JPS5973942A - 表面保護材 - Google Patents

表面保護材

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JPS5973942A
JPS5973942A JP18497282A JP18497282A JPS5973942A JP S5973942 A JPS5973942 A JP S5973942A JP 18497282 A JP18497282 A JP 18497282A JP 18497282 A JP18497282 A JP 18497282A JP S5973942 A JPS5973942 A JP S5973942A
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JP
Japan
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electrode
sputter
film
high frequency
protection material
Prior art date
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Pending
Application number
JP18497282A
Other languages
English (en)
Inventor
飯村 満男
吉村 厚生
一好 上森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nitto Electric Industrial Co Ltd filed Critical Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS5973942A publication Critical patent/JPS5973942A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面保護材に関し、特に防湿性を要求される太
陽電池等に好適な保護材を提供するものである。
太陽電池としては、例えば°アルミ電極上にアモルファ
ス・シリコン、透明電極および表面保護材としてのガラ
ス板を順次積層せしめたものが知られている〇 しかしながら、従来の太陽電池においてはガラス板が破
損され易いばかりでなく、ガラス板と透明電極との密閉
性が必らずしも充分でなく、防湿性に問題があった。
本発明は従来技術の有する上記問題を解決した表面保護
材に係り、7ノ素樹脂フィルムの表面75x高周波スパ
ッタエツチング処理されており、該処理面にホン)メル
ト接着剤層が形成されて成るものである。
本発明に用いるフッ素樹脂ノイルレムは、テトラフルオ
ロエチレンーヘキサフルオロク1コビレン共M合体(F
EP ) 、クロルトリフルオロエチレン重合体(0T
FE ) 、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合
体等から成るものが好適であり、厚さは通常約25〜3
00μのものが用いられる。
本発明においては上記7ノ素樹脂フィルムの表面が高周
波スパッタエツチング処理(以Fスノクノタエッチング
処理と称す)される。
このスパッタエツチング処理とは、耐圧容器内で減圧雰
囲気下において陰陽両電極間に高周波電圧を印加し、放
電域のイオイエネルギーの大きい陰極暗部において、放
電によって生じた陽イオンを加速して、陰極上のフッ素
樹脂フイ’)レム表面に衝突させる処理である。このだ
めの装置(詳細は後述)はミ耐圧容器内に陰極と陽極が
対向して配設され、陰極はインピーダンス整合器を介し
て高周波電源に接続され、陽極は高周波電源のアース側
に接続されて構成されているり陰極の外側にはシールド
用電極が配設され、アース電位に保たれている。フッ素
樹脂フィルムはかような装置によりバッチ式、連続式い
ずれにてもスハ−)タエノチング処理できる。
本発明においては、フッ素樹脂フィルムに対するスパノ
タエ・チング処理を安定して行なうため、雰囲気圧を通
常0.005〜0.5 Torr好ましくは0.05〜
0.21’orrに設定するのがよい。
また、放電処理量、即ち、放電電力(W/ci )と処
理時間(sea )の積はl WSec/c+y/以上
好適には10〜4 (l W−5ec10+/になるよ
うに行なう。
放電電力および処理時間は、放電処理量が上記所定値以
上になるようならば、いかようにも設定し得るが、実用
上から放電電力は通常O11〜5W/cm好ましくは0
.2〜2ν宥の範囲内で、処理時間は通常1〜3(川砂
の範囲内で各々設定される。
また、スパッタエツチング処理に用いる高周波電源とし
ては、通常数百KHz〜数士MHz (7)周波数のも
のを用い得るが、実用上は工業割当周波数の13.56
MHzの電源を用いるのが好ましい0雰囲気ガスとして
は種々の気体を用いることができるが、アルゴン、ヘリ
ウム等の不活性ガス、チッ素ガス、炭酸ガス、水蒸気等
が好ましい。
次に、本発明におけるフッ素樹脂フィルムに対するスパ
ッタエツチング処理の一例を図面を参照しながら説明す
る。図面において、1は減圧容器2内の気体を排気する
ための真空ポンプ(図示省略)に接続する排気管、3は
雰囲気ガスを減圧容器2内に導入するだめのバルブ、4
はフッ素樹脂フィルム5の表面をスパッタエツチング処
理する/ヒめの電極であって、電気的に減圧容器2と絶
縁され、気密シールされたリード線で外部のマツチング
ボックス6(インピーダンス整合器)に接続され、さら
に高周波電源7に導びかれている08は電極4のシール
ド用電極で、高周波電源7のアース9に導通している。
lOは対向電極で同じく高周波電源7のアース側に接続
されている。
な訃、減圧容器2は雰囲気圧を一定に保つ役目をし、金
属製減圧容器を用いた場合には高周波電源7のアース側
に接続する。
マツチングボックス6はキャパシタンストインダクタン
スからなる回路器で、インピーダンス整合を行なうもの
である。
このフィルム5の対向電極10に対応する片側表面をス
パッタエツチング処理するには、真空ポンプにより減圧
容器2を減圧すると共にパルプ3から雰囲気ガスを導入
しながら、容器2内を所定雰囲気圧に調整し、その後、
引き続き雰囲気ガスを導入しながら所定雰囲気圧のもと
で、高周波電源7から所定時間継続して電圧を印加する
と、フィルム5の前記片側表面が徐々にスバノタエ、テ
ング処理される。
なお、電極4および対向電極10は放電により発熱し、
その温贋が上昇するので、その内部に冷却通路を設け、
冷却用の液体や気体を流通させるのが好ましい。
このようにしてフッ素樹脂フィルムの表面をスパッタエ
ツチング処理すると、該処理面に無数の微細針状突起が
形成される。
本発明に訃いては、7ノ素樹脂フイルムのスパッタエツ
チング処理面にエチレノー酢酸ビニル共重合体、エチレ
ン−エチルアクリレート共重合体等を主成分とするホッ
トメルト接着剤層が形成される。
かような本発明の表面保護材を太陽電池用保喪材のよう
な透明性が要求される用途に適用する場合には、その光
線透過率(JIS−に−671411により測定)を9
0係以上にするのが好ましい。
本発明の表面保護材に卦けるフッ素樹脂フィルムとホッ
トメルト接着剤との接着力は、スパッタエツチング処理
によりフィ・レム表面に形成された微細剣状突起が接着
剤に対して投錨効果を発揮するため、大きなものとなる
本発明の表面保護材をホットメルト接着剤層により太陽
電池の透明電極上に接着せしめると、電池の延命効果が
得られることが−f′lJ明した。
この理由は必らずしも明らかではないが、ホットメルト
接着f¥11層が透明電極に強固に接合するので、この
界+i’j VC秒ける密閉性が優れたものとなり、“
まだフッ素(iit I指ノイIレムとホットメルト接
着剤層l /債との接着力は前記した如く°大きなもの
であり、この界面の密閉性も優れているので、電池表面
イ寸近の防湿性は万全で、水分は電池表面で遮断され内
部への到達が防止され、透明電極やアモルファス・/リ
コンが水分から保護されるためと推論される0 本発明の表面保護材は太陽電池以外、例えば太陽光集熱
器、太陽光選択吸収膜等の保護材としても有用でるる。
本発明は上記のように構成され、)・素樹脂フィルムの
スパッタエツチング処理面にホットメルト接着剤層を形
成したので、両者の接着力は強固で、この界面における
密閉性が万全であり、太陽市、池等の高度の防湿性を要
求される物品の表面保護利として好適に使用できる特徴
がある。
以下、実施例により本発明を説明する。
実施例1 厚さ100μの透明なFEPフィルムを第1図に示す装
置の電極4上に置き、排気管1に連結された真空ポンプ
により0.1 TOrr以下に一旦減圧した後パルプ3
を開き水蒸気を導入し、雰囲気圧を01TOrrに調整
維持する。
次に、高周波電源7から電極4と対向電極10の間に周
波数13.56 MHzの高周波電圧を印加し、放電電
力0.5 W/cmにて2秒間フィルムの片側表面をス
パッタエツチング処理する。
その後、F”BPフィルムのスパッタエツチング処理面
にエチレン−エチルアクリレート共重合体(日本ユニカ
ー社製、商品名EEA6169 )から成る厚さ30μ
のホットメルト接着剤層を形成し、光線透過率95%の
表面保護材(試料番号1)を得た。
この表面保護材をアルミ電極、アモルファス・シリコン
および酸化スズ薄膜から成る透明電極が順次積層された
太陽電池の透明電極北に温度120℃、圧力5 kg/
mの条件で3分間熱加圧して接着せしめ、これを50℃
、90%REの雰囲気下に放置し、電池の防湿性能を調
べた。
この防湿性能は太陽電池における光変換効率の半減期を
測定することにより知ることができ、試料番号1の表面
保護材を用いた太陽電池においては半減期が3500時
間であ−、た〇 まだ、これとは別にスパッタエツチング処理条件を表1
表に示すように変える以外は全て試料番号1と同様にし
て、試料番号2〜4の表面保護材を得、これら表面保護
材を上記と同様にして太陽電池に適用し、防湿性能を調
べた結果を第1表に示す。
なお、比較のため厚さ0θμのガラス板をポリビニルブ
ナラール樹脂によって透明電極に接着せしめた太陽電池
における光変換効率の半減期を測定し/ことこる。 2
500時間であった。
第1表 実施例2 厚さ200μの透明なC!TFEシートの片面を水蒸気
を導入しながら雰囲気圧0.1 Torr、放電電力1
Vσ〆の条件で30秒間スハノタエソチング処理する0 その後、 C!TFEシートのスパッタエツチング処理
面に酢酸ビニル含量19重量係のエチレン−酢酸ビニル
共重合体(三井ポリケミカル社製、商品名+1907 
)から成る厚さ30μのホットメルト接着剤層を形成し
、光線透過率91%の表面保護材を得た。
この表面保護材を実施例1の場合と同様にして透明電極
上に接着せしめ、この電池の防湿性能を調べたところ、
太陽光変換効率の半減期は4500時間であった。
上記実施例および比較例から明らかなように、本発明の
表面保護材は防湿性が摩れて2す、この表面保護材を適
用すると、太陽電池の寿命を大幅に延長できることが判
る。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に用いろフッ素樹脂フィルムの表面をスハ
ノタエ、チング処理するための装置の一例を示す概略図
である。 2・・・減圧容器  4・・・電極  5・・・フッ素
樹脂フィルム  7・・・高周波電源 1o−・・対向
電極特許出願人 日東電気工業株式会社 代表者土方三部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. フ、素樹脂フィルムの表面が高周波スパッタエツチング
    処理されており、該処理面にホットメルト接着剤層が形
    成されて成る表面保護材。
JP18497282A 1982-10-20 1982-10-20 表面保護材 Pending JPS5973942A (ja)

Priority Applications (1)

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JP18497282A JPS5973942A (ja) 1982-10-20 1982-10-20 表面保護材

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JP18497282A JPS5973942A (ja) 1982-10-20 1982-10-20 表面保護材

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JP18497282A Pending JPS5973942A (ja) 1982-10-20 1982-10-20 表面保護材

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