JPS5966199A - パツケ−ジ搬送機構 - Google Patents
パツケ−ジ搬送機構Info
- Publication number
- JPS5966199A JPS5966199A JP17615782A JP17615782A JPS5966199A JP S5966199 A JPS5966199 A JP S5966199A JP 17615782 A JP17615782 A JP 17615782A JP 17615782 A JP17615782 A JP 17615782A JP S5966199 A JPS5966199 A JP S5966199A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- pan
- wire
- cage
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディングさｎるパッケージｔワイヤ
ボンディング部に搬入、搬出するパッケージ搬送機構に
関する。
ボンディング部に搬入、搬出するパッケージ搬送機構に
関する。
従来、半導体製品の組立過程で使用さｎるワイヤボンデ
ィング装置においては、ワイヤポンディングされるパッ
ケージは、多数のパッケージを同時に収納するパッケー
ジ収納治具に入れられ、治具毎に治具収納マガジン全セ
ットしたローダ部からフィーダによりボンディング位置
に直線的に供給しかつ該ボンディング部からアンローダ
部に直線的に送出することか提案されている。
ィング装置においては、ワイヤポンディングされるパッ
ケージは、多数のパッケージを同時に収納するパッケー
ジ収納治具に入れられ、治具毎に治具収納マガジン全セ
ットしたローダ部からフィーダによりボンディング位置
に直線的に供給しかつ該ボンディング部からアンローダ
部に直線的に送出することか提案されている。
ところが、この従来技術では、パッケージ収納治具毎に
搬送する構造であり、また直線的に配置されたローダ部
、フィーダおよびアンローダ部が個別的に設けられ、装
置が大型化する上に、治具のパッケージに対する汎用性
がなく、コストも高くなるという欠点があった。
搬送する構造であり、また直線的に配置されたローダ部
、フィーダおよびアンローダ部が個別的に設けられ、装
置が大型化する上に、治具のパッケージに対する汎用性
がなく、コストも高くなるという欠点があった。
本発明の目的は、前記従来技術の欠点？解消し、コンパ
クトで、しかも多品棟のパンケージに対する汎用化の可
能なパッケージ搬送機構？提供することにある。
クトで、しかも多品棟のパンケージに対する汎用化の可
能なパッケージ搬送機構？提供することにある。
以下、本発明を図面に示す一実施例にしたがって詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明によるパッケージ搬送機構の−実施例勿
示す概略的平面図である。
示す概略的平面図である。
本実施例において、ワイヤボンディングさｎるパッケー
ジ１はたとえばいわゆるＬ ａ ａ （＋）−ドレスチ
ップキャリア）型のパンケージであり、多数のパッケー
ジ１がパッケージ収納治具２の中に収納されている。こ
のパッケージ収納治具２は本ｔＡ施例ではワイヤボンデ
ィング前のパッケーシトワイヤボンデイング済みのパッ
ケージと音間−の ′治具２の中に収納するよう構成さ
れ、治具２の有効利用上図ると共に、一度に２個の治具
２ｉＸＹテーブル３の上に載置し、作業の能率化２図る
ようになっている。
ジ１はたとえばいわゆるＬ ａ ａ （＋）−ドレスチ
ップキャリア）型のパンケージであり、多数のパッケー
ジ１がパッケージ収納治具２の中に収納されている。こ
のパッケージ収納治具２は本ｔＡ施例ではワイヤボンデ
ィング前のパッケーシトワイヤボンデイング済みのパッ
ケージと音間−の ′治具２の中に収納するよう構成さ
れ、治具２の有効利用上図ると共に、一度に２個の治具
２ｉＸＹテーブル３の上に載置し、作業の能率化２図る
ようになっている。
ＸＹテーブル３はＸ方向駆動モータ４と、Ｙ方向駆動モ
ータ５とによりＸＹ両方向にピンチ送りすることがでさ
るよう構成さｎている。
ータ５とによりＸＹ両方向にピンチ送りすることがでさ
るよう構成さｎている。
パッケージ１はワイヤボンティング時にはパッケージ収
納治具２から回転コラム６上のワイヤボンティング位置
に搬送されるが、七のためのパッケージ移送手段として
、本実施例では、互いに９０°だけ離間して十字状に配
置された４本の移送用アーム７ ａ、 ７ ｂｓ ７
０％ ７ ｄ を持つ回転および上下動可能なパッケ
ージ移送部７が設けられている。各移送用アーム７ａ、
７ｂ、７ｃ、７ｄの先端には、第２図に示す如くパッケ
ージ収納治具２の収納凹部からあるいは回転コラム６の
上からワイヤボンディング前またはワイヤボンティング
済みのパッケージ１を真空吸着によりｇ＆着するための
吸着−・ラド８ ａ ％ ８ ｂ ％ ８ ｃ、８
ｄが取り付けられている。
納治具２から回転コラム６上のワイヤボンティング位置
に搬送されるが、七のためのパッケージ移送手段として
、本実施例では、互いに９０°だけ離間して十字状に配
置された４本の移送用アーム７ ａ、 ７ ｂｓ ７
０％ ７ ｄ を持つ回転および上下動可能なパッケ
ージ移送部７が設けられている。各移送用アーム７ａ、
７ｂ、７ｃ、７ｄの先端には、第２図に示す如くパッケ
ージ収納治具２の収納凹部からあるいは回転コラム６の
上からワイヤボンディング前またはワイヤボンティング
済みのパッケージ１を真空吸着によりｇ＆着するための
吸着−・ラド８ ａ ％ ８ ｂ ％ ８ ｃ、８
ｄが取り付けられている。
一方、回転コラム６上に搬送されたパッケージ１に対し
てワイヤボンディング？行なうためのワイヤボンダのボ
ンディングヘッド９はＸ方向駆動モータ１０、Ｙ方向駆
動モータ１１によりＸＹ方向に動作しながら、パッケー
ジ１に対してボンディングアーム１２Ｖｃよりワイヤボ
ンディング７行なう。
てワイヤボンディング？行なうためのワイヤボンダのボ
ンディングヘッド９はＸ方向駆動モータ１０、Ｙ方向駆
動モータ１１によりＸＹ方向に動作しながら、パッケー
ジ１に対してボンディングアーム１２Ｖｃよりワイヤボ
ンディング７行なう。
次に、本実施例における作用について説明する。
１ず、図示の状態において、パッケージ収納治具２は多
数のパンケージ１紫収納１−た状態でＸＹテーブル３上
に載置されている。また、パッケージ移送部７の移送用
アーム７ａ、７ｂ、７（，７ｄは第１図に示す位置にあ
り、吸着ヘッド８ａ１８ｂ、８ｃは空状態で、パンケー
ジ１會吸着しておらず、吸着ヘンド８ｄのみがワイヤボ
ンディング済みのパッケージ１ｒ吸着しているものとす
る。
数のパンケージ１紫収納１−た状態でＸＹテーブル３上
に載置されている。また、パッケージ移送部７の移送用
アーム７ａ、７ｂ、７（，７ｄは第１図に示す位置にあ
り、吸着ヘッド８ａ１８ｂ、８ｃは空状態で、パンケー
ジ１會吸着しておらず、吸着ヘンド８ｄのみがワイヤボ
ンディング済みのパッケージ１ｒ吸着しているものとす
る。
この状態で、パンケージ移送部７勿４５°だけ時計方向
に回転式せると、移送用アーム７ａはパッケージ吸着位
置に移動し、吸着−・ラド８ａは第２図に例示する如く
、パンケージ収納冶具２の収納凹部内の１蘭のワイヤボ
ンディング前のパッケージ１を真空後Ｎする。一方、移
送用アーム７ｂの吸着ヘッド８ｂｆ１回転コラム６上の
ワイヤボンディング済みのパンケージ１を真空吸着する
。
に回転式せると、移送用アーム７ａはパッケージ吸着位
置に移動し、吸着−・ラド８ａは第２図に例示する如く
、パンケージ収納冶具２の収納凹部内の１蘭のワイヤボ
ンディング前のパッケージ１を真空後Ｎする。一方、移
送用アーム７ｂの吸着ヘッド８ｂｆ１回転コラム６上の
ワイヤボンディング済みのパンケージ１を真空吸着する
。
次いで、各吸着−・ラドを所定量だけ上昇式せ、移送用
アーム７ ａ、 ７ ｂ、 ７ ｃ、 ７ ｄ′
＋ｃさらに９０°だけ回転式ぜると、移送用アーム７ａ
の吸着ヘッド８ａＵ吸着甲のワイヤボンディング前のパ
ンケージ１を回転コラム６のワイヤボンディング位置に
セットする。ま＾、それと同時に、移送用アーム７ｄは
、パッケージ収納治具２上の前記移送用アーム７ ａ、
の吸着ヘッド８ａによりパッケージ１を吸着搬送石れて
空状態となった収稍凹部上に移動し、吸着ヘッド８ｄか
ら該空状態の収納凹部の中にワイヤボンディング済みの
パンケージ１全戻し、各吸着ヘッドは所定位置に上昇す
る。
アーム７ ａ、 ７ ｂ、 ７ ｃ、 ７ ｄ′
＋ｃさらに９０°だけ回転式ぜると、移送用アーム７ａ
の吸着ヘッド８ａＵ吸着甲のワイヤボンディング前のパ
ンケージ１を回転コラム６のワイヤボンディング位置に
セットする。ま＾、それと同時に、移送用アーム７ｄは
、パッケージ収納治具２上の前記移送用アーム７ ａ、
の吸着ヘッド８ａによりパッケージ１を吸着搬送石れて
空状態となった収稍凹部上に移動し、吸着ヘッド８ｄか
ら該空状態の収納凹部の中にワイヤボンディング済みの
パンケージ１全戻し、各吸着ヘッドは所定位置に上昇す
る。
その後、ＸＹテーブル３が所定のパッケージ１を吸着す
べき位置に１ピンチ分だけ動作すると同時に、各移送用
アーム７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄＨ４５°だけ時計方向に
回転して停止し、回転コラム６上にセットされたパッケ
ージ１に対してボンディングアーム１２によるワイヤボ
ンティングが行なわれる。
べき位置に１ピンチ分だけ動作すると同時に、各移送用
アーム７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄＨ４５°だけ時計方向に
回転して停止し、回転コラム６上にセットされたパッケ
ージ１に対してボンディングアーム１２によるワイヤボ
ンティングが行なわれる。
その後のパンケージ搬送およびワイヤボンティング操作
は前Ｍｅと同様な方式で行なわれるが、各移送用アーム
７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄＪよ第１図の状態より１８０°
だけ時計方向に回転した位置にあり、この状態からそれ
ぞれのパッケージ１の１＆着搬送が開始さｎる。
は前Ｍｅと同様な方式で行なわれるが、各移送用アーム
７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄＪよ第１図の状態より１８０°
だけ時計方向に回転した位置にあり、この状態からそれ
ぞれのパッケージ１の１＆着搬送が開始さｎる。
本実施例によｎば、個々のパック−２４１個ずつ順次吸
着搬送する上に、友とえば直線的に配置式れるローダ部
、フィーダおよびアンローダ部が不要であることにより
、椿めてコンパクトな構造が得られ、また多品種のパン
ケージに対する汎用性が得られ、コスト的にも有利であ
る。
着搬送する上に、友とえば直線的に配置式れるローダ部
、フィーダおよびアンローダ部が不要であることにより
、椿めてコンパクトな構造が得られ、また多品種のパン
ケージに対する汎用性が得られ、コスト的にも有利であ
る。
’Ｆ７’Ｃ，本実施例では、ワイヤボンディング前のパ
ンケージとワイヤボンディング済みのパッケージが同一
のパンケージ収納治具に収納さｎるので、少な込個数の
パッケージ収納治具を用意しておけば足り、コスト的に
有利で、取扱いも便利である。
ンケージとワイヤボンディング済みのパッケージが同一
のパンケージ収納治具に収納さｎるので、少な込個数の
パッケージ収納治具を用意しておけば足り、コスト的に
有利で、取扱いも便利である。
もつとも、ワイヤポンディング前のパッケージとワイヤ
ボンディング済みのパッケージとｔ別の位置に設けたパ
ッケージ収納治具に収納することもできる。
ボンディング済みのパッケージとｔ別の位置に設けたパ
ッケージ収納治具に収納することもできる。
さらに、移送用アームは必ずしも４本にする必要はなく
、２本だけで構成すること等も可能でめる０ また、本発明はＬＯＯ型パッケージ以外のパッケージに
も適用できる。
、２本だけで構成すること等も可能でめる０ また、本発明はＬＯＯ型パッケージ以外のパッケージに
も適用できる。
以上説明したように、本発明によれば、コンパクトで、
汎用化の可能なパッケージ搬送機構全書ることができる
。
汎用化の可能なパッケージ搬送機構全書ることができる
。
第１図は本発明によるパッケージ搬送機構の一実施例？
示す概略的平面図、 第２図はパッケージ収納治具内のパンケージを吸着ヘッ
ドで吸着する状態を示す部分断面図である。 １・・・パンケージ、２・・・パッケージ収納治具、３
・・・ＸＹテーブル、６・・・回転コラム、７・・・パ
ッケージ移送部、７ａ、７ｂ、７ａ、７ｅＬ−移送用ア
ーム、８ａ、８ ｂ、８ ｃ、８ ｄ・−吸着ヘッド、
９・・・ポンディング−・ンド、１２・・・ボンディン
グアーム。 第 １ イ ー−／２ Ｔ−／６ ；Ｓ２図 ／／ ｌ ｂ 蚤士埋「 “又７゜ 公 γて２
示す概略的平面図、 第２図はパッケージ収納治具内のパンケージを吸着ヘッ
ドで吸着する状態を示す部分断面図である。 １・・・パンケージ、２・・・パッケージ収納治具、３
・・・ＸＹテーブル、６・・・回転コラム、７・・・パ
ッケージ移送部、７ａ、７ｂ、７ａ、７ｅＬ−移送用ア
ーム、８ａ、８ ｂ、８ ｃ、８ ｄ・−吸着ヘッド、
９・・・ポンディング−・ンド、１２・・・ボンディン
グアーム。 第 １ イ ー−／２ Ｔ−／６ ；Ｓ２図 ／／ ｌ ｂ 蚤士埋「 “又７゜ 公 γて２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ワイヤボンディングされるパッケージの搬送機構
において、ワイヤボンディングされるパンケージを収納
するパンケージ収納治具を載せて移動可能なパンケージ
供楢部と、ワイヤボンディング前のパンケージを前記パ
ンケージ収納治具からワイヤボンディング部に移送し、
かつワイヤボンディング済みのパッケージを該ワイヤボ
ンディング部から移送するパンケージ移送部とからなる
こと全特徴とするパンケージ搬送機構。 ２、 ワイヤボンディング済みのパッケージは、−ワイ
ヤボンディング前と同一のパッケージ収納治具に収納さ
几ること勿特徴とする特許請求の範曲第１項記載のパッ
ケージ搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17615782A JPS5966199A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | パツケ−ジ搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17615782A JPS5966199A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | パツケ−ジ搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5966199A true JPS5966199A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16008654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17615782A Pending JPS5966199A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | パツケ−ジ搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5966199A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186429U (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-27 | ||
| JPS63200341U (ja) * | 1987-03-16 | 1988-12-23 |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP17615782A patent/JPS5966199A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186429U (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-27 | ||
| JPS63200341U (ja) * | 1987-03-16 | 1988-12-23 |
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