JPS5954929U - ハイブリツドｉｃ等の薄板状ワ−クの保持用治具 - Google Patents

ハイブリツドｉｃ等の薄板状ワ−クの保持用治具

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JPS5954929U
JPS5954929U JP15006782U JP15006782U JPS5954929U JP S5954929 U JPS5954929 U JP S5954929U JP 15006782 U JP15006782 U JP 15006782U JP 15006782 U JP15006782 U JP 15006782U JP S5954929 U JPS5954929 U JP S5954929U
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JP
Japan
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jig
holding
thin plate
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JP15006782U
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JPS6218039Y2 (ja
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寿夫 吉岡
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Sanwa System Engineering Co Ltd
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Sanwa System Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の薄板状ワークの保持用治具の全体を示
す平面図、第２図はその一部の平面図、第３図は第２図
の線Ａ−Ａ断面図、第４図は第２図の一部の斜視図、第
５図は第２図の０部の拡大図、第６図は第１図の線Ｄ−
Ｄ断面図である。 図中、７．８・・・ワイヤ、９・・・ワイヤ固定ブ冶ツ
ク、１０・・・部分治具、１１・・・支持部材、１２゜
１３．１４．１５・・・保持部材、１７．１９・・・ア
ーム、２１．２２・・・ばね、２４・・・窓。 笹５図 １ト　　　− 第６図 ｍ−」

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１）複数枚の薄板状ワークを保持するための同一平面
    上に複数列Ｘ複数行の複数の部分治具からなり、各部分
    治具はその上にワークを載せる支持体と、隣接する２辺
    に固定された保持部材と他の周辺位置に在ってそれぞれ
    弾力を受ける枢止アームに設けられた一対の可動の保持
    部材を゛　　含み、一方の前記可動の保持部材の前記ア
    ームはそれぞれのワイヤによりその列のワイヤ固定ブロ
    ックの一方の部分に連結され且つ他方の前記可動の保持
    部材の前記アームもそれぞれのワイヤによりその列の前
    記ワイヤ固定ブロックの他方の部分に連結されているハ
    イブリッドＩＣ等の薄板状ワークの保持用治具。 （２）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の治具にお
    いて、各列の部分治具の各可動の保持部材のアームに連
    結されたワイヤはそれより前記ブ叱ンクに近い位置の部
    分治具の対応の前記アームの窓を貫通している薄板状ワ
    ークの保持用治具。 ′（３）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の治具に
    おいて、各前記ワ不ヤは対応の前記アームに可調整に連
    結されている薄板状ワークの保持用治具。 （４）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の治具にお
    いて、各前記保持部材におけるワークが当接する側面は
    ベアリングによって構成されている薄板状ワークの保持
    用治具。 （５）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の治具にお
    いて、前記治具の行方向に平行な辺には前記固定の保持
    部材が２つあり、それぞれ偏心軸によりワークが当接す
    る面を若干調整し得るようになっている薄板状ワークの
    保持用治具。 （６）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の治具にお
    いて、前記支持体は概して筒状または棒状の少なくも３
    つの支持部材からなる薄板状ワークの保持用治具。
JP15006782U 1982-10-02 1982-10-02 ハイブリツドｉｃ等の薄板状ワ−クの保持用治具 Granted JPS5954929U (ja)

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JPS5954929U true JPS5954929U (ja) 1984-04-10
JPS6218039Y2 JPS6218039Y2 (ja) 1987-05-09

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ID=30332937

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017149740A1 (ja) * 2016-03-03 2017-09-08 コアテクノロジー株式会社 薄膜形成装置に用いる基盤トレイ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2017149740A1 (ja) * 2016-03-03 2017-09-08 コアテクノロジー株式会社 薄膜形成装置に用いる基盤トレイ
JPWO2017149740A1 (ja) * 2016-03-03 2018-12-06 コアテクノロジー株式会社 薄膜形成装置に用いる基盤トレイ
US11174554B2 (en) 2016-03-03 2021-11-16 Core Technology, Inc. Substrate tray for use in thin-film formation device

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JPS6218039Y2 (ja) 1987-05-09

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