JPS5969201A - 平面切削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 平坦度が特に高い平面はラッピング仕上により作ること
ができるが、ラッピング仕上げを行うと変質層ができて
しまうので、半導体製造用のシリコン或いはゲルマニウ
ム等の単結晶の場合、ラッピング仕上げの適用は結晶の
格子構造の維持の面よりして不適当である。変質層の発
生を実質的に伴わない平面加工としてはダイヤモンド等
より成る切れ刃をもつ刃物による切削加工が考えられる
が、１μ或いはそれ以下と云う極度に高い平坦度−の平
面を作ることが要求される場合には、案内と送り台との
間のクリアランスに起因して生じる送９台−の二次元的
動きがこの要求を満足させ得ないものとする。

本発明は切削加工により平坦度が極度に高い平面を作ろ
うとする場合に逢着する上記問題点の解決を図る。こと
を目的とするもので、本発明を図について説明すれば次
の如くである。

第１図において、（１）はベッド、（２）は刃物駆動装
置である。刃物駆動装置（２）はダイヤモンド等の超硬
質材より成る切れ刃をもつ１本の平バイト（３）を取付
けられる刃物支持板（４）と、刃物支持板（４）の軸（
５）を軸線方向およびラジアル方向の遊びを除去して支
持する軸受架台（６）と、電動機（７）、調車ｆ８）　
Ｉ９）およびベル）　ｔｌＯｆを含む駆動部０１）とよ
り成る。Ｏ２はベッドは）上の案内（１３）により案内
される送り台で、被加工物（１４）は送り台（ｎ上の支
持材（１５）に吸引形式のチャック（Ｇ６）により取付
けられる。０ηは送り台（１２）の送りねじで、ステン
プモータによシ回動される。なお、被加工物（１４）は
３μ程度の平坦度をもつ如く前加工を行われている。

第２図に示す如く、送り台０のには摺動部に圧縮空気の
送り込みを常時行う圧縮空気供給部（１８＋　＋１９１
（支））と圧縮空気の供給排出を交互に行う如く制御さ
れる圧縮空気供給部ｔ２１）　＋２２）　（２３＋とが
設けられる。これらの圧縮空気供給部のすべてが圧縮空
気源に連通させられているとき送シ台（１２１はフロー
ティング状態とされ、圧縮空気供給部のうちの圧縮空気
供給部（２１）（２）（２３）が大気または負圧源に連
通させられているとき送り台０２）はロック状態（固着
状態）とされる。

第６図および第４図は圧縮空気源（財）と負圧源外と流
路切換弁（２６）と圧縮空気供給部叫〜（２３）との関
係を流路切換弁例の状態を変えて示す図面−Ｃ１第６図
は送り台（１２）をフローティング状態とする流路接続
を、第４図は送り台（Ｉ２）をロック状態とする流路接
続状態を示す。一般的に言えば、圧縮空気供給部（１８
）〜（２３）の全体に圧縮空気が供給されるときに送り
台（１２がフローティング状態とされ、これらの圧縮空
気供給部（１８）〜因）より対向し合うもののうちの一
方を選びそれら大気捷たは負圧源に連通させれば送り台
（１２）がロック状態とされる。

送す台［１２＋についてのフローティング状態とロック
状態とは第５図に示す如く時間ｔの経過に伴って交互に
作られる。この図において、白丸と黒丸とは、それぞれ
、第３図、第４図の流路接続に移行する時点を示し、Ｆ
Ｄ、　ＣＴは、それぞれ、フローティングの状態とされ
た送り台（１２）に送りが匈えられる時間と、ロック状
態に置かれている送り台（１２）が支持する被加工物０
４１に対する切削加工が行われる時間、Δは流路切換弁
（２６）の動作遅れ時間である。

送り台（１２１に送シを与えるステンプモータは刃物駆
動装置（２）（第１図参照）における軸（５）により、
駆動される位相検出器□□□よりの信号により制御され
、それによって、送り台（１２）をフローティングの状
態に保ちつつ行う被加工物（１りの送りと、送り台（１
２）をロック状態に保ちつつ行う被加工物（１４１の切
削とが交互に発生される。

第６図は平バイト（３）の軌道例と被加工物（１４）か
平面切削を終えたのち゛にとる停止位置０６とを示す図
面である。被加工物（１４）は実線矢印（２９）で示す
方向に間歇送りを受け、さきに説明したように間歇送り
の間のロック状態において逐次切削加工を受けるが、同
一個所に対する切削は１回に限る。被加工物が停止位置
（Ｉ４１に至ったとき、刃物駆動装置（２）（第１図参
照）が停止されるが、この停止は、位相検出器（資）が
発生する信号の下に、加工を終えた被加工胸囲の点線矢
印（３０）で示す後退を許容する如く平バイト（３）を
角φの範囲に平バイト（３）を位置させるようにして行
われる。角φは被加工物の大きさに従って適宜設定され
る。

以上において説明した本発明による装置は案内（１３）
と送り台ＯＱとの間における位置決めに関与する面間の
状態を固定状態に保ちつつ１本の平バイト（３）による
間歇的の切削を逐次進行させるもので、この装置は従来
の方法では得られなかった特に高い平坦度の平面を変質
層の発生を実質的に伴うことなく作り得るようにするも
のである。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明による装置の側面図、第２図は第１図の
一部の拡大図、第３図および第４図は第２図に示す圧縮
空気供給部がとる二つの状態を示す図面、第５図は第１
図に示す装置が交互に行う送りと切削の説明用図面、第
６図は千バイトの旋回軌跡および被加工物の通路を示す
図面である。 （１）・・・ベット（２）・・・刃物駆動装置　（３）
・・・平バイト（４）・・刃物支持板　（５）・・・軸
　（６）・・・軸受架台　（７）・・・電動機　＋８１
　＋９１・・・調車　（１０）・・・ベルｌ−Ｇ１１・
・・１駆動部（１２）・・・送り台　０３１・・・案内
　（１４１・・・被加工物　（１５）・・・支持材　（
１６）・・・チャック　（１７１・・・送りねし　＋１
８１−　（２３＋・・・圧縮空気供給部　（財）・・・
圧縮空気源　（２５）・・・大気まフｔ　ｆｄ負圧源　
困・・・流路切換弁　（資）・・・位相検出器　１２８
）・・・平バイトの軌道　（２９）・・・被加工物の送
り込み方向　１３０・・・・被加工物を後退させる方向 第３図　　　　　第４図 第５図 □ｔ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 間歇送りを与えられる送り台と、１本の平バイトを旋回
   しつつ送シ台に取付けられた被加工物に対する平面切削
   を行う刃物駆動装置と、送り台を送り方向に案内する゛
   案内面上に送り台をフローティングの状態とする如く圧
   縮空気を供給する第１過程と案内面上への圧縮空気の供
   給状態を変えて送り台をロック状態とする第２過程とを
   交互に作ってこれらの過程のうちの第１過程において送
   り台の送りを、これらの過程のうちの第２過程において
   ロック状態にある送り台上の被加工物の平バイトによる
   平面切削を行わせたのち被加工物の後退を妨げない位置
   に平バイトを停止させる制御装置とを備えていることを
   特徴とする平面切削装置。