JPS5960207A - 座標測定機 - Google Patents
座標測定機Info
- Publication number
- JPS5960207A JPS5960207A JP58156571A JP15657183A JPS5960207A JP S5960207 A JPS5960207 A JP S5960207A JP 58156571 A JP58156571 A JP 58156571A JP 15657183 A JP15657183 A JP 15657183A JP S5960207 A JPS5960207 A JP S5960207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- arm
- measuring machine
- piston
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0016—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to weight
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S33/00—Geometrical instruments
- Y10S33/02—Air
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はｒ＜ｉ／：標測定機に係るものであり、更に具
体的にいえば座標測定機に使用される垂直ブローファー
ムの重用：を相殺するための改良した簡１１つな空気式
−）ノウンタバランスに係るものである。
体的にいえば座標測定機に使用される垂直ブローファー
ムの重用：を相殺するための改良した簡１１つな空気式
−）ノウンタバランスに係るものである。
背以技術
１；ｉ’む）＋；訓定機は先行技術においてよ（知られ
ている。物品の１ｔｉｌｌ定を行なうのに使用する座標
測定機の普通の型式では、垂直に動くグローブアームの
端にグローブを取付ける。この垂直に動くことのできる
プローブアームは水平に動くことのできるキャリジによ
り支持されているのが典型である。
ている。物品の１ｔｉｌｌ定を行なうのに使用する座標
測定機の普通の型式では、垂直に動くグローブアームの
端にグローブを取付ける。この垂直に動くことのできる
プローブアームは水平に動くことのできるキャリジによ
り支持されているのが典型である。
ブローファーム又はギー＼′リジの動きは、手動型式の
・殿械（て１，５いてはプローブをつかむ操作者により
そｉｔを所へりｒ☆置へ動かして℃・くことによりプＪ
部ね、史に’Ｉ’ｌ’Ｊ’１’？ｉ ｊ、５−ＩＩンビ
ュータ制百１１機械にλ・ｊいてはモーフどグＱ−ブの
自動位置決めコントローラに」二り実施されイ５１、 物品を（固定すイ）ためには、グローブと・＼゛−＼′
−＼′リジに動けなげればならない。理想的（こは、プ
ローブ、キャリジぞしてその関連装置は軽１１１である
べきてあ石’ Ｌｌ垂直に動くことのて゛きて）グロー
ブアーム、は操１′「−者（・こよる所望の缶１１を決
めに応答して容易に動くことができろようにすべきてＡ
リイ）、３然しながら、プローブとそれに関連している
グローブアームどは白雨勝手に動くことがてさるものて
あってはならない、ずなわ゛））動いてはいけないとき
には動くことができてはならな℃・０又、＋７１’：
ＬＲ＜ １ｆｌｌｌ定磯は非′帛に精確でなげればなら
ない６、そのＪ：うな精１ｕｌ （−，１： Ｉソ擦が
小さいということに依存しており、そして摩擦の小さい
ということば片側測定機のベースから支持されている可
動装置の重量に関係してくる。
・殿械（て１，５いてはプローブをつかむ操作者により
そｉｔを所へりｒ☆置へ動かして℃・くことによりプＪ
部ね、史に’Ｉ’ｌ’Ｊ’１’？ｉ ｊ、５−ＩＩンビ
ュータ制百１１機械にλ・ｊいてはモーフどグＱ−ブの
自動位置決めコントローラに」二り実施されイ５１、 物品を（固定すイ）ためには、グローブと・＼゛−＼′
−＼′リジに動けなげればならない。理想的（こは、プ
ローブ、キャリジぞしてその関連装置は軽１１１である
べきてあ石’ Ｌｌ垂直に動くことのて゛きて）グロー
ブアーム、は操１′「−者（・こよる所望の缶１１を決
めに応答して容易に動くことができろようにすべきてＡ
リイ）、３然しながら、プローブとそれに関連している
グローブアームどは白雨勝手に動くことがてさるものて
あってはならない、ずなわ゛））動いてはいけないとき
には動くことができてはならな℃・０又、＋７１’：
ＬＲ＜ １ｆｌｌｌ定磯は非′帛に精確でなげればなら
ない６、そのＪ：うな精１ｕｌ （−，１： Ｉソ擦が
小さいということに依存しており、そして摩擦の小さい
ということば片側測定機のベースから支持されている可
動装置の重量に関係してくる。
プローブアームシャフト組立体の重量と釣合をとってそ
れが落下し、そしてそれにより多分枦１易を生じろこと
がないようにずイ）だめの幾つかの方式かｊ足案されて
いる。ｊメ″Ｌ来のツノウンタハランスシスブノ、（よ
機械的なノノウンタバランスと、空気式ツノウンクハシ
ンスと電気的ノノウンタバランスとを含ん、て〜・イ１
，１、 （・ヤ（成約ム−］）つ７タバランスをとる一つの方法
は、ゾ［７−）、ｆ＋！ ｉ“ｌ、体の重量と釣合う等
１ｉ１１ｉのおもりを取）１げ／−グロ＝ン／ヤフトを
設けることでｋ〕る。この＋！’ｌ成０）欠点は、その
等価の機械的なおもりが摩１炙１′とｊｌｌｉ、 、ｌ
土とう増大させ、そして物品のｌｌ！１１走を行な５ｆ
−めグローブとギヤリゾとを動かすのが困ケ［Ｆと！、
、Ｉ：イ）ということてあイ）。
れが落下し、そしてそれにより多分枦１易を生じろこと
がないようにずイ）だめの幾つかの方式かｊ足案されて
いる。ｊメ″Ｌ来のツノウンタハランスシスブノ、（よ
機械的なノノウンタバランスと、空気式ツノウンクハシ
ンスと電気的ノノウンタバランスとを含ん、て〜・イ１
，１、 （・ヤ（成約ム−］）つ７タバランスをとる一つの方法
は、ゾ［７−）、ｆ＋！ ｉ“ｌ、体の重量と釣合う等
１ｉ１１ｉのおもりを取）１げ／−グロ＝ン／ヤフトを
設けることでｋ〕る。この＋！’ｌ成０）欠点は、その
等価の機械的なおもりが摩１炙１′とｊｌｌｉ、 、ｌ
土とう増大させ、そして物品のｌｌ！１１走を行な５ｆ
−めグローブとギヤリゾとを動かすのが困ケ［Ｆと！、
、Ｉ：イ）ということてあイ）。
先行技６１：■て使用された、別のｌｉｊ械的なノノウ
ンタハジンスはグローブをスプリングへ結合して、プロ
ーフ組立体の爪１１（−と反対の等１曲の力をつくる。
ンタハジンスはグローブをスプリングへ結合して、プロ
ーフ組立体の爪１１（−と反対の等１曲の力をつくる。
しかし不都合なことには、ブローフンヤフトの運動の全
範囲〔機械の大きさによるか、通常８インヂ（２０セン
ブー）ないし４０インチ（１００センチ）〕ニワタッて
一１モなノｊを作用させるスプリングは得られ／ｊい。
範囲〔機械の大きさによるか、通常８インヂ（２０セン
ブー）ないし４０インチ（１００センチ）〕ニワタッて
一１モなノｊを作用させるスプリングは得られ／ｊい。
史に、スプリングツノウンタバランスの使用はある用途
に、ｔｄいて望ましくない大きな摩擦をつくり出す。
に、ｔｄいて望ましくない大きな摩擦をつくり出す。
電気的カウンタバランスは米国ノ１−１ｌ’Ｗｌ第３，
８］８，５９６号に開示さ才じζいる。この米国特許に
開示されているカウンタバランスの構造は、プローブシ
ャフトの重ＦＩ：に従って出力が変るＩＩ■変ドルクイ
臓夕Ｕ埼子クラッチを使用している。
８］８，５９６号に開示さ才じζいる。この米国特許に
開示されているカウンタバランスの構造は、プローブシ
ャフトの重ＦＩ：に従って出力が変るＩＩ■変ドルクイ
臓夕Ｕ埼子クラッチを使用している。
１１Ｉ東のノア１２ンタバランスは望ましくない１′−
の大きい摩（！Ｆを有してオＧす、それはブローブンヤ
フトの動きを困・ｉ！１１としている。大低のｉ；Ｌ東
の装置は大きくそして重く、そしてそのことは＋ａｌｔ
；：″；（固定様の精度と丙現件もしくは反■性によく
ない影響を−りえる。
の大きい摩（！Ｆを有してオＧす、それはブローブンヤ
フトの動きを困・ｉ！１１としている。大低のｉ；Ｌ東
の装置は大きくそして重く、そしてそのことは＋ａｌｔ
；：″；（固定様の精度と丙現件もしくは反■性によく
ない影響を−りえる。
本文に参照すく）米国！Ｉ旨１′１−第４，２０７，１
ｉ８（１号は満足すべき動ｆ／、、 ｌ、−才るり１に
気人カウンタバランスシスデムを開示している。
ｉ８（１号は満足すべき動ｆ／、、 ｌ、−才るり１に
気人カウンタバランスシスデムを開示している。
本発明が教示する座標」り定接は、垂直に動くことので
゛きるグローブアーム、組立体の重用と釣合わせ口だめ
の比較的筒中な空気式カウンタバランス７ステムをイｊ
している。座標画定様の垂直ブローンアートのためのこ
こに開示されるカウンタバランスは、）゛ローフ゛シャ
フトの（古１すに影与忍５するがもしね／、ｆいよすな
力を生ぜしめることなくグローブンヤフトとカウンタバ
ランス７リンダとの間でが）４−りのミスアライメント
を許容する。従来の空気式７リンダカウンタバランスに
つきもの＼好ましくない固着と摩擦は極めて僅かである
。こ＼に開示するカウンクハランスシヌデムは十分に正
確で占Ｕ（、性のある測定を可能としている。
゛きるグローブアーム、組立体の重用と釣合わせ口だめ
の比較的筒中な空気式カウンタバランス７ステムをイｊ
している。座標画定様の垂直ブローンアートのためのこ
こに開示されるカウンタバランスは、）゛ローフ゛シャ
フトの（古１すに影与忍５するがもしね／、ｆいよすな
力を生ぜしめることなくグローブンヤフトとカウンタバ
ランス７リンダとの間でが）４−りのミスアライメント
を許容する。従来の空気式７リンダカウンタバランスに
つきもの＼好ましくない固着と摩擦は極めて僅かである
。こ＼に開示するカウンクハランスシヌデムは十分に正
確で占Ｕ（、性のある測定を可能としている。
こ＼に開示するカウンタバランスはピストンと７リング
とから形成される空気式スプリングてあζ）。ノノウン
タバランス１幾構は正確な内径を有する適当な大きさの
管から成る。この管の中心線は高１■の直線性を必要と
しなし・。管長はプローブ／ヤントの動き全部をうけ入
れるに足りる長さである。
とから形成される空気式スプリングてあζ）。ノノウン
タバランス１幾構は正確な内径を有する適当な大きさの
管から成る。この管の中心線は高１■の直線性を必要と
しなし・。管長はプローブ／ヤントの動き全部をうけ入
れるに足りる長さである。
適当な′ｆｌｊ法のピストンロッドの一端に固定した打
ｆ密ボ・−ルから成るピストン組立体を設ける。ボール
は最小の直径間両を残してシリンダの内径（（ぴったり
１θ；まる３、ピストンロッドの反対端は、プローブア
ームシャフトへ直線接続されているブランケットに取イ
；１げた球形ベアリング内に保持される。
ｆ密ボ・−ルから成るピストン組立体を設ける。ボール
は最小の直径間両を残してシリンダの内径（（ぴったり
１θ；まる３、ピストンロッドの反対端は、プローブア
ームシャフトへ直線接続されているブランケットに取イ
；１げた球形ベアリング内に保持される。
シリンダのピストン側へ接読した空気供給ラインに比較
的小容量の’４Ｗ確に調整できる空気圧力調整器を配置
する。この圧力調整器は一定の調整可能の空気圧力を与
・える。調整器を調節して所望の釣合いをつくる。
的小容量の’４Ｗ確に調整できる空気圧力調整器を配置
する。この圧力調整器は一定の調整可能の空気圧力を与
・える。調整器を調節して所望の釣合いをつくる。
ピストンロッドの両端が球状となっているので、運転中
ロッドの角Ｊｑ変位は自由にてきる。もしピストンロッ
ドの運動を妥当な限界に保っておくと、ピストンロッド
の角度変位はプローブノー＼“ントの精度又は再男性を
減少するということはなし・。
ロッドの角Ｊｑ変位は自由にてきる。もしピストンロッ
ドの運動を妥当な限界に保っておくと、ピストンロッド
の角度変位はプローブノー＼“ントの精度又は再男性を
減少するということはなし・。
カウンクバランスシリンダをできるだけプローブシャフ
トに近づけて配置し、ピストンロットヘブローブシャフ
トを接続している支持ブランケットの寸法を小さくする
。垂直に動くことのできるグローブシャフトは低摩擦ベ
アリング、例えば空気ベアリングにより支持されて運動
を容易にしている。
トに近づけて配置し、ピストンロットヘブローブシャフ
トを接続している支持ブランケットの寸法を小さくする
。垂直に動くことのできるグローブシャフトは低摩擦ベ
アリング、例えば空気ベアリングにより支持されて運動
を容易にしている。
添付図面を参照する。本発明による空気式カウンタバラ
ンス装置５０を使用しているＦ１４標測定機が示されて
いる。この座標測定機１０はベース２０と水５１′に動
（キャリジ３０とを含んでいる。キャリジ；う０はベア
リング３１にＪ二りベース２０へ数句げられている３、
垂直に数句げられているプローン川さ′／２体・１０は
下方の空気ベアリングセット；３２と上方の空気ベアリ
ングセット３；３とによりキャリシラ０から動けるよう
支持されている。プローブ組立体４０は画定しようとす
る物品１５に係合す４〕プローブチツプ４１を含んでい
る。プローブチップは垂直に動けるプローブアーム４２
の端に」１ン伺けられている。
ンス装置５０を使用しているＦ１４標測定機が示されて
いる。この座標測定機１０はベース２０と水５１′に動
（キャリジ３０とを含んでいる。キャリジ；う０はベア
リング３１にＪ二りベース２０へ数句げられている３、
垂直に数句げられているプローン川さ′／２体・１０は
下方の空気ベアリングセット；３２と上方の空気ベアリ
ングセット３；３とによりキャリシラ０から動けるよう
支持されている。プローブ組立体４０は画定しようとす
る物品１５に係合す４〕プローブチツプ４１を含んでい
る。プローブチップは垂直に動けるプローブアーム４２
の端に」１ン伺けられている。
このブローブホ［［立体４０は操作員又は自動制町装置
により垂直に動かされて物品１５の種々の部分を検査す
る。グローブチップ４１はこの方面の技術でｊ二＜知ら
れている仕方で取りつげられていて（Φ々の点で物品１
５の部分の位置を示す出力を適時にＪｊえる３、この出
力は表示装置や曲の適当な記録装置に示される。表示装
置〆Ｉや記録装置はよく知られていく）ので図面には示
して（・プ、Ｃい。
により垂直に動かされて物品１５の種々の部分を検査す
る。グローブチップ４１はこの方面の技術でｊ二＜知ら
れている仕方で取りつげられていて（Φ々の点で物品１
５の部分の位置を示す出力を適時にＪｊえる３、この出
力は表示装置や曲の適当な記録装置に示される。表示装
置〆Ｉや記録装置はよく知られていく）ので図面には示
して（・プ、Ｃい。
第２図は空気ノノウンタバランス装置５０を詳＃ｌｌ＋
に示して℃・イ）。シリンダ５２内にはｉ’ｉ’ｉ確な
球状ピストン５４が収容されている。球状ピストン５４
どシリンダ５２の内ｎ′：との間の直（：’を方向の晩
間は約０．００５ｙｌｒｎ／Ｊ’ら０．００８ ｍ、
（０，０００２インチから０ 、００ （１３インチ）
である。／リンダ５２の内作が正＠であるごとは大事な
ことであるけれども、内作の直線［生はＪｉｉ（ｉ格な
ものでなくても」、い、。
に示して℃・イ）。シリンダ５２内にはｉ’ｉ’ｉ確な
球状ピストン５４が収容されている。球状ピストン５４
どシリンダ５２の内ｎ′：との間の直（：’を方向の晩
間は約０．００５ｙｌｒｎ／Ｊ’ら０．００８ ｍ、
（０，０００２インチから０ 、００ （１３インチ）
である。／リンダ５２の内作が正＠であるごとは大事な
ことであるけれども、内作の直線［生はＪｉｉ（ｉ格な
ものでなくても」、い、。
球状ピストン５４へ固定されたピストンロット５６は／
リンダ５２の開−７＋１１ｉからのひ・ており、ぞしで
ボールジヨイント５３により剛性ブランケット５８へ１
と（−！“Ｌされていイ，。ト！「用性］゛ラソヶット
５８はグローブアーム・１２の先端へ接ｂ゛１，され、
そして先ψ１１１からのびて℃・る。ボールジヨイント
５３により剛性ブランケット５８へ球状ピストン５４と
ロッド５ （ｉとを接続しているのでピストンロッド５
６はプローブアーム４２とは揃わフヨ＜てもよく、運動
中グローブアームに固着したり、これを屈撓させたりは
しない。この特徴は重要である。ブローファームの固着
又は屈撓はＦ１／：検測定接１０の運動の不古度を減少
すること＼なるからて・ある。ボールピストン してブローファーム４２は一体となって動くことかでき
る。、ボールピストンの使用は特に有利であ乙１、ぞれ
は／リンダ５２内に容易に位置ぎめされイ）ことかてき
、そしてロッド５Ｇの正確な垂直アシイメンｉ・を必要
どしないからである。加圧空気を７）′ｌ気伊給源から
シリンダ５２へ供給してプローブ組立体の市；１：、と
釣合わぜてそれの見掛けの重量イシ′軽くする。昂密調
整の空気弁調節装置７ ｔＪを空気ｒｉ−）Ｊ ９’；
給源とシリンダ５２への入［］７４との間に配置＋’：
ｉ″す７， ｇ加圧調節装置７０か）：）の空気はホー
ルピストン５・１を通って連続的に／７１１出し、そり
、て大気中へ１ノ１出される。ピストン５４を通−って
１届」［る空気は圧）Ｊ調節弁７０かもの空気により補
充される。ボールピストン５４はシリンダ５２内に比軸
的ぴったりと１１）とまっており、必要とす・ろ補充空
気の耽は多くなくてよく、そして第１１昌〒、２甜ト１
多の空気圧力、ｉ１７．）筒器７０は比較的小形のもの
でよい。
リンダ５２の開−７＋１１ｉからのひ・ており、ぞしで
ボールジヨイント５３により剛性ブランケット５８へ１
と（−！“Ｌされていイ，。ト！「用性］゛ラソヶット
５８はグローブアーム・１２の先端へ接ｂ゛１，され、
そして先ψ１１１からのびて℃・る。ボールジヨイント
５３により剛性ブランケット５８へ球状ピストン５４と
ロッド５ （ｉとを接続しているのでピストンロッド５
６はプローブアーム４２とは揃わフヨ＜てもよく、運動
中グローブアームに固着したり、これを屈撓させたりは
しない。この特徴は重要である。ブローファームの固着
又は屈撓はＦ１／：検測定接１０の運動の不古度を減少
すること＼なるからて・ある。ボールピストン してブローファーム４２は一体となって動くことかでき
る。、ボールピストンの使用は特に有利であ乙１、ぞれ
は／リンダ５２内に容易に位置ぎめされイ）ことかてき
、そしてロッド５Ｇの正確な垂直アシイメンｉ・を必要
どしないからである。加圧空気を７）′ｌ気伊給源から
シリンダ５２へ供給してプローブ組立体の市；１：、と
釣合わぜてそれの見掛けの重量イシ′軽くする。昂密調
整の空気弁調節装置７ ｔＪを空気ｒｉ−）Ｊ ９’；
給源とシリンダ５２への入［］７４との間に配置＋’：
ｉ″す７， ｇ加圧調節装置７０か）：）の空気はホー
ルピストン５・１を通って連続的に／７１１出し、そり
、て大気中へ１ノ１出される。ピストン５４を通−って
１届」［る空気は圧）Ｊ調節弁７０かもの空気により補
充される。ボールピストン５４はシリンダ５２内に比軸
的ぴったりと１１）とまっており、必要とす・ろ補充空
気の耽は多くなくてよく、そして第１１昌〒、２甜ト１
多の空気圧力、ｉ１７．）筒器７０は比較的小形のもの
でよい。
ゾローブ絹′ＳＪ一体４００重辰の大部分と釣合せるよ
うに補充空気なＪｊえるよう調整弁７０を使用してシリ
ンダ５２内の圧力を調節する。流速調整装置ｉ／ｉ７０
を通る空気流はピストン５４０周りで７ｆＪＲ出する空
気を補充するだけの計である。プローブアーム４２を動
かすと、ピストン５４も動いて、シリンダ５２内の加圧
空気の体積を変え、圧力を変エル。フ゛ローフ゛アーム
４２が」二がるにつれて、シリンダ５２内の圧）Ｊは降
下すて）が、設定圧ツノの補充空気はｍｔ４節装研装置
７０り供給される。ブローブアーノ、４２が１降するに
つれて、シリンダ５２内の圧力は十Ｈするが、出力Ｈｒ
Ｈ節装置ｉ： ７０は過剰空気を大気へ１ノＩ出する。
うに補充空気なＪｊえるよう調整弁７０を使用してシリ
ンダ５２内の圧力を調節する。流速調整装置ｉ／ｉ７０
を通る空気流はピストン５４０周りで７ｆＪＲ出する空
気を補充するだけの計である。プローブアーム４２を動
かすと、ピストン５４も動いて、シリンダ５２内の加圧
空気の体積を変え、圧力を変エル。フ゛ローフ゛アーム
４２が」二がるにつれて、シリンダ５２内の圧）Ｊは降
下すて）が、設定圧ツノの補充空気はｍｔ４節装研装置
７０り供給される。ブローブアーノ、４２が１降するに
つれて、シリンダ５２内の圧力は十Ｈするが、出力Ｈｒ
Ｈ節装置ｉ： ７０は過剰空気を大気へ１ノＩ出する。
ベロフラム（１汁〕Ｌ］、Ｏ］ｉ”ｌｔＡＭ）社製の圧
ノＪ調ｆｉｉｉｊ装置モデ／Ｌ／ −１−ンハ−１＋１
−１３が６１７４足すべきものであった。
ノＪ調ｆｉｉｉｊ装置モデ／Ｌ／ −１−ンハ−１＋１
−１３が６１７４足すべきものであった。
第１図は本発明により製造した外杆測定機の部分立面図
、第２図は空気式ノノウンタバランスをＢＹ４１１１
Ｋ示すその拡大断面図である。 １０・・座標測定機、１５・・物品、２０・・ベース１
．３０・・キャリジ、３１・・ベアリング、：＋２；］
３−・タト気ベアリングセット、４０−嗜ブローブＸ１
１立体、４１・・プローブチップ、４２・・プローブア
ーム、５０・・空気式カウンタバランス族ｊｉ９．５２
畳９シリンダ、 ５３０−ボールジヨイント、５４・
Ｏ球状ピストン、５Ｇ６・ピストンロンド、５８０・剛
性ブランケツト、７０・・１−１カルリ、ｊ首Ｊ弁。 Ｈθｌ
、第２図は空気式ノノウンタバランスをＢＹ４１１１
Ｋ示すその拡大断面図である。 １０・・座標測定機、１５・・物品、２０・・ベース１
．３０・・キャリジ、３１・・ベアリング、：＋２；］
３−・タト気ベアリングセット、４０−嗜ブローブＸ１
１立体、４１・・プローブチップ、４２・・プローブア
ーム、５０・・空気式カウンタバランス族ｊｉ９．５２
畳９シリンダ、 ５３０−ボールジヨイント、５４・
Ｏ球状ピストン、５Ｇ６・ピストンロンド、５８０・剛
性ブランケツト、７０・・１−１カルリ、ｊ首Ｊ弁。 Ｈθｌ
Claims (9)
- （１） ベース（２０） 、このベースに対し動くこ
とのできるキャリジ（３ｏ）そして測定しようとする物
品と係合するためプローブアーム（／Ｉ２）の自由１シ
１°１．ＩＫ配置されたグローブ（４］）を含む座標測
定様において、 加圧空気源へ接続された入日と出口とを有する精密調整
の空気圧力調整器（７０） ；一方の閉じた端が精密調
整の空気圧力調整器（７０）の出口へ接続され、そして
他方の端が大気へＪＪｉ気されているシリンダ（５２）
；この／リンダ内で相対的に動くことができ、加圧空
気を周りから漏出させ゛も大きさとした球状ピストン（
５４） ； コノ球状ヒストン（５４）へ接続されたロンド（５Ｇ）
； プローブアーム（４２）へ固定された剛性ブランケット
（５８） ；及び この剛性ブランケット（５８）へロンド（５６）を接続
する球状ベアリング を備えていることを特徴とする座標測定機。 - （２） 前記球状ピストン（５４）と前記シリンダ（
５２）との間の隙間が０．０００５インチ（０，０１３
ミリ）よりも小さい特許請求の範囲第１項に記載の座標
測定機。 - （３） 前記ブローブアニム（４２）が低摩擦運動の
だめの空気ベアリング案内部利（３２，３３）により支
持されている特許請求の範囲第２項に記載の庁標測定機
。 - （４）ベース； このベースに沿って相対的に動けるようベースに取付け
られているカートリッジ：測定しようとする物品に保合
するプローブ；カートリッジに対し垂直に動けるように
プローブを支持するためキャリジに配置された数句手段 を備えた物品を測定するための座標測定機において、 一端にグローブを接続しているグローブアーム； このプローブアームへ近接して・Ｖヤリジ」二に取イ夫
ｊけたシリンダ； 相対的に動けるようシリンダ内に配置１〈１されている
球状ピストン； グローブアームと一体となって動けるようにプローブア
ームへピストンを接続するための接読手段； 釣合い力をつくるため球状ピストンの一トに調節した圧
力の空気を供給するように出［］を接快した調整式圧力
調整器 を備えたことを特徴とする、物品を測定するための川４
（票…ｊ１定機。 - （５）フローファームへ固定された剛性７ラソケツト；
及び この岡１１円プンツクツトと月ミ状ピストンとの間に配
置さλし、−そして１剛づ止ブンンク゛ソトへ月Ｓ状ベ
アリングジヨイント（（より接続されているロッド を備えている特許請求の範囲第４項に記載の座標測定機
。 - （６）低摩擦運動のためプローブアームを支持する空気
ベアリング案内γく１≦利を備えた特許請求の・ｉ・１
何州第５項に記載の座標測定機。 - （７） へ −一 、ス ； このベースに対して動けるようにベースに配置されてい
るキャリジ； このキャリジに対し垂直に動けるようキャリジに支持さ
れている長いブローファーム；キャリジに配置され、そ
してブローファーム・へ接Ｕ、され、加圧供給源から操
作される空気式カウンクバランス； グローブアームに近接して数句けられ、閉端をイアする
・／リンダ； このシリンダに対して動けるようにシリンダ内に配置°
１イ１°されている球状ピストン；ン′ローフ゛アーム
の汀ｌｉ′１１Ｓがらのびている１ｉｉｉｌｌイ〈ｌユ
プラツケット； この剛性ブランケットへ球状ピストンを接続する接続ロ
ッド； 球状ピストンがシリンダ内を動くときに選択された範囲
内でピストンに空気圧力をかげるためシリンダの閉端へ
接続された空気式調整器 を備えたことを特徴とする物品測定機。 - （８） 前記剛性プランケットにより支持され、そし
て前記接続ロッドが係合して剛性ブランケットと接続ロ
ッドとの間で相対的な運動をさせるようにする球状ベア
リングを（＋！！ｉえている’ｌ”Ｊ’ ｒ４’ｌ’請
求の範囲第７項に記載の物品測定機。 - （９）ベース； 底端に測定グローブを取付けたプローブアーム； ベースからグローブアームを支持し、そしてベースに対
してプローブアームの相対的運動を可能とさせる支持手
段； プローブアームからばれているシリンダ；このシリンダ
内に配置されている球状ピストン； この球状ピストンへ固定されたロッド；グローブアーム
の頂端へ固定され、そしてそれからのυ・る剛性ブラン
ケット；及び回動するよう１剛性ブランケツトヘロツド
を接Ｆｊ６する球状ベアリング を備えたことを特徴とする測定機。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/413,099 US4507868A (en) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | Coordinate measuring machine with a self aligning pneumatic counterbalance |
| US413099 | 1999-10-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960207A true JPS5960207A (ja) | 1984-04-06 |
| JPH034082B2 JPH034082B2 (ja) | 1991-01-22 |
Family
ID=23635824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58156571A Granted JPS5960207A (ja) | 1982-08-30 | 1983-08-29 | 座標測定機 |
Country Status (5)
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|---|---|
| US (1) | US4507868A (ja) |
| EP (1) | EP0104972B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5960207A (ja) |
| CA (1) | CA1203683A (ja) |
| DE (2) | DE104972T1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60193407U (ja) * | 1984-06-02 | 1985-12-23 | 東陶機器株式会社 | 直角測定器 |
| JPS62156813U (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4631834A (en) * | 1984-04-20 | 1986-12-30 | Mitutuoyo Mfg. Co., Ltd. | Coordinate measuring instrument |
| GB8614539D0 (en) * | 1986-06-14 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Coordinate positioning apparatus |
| US4835871A (en) * | 1986-10-31 | 1989-06-06 | Brown & Sharpe Manufacturing Co. | Counterweight for coordinate measuring machine |
| US4800652A (en) * | 1987-09-25 | 1989-01-31 | The Timken Company | Machine for measuring generally circular objects in cylindrical coordinates |
| US4799316A (en) * | 1987-12-28 | 1989-01-24 | The Warner & Swasey Company | Coordinate measuring machine with a probe shaft counter balance system |
| DE3842151A1 (de) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
| JP3318795B2 (ja) * | 1993-10-08 | 2002-08-26 | ソニー株式会社 | 変位検出装置 |
| US6058618A (en) * | 1997-09-09 | 2000-05-09 | Giddings & Lewis, Inc. | Coordinate measuring machine |
| US7424846B2 (en) * | 2005-04-18 | 2008-09-16 | Nippei Toyama Corporation | Pneumatically static balancer for machine tool |
| CN101339083B (zh) * | 2007-07-06 | 2010-09-29 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 接触式测量装置 |
| JP4875180B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2012-02-15 | ファナック株式会社 | 微細接触力調整機構を有する接触式計測装置 |
| US9222763B2 (en) | 2012-03-02 | 2015-12-29 | Hexagon Metrology, Inc. | Coordinate measuring machine with constrained counterweight |
| WO2017014652A1 (en) | 2015-07-22 | 2017-01-26 | The White Sc Sp. Z.O.O. | Device for measuring |
| DE102016201574B4 (de) * | 2016-02-02 | 2020-12-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Pinole, Verfahren zum Betreiben des Koordinatenmessgeräts und Verfahren zum Herstellen des Koordinatenmessgeräts |
| JP6883446B2 (ja) * | 2017-03-02 | 2021-06-09 | 株式会社ミツトヨ | 昇降駆動装置およびこれを用いた測定機 |
| US11060836B2 (en) | 2017-04-19 | 2021-07-13 | Renishaw Plc | Bearing arrangement |
| EP3392610B1 (en) | 2017-04-19 | 2022-02-23 | Renishaw PLC | Bearing mount |
| JP2020517939A (ja) | 2017-04-19 | 2020-06-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 測定装置カウンターバランス |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54155862A (en) * | 1978-05-29 | 1979-12-08 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for measuring tridimensional form |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2710137A (en) * | 1949-12-08 | 1955-06-07 | S E P A Soc D Expl Des Procede | Compressor |
| CA916112A (en) * | 1970-03-09 | 1972-12-05 | Gun Web Limited | Direct drive ball piston compressor |
| GB1393035A (en) * | 1971-07-09 | 1975-05-07 | Olivetti & Co Spa | Precision measuring apparatus with aerostatic bearings |
| US3818596A (en) * | 1973-03-29 | 1974-06-25 | Bendix Corp | Counterbalance for a vertically supported probe shaft |
| US4207680A (en) * | 1978-05-08 | 1980-06-17 | The Bendix Corporation | Coordinate measuring machine having an air counterbalance system |
| US4389781A (en) * | 1981-08-10 | 1983-06-28 | The Bendix Corporation | Pneumatic counterbalance for a coordinate measuring machine |
-
1982
- 1982-08-30 US US06/413,099 patent/US4507868A/en not_active Expired - Lifetime
-
1983
- 1983-06-06 CA CA000429742A patent/CA1203683A/en not_active Expired
- 1983-08-19 DE DE198383401684T patent/DE104972T1/de active Pending
- 1983-08-19 EP EP83401684A patent/EP0104972B1/en not_active Expired
- 1983-08-19 DE DE8383401684T patent/DE3373940D1/de not_active Expired
- 1983-08-29 JP JP58156571A patent/JPS5960207A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54155862A (en) * | 1978-05-29 | 1979-12-08 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for measuring tridimensional form |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60193407U (ja) * | 1984-06-02 | 1985-12-23 | 東陶機器株式会社 | 直角測定器 |
| JPS62156813U (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4507868A (en) | 1985-04-02 |
| CA1203683A (en) | 1986-04-29 |
| EP0104972A1 (en) | 1984-04-04 |
| EP0104972B1 (en) | 1987-09-30 |
| JPH034082B2 (ja) | 1991-01-22 |
| DE3373940D1 (en) | 1987-11-05 |
| DE104972T1 (de) | 1986-04-30 |
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