JPS5961151A - 絶縁型半導体装置 - Google Patents
絶縁型半導体装置Info
- Publication number
- JPS5961151A JPS5961151A JP57171653A JP17165382A JPS5961151A JP S5961151 A JPS5961151 A JP S5961151A JP 57171653 A JP57171653 A JP 57171653A JP 17165382 A JP17165382 A JP 17165382A JP S5961151 A JPS5961151 A JP S5961151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- radiating substrate
- resin
- heat dissipation
- fitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
- H10W74/10—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
- H10W74/111—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
- H10W74/10—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は放熱板裏面に外装樹脂Hによる絶縁層を++1
成1した半導体装置に関する。
成1した半導体装置に関する。
背最技術
第1図及び第2図は樹脂モールド型半導体装置の一例を
示すもので、1は半導体ペレット2を固定した放熱基板
で、数例用の穴1aを穿設している。3は図示例では3
本1組のリードで、中央のり一部3aを基板1に固定し
、両側のリード3b。
示すもので、1は半導体ペレット2を固定した放熱基板
で、数例用の穴1aを穿設している。3は図示例では3
本1組のリードで、中央のり一部3aを基板1に固定し
、両側のリード3b。
3Cの一端をベレット2の近傍に配置している。
4はベレット2とリード3b 、3cとを電気的に接続
した金属細線、5はベレット2を含む主要部分を樹脂材
にて被覆し外装した樹脂外装部を示す。
した金属細線、5はベレット2を含む主要部分を樹脂材
にて被覆し外装した樹脂外装部を示す。
この半導体装置はベレット2の発生熱を効率よく放出す
るために外部の放熱器に取付穴1aを利用して固定され
る。この場合、放熱基板lはベレット2の裏面電偽と電
気的に接続されているなめ、第3図に示すように放熱基
板lと放熱器6の間にマイカ板−等の絶縁ンート7を挾
み、取付穴1aに絶縁ブツシュ8を介してネジ9て固定
し、放熱器6と放熱基板lの絶縁を保っている。ざらに
熱抵抗を低下きせるために放熱器6と絶縁シート7及ヒ
絶縁シート7と放熱基板1の間にシリコーングリス等を
充填している。
るために外部の放熱器に取付穴1aを利用して固定され
る。この場合、放熱基板lはベレット2の裏面電偽と電
気的に接続されているなめ、第3図に示すように放熱基
板lと放熱器6の間にマイカ板−等の絶縁ンート7を挾
み、取付穴1aに絶縁ブツシュ8を介してネジ9て固定
し、放熱器6と放熱基板lの絶縁を保っている。ざらに
熱抵抗を低下きせるために放熱器6と絶縁シート7及ヒ
絶縁シート7と放熱基板1の間にシリコーングリス等を
充填している。
これにより半導体ベレット2は放熱性の良好な放熱器6
に固定濫れるが、取付作業が煩届な上、絶縁シート7や
絶縁ブツシュ8が必要であるという欠点があった。
に固定濫れるが、取付作業が煩届な上、絶縁シート7や
絶縁ブツシュ8が必要であるという欠点があった。
そのため第1図半導体装1−の樹脂外装部5を放熱基板
lの裏面及び数例穴りa内周まてIg長影形成、直接放
熱器に取付可能とし、絶縁シート7や絶縁ブツシュ8を
省き作業を良好にしたものがある。
lの裏面及び数例穴りa内周まてIg長影形成、直接放
熱器に取付可能とし、絶縁シート7や絶縁ブツシュ8を
省き作業を良好にしたものがある。
この半導体装置は例えば第4図に示す樹脂モールド金型
を用い製造される。図において10は下金型で、放熱基
板1を収容する凹部10aより数例穴1aを貫通する突
起11を突設し、凹部10aの底面10bと放熱基板l
の裏面とが一定間隔を保つようにリード3を支持してい
る。12は」二金型で、下面に下金型10の四部10a
と対応する四部12aを形成、し、突起11の先端を収
納する凹孔13を穿設している。また上下金71iQ’
IO,12は密着しり一部3を挾持固定している。凹部
10a。
を用い製造される。図において10は下金型で、放熱基
板1を収容する凹部10aより数例穴1aを貫通する突
起11を突設し、凹部10aの底面10bと放熱基板l
の裏面とが一定間隔を保つようにリード3を支持してい
る。12は」二金型で、下面に下金型10の四部10a
と対応する四部12aを形成、し、突起11の先端を収
納する凹孔13を穿設している。また上下金71iQ’
IO,12は密着しり一部3を挾持固定している。凹部
10a。
12a(キャビティ)、突起11t/i放熱基板1から
−4の間隔、間隙を形成している。このキャビティ内に
図示しないがゲートから樹脂を注入し硬化させることに
より、絶縁型半導体装置がT’Jられる。
−4の間隔、間隙を形成している。このキャビティ内に
図示しないがゲートから樹脂を注入し硬化させることに
より、絶縁型半導体装置がT’Jられる。
しかしながら、この半導体装置は放熱基板裏面の樹脂層
の厚みがばらつき易く、この部分の厚みが薄いと、耐電
圧不良となり、厚いと放熱効果が低下するという欠点が
あった。
の厚みがばらつき易く、この部分の厚みが薄いと、耐電
圧不良となり、厚いと放熱効果が低下するという欠点が
あった。
これはキャビティと放熱基板10間隙を金型によるリー
ド3の締付けたけて規正しているために生しるもので、
完全に除去することができなかった。
ド3の締付けたけて規正しているために生しるもので、
完全に除去することができなかった。
そのためζ第5図に示すようにキャビティの放熱基板1
と対向する面に部分的突起14を設け、これて間隔を規
正し樹脂層・の厚みを一定にすることもできるが、この
半導体装置は放熱基板1の裏面の一部が露呈し、しかも
樹脂層の厚みが薄いため、放熱器に固定した場合、放熱
基板1の露呈部から放熱器までの樹脂層に沿う沿面距離
が短かく耐電圧が十分得られないという問題があった。
と対向する面に部分的突起14を設け、これて間隔を規
正し樹脂層・の厚みを一定にすることもできるが、この
半導体装置は放熱基板1の裏面の一部が露呈し、しかも
樹脂層の厚みが薄いため、放熱器に固定した場合、放熱
基板1の露呈部から放熱器までの樹脂層に沿う沿面距離
が短かく耐電圧が十分得られないという問題があった。
発明の開示
本発明は」二記決点に鑑み提案きれたもので、耐電圧や
放熱効果を低下させることなく放熱板裏面に均一な厚み
の絶縁層を形成した半導体装置を挽)供する。
放熱効果を低下させることなく放熱板裏面に均一な厚み
の絶縁層を形成した半導体装置を挽)供する。
本発明は放熱基板上に載滌した半導体ペレ′ントと一端
を半導体ベレットの近傍に配置しfc ’) −)”と
を電気的に接続し、半導体ベレ′ント並びに放flp基
板の裏面を含む主要部分を樹脂相にて外装したものにお
いて、上記放熱基板裏面に異径凹部をほぼ同心的に形成
すると共に、大径の異径凹部にタト装樹脂林をほぼ充実
させたことを特徴とする。
を半導体ベレットの近傍に配置しfc ’) −)”と
を電気的に接続し、半導体ベレ′ント並びに放flp基
板の裏面を含む主要部分を樹脂相にて外装したものにお
いて、上記放熱基板裏面に異径凹部をほぼ同心的に形成
すると共に、大径の異径凹部にタト装樹脂林をほぼ充実
させたことを特徴とする。
本発明は上記構成により次のような効果を有する。
1 樹脂モールド時に放熱基板の滴径凹部に企画すキャ
ヒテイに設けた突起を仲人するたけでキャビティ内壁と
放熱基板との間隔を一定にてきるため、樹脂層(絶縁層
)の厚みを均一にできる。
ヒテイに設けた突起を仲人するたけでキャビティ内壁と
放熱基板との間隔を一定にてきるため、樹脂層(絶縁層
)の厚みを均一にできる。
2 大径の異径凹部を外装樹脂相にてほぼプロ実させる
ことにより、放熱基板の裏面側の樹脂が被世/1[ない
部分から樹脂外装表面1てり)沿面距離を長くでき、耐
電圧の低下がなし・。
ことにより、放熱基板の裏面側の樹脂が被世/1[ない
部分から樹脂外装表面1てり)沿面距離を長くでき、耐
電圧の低下がなし・。
発明を実施するための最良の形態
以下に本発明の実施例を第6図乃至第11図力・ら説明
する。第6図及び第7図にお(/1で15は半導体ベレ
ット16を固定した放熱基板で、数例用穴15aは裏面
側が大径、表面側力i /J’l径のゲ妊径穴(異径凹
部)15b、15cを同心的に穿設している。17は図
示例では3本1組のIJ −ドて、lコ央のり一部1’
7aの一端をL字状に屈曲し、端音すを基板15に固定
し、両側の1ノー)”17b、17cをリード17aと
平行配列して一端部をペレ・ント16の近傍に配置して
いる。18はベレ゛ント16とリード17b 、17c
とをそれそね電気0勺に接続した金属細線、19けペレ
゛ント16、IJ −)−17の基部、金属細線18を
被覆すると共に放熱基板15の外周面及び数例7i:l
5 aの内1間面全被IIした樹脂外装部(絶縁層)
を示す。この樹月旨外装により取イ」用の穴20は、放
熱基板15の数例穴15aと同軸的に形成、きれる。
する。第6図及び第7図にお(/1で15は半導体ベレ
ット16を固定した放熱基板で、数例用穴15aは裏面
側が大径、表面側力i /J’l径のゲ妊径穴(異径凹
部)15b、15cを同心的に穿設している。17は図
示例では3本1組のIJ −ドて、lコ央のり一部1’
7aの一端をL字状に屈曲し、端音すを基板15に固定
し、両側の1ノー)”17b、17cをリード17aと
平行配列して一端部をペレ・ント16の近傍に配置して
いる。18はベレ゛ント16とリード17b 、17c
とをそれそね電気0勺に接続した金属細線、19けペレ
゛ント16、IJ −)−17の基部、金属細線18を
被覆すると共に放熱基板15の外周面及び数例7i:l
5 aの内1間面全被IIした樹脂外装部(絶縁層)
を示す。この樹月旨外装により取イ」用の穴20は、放
熱基板15の数例穴15aと同軸的に形成、きれる。
この半導体装置は第4図に示す樹脂モールド置が用いら
れるが、取(q穴15aK挿入する突起11’を、第8
[71iC示スヨうに異径穴]、5b、15cの段部
で係合し、各穴15b、15cより小径にしたことのV
、相異する。この突起11′により放熱基板15の裏面
とキャビティの間隔lは一定に設定される。
れるが、取(q穴15aK挿入する突起11’を、第8
[71iC示スヨうに異径穴]、5b、15cの段部
で係合し、各穴15b、15cより小径にしたことのV
、相異する。この突起11′により放熱基板15の裏面
とキャビティの間隔lは一定に設定される。
また数例穴り5a内周面の樹脂の厚みt1+ t2は放
熱基板15裏面の絶縁層の厚みeより十分大きく設定さ
れる。
熱基板15裏面の絶縁層の厚みeより十分大きく設定さ
れる。
これにより放熱基板15裏面の樹脂層(絶縁層)の厚み
を均一にでき、耐電圧を保ち放熱性を均一にできる。
を均一にでき、耐電圧を保ち放熱性を均一にできる。
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されることなく、例
えば異径凹部は1通孔たけでなく、第9図に示すように
有底てもよい。この場合、放熱器への取付用穴は別設さ
れる。特に異径凹部は同心的に形成することが好ましい
が、若干偏心させることもてきる。また第10図及び第
11図に示すように異径凹部15b、15cの連結部を
テーパ状にしてもよい。芒らには第12図に示すように
キャビティ内に突設する突起11″の大径部11’aと
小径部]1′b との間の段部から大径部11′aの
周面に切欠部11’cを設けるこ々によって、半導体装
置の異径凹部15b、15c 内周面の樹脂層を連通
し放熱基板15に対する接着力を向上させ、捷た樹脂層
から露呈する放熱基板の面積を小さくすることもてきる
。
えば異径凹部は1通孔たけでなく、第9図に示すように
有底てもよい。この場合、放熱器への取付用穴は別設さ
れる。特に異径凹部は同心的に形成することが好ましい
が、若干偏心させることもてきる。また第10図及び第
11図に示すように異径凹部15b、15cの連結部を
テーパ状にしてもよい。芒らには第12図に示すように
キャビティ内に突設する突起11″の大径部11’aと
小径部]1′b との間の段部から大径部11′aの
周面に切欠部11’cを設けるこ々によって、半導体装
置の異径凹部15b、15c 内周面の樹脂層を連通
し放熱基板15に対する接着力を向上させ、捷た樹脂層
から露呈する放熱基板の面積を小さくすることもてきる
。
第1図は半導体装置の一例を示す一部透視平面図、第2
図は第1図A−A面図、第3図は第1図半導体装置の取
イ」例を示す側断面図、第4図は絶縁型半導体装置の製
造方法を示す樹脂モールド装置の側断面図、第5図は第
4図装置の変形例を示す部分側断面図、第6図は本発明
の一実施例を示す一部透視平面図、第7図は第6図E−
B面図、第8図は第6図装置の製造方法を示す樹脂モー
ルド装置の要部側断面図、第9図乃至第11図は本発明
の変形例を示す要部側断面図、第12図は本発明の他の
実施例を説明するために用いられるモールド袋物、の突
起を示す斜視図である。 15・・・・ 放熱基板、 15a、15b、15c 異径凹部、16・・・・
半導体ベレット、 17・・・リード、 19・・ 樹脂外装部。 2 第4図 ]3 第5図 第 6 図
図は第1図A−A面図、第3図は第1図半導体装置の取
イ」例を示す側断面図、第4図は絶縁型半導体装置の製
造方法を示す樹脂モールド装置の側断面図、第5図は第
4図装置の変形例を示す部分側断面図、第6図は本発明
の一実施例を示す一部透視平面図、第7図は第6図E−
B面図、第8図は第6図装置の製造方法を示す樹脂モー
ルド装置の要部側断面図、第9図乃至第11図は本発明
の変形例を示す要部側断面図、第12図は本発明の他の
実施例を説明するために用いられるモールド袋物、の突
起を示す斜視図である。 15・・・・ 放熱基板、 15a、15b、15c 異径凹部、16・・・・
半導体ベレット、 17・・・リード、 19・・ 樹脂外装部。 2 第4図 ]3 第5図 第 6 図
Claims (1)
- 放熱基板」二に載置した半導体ベレットと一端を半導体
ペレットの近傍に配置したリードとを電気的に接続し、
21を導体ベレット並びに放熱基板の裏面を含む主要部
分を樹脂脂相にて外装したものにおいて、]・記放熱基
板裏mIK異径門部をほぼ同心的に月ヅ成すると共に、
大径の異径凹部に外装樹脂相をほぼ充実させたことをq
!J徴とする絶縁型半導体装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57171653A JPS5961151A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 絶縁型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57171653A JPS5961151A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 絶縁型半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961151A true JPS5961151A (ja) | 1984-04-07 |
| JPS638615B2 JPS638615B2 (ja) | 1988-02-23 |
Family
ID=15927197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57171653A Granted JPS5961151A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 絶縁型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016047083A1 (ja) * | 2014-09-22 | 2016-03-31 | 株式会社デンソー | 電子装置の製造方法、及び電子装置 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57171653A patent/JPS5961151A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016047083A1 (ja) * | 2014-09-22 | 2016-03-31 | 株式会社デンソー | 電子装置の製造方法、及び電子装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS638615B2 (ja) | 1988-02-23 |
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