry
emission
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14300282U
Other languages
English (en)
Inventor
大澤　隆雄
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by セイコーインスツルメンツ株式会社 filed Critical セイコーインスツルメンツ株式会社
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Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の１実施例の縦断面図であり、第２図は
、第２電極体６から着脱可能な第３電極体７の縦断面図
である。　　　　　・ １・・・・・・分析試料、２・・・・・・第１電極体、
３，４゜５・・・第１、第２、第３絶縁体、６．７・・
・・・・第２、第３電極体、８・・・・・・陰極体、９
・・・・・・ネジ孔部、１０・・・・・・ガス導入管、
１１・・・・・・石英ガラス窓、１２．１３・・・・・
・排気管、１４・・・・・・支持枠、１５・・・・・・
放電空間、１６・・・・・・ネジ溝部、１７・・・・・
・つば、１８・・・・・・排気空間。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定試料が装着される陰極体と、絶縁された陽極体と
    の間に第１電極体を設け、上記陽極体と陰極体との間に
    電圧を印加して放電発光を起こさせる発光分光分析用グ
    ロー放電装置において、上記第１電極体のネジ孔部で結
    合した同電位の第２電極体を設け、スパッタ後の第２電
    極体のクリーニングを行なうために、ネジ溝部をもつ第
    ２電極体を着脱可能とすることを特徴とする発光分光分
    析用グロー放電装置。
JP14300282U 1982-09-21 1982-09-21 発光分光分析用グロ−放電装置 Pending JPS5954841U (ja)

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ID=30319337

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JP14300282U Pending JPS5954841U (ja) 1982-09-21 1982-09-21 発光分光分析用グロ−放電装置

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JP (1) JPS5954841U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63503009A (ja) * 1986-02-24 1988-11-02 ゲゼルシャフト　ツァ　フェルダ−ルング　デァ　スペクトロヒェミ−　ウント　アンゲヴァンテン　スペクトロスコピ−　エ−．ファウ． グロー放電ランプ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63503009A (ja) * 1986-02-24 1988-11-02 ゲゼルシャフト　ツァ　フェルダ−ルング　デァ　スペクトロヒェミ−　ウント　アンゲヴァンテン　スペクトロスコピ−　エ−．ファウ． グロー放電ランプ

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