JPS59599Y2

JPS59599Y2 - 分光々度計

Info

Publication number: JPS59599Y2
Application number: JP3459576U
Authority: JP
Inventors: 健二福田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1976-03-24
Filing date: 1976-03-24
Publication date: 1984-01-09
Also published as: JPS52126841U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は回折格子分光々度計の迷光カットフィルターに
より、フィルターの挿入時に１００％ラインに光学的ノ
イズを発生することを除くことに関する。

従来技術の１例を第２図に示す。

この方式はλ１〜λ３．λ４〜λ５．λ６〜λ８の波長
範囲ではフィルターが挿入されるがλ３〜λ４．λ５〜
λ６の範囲ではフィルターがなく空気であるため、フィ
ルターがら空気に切り替るλ３．λ５、空気がらフィル
ターに切り替るλ４．＾６では光束に外乱を生じ第３図
に示す如く１００％ラインに光学的ノイズを生じる欠点
がある。

本考案はフィルターを必要としない波長範囲にダミーと
してフィルターとほぼ同じ屈折率を有する透明な光学材
料を使用しフィルターの切り換えにより１００％ライン
に光学的ノイズを生じない様にする。

迷光カットフィルターの組み合わせにおいて従来はフィ
ルターを使用しない波長範囲は何もなく切換点ではフィ
ルターから空気に切替えられていたがこの範囲にダミー
として透明な光学材料を使用しフィルターの切換えによ
る１００％ラインの光学的ノイズを除去する。

第１図に一般的な分光々変針の例を示す。

光源１からの光は入射スリット２を経てコリメータ鏡３
により平行光線にきれ回折格子４により分散された光は
コリメータ鏡３により集光され出射スリット５上に結像
する。

スリットを出た光は迷光カットフィルター６を経て、チ
ョッパミラー７により対照光束１１．試料光束１２にわ
けられる。

迷光カットフィルター６の位置は入射スリット２の前や
、出射スリット５の前に置かれる場合もある。

光束１１．１２は平面鏡８，９で試料室の光束を形威し
、チョッパーミラー１０により光束１１．１２を交互に
球面鏡１３を経て検知器１４に導かれる。

フィルター６は第２図に示す如く一般に複数枚で構成さ
れ必要な波長位置で光束中に挿入される。

第２図の例では波長範囲λ１〜λ２ではフィルターＦ１
が以下λ２〜λ３でＦ２、λ４〜λ５でＦ３、λ６〜λ
７でＦ４、λ７〜λ８でＦ５が光束中に挿入されている
。

しかし波長範囲λ３〜λ４及びλ５〜λ６ではフィルタ
ーは必要なく光束中には何も挿入されない。

即ちλ１〜λ３．λ４〜λ５．λ６〜λ８では屈折率ｎ
のフィルターが光束中に挿入される。

一般に紫外可視域の分光々変針に使用するフィルターの
ｎは約１．５程度である。

他方λ３〜λ４．λ５〜λ６の範囲では空気のため屈折
率は１になっている。

光束中に屈折率の異なるフィルターが挿入された場合の
光束の変化の１例を第４図に示す。

フィルターの挿入により光束の焦点位置が変化する。

このことは第１図の検知器１４に入る光束に影響を与え
、検知器受光面の使用位置が変化する。

一般に使用される検知器は光電子増倍管で、充電面の感
度にはローカリティがあり、光束の当る国典、又は面積
に変化があると出力に変化を及は゛す。

このような理由により第２図に示すフィルターの組み合
わせで波長範囲λ１〜λ８を走査したときに得られる１
００％ラインを第３図に示す。

λ２の波長位置ではフィルタの交換があるが屈折率の差
による光束の乱れはないかあるいは非常に少ないので１
００％に対する光学的ノイズはない。

波長λ３の位置ではフィルタＦ２がぬけて空気になるた
め即ち屈折率が約１．５から１まで急変するので光束に
変化を生じ１００％ラインに光学的孔れを生じる。

波長λ４では再びフィルターＦ３が挿入されるため光束
の変化を生じ１００％ラインに乱れを生じる。

以下λ５．λ６位置でも同様である。

これを除くためにはフィルターとほぼ同程度の屈折率を
有しかつその波長範囲で透明もしくはできる透過率の高
い光学材料をダミーとして使用し、フィルターの切り換
えにより光束に変化を与えない様にすれば良い。

第５図にダミーを追加したフィルター組を示す。

波長範囲九〜λ４にダミーＤ１をλ５〜λ６にダミーＤ
２を追加した。

この様な対策により得られる１００％ラインはフィルタ
ー切換えによる光束に対する影響は少くなるため１００
％ラインの光学的ノイズは第６図に示す如く大巾に改善
される。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般的なダブルビームの分光々変針の光学系説
明図、第２図は迷光カットフィルターのフィルター組の
説明図、第３図は第２図のフィルター組で得られる１０
０％ライン説明図、第４図は光束中にフィルターが挿入
された時の光束に与える影響の説明図、第５図はダミー
を入れたフィルター組の説明図、第６図は第５図のフィ
ルター組で得られる１００％ライン説明図を示す。符号の説明、１・・・光源、２・・・入射スリット、３
・・・コリメータ鏡、４・・・回折格子、５・・・出射
スリット、６・・・フィルタ、７・・・チョッパーミラ
ー８・・・平面鏡、９・・・平面鏡、１０・・・チョ
ッパーミラー、１１・・・対照光束、１２・・・試料光
束、１３・・・球面鏡、１４・・・検知器、２１・・・
フィルターＦ１．２２・・・フィルターＦ２．２３・・
・フィルターＦ３．２４・・・フィルターＦ４．２５・
・・フィルターＦ５．３１・・・１００％ライン、３２
・・・光学的ノイズ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

分光々変針の迷光カットフィルターの組において、フィ
ルターの使用されない波長範囲にダミーとして透過材を
組み合わせた、フィルターの組を有する分光々変針。