JPS5957901A - 微細金属酸化物の製造方法 - Google Patents
微細金属酸化物の製造方法Info
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- JPS5957901A JPS5957901A JP16753882A JP16753882A JPS5957901A JP S5957901 A JPS5957901 A JP S5957901A JP 16753882 A JP16753882 A JP 16753882A JP 16753882 A JP16753882 A JP 16753882A JP S5957901 A JPS5957901 A JP S5957901A
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- gas
- burner
- volatile
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
- C01B13/20—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state
- C01B13/22—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides
- C01B13/24—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides in the presence of hot combustion gases
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- Inorganic Chemistry (AREA)
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- Silicon Compounds (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は揮発性金属ハ［１ゲン化物を燃焼分解しＣ相当
づる微細な金属酸化物を製造する方法に関づる。５丁シ
クは、揮発１１ハＤゲン化物を燃焼加水分解する場合に
燃力２用バーナーロの閉塞を防止しながら、均一な微細
粒子径をイｊ覆る金ＩＦＫ酸化物の良好な製造方法に関
する。
づる微細な金属酸化物を製造する方法に関づる。５丁シ
クは、揮発１１ハＤゲン化物を燃焼加水分解する場合に
燃力２用バーナーロの閉塞を防止しながら、均一な微細
粒子径をイｊ覆る金ＩＦＫ酸化物の良好な製造方法に関
する。
従来から四塩化珪素、四塩化チタン等の揮発性金属ハ［
１ゲン化物を燃焼分解して二酸化ＴＩ素、二酸化チタン
等の微細な金属酸化物を製造する方法に関しては種々の
態様が公知である。
１ゲン化物を燃焼分解して二酸化ＴＩ素、二酸化チタン
等の微細な金属酸化物を製造する方法に関しては種々の
態様が公知である。
例えば特公昭３Ｇ−３３５９，４７−４０２７４号公報
には揮発性金属ハロゲン化物を可燃性ガスζ酸素または
酸素含有ガスと共にバーナーを経て連続的に焔に供給Ｊ
ることにより、極めて微細な金属酸化物を製造する方法
が開示されている。しかしながらこのにうに揮発性金属
ハロゲン化物を可燃性ガス（特に水素又は水素含有ガス
）と酸素または酸素含有ガスと共に混合ガスとして燃焼
加水分解に供Ｊる場合、該燃焼加水分解用のバーナー出
［１に生成Ｊる金属酸化物がイ」着、堆積して製品の劣
化を招き連続操作では該バーナー出口を閉塞覆る欠点が
ある。（のため上記特８′１公報にはバーナー出口のガ
ス流出速度を人さくりること、バーリー出［１に環状の
洗滌ガス（特に空気）を導入りる４ｆどし−Ｃ該バーナ
ー出口にＪ３りる金属酸化物の／１成、何着を防１［づ
る方法が示唆されている。
には揮発性金属ハロゲン化物を可燃性ガスζ酸素または
酸素含有ガスと共にバーナーを経て連続的に焔に供給Ｊ
ることにより、極めて微細な金属酸化物を製造する方法
が開示されている。しかしながらこのにうに揮発性金属
ハロゲン化物を可燃性ガス（特に水素又は水素含有ガス
）と酸素または酸素含有ガスと共に混合ガスとして燃焼
加水分解に供Ｊる場合、該燃焼加水分解用のバーナー出
［１に生成Ｊる金属酸化物がイ」着、堆積して製品の劣
化を招き連続操作では該バーナー出口を閉塞覆る欠点が
ある。（のため上記特８′１公報にはバーナー出口のガ
ス流出速度を人さくりること、バーリー出［１に環状の
洗滌ガス（特に空気）を導入りる４ｆどし−Ｃ該バーナ
ー出口にＪ３りる金属酸化物の／１成、何着を防１［づ
る方法が示唆されている。
Ｊ、た、特公昭５０−２８０８０号公報には、従来のバ
ーブ−出口における閉塞防止の方法ら未だ満足１べきで
イｆいどしでバーナー出１］に−Ｌ下振動と回転運動が
可０しなフ［１−１〜を設りる方法が１！２案されてい
る。
ーブ−出口における閉塞防止の方法ら未だ満足１べきで
イｆいどしでバーナー出１］に−Ｌ下振動と回転運動が
可０しなフ［１−１〜を設りる方法が１！２案されてい
る。
他力、特公昭３１−０３０７，０３０８号公報には揮発
性金属ハロゲン化物を可燃性ガスと別途に（予混合せず
に）反応室に供給し、該可燃性ガスの燃焼火焔ど接触さ
ヒ゛て燃焼分解反応りることににり該可燃性ガスの燃焼
バーナー［１が閉塞りることを回避して、微細な金属酸
化物を製造する１／Ｊ Ｖ）＝が開示されている。１し
かしながらかかる揮発１１金属ハ１１ゲン化物を可燃性
ガスと予混合しない態様の製造方θ、では一般に粒子径
が微細で且つ均一な金属酸化物を得ることが１帖めで難
しい。例えば同心多重管バーナーの内外恰・にそれそ゛
れ別途揮発ｆ生金属ハロゲン化物および可燃性ガスを導
入しＣ加水分解反応に供する場合にも所望の微細４ｒ金
属酸化物を得ることが出来ず燃焼バーナーにお（Ｊる可
燃性ガスと揮発性金属化合物の供給［１がＦ＃接してい
るためにバーノー（］の閉塞も十分に回避できない。
性金属ハロゲン化物を可燃性ガスと別途に（予混合せず
に）反応室に供給し、該可燃性ガスの燃焼火焔ど接触さ
ヒ゛て燃焼分解反応りることににり該可燃性ガスの燃焼
バーナー［１が閉塞りることを回避して、微細な金属酸
化物を製造する１／Ｊ Ｖ）＝が開示されている。１し
かしながらかかる揮発１１金属ハ１１ゲン化物を可燃性
ガスと予混合しない態様の製造方θ、では一般に粒子径
が微細で且つ均一な金属酸化物を得ることが１帖めで難
しい。例えば同心多重管バーナーの内外恰・にそれそ゛
れ別途揮発ｆ生金属ハロゲン化物および可燃性ガスを導
入しＣ加水分解反応に供する場合にも所望の微細４ｒ金
属酸化物を得ることが出来ず燃焼バーナーにお（Ｊる可
燃性ガスと揮発性金属化合物の供給［１がＦ＃接してい
るためにバーノー（］の閉塞も十分に回避できない。
（）ｌこが−）で本発明の目的は上記した問題に鑑み、
揮発性全屈ハロゲン化物と可燃性ガスと反応室に別途に
（予混合けずに）導入して燃焼加水分解反応に供し微細
な金１Ｉｌｊ１酸イし物を製造する方ｄ１において可燃
性ガスの燃焼バーナーロ１の閉塞を回避づるどＪＩ、に
粒度の均一４１微細金属酸化物を４りるための新規な製
法を捉供りることにある。
揮発性全屈ハロゲン化物と可燃性ガスと反応室に別途に
（予混合けずに）導入して燃焼加水分解反応に供し微細
な金１Ｉｌｊ１酸イし物を製造する方ｄ１において可燃
性ガスの燃焼バーナーロ１の閉塞を回避づるどＪＩ、に
粒度の均一４１微細金属酸化物を４りるための新規な製
法を捉供りることにある。
本発明の目的【、Ｌ反応室にＪ３いて２ ＬＪ、Ｉの独
１“ノ、シた司燃＋！１ガスの燃焼バーナーノズルから
各燃焼焔を集合して１つの火焔を形成し該火焔に揮発性
金属ハロゲン化物を別途ノス゛ルからン９人Ｊることに
よって’ｒＲＩｕされる。
１“ノ、シた司燃＋！１ガスの燃焼バーナーノズルから
各燃焼焔を集合して１つの火焔を形成し該火焔に揮発性
金属ハロゲン化物を別途ノス゛ルからン９人Ｊることに
よって’ｒＲＩｕされる。
一般に揮発性金属ハゲン化物の燃焼加水分解反応におい
て生成りる金属酸化物の粒′Ｔ−径に影響りる反応系イ
′１としては反応温度（焔温度）揮発性金属ハト１ゲン
化物の温石、流速（８ｔｌ留時間〉などが考慮される１
、特に均一な微細粒子状の金属酸化物を得るために火焔
（，１均一な温度として比較的短く維持−づることが望
まれる。例えば前記した特公昭３（ｉ−３３５９号公報
に（，１分解生成物の滞留時間を特に知＜するために如
露型バーナーを使用して比較的短い火焔を１りることが
示唆されでいる。また特公昭３１−６３０り号公報には
可燃性ガスと揮発付全屈ハロゲン化１？＋とを別々に導
入づる方法であるが、多重管バーナーに類づる種々の態
様が提案されている。
て生成りる金属酸化物の粒′Ｔ−径に影響りる反応系イ
′１としては反応温度（焔温度）揮発性金属ハト１ゲン
化物の温石、流速（８ｔｌ留時間〉などが考慮される１
、特に均一な微細粒子状の金属酸化物を得るために火焔
（，１均一な温度として比較的短く維持−づることが望
まれる。例えば前記した特公昭３（ｉ−３３５９号公報
に（，１分解生成物の滞留時間を特に知＜するために如
露型バーナーを使用して比較的短い火焔を１りることが
示唆されでいる。また特公昭３１−６３０り号公報には
可燃性ガスと揮発付全屈ハロゲン化１？＋とを別々に導
入づる方法であるが、多重管バーナーに類づる種々の態
様が提案されている。
本発明も可燃性ガスと揮発性金属ハロゲン化物とを別々
に導入づる方法に関ザるが上記した多重管バーノ−−と
異なり独立した２以上の可燃性ガスの燃焼バーノーＪ、
りそれそ゛れの燃焼火９１１をΦ合さμ′４１つの焔を
形成覆るバーノー−システ１１に最大の特徴を右Ｊる。
に導入づる方法に関ザるが上記した多重管バーノ−−と
異なり独立した２以上の可燃性ガスの燃焼バーノーＪ、
りそれそ゛れの燃焼火９１１をΦ合さμ′４１つの焔を
形成覆るバーノー−システ１１に最大の特徴を右Ｊる。
−叩ら本発明のバーナーシスｊムににれば均一な分布の
火焔沿１度ど知い形状の火焔極めて容易に得ることがで
きる。したがってかかる燃焼火焔に揮発１２１金属ハ［
１グン化物を均一に導入することにＪζって粒度のそろ
った良好な微細な金属酸化物を１１７ることができる。
火焔沿１度ど知い形状の火焔極めて容易に得ることがで
きる。したがってかかる燃焼火焔に揮発１２１金属ハ［
１グン化物を均一に導入することにＪζって粒度のそろ
った良好な微細な金属酸化物を１１７ることができる。
本発明のバーナーシスｊムは独立した２以上のバーナー
を相合Ｕ使ＩＩ目ることが必須でありこれらにより良好
な１つの燃焼火焔を形成りるためにはできるだり多数の
バーノー−を用いる力が容易ひある。しかしながら、バ
ーナーの数が多づぎると煩ｆｉｌかつ不経済になるため
一般には３〜１０、特に３〜５のバーナーを組合せ用い
る。バーノーシスｊムの１１４或は各バーナーの燃焼火
焔を集合させて１つの燃焼火焔を形成づるように一般に
反応室の上辺部に個々のバーナーを等間隔に配置し、か
つ該バーナーノズルに１を反応室の中心部に向けて１・
方に所定の角度で設定づ−れぽＪ、い。可燃１１１ガス
の流ｍおよび流速により上記バーノーノズルの角度は適
宜調節されるが一般に反応室に中心垂線に対して２０〜
８０度の範囲で選択される。バーナーノズルの形状とし
では１！■に制限され１甲音バーノー、二重管バーノー
ー１如露型バーナーなどが用いられる。。
を相合Ｕ使ＩＩ目ることが必須でありこれらにより良好
な１つの燃焼火焔を形成りるためにはできるだり多数の
バーノー−を用いる力が容易ひある。しかしながら、バ
ーナーの数が多づぎると煩ｆｉｌかつ不経済になるため
一般には３〜１０、特に３〜５のバーナーを組合せ用い
る。バーノーシスｊムの１１４或は各バーナーの燃焼火
焔を集合させて１つの燃焼火焔を形成づるように一般に
反応室の上辺部に個々のバーナーを等間隔に配置し、か
つ該バーナーノズルに１を反応室の中心部に向けて１・
方に所定の角度で設定づ−れぽＪ、い。可燃１１１ガス
の流ｍおよび流速により上記バーノーノズルの角度は適
宜調節されるが一般に反応室に中心垂線に対して２０〜
８０度の範囲で選択される。バーナーノズルの形状とし
では１！■に制限され１甲音バーノー、二重管バーノー
ー１如露型バーナーなどが用いられる。。
本発明のｌｊ法では、上記の如くして形成した均一り記
度分イ（ｉと短い形状の燃焼火焔中に揮発性金属ハ［］
ゲン化物を均一に導入りることにＪ：つ゛（加水分解を
行い微＋ｍな金属酸化物を得る。ｆｆ光性金屈ハロゲン
化物としては燃焼加水分解反応して対応りる金属酸化物
を／ｌ成づるものＣあれば特に制限されない。例えばケ
イ素、チタン、］ノノルミニラムのハロゲン化物であり
特にハ１」ゲン化りイ素として四塩化ケイ素、四弗化ク
ーｒ素、１〜リクロ］二１シラン、メチルトリク［１０
シラン、ジク［］ Ｃｌシラン、ジメチルクロ１コシラ
ンなどが石川である。またかかる揮発性金属ハロゲン化
物は単独または空気、不活性ガスなどに技１持さｕ′Ｃ
導入してもよくさらには導入１．ｔ ｃ、＋においＣ燃
焼しない程麿で゛あれば少量の可燃性ガスと共に導入し
てしよい。揮発性金属ハロゲン化物のＷト人方法は一般
に反応室の上部Ｊ、り燃焼火焔の中心部へ均一に供給す
る。したがって揮発性金属ハロゲン化物の導入［」の先
端にノズルには適当な分散機構を設りることがりＹまし
い５．さらに揮発性全屈ハ［Ｊゲン化物を燃焼焔へ均一
に導入し良りｒな微細金属酸化物をｉｇるためには該揮
発性金属ハロゲン化物の導入速度を一般に燃焼ガス速度
より大きく１つその２（）Ｈ以下にとどめることが望ま
しい。
度分イ（ｉと短い形状の燃焼火焔中に揮発性金属ハ［］
ゲン化物を均一に導入りることにＪ：つ゛（加水分解を
行い微＋ｍな金属酸化物を得る。ｆｆ光性金屈ハロゲン
化物としては燃焼加水分解反応して対応りる金属酸化物
を／ｌ成づるものＣあれば特に制限されない。例えばケ
イ素、チタン、］ノノルミニラムのハロゲン化物であり
特にハ１」ゲン化りイ素として四塩化ケイ素、四弗化ク
ーｒ素、１〜リクロ］二１シラン、メチルトリク［１０
シラン、ジク［］ Ｃｌシラン、ジメチルクロ１コシラ
ンなどが石川である。またかかる揮発性金属ハロゲン化
物は単独または空気、不活性ガスなどに技１持さｕ′Ｃ
導入してもよくさらには導入１．ｔ ｃ、＋においＣ燃
焼しない程麿で゛あれば少量の可燃性ガスと共に導入し
てしよい。揮発性金属ハロゲン化物のＷト人方法は一般
に反応室の上部Ｊ、り燃焼火焔の中心部へ均一に供給す
る。したがって揮発性金属ハロゲン化物の導入［」の先
端にノズルには適当な分散機構を設りることがりＹまし
い５．さらに揮発性全屈ハ［Ｊゲン化物を燃焼焔へ均一
に導入し良りｒな微細金属酸化物をｉｇるためには該揮
発性金属ハロゲン化物の導入速度を一般に燃焼ガス速度
より大きく１つその２（）Ｈ以下にとどめることが望ま
しい。
ｉ′ｉｌ燃性ガスどしでは特に燃焼して水を生成づ−る
水素または水累含有万スあるいは天然ガス、石炭ガス、
石油精製ガスなどがＤＩ’ ３ｉｆｆに用いられる。反
応室にＪ３いてかかる可燃１’ｌガスは単独に２９人し
別途に導入した酸素雰囲気中で燃焼してしＪ、くまた１
＋Ｊ燃性ガスと酸素（または酸素含（ｊガス）とＪ（に
導入し゛Ｃ燃焼し−Ｃもよい。なお、可燃性ガスの導入
呈は燃焼しつ必要な反応７？Ａ麿（焔温度）に維持りる
ど」しに４１：成りろ水が揮発性金属ハト１ゲン化物を
少なくどし加水分解重るに足る理論量が必要である。ま
た酸素（または酸素含有）ガスの導入ｍム少なくとし可
燃性ガスが燃焼して水を生成するに足る理論量が必要で
ある。したがって可燃１」ガス及び酸素（または酸素含
有ガス）σ） ｒ＝＋Ｆ入串は一般に上記の理論量をわ
ずか過剰に用いられる。
水素または水累含有万スあるいは天然ガス、石炭ガス、
石油精製ガスなどがＤＩ’ ３ｉｆｆに用いられる。反
応室にＪ３いてかかる可燃１’ｌガスは単独に２９人し
別途に導入した酸素雰囲気中で燃焼してしＪ、くまた１
＋Ｊ燃性ガスと酸素（または酸素含（ｊガス）とＪ（に
導入し゛Ｃ燃焼し−Ｃもよい。なお、可燃性ガスの導入
呈は燃焼しつ必要な反応７？Ａ麿（焔温度）に維持りる
ど」しに４１：成りろ水が揮発性金属ハト１ゲン化物を
少なくどし加水分解重るに足る理論量が必要である。ま
た酸素（または酸素含有）ガスの導入ｍム少なくとし可
燃性ガスが燃焼して水を生成するに足る理論量が必要で
ある。したがって可燃１」ガス及び酸素（または酸素含
有ガス）σ） ｒ＝＋Ｆ入串は一般に上記の理論量をわ
ずか過剰に用いられる。
なお、可燃性ガスの燃焼により生成りろ水が揮発性全屈
ハロゲン化物の加水分解反応に不足づる場合には別途に
水Ｊ、たは水素蒸気をン９入りることも推奨される。
ハロゲン化物の加水分解反応に不足づる場合には別途に
水Ｊ、たは水素蒸気をン９入りることも推奨される。
そのほか本発明の力ｖ１は揮発１イ１金屈ハ［Ｊグン化
物を燃焼加水分解反応して微細金属酸化物を１りる公知
の方法にお１）る条件にＱ）じて実施ｅきる。例えば反
応温度（火１．８温度）は粒子径の小さい金属酸化物を
生成づるためには可及的に低いほど望ましい。またイ［
成りる金属酸化物の粒子径を小さくりるために導入Ｊる
揮発性全屈ハロゲン化物のｍ 度を燃焼ガスに対して可
及的に低くすることが推奨され、一般に２！ｉｏＯす／
Ｎ ｍ３以■ζてｉｊうる。
物を燃焼加水分解反応して微細金属酸化物を１りる公知
の方法にお１）る条件にＱ）じて実施ｅきる。例えば反
応温度（火１．８温度）は粒子径の小さい金属酸化物を
生成づるためには可及的に低いほど望ましい。またイ［
成りる金属酸化物の粒子径を小さくりるために導入Ｊる
揮発性全屈ハロゲン化物のｍ 度を燃焼ガスに対して可
及的に低くすることが推奨され、一般に２！ｉｏＯす／
Ｎ ｍ３以■ζてｉｊうる。
本発明の方法にＪ：れば上記した如き反応条１′１にＪ
：り才１′１子径が小さく口つ特に粒度のそろった微細
な金属酸化物を得ることができる。また本発明においＣ
用いられるＯ１燃性ガスの燃焼バーナーには揮発性全屈
ハ［］ゲン化物を同伴しないために従来の多重管バーナ
ーまたは如露型バーナーに比べて該燃焼バーナーノズル
に生成物のイ」着が少なく閉塞もほとんどなく長期間の
連続運転が可能である。
：り才１′１子径が小さく口つ特に粒度のそろった微細
な金属酸化物を得ることができる。また本発明においＣ
用いられるＯ１燃性ガスの燃焼バーナーには揮発性全屈
ハ［］ゲン化物を同伴しないために従来の多重管バーナ
ーまたは如露型バーナーに比べて該燃焼バーナーノズル
に生成物のイ」着が少なく閉塞もほとんどなく長期間の
連続運転が可能である。
以下、本発明に用いる代表的な反応装置の一例を図面に
示し説明づる。第１図は反応装置の概略の縦断面図Ｃあ
り、反応室不休（１）の上部において中心部に揮発１１
１金属ハ１」ゲン化物の導入口（３）（の周囲にｒり燃
性ガスの燃焼バーナー（２〉および酸素含有ガスの導入
口（４）を設りている。また第２図は可燃性ガスの燃焼
バーナー（２）おＪ：び揮発性金属ハ［ｌゲン化物の４
１人口（３）のてれそれ先端ノズル（５）の位置を示す
正面図であり揮５ｅ （！ｌ金屈ハロゲン化物の導入１
ｔ（３）を中心に均′８な位ｔ７に１木の独立した燃焼
バーナー（２）のノズルを配置している。
示し説明づる。第１図は反応装置の概略の縦断面図Ｃあ
り、反応室不休（１）の上部において中心部に揮発１１
１金属ハ１」ゲン化物の導入口（３）（の周囲にｒり燃
性ガスの燃焼バーナー（２〉および酸素含有ガスの導入
口（４）を設りている。また第２図は可燃性ガスの燃焼
バーナー（２）おＪ：び揮発性金属ハ［ｌゲン化物の４
１人口（３）のてれそれ先端ノズル（５）の位置を示す
正面図であり揮５ｅ （！ｌ金屈ハロゲン化物の導入１
ｔ（３）を中心に均′８な位ｔ７に１木の独立した燃焼
バーナー（２）のノズルを配置している。
これら４木の燃焼バーナー（２）の集合により湿度分１
１ｉが均一な可燃性ガスの燃焼火焔を形成Ｊ−るように
該燃焼バーナー（２）のそれぞれ先端ノズルの中心に対
Ｊる角度と該先端ノズル間の距１ｉｌＩｌを任意に選択
づる。かかる燃焼バーナーシステムにおける先端ノズル
の角度および位置は該当燃焼バーナーの数とともに燃焼
させるガス組成ａ３ Ｊ：びガス流量に応じて適宜に決
定される。燃焼バーナー（２）に導入されるガス組成と
しては特に燃焼して水を形成りる可燃性ガスあるいは該
可燃性ガスと酸素含有ガスどの混合ガスが用いられる。
１ｉが均一な可燃性ガスの燃焼火焔を形成Ｊ−るように
該燃焼バーナー（２）のそれぞれ先端ノズルの中心に対
Ｊる角度と該先端ノズル間の距１ｉｌＩｌを任意に選択
づる。かかる燃焼バーナーシステムにおける先端ノズル
の角度および位置は該当燃焼バーナーの数とともに燃焼
させるガス組成ａ３ Ｊ：びガス流量に応じて適宜に決
定される。燃焼バーナー（２）に導入されるガス組成と
しては特に燃焼して水を形成りる可燃性ガスあるいは該
可燃性ガスと酸素含有ガスどの混合ガスが用いられる。
一方導入ｏ（４）より酸素含有ガス、場合により不活性
ガス（例えば窒素、１ルゴン、燃焼量ガスなど）を供給
して燃焼火焔の温度および形状を＝Ｊン１〜【」−ルす
ることもできる。
ガス（例えば窒素、１ルゴン、燃焼量ガスなど）を供給
して燃焼火焔の温度および形状を＝Ｊン１〜【」−ルす
ることもできる。
なお、導入Ｄ（４＞よりの酸素含イ」ガスなどを安定（
、：供給層るために一般にメツシュ金網などの整流板（
Ｇ）を設（）ることもりＹましい。
、：供給層るために一般にメツシュ金網などの整流板（
Ｇ）を設（）ることもりＹましい。
次に揮発性金属ハロゲン化物の導入１１（３）Ｊ、り該
揮発性金属ハ［１ゲン化物を単独また（ま不活性ガスあ
るい【、１、酸素含有ガスに担持させて供給層る。揮発
性金属ハロゲン化物の導入方法は図面から明らかな如く
一般に反応室の上部Ｊ、り燃焼用の中心部に均一に分散
し混合さける。
揮発性金属ハ［１ゲン化物を単独また（ま不活性ガスあ
るい【、１、酸素含有ガスに担持させて供給層る。揮発
性金属ハロゲン化物の導入方法は図面から明らかな如く
一般に反応室の上部Ｊ、り燃焼用の中心部に均一に分散
し混合さける。
したがって揮発性金属ハ［］ゲン化物の導入においでは
導入口（３）の先端ノズルの形状および導入速度が必要
ぐ生成づる金属酸化物がイ」着しないようなノズル形状
おＪ、び速度が選択される。
導入口（３）の先端ノズルの形状および導入速度が必要
ぐ生成づる金属酸化物がイ」着しないようなノズル形状
おＪ、び速度が選択される。
以下、本発明について実施例を示Ｊが本発明はこれによ
って何ら制限されるものではない。
って何ら制限されるものではない。
実施例１
第１図に示す構造おＪ：び第２図に承り配置ど同一の反
応装置に（１メいて最大径２００ｍｍの円筒状本体〈１
）に可燃性ガスの燃焼バーブ−（２）を４木の先端ノズ
ルが−でれぞれ中心線に対して４５麻の角度に段首し、
また揮発ｆ１１金属ハロゲン化物の一１三下可動な導入
口（３）を設けた。
応装置に（１メいて最大径２００ｍｍの円筒状本体〈１
）に可燃性ガスの燃焼バーブ−（２）を４木の先端ノズ
ルが−でれぞれ中心線に対して４５麻の角度に段首し、
また揮発ｆ１１金属ハロゲン化物の一１三下可動な導入
口（３）を設けた。
かかる反応装置を用いて燃焼バーＪ−−（２）に可燃性
ガスどして水素ガス１０ｍ３／Ｉｎ・および空気２５ｍ
’／ｌ＋ｒを予混合しく１９人して４木の先端ノズル（
５）におりる流出速度をそれぞれ３０ｍ ／ｓｅｃ
（常温）として燃焼火焔を形成しｌこ 。
ガスどして水素ガス１０ｍ３／Ｉｎ・および空気２５ｍ
’／ｌ＋ｒを予混合しく１９人して４木の先端ノズル（
５）におりる流出速度をそれぞれ３０ｍ ／ｓｅｃ
（常温）として燃焼火焔を形成しｌこ 。
Ｊ、た導入にｌ （／Ｉ ） Ｊ、り燃ヅジに火焔の分
４ｉにり部用ガスどして窒素がスｉｍｉ／＋＋ｒを整流
板（５０メツシユ）を介しＣ導入した。
４ｉにり部用ガスどして窒素がスｉｍｉ／＋＋ｒを整流
板（５０メツシユ）を介しＣ導入した。
ツノ、揮発１！Ｉ企属ハ［１ゲン化物の導入Ｄ（３＞よ
り四塩化珪素２！ｉｏｏＯｇ／ ＩｌｒをＮｋｇ／ｃｎ
ｆ’スチームで加温気化し、５ｍ３／ｌ＋ｒのＴｉｃ
ｚ、＋、１，７世持さｌ！ ／、： ｉｆｆ、中心の加
；焼火ｔ：Ｂ ｌ［供給した。な、１３、四１ｎ化ｌ」
素の導入ｎ（３）にお（Ｊる先端ノズルの形状は如露型
としノズル先端にお（〕る流出）士度（常温）を５０ｃ
ｍ／ ｓｅａどした。
り四塩化珪素２！ｉｏｏＯｇ／ ＩｌｒをＮｋｇ／ｃｎ
ｆ’スチームで加温気化し、５ｍ３／ｌ＋ｒのＴｉｃ
ｚ、＋、１，７世持さｌ！ ／、： ｉｆｆ、中心の加
；焼火ｔ：Ｂ ｌ［供給した。な、１３、四１ｎ化ｌ」
素の導入ｎ（３）にお（Ｊる先端ノズルの形状は如露型
としノズル先端にお（〕る流出）士度（常温）を５０ｃ
ｍ／ ｓｅａどした。
１記条１′１壬にｉｇ！続運転を行った結果、２０ Ｉ
＋；１間を経過してし燃焼バーＪ−（２）のイ；」着物
は極めて少なく更に運転り、 Ｙ ’ｔ＞閉塞（３１皆
無であった。；１］た回収した生成シリカの粉体（、ｔ
１３ ［Ｅ Ｔ比表面積１９８ｍ２／′（１、平均単
粒子径１５０１μ（１０万イｆ１の透過電Ｔ−顕微鏡で
観察）の均一な透明度の（らる１５）末 て−ｃカ・）
ｊｙ ６
＋；１間を経過してし燃焼バーＪ−（２）のイ；」着物
は極めて少なく更に運転り、 Ｙ ’ｔ＞閉塞（３１皆
無であった。；１］た回収した生成シリカの粉体（、ｔ
１３ ［Ｅ Ｔ比表面積１９８ｍ２／′（１、平均単
粒子径１５０１μ（１０万イｆ１の透過電Ｔ−顕微鏡で
観察）の均一な透明度の（らる１５）末 て−ｃカ・）
ｊｙ ６
第１図１よ本発明における反応直重賀ｑｒ−１９１１を
れ＋２ ｎＪ］ Ｊイ）ｌこめの概略のＷ ＩｔＪｉ面
図、第２図は導入１１．１ノスルの＾己回を示づ正面図
である。１は反応装置の本体、２（まＩｌｌ 炊ｉ （
！１． ／Ｊスめ燃焼バーノー、３は揮発性金属／”ｔ
ｃｌゲン）シ１勿の導入１］、４は酸素含有カス：Ｉ：
ｉこは不活性ガスの１９人Ｌ１、Ｅ５１．１ ｔ＜ −
ナーノズル、Ｇは整流板を示づ。 特約出願人 徳山曹達株式会ン１ 捕１ 図 昔２図 ◎−５ 手続和ｌ正門（方式） ％式％ １、事件の表示 特願昭５７−１６７５３８号２、
発明の名称 微細金属酸化物の製造方法３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 山口県徳山市御影町１番１号４、補正
の対象 明細口の「発明の名称」の欄 ５、補正の内容 （１）明細円第１、 発明の名称を「微細金属酸化物の製造方法」に補正する
。
れ＋２ ｎＪ］ Ｊイ）ｌこめの概略のＷ ＩｔＪｉ面
図、第２図は導入１１．１ノスルの＾己回を示づ正面図
である。１は反応装置の本体、２（まＩｌｌ 炊ｉ （
！１． ／Ｊスめ燃焼バーノー、３は揮発性金属／”ｔ
ｃｌゲン）シ１勿の導入１］、４は酸素含有カス：Ｉ：
ｉこは不活性ガスの１９人Ｌ１、Ｅ５１．１ ｔ＜ −
ナーノズル、Ｇは整流板を示づ。 特約出願人 徳山曹達株式会ン１ 捕１ 図 昔２図 ◎−５ 手続和ｌ正門（方式） ％式％ １、事件の表示 特願昭５７−１６７５３８号２、
発明の名称 微細金属酸化物の製造方法３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 山口県徳山市御影町１番１号４、補正
の対象 明細口の「発明の名称」の欄 ５、補正の内容 （１）明細円第１、 発明の名称を「微細金属酸化物の製造方法」に補正する
。
Claims (3)
- （１）反応室内において２以上の独立した可燃性ガスの
燃焼用バーブ−ノズルにより１つの燃焼火焔を形成し、
該火焔に揮発１！Ｉ金屈ハロゲン化物を別途ノズルから
供給して分解づ゛ることを特徴とする微細粒子状金属酸
化物の製造方法。 - （２）３・〜ｊ】の独立しｌｃ可燃性ガスの燃焼用バー
ナーを用いる特許請求の範囲第１項記載の方法。 - （３）揮発１！１金属ハ［Ｊグン化物が塩化珪素化合物
である特ｇｌｌ請求の範囲第１ Ｊｆｉ記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16753882A JPS5957901A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 微細金属酸化物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16753882A JPS5957901A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 微細金属酸化物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5957901A true JPS5957901A (ja) | 1984-04-03 |
Family
ID=15851550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16753882A Pending JPS5957901A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 微細金属酸化物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5957901A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0412006A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-16 | Hideo Otani | 酸化物粉体の製造方法 |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP16753882A patent/JPS5957901A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0412006A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-16 | Hideo Otani | 酸化物粉体の製造方法 |
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