JPS5965638A - 振動制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は可動部品を有する機械装置の振動を減衰するた
めの振動制御装置に関するものである。

機械装置内の１個又は２個以上の部品に運動を賦与する
には、これ等部品に力を作用させることが必要である。

基本物理学によれば、力は単一の物体にだけ作用するこ
とはなく、２個の物体間に作用するものである。それゆ
え、機械装置内の１個の物体に運動を賦与するため力を
作用させることは、機械装置の残りの部分に同時に反力
を作用させることになる。その結果、機械装置に作用す
る反力が機械装置に振動を引き起す。

これまで、機械装置内の有害な機械振動のレベルを制御
しかつ減少させるため、多くの方法が提案されてきた。

これら方法のいくつかはジエローム・デー・ルツイカ（
Ｊｅｒｏｍｅ　Ｄ、Ｒｕｚｉｃｋａ　）の［振動制御の
基礎概念（Ｆｕｎｃｌａｍｅｎｔａｌ　Ｃｏｎｃｅｐｔ
ｓ　ｏｆＶｉｂｒａｔｉｏｎ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　）サウ
ンド・アント・バイブｖ　−ジョン（５ｏｕｎｄ　ａｎ
ｄ　ｙｉｂｒａｔｉｏｎ　）　、　１９７１年７月号頁
１６−２２　Ｊと表題のつけられた論文に記述されてい
る。

例えば、受動的な振動絶縁及び吸収装置ではばねとダン
パとの組み合わせを用いて、振動体の周囲から振動する
物体を絶縁し、振動エネルギを吸収すると共に振動エネ
ルギを散逸させる。この方法の課題には、しかしながら
、機械装着部を介して伝達された振動及び振動力に起因
する機械装置の変位の振幅をこの技術では、同時に減少
させることができないと言う事実が含まれている。しか
も受動的な振動絶縁及び吸収装置を具えた機械装置は一
定の機械インピーダンスを有する物体（すなわち、一定
質量の固体）のように挙動しない。

この後述した要因は、航空機及び宇宙飛行体に関係する
。

振動制御の他の方法は、機械的六つりあわせを行うこと
である。ロンビック駆動（ｒｌｌｏｍｂｉｃｄｒｉｖｅ
　）はこの方法の一例であり、運動質量に対抗して機械
的に駆動されるつシあい質量によシ、各運動質量を相殺
する。この方法の課題には、つりおわせが各補正部品の
精度、対称性、線形性により制限されると言う事実が含
まれている。しかも、機械的つシあわせは、かなり大き
な機械容積と多くの運動部分とを必要とするような望ま
しくない設計上の制限が課せられる。さらにこの方法は
、時間又は外部の影響によシ非常に性能を低下させるこ
とになる。

振動制御の他の関連した方法は、受動的な振動補正であ
り、これは共振するばね一質量の組み合わせによる慣性
補正を用いる。この方法は補正すべき慣性力の不つ＃）
あい量が１個の一定振動数において、はぼ正弦曲線であ
られされるならばかなシ有効である。ばね−質量を組み
合わせたものはこの振動数で同調し、その結果振動を打
消すべく振動することにより振動に対応する。しかじか
から、この方法の有効性は、１個の選択した振動数にお
いてのみ補正が行なわれるから限定されていて、補正の
程度は機械装置とその周囲との間の機械的連結の特性に
依存しておシ、その性能は時間又は外部の影響によシ非
常に低下するものである。

その上、機械的なつりあわせの場合、各運動体に通常ば
ね一つりあい質量を設けなければならない。

これは再び、大きな機械容積と多くの運動部分とを必要
とすることになる。

今日までに提案されたものの中で最新の振動制御の方法
は、能動的な振動絶縁及び吸収を利用する。この装置で
は、振動が作用する機械装置にセンサを取シ付ける。こ
のセンサは機械装置の加速度に比例した出力信号を発生
する。センサの出力信号を信号プロセッサにより処理し
て制御信号を発生し、機械装置の総計加速度を減するよ
うに反作用質量を駆動する。（例多−ば米国特許第４０
８８４８８号及び「最適化能動及び受動的振動吸収装置
の比較（Ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ　ｏｆ　Ｏｐｔｉｍｉｚ
ｅｄ　Ａｃｔｉ−ｖｅ　ａｎｄ　Ｐａ５ｓｊ、ｖｅ　Ｖ
ｉｂｒａｔｉｏｎ　Ｊ、ｂｓｏｒｂｅｒｓ　）　Ｊ、−
Ｅリッツ等著、アメリカ自動制御委員会における合同自
動制御会議（ＪＯＩＮＴ　Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｃｏｎ
ｔｒｏｌ　０ｏｎｆｅｔｅ　−ｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　
Ａｍｅｒｊ−ｃａｎ　Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｃｏｎｔｒ
ｏｌ　Ｑｏｕｎ−ｃｉｌ　）　、　１９７Ｂ頁９８２〜
９Ｂ８）。」これら新しい能動的な振動制御装置が全く
問題がないわけではない。フィードバック信号は機械装
置の全運動の結果であるので、最終的な補正は機械装置
装着部の特性によって影響を受ける。機械的な改り付け
は、従って性能を限定すると共に、帰還ループの安定性
にも影響する。しかも、この構成は機械装置を単一の慣
性座標内に保持しようとする。これは機械装置の機械イ
ンピーダンスを振動数及び時間の両方にあわせて変化さ
せる。よって振動制御装置は機械装置の運動が振動運動
であれ、又は並進運動であれ機械装置のどんな運動にも
対抗し、かつ反対に作用する。これらの訴願は、機械装
置の撮動制御装置を航空機又は宇宙飛行体に用いる場合
には特に重要となる。

本発明の目的は、機械装置の振動を減衰させると共に、
−万全機械装置の機械インピーダンスの変動をほとんど
生じさせないか、あるいは全く生じさせない振動制御装
置を提供することである。

本発明の他の目的は、時間に関し、あるいは外的影響の
結果としての減損をほとんど、あるいは全く感じさせな
い振動制御装置を提供することである。

本発明の更に他の目的は、かなシ簡潔で安価な構造をし
ていて、出力がかなシ安定した位置センサを用いること
ができ、使用する機械装置の基本的設計にはできるだけ
僅かな影響しか与えない振動制御装置を提供することで
ある。

本発明の装置は、ハウジングと、とのノ・ウジング内を
運動する少なくとも１個の物体とを有する機械装置の振
動を能動的に減衰する振動制御装置である。運動する物
体は、一定の腺（例えば真直ぐな軸線又は曲線であって
も良い）で表わされる一次元部材に平行な速度成分を有
する。

振動制御装置に一定の線で表わされる一次元部材に平行
な方向で、ハウジングに対して直線的に往復動できるつ
りあい質量を設ける。つりあい質量を駆動するため、ハ
ウジングに連結した電動機を設ける。本装置は、ハウジ
ングに対する一次元部材に沿って運動する物体の位置、
又はこの位置における時間導関数又は時間積分を感知す
るための感知手段も具える。また、つりあい質量の位置
、又はこの位置における時間導関数又は時間積分を感知
するための感知手段を設ける。つりあい質量の加速度が
運動する物体の加速度と反対向きになるように、制御手
段は感知手段からの信号出力に応じて電動機に電力を供
給する。つりあい質量の加速度の大きさが運動する物体
の加速度とつシあい質量で除した可動体の質量の値との
積に等しくなるよう制御手段により制御する。

本発明の好適な実施例では、真直ぐな軸線に平行な速度
成分を有し、ノ１ウジング内を運動する少なくとも１個
の物体を有する機械装置を振動制御装置に使用する。感
知手段は、運動する物体とつシアい質量の軸線方向位置
、又はこの位置の時間導関数又は時間積分を測定する。

本発明の他の笑施例では、機械装置は１個以上の可動体
を有し、制御装置は各可動体の軸線方向位置を感知する
分離手段を具える。名可動体の軸線方向の加速度と各可
動体の質量をつりあい質量で除した値との積のベクトル
和につりあい質量の軸線方向の加速度の大きさが等しく
なるよう、制御手段は電動機に電力を供給する。

本発明装置において、軸線方向の位置、又はこの位置に
おける時間導関数又は時間積分を感知する各手段を好適
には位置トランスデユーサとし、このトランスデユーサ
は位置の関数である大きさの信号出力を発生する。本発
明の他の笑施例では、感知手段を加速度の関数である大
きさの信号出力全発生する加速度トランスジューサ、又
は速度の関数である大きさの信号出力を発生する速度ト
ランスデユーサとすることができる。

本発明の装置によれば、制御手段は各感知手段の信号出
力を別個に増幅する１個又は２個以上の増幅器を具える
のが良い。制御手段は更に、増幅された信号出力を加算
し誤差信号を発生する加算器を具える。帰還増幅器手段
はついで誤作信号をｍ号を増幅し、電動機に動力を供給
する信号を生ずる。

振動制御装置の電力消費を最小とするため、本発明の装
置はつシあい質量とハウジングとの間にばねを設けても
良い。電動機と、ばねと、つりあい質量とを機械装置の
基本振動数に同調させることができる。

本発明の振動制御装置は、装置の誤差信号を機械装置の
可動部品、つシあい質量と機械装置のノ・ウジングとの
間の正味の相対運動の尺度とするので有利である。機械
装置の全運動を検知するのでないので、装置は機械装置
の装着方法により影響されない。従って剛な取り付けを
用いることができ、これにより機械装置の機械インピー
ダンスを理論的な質量として取り扱う。

しかも、誤差信号を発生し、つりあい質量に動力を供給
する電動機にこの誤差信号ｆ帰還させるので、制御装置
は閉ループ制御の数多くの利点全盲する。帰還により、
電動機、ばね、軸受の非線形を補正することができる。

帰還はまた、変動する振動数の非正弦的な擾乱を補正す
ることができる。しかも帰還は、環境の変化又は時間に
関する系の減損を補正することができる。精度は単なる
つりあい法におけるほど重要ではない。本発明の振動制
御装置はまた、任意の寸法、位置、行程の単一のつりあ
い質量により、機械装置内の撮動体の複雑な組み合わせ
を補正することができる。これは最初に述べた限定的な
設計上の拘束を排除する。

以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図に、振動を減衰すべき機械装置に組み合わせた本
発明の振動制御装置を示す。機械装置ｌＯは１個又は２
個以上の可動体１１　（ｌｌａ〜１１Ｃ）を有する。第
１図において、質量ｍ□である可動体１１を電動機１４
により機械装置の軸線１２に沿って直線的に往復運動さ
せる。質量ｍ。

の可動体１ｚを電動機１６により軸線１２に沿って直線
的に往復運動させる。最後に、質量ｍｎの可動体をばね
１８（及び図示しないが、稼動中央なわれる僅かな量の
エネルギを供給するためのちる供給源）により軸線１２
に沿って直線的に往復運動させる。

第１図には単に８個の可動体だけを示したが、本発明に
よれば機械装置１０は任意の数のこのような可動体を有
していても良い。更に一般には、各可動体は任意（曲線
又は直線、並びに１次元、２次元、８次元内）の経路に
沿って運動することができ、各可動体の経路が異なって
いても良い。

実際、機械装置１０は、例えばスターリングサイクル極
低温冷却装置で良い。この機械装置の可動体はピストン
とディスプレーサとを含み、これ等ピストン及びディス
プレーサは１個又は２個以上の軸線に平行に往り運動す
る。ある場合には、ピストンをムービングマグネット型
式のリニヤボイスコイルモータによシ駆動しても良い。

ある場合には、シリンダを貫流する作動ガスの流れによ
シブイスプレーサを間接的に駆動しても良い。

振動が機械装置内部の可動体によシ引き起こされるスタ
ーリングサイクル冷却装置や他の機械装置では、機械装
置の部品の振動をなくすことがしばしば望ましい。通例
、機械装置のノ・ウジングは振動しないことが望ましい
ので、振動が最小でおることに関する基準点としてハウ
ジングを利用するのが良い。それゆえ、この事情を考え
れば、ハウジングに関するすべての基準は選択した他の
基準点をも含まれることを意味する。

第１図に示す振動制御装置は、トランスデユーサ２　ｓ
　（９２ａ−２２ｄ）からの信号により与えられる入力
と、電動機ｚ４に電力を供給する出力とを有するコント
ローラ２０を具える。電動機２４はつシあい質量２６を
軸＋１！１２に平行な方向に駆動する。平均して中央に
位置したつりあい質量２６をストロークの中程位置に雑
持するため、ばね２８をつシアい質ｉ２６とハウジング
８０との間に（随意に）設けることができる。加えて、
基本振動周波数が存在するならば、エネルギを保存する
ため、ばね２８とつりあい質量２６とを同調させること
ができる。同調させることは、一定周波数の基本振動を
含め、補正すべき擾乱が既知であるならば有用である。

この効果は、電動機出力に対する要求をかなシ低減する
ことである。

トランスデユーサ２２は、例えば、位置、速度、及び刃
口速度のセンサ、並びにこれ等センサを組み合わせたも
ので良い。トランスデユーサとしては線形差動変圧器型
位置トランスデユーサ（ＬＶＤＴ）が好適である。と言
うのは比較的簡単でかつ安価な構造をしていて、その出
力は使用中、相対的に線形かつ安定しているからである
。しかし他の適切なトランスデユーサも本発明の振動制
御装置に使うことができる。

機械装置の振動を減衰するため、トランスデユーサは機
械装置の振動しない部分（ハウジング）に対する機械装
置内を運動する可動体１１の位置、又はこの位置におけ
る時間導関数又は時間積分を測定しなければならない。

この選択範囲の広さは、以下の解析により導かれる。

まず、組み合わされた機械装置／制御装置内のすべての
可動体の運動量Ｐは次式で与えられる。

Ｐ＝Ｍ−Ｈ＋　ＭＯ？十Σｍｉ？θ　・・・・・（１）
ｚ （上式及び以下の式で使われる種々の記号は以下の表１
に足義する。）可動体がおよげず力は時間に対する運動
量の変化の割合（運動量の時間に関する１階の微分）に
等しいので、（］）式は次式の如く変形できる。

とすれば（２）式における最後の２項は打消し合い、組
み合わされた機械装置／制御装置は正確に次式で示す大
きさの固体質量のように周囲に作用する。

質量　＝　　Ｍ＋Ｍ０＋Σｍｉ　　　　　　　　　・・
・・・・・（４）従って全ての一定でない機械インピー
ダンスと加振力とが消去される。

本発明の装置によれば、（８）式が成立する程度まで振
動補正は完全である。それぞれの可動体１１とつりあい
質量との加速度を直接測定することができるが、各位置
を測定するのが一層望ましい。

これは、良い位置センサが利用でき多くの機械装置は別
の目的ですでに位置センサを組み込んでいると言う事実
に起因している。さらに、つりあい質量は限足された空
間内に閉じ込められているから、実際の位置を知ること
が重要である。従って振動補正の規準としての（８）式
を使う代わりに、１４ｏＸｏ−−Σ”ｉＸｉ　　　　”
”（Ｉｆ）とおくのが好適でおる。

（ＩＯ） このようにすることによ！０、（５）式が満足される場
合はいつでも（８）式が満足され、従って振動が除去さ
れる。

つりあい質量２６の運動が（６）式を満足するよう電動
機２４を制御するためには、例えば（６）式が満足され
たときはいつも、零の値を持つ電気信号を発生させるこ
とができる。もし各トランスデユーサ２２がトランスデ
ユーサ入力の線形関数である出力、例えば好適にはトラ
ンスデユーサあたシ数ボルトの出力を出力するならば、
電気信号は以下のようになる。

表１ 上述した振動補正理論は第２図に示す制御装置に夾際に
適用することができる。第２図においてつりあい質量位
置トランスデユーサを除いた各々の位置トランスデユー
サからの出力■、を、刀ｎ算増幅器８２に入力する前に
重み係数Ｗ工で最初に増幅する。つシあい質量位置トラ
ンスデユーサの出力■ｃを加算増幅器８２に直接入力す
る。各重み係数Ｗｉは次式で与えられる。

この式は（６）式を単に再整理することにより得られる
。勿論、他の適切な重み係数の体系を本発明の装置に使
用することもできる。トランスデユーサ出力に重みをつ
けるため好適には、演算増幅器又は他の低出力の線形増
幅器を用いることができる−従って加算増幅器８２の出
力は次の誤作信号となる。

■ａｒｒｏｒ＝ΣＷｉｖｊ−Ｖ。　　・・・・・・・・
（８）この誤差信号を強制的に零とすることにより、（
８）式もまた満足される。あるいけ、各可動体とつりあ
い質量の加速度を直接に測定し、（８）式の値を直接に
計算しても良い。同様に直接又は間接に加速度に関連さ
せることのできる、可動体及びつりあい質量の位置に関
する別の時間導関数又は、時間積分を利用できる。又、
所定の装置にそれぞれ使用できる、例えば位置トランス
デユーサ、速度トランスデユーサ、力ロ速度トランスデ
ユーサを混ぜることも可能である。この場合、加算増幅
器８２に対して適合した信号を発生するため、トランス
デユーサ出力を時間に関して電気的に微分し、又は積分
することもできる。

加算増幅器３２を、例えば演算増幅器のような適当な増
幅器とすることができる。加算増幅器８２の出力は、抽
望のバンド幅（基本振動周波数の数倍）に亘す正確に線
形でなくてはならない。

一旦、誤作信号贋得られたならば、リード補償器（１ｅ
ａｄ　ｃｏｎ＋ｐｅｎｓａｔｏｒ　）　ａ　４　又は、
作動範囲内に制御装置を保持する機能を有するある別な
装置によシ誤差信号を処理するのが良い。リード補償器
（２８） ８４の出力をトランスコンダクタンス増幅器８６により
増幅し、電動機２４を駆動するのにこの増幅器の出力を
用いる。増幅器８６は、例えばパルス幅変調増幅器のよ
うな高効率の出力増幅器であることが望ましい。

電動機の力の定数をＢ−Ｌで表わす。ここでＢは磁界を
表わし、Ｌは電動機コイルの長さを表わす。

最後につりあい質量の位置を時間と共に変動させるため
、電動機２４によりつりあい質量２６門駆動する。第２
図のブロック８８は、つりあい質量の位置Ｘ。を電、動
機の力に関係させる伝達関数を表わす、符号すは減衰係
数、ｋはばね定数、Ｓはラプラス変換変数である。

第２図を参照して述べた装置は、誤差信号を零にする。

もし、例えば可動体の重みをつけた平均位置が負である
ならば、規準信号（ΣＷｉｖｉ　）は正となる。もしつ
りあい質量の位置が正であれば、ｖｃも正である。従っ
て、可動体の重みをつけた平均位置の大きさが、っシあ
い質量の位置の大きさを越えたならば、規準信号の太き
さはＶ。の値を越えることになる。その結果、（８）式
の誤差信号は正となり、つりあい質量はｖｅｒｒｏｒが
零になるまで正方向に移動する。可動体の重みをつけた
平均位置の変動をつりあい質量の位置を変動させて追跡
し、その結果■ｅｒｒｏｒが常に零に近づき、振動が最
小となるようにする。

第８図に本発明の他の実施例を示す。簡略のため、軸線
４２のまわシに回動する単一の可動体４０を有する実施
例を示す。可動体４０の運動により生ずる振動トルクを
つりあわせるため、っシあい質量４４を可動体４ｏの運
動と反対方向（（軸線４２のまわシに回動運動させる。

一般に、可動体４０の運動が一様でなく、かつまた軸線
４２のまわりに多数の物体が回動している場合には、第
２図に示した装置を用いてつりあい質量４４の運動を制
御する。けれども軸線方向位置トランスデユーサに代わ
って、トランスデユーサはそれぞれの可動体及びつりあ
い質ｔの角度位置を感知することになる。

【図面の簡単な説明】

第１随は、振動する機械装置に取シ付けた本発明の振動
制御装置の概路線図、 第２図は、本発明の振動補憤悼酊用制御装置の概路線図
、 第８図は、回動運動する物体と、これに平行に一次元的
に回動運動できるつりあい質量とを有し、本発明の振動
制御装置に使用する機械装置の概路線図である。 １０・・・機械装置　　　　　１１，４．０・・・可動
体１２、４２　・・・軸線１４．■６．２４・ｆｉ動４
％ｉ１８・・・ハネ２０・・・コントローラ２２・・・
トランスデユーサ　２６．４４・・・つりあい質量２８
・・・ばね　　　　　　　８２・・・加算増幅器８４・
・・リード補償器 ８６・・・トランスコンダクタンス増幅器８８・・・ブ
ロック。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　ハウジングと、１次元部材と、ハウジング内を運動
   しこの１次元部材に平行な速度成分をもった少なくとも
   １個の可動体とを有する機械装置の振動を減衰させる振
   動制御装置において、 前記１次元部材に平行な方向に前記ハウジングに対し相
   対的に直線的に往復運動できるつシあい質量と、 前記ハウジングに連結され、前記つルおい質量を前記１
   次元部材に平行な方向に駆動する電動機と、 前記可動体の前記ハウジングに対する、前記１次元部材
   に沿った位置、又は前記位置の時間導関数又は時間積分
   を感知し、信号出力を発生する手段と、 前記つりあい質量の前記ハウジングに対する、前記１次
   元部材に沿った位置、又は前記゛つシアい質量の前記位
   置の時間導関数又は時間積分を感知し、信号出力を発生
   する手段と前記感知手段からの全ての信号出力に応じて
   前記電動機に電力を供給し、前記ハウジングに対し相対
   的な前記１次元部材に沿う前記つシあい質量の加速度を
   前記ハウジングに対し相対的な前記１次元部材に沿う前
   記可動体の加速度の反対方向に生ぜしめると共に、前記
   可動体の前記加速度と、前記可動体の質量を前記つりあ
   い質量の質量で除した値との積に前記つシあい質量の前
   記加速度の大きさが等しくなるよう制御する制御手段と
   を具えたことを特徴とする振動制御装置。 ム　ハウジングと、軸と、ハウジング内を運動しこの軸
   に平行な速度成分をもった少なくとも１個の可動体とを
   有する機械装置の振動を減衰させる振動制御装置におい
   て、 前記軸に平行な方向で前記ハウジングに関連して直線的
   に往復運動できるつシあい質量と、 前記ハウジングに連結され、前記つりあい質量を前記軸
   の軸線方向に平行な方向に駆動する電動機と、 前記可動体の前記ノ・ウジングに対する、前記軸線方向
   位置、又前記軸線方向位置の時間導関数、又は時間積分
   を感知し、信号出力を発生する手段と、 前記つすｒ）い質量のハウジングに対する軸線方向位置
   、又は前記つりあい質量の前記軸線方向位置の時間導関
   数、又は時間積分を感知し、信号出力を発生する手段と
   、 前記感知手段からの全ての信号出力に応じて前記電動機
   に電力を供給し、前記ノ・ウジングに対し相対的な前記
   軸線方向の前記つりあい質量の加速度を前記ハウジング
   に対し相対的な前記軸線方向の前記可動体の加速度の反
   対方向に生ぜしめると共に、前記可動体の前記軸線方向
   の前記加速度と、前記可動体の質量を前記つりあい質量
   の質ｘｉ：で除した値との積に前記つりあい質量の前記
   ハウジングに対する前記ｔａ線方向の前記加速度の大き
   さが等しくなるよう制御する制御手段とを具えたことを
   特徴とする振動制御装置。 λ　前記機械装置に速度成分が前記軸に平行で前記ハウ
   ジング内を運動する２個以上の物体を設け、 前記振動制御装置は、各前記可動体の前記ハウジングに
   関連した、前記可動体の前記軸線方向位置、又は前記可
   動体の前記軸線方向位置の時間導関数、又は時間積分を
   感知する分離手段と、 大きさが前記各感知手段に関連する前記可動体の運動の
   関数である分離した出力信号を発生する前記各感知手段
   と、 前記電動機に電力を供給し、前記ノ・ウジングに対し相
   対的な前記つりあい質量の前記軸線方向の刃口速度を前
   記ノ・ウジングに対し相対的な正味の前記可動体の前記
   軸線方向の加速度の反対方向に生せしめると共に、各前
   記可動体の前記軸線方向の前記加速度と、前記可動体の
   質量を前記つりあい質量の質量で除した値との積のベク
   トル和に前記つシあい質量の前記ハウジングに対する前
   記軸線方向の前記加速度の大きさが等しくなるよう制御
   する制御手段とを具えたことを特徴とする特許請求の範
   囲第２項に記載の振動制御装置。 表　大きさが加速度の関数である信号出力を発生する力
   ロ速度トランスデユーサをそれぞれの前記感知手段に設
   けたことを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の振
   動制御装置。 五　大きさが速度の関数である信号出力を発生する速度
   トランスデユーサをそれぞれの前記感知手段に設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の振動制御
   装置。 ａ　大きさが位置の関数である信号出力を発生する位置
   トランスデユーサをそれぞれの前記感知手段に設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の振動制御
   装置。 〃　前記各感知手段の信号出力を別個に増幅し、前記各
   可動体及びつシあい質量に関連した別個の増幅信号出力
   を発生する増幅手段と、前記増幅信号出力を加算し、誤
   差信号を発生する手段と、 前記誤差信号を増幅すると共に、前記電動機に電力を供
   給する信号を発生する帰還増幅器とを前記制御手段に設
   けたことを特徴とする特許請求の範囲第４〜第６項いず
   れか一項に記載の振動制御装置。 ＆　前記つりあい質量とこのつりあい質量の平衡位置と
   の間の前記軸線方向の距離の１次関数として実質的に変
   動する力を生ずばね手段を前記つりあい質量と前記ノー
   ウジングとの間に設けたことを特徴とする特許請求の範
   囲第７項に記載の振動制御装置。 ９、　前起電動機を前記ノ・ウジングの間に剛固に固着
   したことを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の振
   動制御装置。