JPS597736Y2 - 電子分光装置 - Google Patents
電子分光装置Info
- Publication number
- JPS597736Y2 JPS597736Y2 JP1977022210U JP2221077U JPS597736Y2 JP S597736 Y2 JPS597736 Y2 JP S597736Y2 JP 1977022210 U JP1977022210 U JP 1977022210U JP 2221077 U JP2221077 U JP 2221077U JP S597736 Y2 JPS597736 Y2 JP S597736Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy analyzer
- sample
- inner cylinder
- wire electrodes
- energy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は例えばオージエ電子分光装置等の電子分光装置
の改良に関する。
の改良に関する。
一般にオージエ電子分光装置においては、微４・径を有
する電子ビームを試料に照射した際発生するオージエ電
子のエネルギーを分析するために、外筒と内筒との間に
電場を形威せしめた円筒状のエネルギー分析器を具備し
ている。
する電子ビームを試料に照射した際発生するオージエ電
子のエネルギーを分析するために、外筒と内筒との間に
電場を形威せしめた円筒状のエネルギー分析器を具備し
ている。
しがして該エネルギー分析器の端部においては外筒と内
筒との間に環状の絶縁体を嵌合させて外簡の位置を決め
ると共に、該絶縁体の内側にメタライジング加工等によ
りリング状の導電性物質を複数個同芯に固定し、該各導
電性物質に前記外筒と内筒間の電圧を分割抵抗により分
割して供給せしめることにより端部における電界の乱れ
（通常フリンジング効果と称される）を補正している。
筒との間に環状の絶縁体を嵌合させて外簡の位置を決め
ると共に、該絶縁体の内側にメタライジング加工等によ
りリング状の導電性物質を複数個同芯に固定し、該各導
電性物質に前記外筒と内筒間の電圧を分割抵抗により分
割して供給せしめることにより端部における電界の乱れ
（通常フリンジング効果と称される）を補正している。
又エネルギー分析器の分解能を高めるため、試料とエネ
ルギー分析器との距離を出来るだけ接近させて設けるの
が普通であり、従ってエネルギー分析器の電子線導入側
端部（即ち絶縁板）は内筒に形或される入射スリットに
対して非常に接近しておがれることになる。
ルギー分析器との距離を出来るだけ接近させて設けるの
が普通であり、従ってエネルギー分析器の電子線導入側
端部（即ち絶縁板）は内筒に形或される入射スリットに
対して非常に接近しておがれることになる。
その結果、絶縁板には試料から発生する反射電子等が照
射されるため、この絶縁板に電荷が蓄積され、それによ
って電界の乱れが生じ、分解能が低下する。
射されるため、この絶縁板に電荷が蓄積され、それによ
って電界の乱れが生じ、分解能が低下する。
又分析にあたってはイオンエッチングにより試料表面を
除々に削り取りながら分析を繰りかえすことがしばしば
行なわれ、そのために飛散物によって絶縁物が汚れ、そ
れによって絶縁板が導電性をおびて電界を乱す原因とな
る。
除々に削り取りながら分析を繰りかえすことがしばしば
行なわれ、そのために飛散物によって絶縁物が汚れ、そ
れによって絶縁板が導電性をおびて電界を乱す原因とな
る。
本考案は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に示した実施例に基づき詳説する。
で、以下図面に示した実施例に基づき詳説する。
第１図は従断面図、第２図は第１図中のＡ−Ａ矢視図で
、１は図示外の電子銃から発生した電子ビームＥＢを微
小に集束せしめて試料２上に照射せしめたるため最終段
集束レンズである。
、１は図示外の電子銃から発生した電子ビームＥＢを微
小に集束せしめて試料２上に照射せしめたるため最終段
集束レンズである。
前記試料２はホルダー３を介して試料ステージ４に着脱
自在に装着されており、該試料ステージは図示外の試料
室に水平移動可能に設置されている。
自在に装着されており、該試料ステージは図示外の試料
室に水平移動可能に設置されている。
５は同軸的な外筒６ａと内筒６ｂとからなる円筒状のエ
ネルギー分析器で、外筒と内筒間には電源７により任意
な電圧が印加されている。
ネルギー分析器で、外筒と内筒間には電源７により任意
な電圧が印加されている。
従って両筒間に形或される電場により電子線照射によっ
て試料から発生するオージエ電子ｅのエネルギーが分析
され、図示外の検出器に検出される。
て試料から発生するオージエ電子ｅのエネルギーが分析
され、図示外の検出器に検出される。
尚１４は内筒６ｂに形或されオージエ電子ｅの入射スリ
ットである。
ットである。
前記外筒６ａ及び内筒６ｂのオージエ電子が導入される
端部には矢切部８が形或してあって、前記試料ステージ
４の水平移動を阻害しないように構威してある。
端部には矢切部８が形或してあって、前記試料ステージ
４の水平移動を阻害しないように構威してある。
該欠切部８における前記外筒６ａと内筒６ｂとの間には
半円状に形或されたセラミック等の絶縁体９が嵌合され
ており、該絶縁体の内側には例えば４つの半環状電極１
０ａ，１０ｂ， １０ Ｃ， １０ ｄが前記エネルギ
ー分析器５の軸心（内筒の軸心）を中心にして同芯状に
配置されている。
半円状に形或されたセラミック等の絶縁体９が嵌合され
ており、該絶縁体の内側には例えば４つの半環状電極１
０ａ，１０ｂ， １０ Ｃ， １０ ｄが前記エネルギ
ー分析器５の軸心（内筒の軸心）を中心にして同芯状に
配置されている。
前記絶縁体９の端部９ａ及び９ｂには４本の栃電性支持
棒１１ ａ， １１ ｂ， １１ Ｃ， １１ ｄ及び
１１ｅ， １１ ｆ， １１ ｇ， １１ ｈが夫々植
設してあり、コレらの支持棒はその軸心が前記エネルギ
ー分析器５の軸心と略平行になるように配置される。
棒１１ ａ， １１ ｂ， １１ Ｃ， １１ ｄ及び
１１ｅ， １１ ｆ， １１ ｇ， １１ ｈが夫々植
設してあり、コレらの支持棒はその軸心が前記エネルギ
ー分析器５の軸心と略平行になるように配置される。
又各支持棒はその植設部分において前記電極１０ａ，１
０ｂ，１０ ｃ，１０ ｄの端部と電気的に接続されて
おり、更に支持棒１１ ａと１１ ｈ， １１ ｂと１
１ ｇ， １１ Ｃと１１ ｆ及び１１ｄと１１ ｅと
の間には４本の半環状のワイヤー電極１２ａ， １２ｂ
， １２Ｃ及び１２ｄが夫々固定される。
０ｂ，１０ ｃ，１０ ｄの端部と電気的に接続されて
おり、更に支持棒１１ ａと１１ ｈ， １１ ｂと１
１ ｇ， １１ Ｃと１１ ｆ及び１１ｄと１１ ｅと
の間には４本の半環状のワイヤー電極１２ａ， １２ｂ
， １２Ｃ及び１２ｄが夫々固定される。
これらのワイヤー電極は同芯状に配置され、又前記電極
１０ ａ， １０ ｂ， １０ Ｃ， １０ｄと同一半
径を有し、両者を組合せることにより実質的に４本の環
状電極を構或している。
１０ ａ， １０ ｂ， １０ Ｃ， １０ｄと同一半
径を有し、両者を組合せることにより実質的に４本の環
状電極を構或している。
前記支持棒の長さは内筒６ｂに近づくにつれて順次長く
なるように構威してある。
なるように構威してある。
（同一の長さに形威してもよい）前記電極１０ ａ，
１０ ｂ， １０ Ｃ， １０ ｄには分割抵抗１３に
より外筒と内筒間の電圧が分割されて印加され、これに
より外筒と内筒における端末部の電界分布は均一となり
、フリンジング効果を緩和することができる。
１０ ｂ， １０ Ｃ， １０ ｄには分割抵抗１３に
より外筒と内筒間の電圧が分割されて印加され、これに
より外筒と内筒における端末部の電界分布は均一となり
、フリンジング効果を緩和することができる。
以上の如く本考案はエネルギー分析器の端末部に支持棒
によって支持されたワイヤー電極を設置することにより
電界の乱れを防止する如く構威してあるため、エネルギ
ー分析器のオージエ電子導入部分から絶縁体を遠ざける
ことができ、従って従来のようにチャージアップによっ
て電界が乱れることによる分解能低下を防止することが
でき、又組立が非常に容易になる等、実用上大なる効果
を有する。
によって支持されたワイヤー電極を設置することにより
電界の乱れを防止する如く構威してあるため、エネルギ
ー分析器のオージエ電子導入部分から絶縁体を遠ざける
ことができ、従って従来のようにチャージアップによっ
て電界が乱れることによる分解能低下を防止することが
でき、又組立が非常に容易になる等、実用上大なる効果
を有する。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図中Ａ−Ａ矢視図である。 図において１は集束レンズ、２は試料、４は試料ステー
ジ、５は外筒６ａと内筒６ｂからなるエネルギー分析器
、７は電源、８は矢切部、９は絶縁体、１０ ａ乃至１
０ ｂは電極、１１ ａ乃至１１ ｈは支持棒、１２
ａ乃至１２ｄはワイヤー電極、１３は分割抵抗である。
図中Ａ−Ａ矢視図である。 図において１は集束レンズ、２は試料、４は試料ステー
ジ、５は外筒６ａと内筒６ｂからなるエネルギー分析器
、７は電源、８は矢切部、９は絶縁体、１０ ａ乃至１
０ ｂは電極、１１ ａ乃至１１ ｈは支持棒、１２
ａ乃至１２ｄはワイヤー電極、１３は分割抵抗である。
Claims (1)
- 試料に電子線を照射せしめることにより発生する電子を
２つの筒体からなるエネルギー分析器にてエネルギー分
析する装置において、前記エネルギー分析器の前記電子
の入射する側の端部に設けられた２つの筒体の位置を決
めるための環状絶縁体の一部を切欠き、該切欠部の近傍
に径の異なった環状の一部を形或する複数のワイヤー電
極をエネルギー分析器の軸心を中心にして円芯円状に配
置し、該複数のワイヤー電極を支持せしめるための支持
棒を設け、又前記複数のワイヤー電極に前記２つの筒体
間に印加された電圧を分割して供給する手段を設けてな
る電子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1977022210U JPS597736Y2 (ja) | 1977-02-25 | 1977-02-25 | 電子分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1977022210U JPS597736Y2 (ja) | 1977-02-25 | 1977-02-25 | 電子分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53118593U JPS53118593U (ja) | 1978-09-20 |
| JPS597736Y2 true JPS597736Y2 (ja) | 1984-03-09 |
Family
ID=28856539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1977022210U Expired JPS597736Y2 (ja) | 1977-02-25 | 1977-02-25 | 電子分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597736Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3735128A (en) * | 1971-08-27 | 1973-05-22 | Physical Electronics Ind Inc | Field termination plate |
| US3699331A (en) * | 1971-08-27 | 1972-10-17 | Paul W Palmberg | Double pass coaxial cylinder analyzer with retarding spherical grids |
| US3818228A (en) * | 1973-08-17 | 1974-06-18 | Physical Electronics Ind Inc | Field termination plates for charged particle analyzers |
-
1977
- 1977-02-25 JP JP1977022210U patent/JPS597736Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53118593U (ja) | 1978-09-20 |
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