JPS5968145A - イオン発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 従来、イオン発生装置は、内部でイオンの姑生が行われ
るアークチャンバーと、アークチャンバー内に相対向し
て設けられたアークフィン材とで構成されている。

〔背景技術の問題点〕

従来のイオン発生装置は、フィラメント保持部材がモリ
ブデンや無酸素銅等で形成されていた。フィラメント保
持部材をモリブデンで形成したものは、耐熱性は優れて
いるが、導電性が悪い。このため、放電のための給電を
行うのに極めて容量の大きい電源を必袋とし、事実上実
用に供するものではなかった。この欠点を解消するため
に、フィラメント保持部材を無酸素鋼で形成したイオン
発生装置が使用されている。

無酸素鋼でフィラメント保持部材を形成したものは、導
電性は優れているのが、耐熱性が慾い。

フィラメント保持部材にフィラメントを取付けた所謂イ
オン発生源の寿命が２〜３日ＡＭと極めて短い問題があ
った。

〔発明の目的Ｊ 本発明は、長寿命化を達成したイオン発生装随を提供す
ることをその目的とするものである。

〔発明の概要〕

本発明は、アーク放電によシイオン発生を行うフィラメ
ントの保持部材をリン青銅で形成して、長寿命化を達成
したイオン発生装餉゛である。

〔発明の実施例〕

以１、本発明の一実施例について第１図を参照して説明
する。

図中１は、内部でアーク放電によってイオンの発生が行
われるアークチャンバーである。アークチャンバー１に
は、その内部で相対向するようにして１対のアークフィ
ラメント２が設は源を行うフィラメント保持部材３によ
って保持されている。フィラメント保持部材３は、アー
クチャンバー１の両側部に取付けられている。

フィラメント保持部拐、９は、リン青銅で形成されてい
る。フィラメント保持部材３は、アークフィラメント２
を把持するフィラメントクランプ３ａと、フィラメント
クランプ３ａを保持するコネクターロッド、ｑ　ｂと、
フィラメントクランプ、１　ａにアークフィラメント２
を供給するようにコネクターロッド３ｂに接続されたフ
ィラメントフィードロッド、７Ｃとで構成されている。

フィラメントロッド３Ｃとコネクタ−ロッド３ｂ間には
、アークフィラメント２に供給するだめのコネクタース
トラップ、９ｄが取付けられている。コネクターロッド
３ｂの下部には、フィードクランプ３ｅが取付けられて
いる。

而して、このように構成されたイオン発生装置１０によ
れば、フィラメント保持部材３をリン青銅で形成したの
で、フィラメント保持部材、７にフィラメント２を取付
けた所請イオン源の寿命は、第２図中特性＋Ｗ（１）に
て示す如く、５回目以降のイオン源を交換したいずれの
場合にも３２〜４０日の極て長い寿命を有していること
が確認された。これに比べて、イオン源を無酸素銅で形
成した従来のイオン発生装置では、第２図（Ｂ）に特性
ｉＩＭ（ＩＩ）にて示す如く、５日以下の極て短い寿命
であることが確認された。

〔発明の効果〕

以上説明した如く、本発明に係るイオン発生装置によれ
ば、長寿命化を達成できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の斜視図、第２図（Ａ）及
び同図（Ｂ）は、イオン源の寿命とイオン源の交換回数
との関係を示す特性図である。 ｌ・・・アークチャンバー、２・・・アークフィラメン
ト、３・・・アークフィラメント保持部材１，９ａ・・
・フィラメントクランプ、３ｂ・・・コネクターロッド
、３ｃ・・・フィラメントフィードロッド、３ｄ・・・
コネクターストラップ、３ｅ・・・フィードクランプ、
ｌｏ・・・イオン発生装置。 出願人代理人　　弁理士　鈴　江　武　彦第１図 第２ （Ａ） イオン：芹、η又４文四恢 （Ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部でイオンの発生が杓われるアークチャンバーと、該
   アークチャンバー内の両側部に相対向して設けられたア
   ークフィラメントと、該アークフィラメントを保持する
   と共に該アークフィラメントに供給するように前記アー
   クチャンバーの側部に設けられたフィラメン）４持部材
   とを有するイオン発生装置において、フィラメント保持
   部材をリン青銅で形成したことを特徴とするイオン発生
   装置。