JPS5975982U - 超高真空用ストツプ弁 - Google Patents
超高真空用ストツプ弁Info
- Publication number
- JPS5975982U JPS5975982U JP17047282U JP17047282U JPS5975982U JP S5975982 U JPS5975982 U JP S5975982U JP 17047282 U JP17047282 U JP 17047282U JP 17047282 U JP17047282 U JP 17047282U JP S5975982 U JPS5975982 U JP S5975982U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultra
- high vacuum
- stop valve
- drive shaft
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の実施例の武断側面図である。
１・・・・・・弁筺、２・・・・・・弁板、３・・・・
・・駆動軸、４・・・・・・ベローズ、５．８・・・・
・・螺子、６・・・・・・ボンネットフランジ、７・・
・・・・ガスケット。
・・駆動軸、４・・・・・・ベローズ、５．８・・・・
・・螺子、６・・・・・・ボンネットフランジ、７・・
・・・・ガスケット。
Claims (1)
- 超高真空化される弁筺１を内外に挿通して弁板２を駆動
する駆動軸３を設け、該駆動軸３の周囲を金属製ベロー
ズ４で気密に覆う式のものに於て、該駆動軸３を螺子５
により着脱自在のボンネットフランジ６を介して弁筺１
に取付け、該弁板２と該ホンネットフランジ６にベロー
ズ４をガスケット７を介して螺子８で着脱自在に取付け
して成る超高真空用ストップ弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17047282U JPS5975982U (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 超高真空用ストツプ弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17047282U JPS5975982U (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 超高真空用ストツプ弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975982U true JPS5975982U (ja) | 1984-05-23 |
Family
ID=30372145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17047282U Pending JPS5975982U (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 超高真空用ストツプ弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975982U (ja) |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP17047282U patent/JPS5975982U/ja active Pending
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