JPS5978535A - 多数被処理品の処理設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、例えば半導体ウェーノ箋なと多数量で、か
つ、処理工程数の多い被処理品の処理設備に関するもの
である。

半導体装置、特［ＩＣ，ＬＳＩなどの半導体ウェーハの
製造工程は、不純物拡散、酸化膜形成などの熱処理、及
び写真製版、イオン注入、金属膜蒸着などの化学・物理
処理の繰返しによって構成され、これらの処理工程の総
数は１ｏｏ〜２００１ｃ　％及ぶものである。しかも、
これらの処理は、工程順に配置さｈ、た各処理装置によ
る、いわゆる、−貫ライン的に行なわれるものではなく
、通常、熱処理装置、写真製版装置など機能別に集合配
置ケｈ、几装置群間を移動しながら処理される。

第１図は被処理品として半導体ウェーハの例を示す平面
図である。半導体ウェーハ（１）の１部に切欠かれたフ
ァセット（ｌａ）が設けらｈ、位置決めができるように
しである。半導体ウェーハ（１）け、第２図に示すカセ
ツ）（２１［２４又ｉｊ：２５枚が間隔をわけて平行に
収納さり１、これｆ１０ットの単位にして各処理工程に
かけらｈ−る。

従来の半導体ウェーハの処理設備は、＠２図に示す１／
イアウド図のようになっていた。図中（３）〜（８）け
各の処理装Ｒｆｔ集合したブロック゛ｒ：、＋３＋は熱
処理ブロック、（４）は不純物イオン注入処理ブロック
・（５）は金属膜蒸着処理ブロック、（６１はレジスト
感光処理ブロック、（７）はエツチング処理ブロック、
（８）は検査ブロックｆある。

上記従来の処理設備において、ＩＣ，ＬＳＩ　７ｚどの
製造には、半導体ウェーハ（１）は上記各処理ブロック
間を数回ないし士数回繰返し往来して処理される。しか
も、前記カセット＋２１の単位で処理名ノ１．るロット
Ｖま、他のロットとｅよ各！％なる処理工程でろるため
、同じ処理ブロックで処理された多数のロットは、次工
程の処理ブロックが同じであるとけ限らｌ（八。このた
め、各ロットに応じて作業員が次の行先を判断し、それ
ぞれの次工程に人手で運搬して論た。これらの行先指示
、運搬作業及び各の処理ブロックでの作業は、−工場単
位では膨大な作業量となり、種々の不具合を生じてきた
。

すなわち、作業員による作業仕損、作業むら、ある処理
ブロック内での処理完了から次工程処理ブロックへの送
シ出しまでの時間ずれが生じることによる仕掛り数の増
大、これによる工期の遅延、人手の取扱いによるウェー
ハの汚染、ロットは多数ありそれぞれ複雑な処理工程を
要し工程管理が困難であるなどの問題がある。

これに対処し、運搬作業の自動化、工程管理のコンピュ
ータ制御化、個別処理単位での目切化などは、単体とし
ては実施されているところもめる≠べ全体として自動イ
ヒさｆ″Ｌない限り、前記不具合は解消てり、ない。

この発明は、上記従来設備の欠点をなくし、被処理品の
仕損や仕掛り数を減少し、効率のよＡ工程管理をして処
理装置の稼動率を同上することを目的とするものである
。すなわち、被処理品を一時収納し待期しておくための
多数の野郎を有する収納庫を設け、被処理品は収納庫へ
収納の前後には、番号読取り装置により識別番号が読取
らり、て確社され、所定の野郎へ収納、野郎から取出さ
ｈ、次］二程の処理ブロックへ配送されて処理され、こ
ｈ、が繰返されて各種処理が完了され、被処理品の受渡
し搬送は搬送装置によシ自動的に行い、番号読取＃）装
置、搬送装置及び各処理装置の制御と、各被処理品の処
理工程管理をコンピュータによる制御装置により行い、
被処理品が入手に触ｈ、ることなく全自動化した処理が
される多数被処理品の処理設備を提供するものである。

以下、この発明の一実施例による処理設備を半導体ウェ
ーハの場合について、第４図ないし第７図により説明す
る。

第４図は半導体ウェーハの処理設備の概要平面図である
。（９）は熱処理に先立ってウェーハ（１）ヲ処理する
化学処理ブロック、＋１０１は不純物拡散、酸化膜形成
等の熱処理ブロック、ａυは電極形成のための金属膜蒸
着処理ブロック、（′１２は不純物注入処理ブロック、
０３ｉｊレジスト塗布、感光、現１を等のレジスト感光
処理ブロック、７ｊ４）　ｆｌま酸化膜、金窩層等ヲ選
択的にエツチングするエツチング処理ブロック、θ〜は
化７性検査、膜厚測定等の検査ブロックを示す。

αＧ＃−１，生導体ウェーハ（］）を収納し、たカセッ
ト（２）（第２図に示１　）を収納する収納庫で、２箇
所に配設ざり２、こｈらの収納庫α０の間にスタッカク
レーン（イ）が配４２でれてＶる。（ｊｌ’ｌはウェー
ハ＋Ｉｌ上に刻入さｈたバーコード°（識別番号をなず
〕なｎπ取るロット番号読取装置で、上記各収納庫００
の名人山部にそり、ぞれ配置されている。（イ）はこの
自動化した処理設備に持込まれる新規「１ツトのウェー
ハ（１１にバーコードを刻入するバーコード刻入装置で
ある。

上記のように配設された各藪館及び各処理ブロックにカ
セット（２）全配送するため、第１の搬送路ａカと第２
の搬送路（至）が布設されている。循環路をなす搬送路
０のには複数の搬送車。１が配ざり、てふ・り、同一方
向に走行し、直ａ路をなす搬送路に）には１台の搬送車
０１が配さｈ、てぃて、往復走行する。各装置及び各処
理ブロックの入口、出口部にはステーション＠が配設さ
れてめり、搬送車０１とのカセット（２）の受授かされ
る。（至）はコンピュータを備えた中央制御装置で、各
処理ブロック（９）〜０υのそれぞれの処理装置（図示
は略す）、各搬送車Ｃ１１％ロッド番号読取装置をＤ、
バーコード刻入装Ｒ＠、収納庫ａＱとスタッカクレーン
（イ）とからなる自ｗＪ倉庫等、ナベての装置制御と工
程管理を行い、情報を一元的に処理する。

次に、上記半導体ウェーハ処理設備の各主要部について
、詳細に説明する。収納庫◇Ｇにカセット（２）の人出
を行なう自動倉庫部を、第５図に余１視図で示す。収納
庫０１には弁部（ハ）が７０個設けてあシ、各弁部（ハ
）Ｖｃは奥行方向にカセット（２）が最大４個宛収納で
きる。（１）は清浄空気供給装置で、各弁部（至）内に
清浄空気を供給し、カセッ）　＋２１及びウェーハ（１
）を清浄に維持するようにしている。スタッカクレーン
ｃＡはカセット（２）を把持し、両端配設ノステーショ
ン（ハ）、ロット番号読取装置Ｑ］）及び収納庫００の
弁部（ハ）間で走行レール翰上を移動し、それぞれの位
置にカセット（２）全移動させるものである０ロット番
号読取装置２１）上ＶＣ置かり、た４個のカセツ）　１
２１　ｔ　、中央制御装置ｖＪ１／Ｃよって指示された
弁部（ハ）にそれぞノ１．収納する場合の動作は、次の
ようにｌる。スタッカクレーン（ホ）がロット番号読取
装置Ｑ１）の側方位置に移動してくる。つづいて、フォ
ーク（イ）がロット番号読取装置Ｑ１）上に前進して４
個のカセツ）　＋２１　を同時に把持する。次に、フォ
ーク翰は後退して元の位置に戻り、各カセット（２）ヲ
コンベア翰上にＡつたん置く。スタッカクレーン翰が収
納庫ＯＱの指定の列の弁部（ハ）位［Ｋ移動し、コンベ
アに）が指定の段の弁部（ハ）位置に上下移動する。

コンベアに）上のカセット（幻のうち収納庫ａｎ　ｖｃ
　−ｉ近い分を、コンベア端の前送シ走行によ９升部（
至）に収納する。次に、同様にしてスタッカクレーンの
移動とコンベア（４）の上下移＃により、コンベア（ト
）上の次のカセット（２）を指定する列と段の弁部（至
）位置の前にし、コンベア陣の前送り走行により指定の
弁部（イ）に収納する。このようにし、各カセット（２
１をＩｌＮ次、それぞｈ指定する位置の弁部（イ）に収
納する。４個のカセット（２）が、次処理工程が同一の
ものであわ、げ、列と段が指定−Ｊ　ｉｔた同じ弁部（
イ）内に４個とも収納されることＶＣなる。逆に、弁部
（ハ）に収納されたカセツ）　＋２１を取出すときは、
フォーク翰により４個を同時に持出す。これは、４個と
も同一次処理のためである。

収納庫ＱＧの隣に配設芒れたロット番号読取装置ｌ２Ｉ
Ｊを、第６図ＶＣ斜視図で示す。このロット番号読取装
置Ｑｌ）は、レーザ加工磯（図示していｌい）で溝を形
成したバーコードが付けられたウェーハ（１）を多数枚
（図では鎖線で一部のみを示す）カセット（２）に収納
した状態で、バーコードを読取るものでろる。■は照明
装置と光学レンズ及びイメージセンサとで構成された光
学センサで、パルスモータ０υＶこよシ前後移動され、
誘導電動機０睦により横行移動嘔れる０これら２個の光
学センサ（３１が、そｈ、それ２カセツト（２）分を受
持つ。曽はカセット載置台で、４個配投され、それぞれ
エアシリンダ（ロ）により独立に上下動′２！台、る。

（ト）はこれらのカセット載置台Ｇ３１　ｖｃ軸受（図
示しなｈ）を介し回転自在に支持された１対のテフロン
棒で、訪導電Ｎ　＃機（図示しない）により回転される
。カセット載置台■上にカセット（２）が載せられると
、カセット内ノ各ウェーハ１１１が上記１対のテフロン
棒（ハ）に当って押上げらり、た状態になって回転さり
、る。ウェーハ（１）は外周の一部が平たんに切欠かれ
たファセツ）　（ｌａ）が１対のテフロン棒（ト）上に
至ると、テフロン棒（至）との接触が離れ、ウェーハ＋
１１の回転が止まり位置決めがされる。（至）はＬ彫金
なし、カセット載置台（至）に中間部で支持ビン（図示
は略す）Ｖｃよシ回動可能に支持さり、之押付はレバー
で、先グ″ｈＶｃはローラ（ハ）、ＯＩが取付けられて
わシ、引張ばね＠により後方に回動され、カセット載置
台に）上のカセット（２）をローラ（至）を介し押付け
るようにしている。エアシリンダ（ハ）によりカセット
載置台に）が上昇すると、四−ラ（ηが固定肖接板θ１
の下面に当接し押付はレバー（至）が前方に回動し、ロ
ーラ（７）がカセット（２）から離れる◇ 通常、カセット載置台（至）は上昇して〉す、ローラ（
至）はカセット（２）位置から離れている。このような
状態で空のカセット載置台（ト）上に、上記スタッカク
レーンｃＡＶｃよシカセット（２）が載せらり、ると、
エアシリンダ■によってカセット載置台（ト）が下降し
、ローラ（ハ）によりカセット（２）を押付は固定し、
テフロンロッド（ハ）が一定時間回転する。こｉｌｃよ
り、カセット（２）内の多数枚のウェーハ（１１の姿勢
が位置決めされ、次に、光学センサ（７）をパルスモー
タｅＤＶＣよシ移動させてウェーハ＋１１のバーコード
を読取る。

搬送装置をなす搬送車ａＩ及びステーション（ハ）部を
第７図に斜視図で示す。搬送車頭はカセット（２）を最
大４個収答し、自体に走行機構、ステーション（至）の
ステーション棚■とのカセット受渡し榎構をもち、搬送
路α乃、側に案内されて走行する。θυは搬送車ＱｉＫ
設けられ、カセット２１４個を同時に内部からステーシ
ョン棚＠４ｖｃ渡して載せたり、ステーション棚＠→か
ら受取り内部へ収容するコンテナで、前、後進するフォ
ーク０２ｔｌ−設けている。このコンテナ０１）は上下
動案内体部ＴＬ案内され、各ステーション棚θ→の位＆
まで上下動する。ステーション（ハ）には、３段のステ
ーション棚り→と、このステーション棚θゆからカセッ
トｔ２）　？取出したり、各処理ブロック内で処理され
１とカセット＋２１　’（ｆｆステーション棚Ｑ→に載
せたシするロボットに）とが配置されている。ロボット
に）は、カセット（２）全把持するチャック部θηと、
このチャック部を上下動及び前後動させる機構を内蔵し
たロボット本体部θＱとかうｉ　ｖ、ｇ　ｈ、ている。

θ→け小形搬送車で、案内台０傷に案内され、ステーシ
ョン棚■と処理ブロック内の処理装置間をカセツ）ｔ２
１１個単位で搬送するｔのである。この小形搬送車（９
）は単にカセット＋２１を載せて走行するものでめシ、
各処理装置の人出口には、カセツ）　［２１ｆｔ小形搬
送車（財）に載せたり、取出したりする機構（図示は略
す）が設けられている。

上記のようにして構成された、一実施例の処理設備の動
作を、第４図ないし第７図により説明する。

新規に投入さノ１．るカセット（２）のウェーハＩＩＩ
　（７）　ロットｔ」、バーコード’　刻入ＭＫ（イ）
によりウェーハ（１）上にロット番号が刻入され、中央
制御装置（ハ）に登録され、ロット番号読取装置（７！
１）にかけてから、いったん収納ｐ￥−ａｕ　ｖｃ収納
される。収ｉＩ′Ｊ庫θＧの弁部（ハ）の割付けは工程
管理を行う９央制御装置ｉｔ　＠がつかさどシ、同−弁
部（２）に収納されるロツＭよ、次に処理される行先処
理ブロックが同一であるものを集める。このように、い
ったん升部１：（ハ）［ＩＩＭ　Ｍｌ　ａ　７またロッ
トは、中央制御装ｆ（ハ）に組込まＪまた工期最短ＶＣ
なる工程計画により最適のロットの払出しを行い、ロッ
ト番号読取Ｉ）装＠　（ｊｌ）でロット番号の確認をし
、間違いがなければ搬送車０９Ｖこより目的の処理ブロ
ックのステーションＣＪ　？（−Ａ！ぶ１．単導体つ１
−−　ハ（１１の最初の処理は、汚れを薬品によって除
去する化学処理が普通でめυ、まず、化学処理ブロック
（９）に送る。この化学処理ブロック１９１　ＶＣＮ％
らず、他の処理ブロックでも同様にそれぞｈ、数台〜二
十数台の処理装０１１．　（図示は略す）が配設さり、
て卦り、各は多品種のロット、つまシ、処理仕様の異な
るロット全処理できる。なお、各処理装置は汎用的な機
能を有しており、中央制御装置Ｈに電気的結合されてい
て各のロットに対応した処理が施される。また、各処理
ブロック内でのカセット（２）の取扱いも、すべて中央
制御装置（至）による制御で自動的［ｉれている。化学
処理ブロック（９）に送られたカセット（２）は、第４
図に矢印で示すように移動きれ、出口のステーション（
ハ）に送らり９、次の処理ブロックでめる熱処理ブロッ
ク（ｌＯ）に搬送される。この熱処理は上記化学処理が
終れば速やかに行われねばならないものでめシ、化学処
理ブロック（９）へ搬送されるときけ、あらかじめ、熱
処理ブロック１１０）の空状態を中央制御装置（ハ）に
よシ予測しておく。熱処理ブロック（１０１での処理が
終り、げ、次の処理ブロックへはｙｉ接配送せず、再び
ロット番号読取釦ｔ（Ｊｌ）にかけてロット番号全確認
し、各ロットの次工程処理ブロック別に区分して収納庫
ａＧの指定弁部（ホ）に収納時期する。次に、針部（ハ
）からカセット＋２１　ｔレジスト感光処理ブロック（
１３へ配送する場合、同じ（ロット番号読取１ｔａｎに
かけてロット番号を確認し、搬送路α力を使ってレジス
ト感光処理ブロックａ３のステーション１２．Ｊに配送
する。

レジスト感光処理ブロック０．１は４木のラインがらな
シ、各のラインが均等に稼動するようＶＣ調節しながら
配送ざ〕する。このレジスト感光処理ブロック０３では
、ロットは第４図に示すように、矢印のように進み、搬
送路Ｏａを使ってエツチング処理ブロック（１４に搬送
される。この場合も、化学処理ブロック（９）上熱処理
ブロック（１０）との関係のように、通常、一連の処理
になって訃り、収納庫ａｅｔ：介をずに処理される。例
外的に、この間に他の処理が施される場合は、搬送路Ｑ
ａｌを使って収納庫＜Ｉｎに戻される。

エツチング処理ブロックＱ４）での処理が終了すれば、
ロット番号読取装置Ｑυｆ：経てから次工程別に収納庫
ｕＯの指定弁部（ハ）に収納さｈ、る。このよう１／′
ｃして、順次処理’ｆ：　１，１９４返し、すべての処
理が終了すレバ、バーコード刻入装置ｔ（イ）が配設さ
Ｊｌ、てｒろ部位に搬送はｈて完了となる。

化学処理ブロック（９）と熱処理ブロック１１０１　Ｎ
５、レジスト感光処理ブロック０３とエツチング処理ブ
ロック０４）間を除いた処理ブロック間でのカセットｔ
ｅｌの受渡しに、ロット番号読取１■ｎ及び収納庫００
を介するよ’：ｌ　ＶＣＬ、た、この発明の一実施例の
処理ａ　ｆｉ＋は、特に、多品なでしかも繰返し作業の
多い多数量の半導体ウェーハｉｌ＋処理Ｉｌ′ｉ：あっ
て、配送間違い、処理間違いを防止し、適正な時期に適
正なロットを適正’ｆｘＲで各処理ブロックに配送する
のｐｃ、極めて効果的であシ、工程管理が著しく容易と
なり、全体の仕掛シ素減少に大さく寄与することができ
る。

捷ンと、各処理５Ｉｅｍが中央制御装置（ハ）に電気的
結合されて自動化されているので、作業仕損じ、処理む
らが減少さね４、歩留りが大幅に同上する。

なお、上記実２ＩＩ！ｉ例では、中央制御装Ｒ（ハ）に
よシ工程管理、装置制御をすべて集中的に行っているが
、中央制御装置の停止、制御の複雑さなど全緩和する定
め、制御装置を複数に分散させて制御するよつにしても
よい。

また、上記実施例では、ステーション（至）と処理装墳
間のカセット（２）の横送に小形搬送屯（→を用い、各
処理装置の人出口にカセット（２１の受授のロボット＠
りを用いたが、これらの機能を併せもつ移動形ロボット
を設け、ステーション（ハ）と処理装置１…の受渡しを
行うよつにしてもよい。

さらに、処理加エネれる多叔品として、上記実施例では
半導体ウェーハ（１）の場合を説明したが、他の被処理
品、例えば機械部品ｌどの場合にも適用でき、各種の機
械加工処理やめつき処理などの１投備としても応用する
ことができるものである。

この発引け、以上説明したように、破処理品全一時収納
し次処理に時期のための多数の針部全町する収納庫ｔ″
設け、被処理品Ｖま収納庫へ収納の前後には、番号読取
り装置により識別番号が読取られて確認記憶されるよう
にし、所定の針部へ収納烙れ、針部から取出烙れて次工
程の処理装置へ配送ざり、て処理され、これが繰返され
て各１セ処理が完了し、被処理品の受渡し搬送は搬送装
置により自動的Ｖこ行い、番号読取り装置、搬送装置及
び各処理装置の制御と、各被処理品の処理工程管理をコ
ンピュータによる制御装９ＬＶＣより行なうようにし１
ξので、多数の被処理品が仕損な（効率よ（処理さ〕１
４、仕掛シ箪が減少し、処理工程管理が容易Ｖｃなル、
各処理装置の稼動率か同上される。特へ多重極で繰返し
処理工程の多い多量な被処理品、例えげ、半導体ウェー
ハの場合その効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体ウェーハの平面図、第２図は第１図の半
導体ウェーハ全多数枚収納するためのカセットの斜視図
、第３図は従来の半導体ウェーハの処理設備のレイアウ
トを示すブロック図、第４図はこの発明の一実施例によ
る半導体ウェーハの処理設備の構戚全示す概要平面図、
第５図は第４図の収納庫を有する自動倉庫部の斜視図、
第６図は帖５図のロット番号読取り装置の斜視図、第７
図は第４図の搬送車とステーション部の斜視図である。 ）、＋９１・・・化学処理ブロック、（１０）・・熱処
理ブロック、０υ・・・金属膜蒸着処理ブロック、ａｚ
・・・イオン注入処理ブロック、θ′３・・・レジヌト
感光処理ブロック、（１４）・・・エツチング処理ブロ
ック、０、ツ・・検査ブロック、（Ｉト・・収納庫、（
（ハ（ト）・・・搬送路、α９・・・・搬送車、ｔ２Ｄ
＋・・・スタツカク１／−ン、＜２１）・・・ロット番
号読Ｔｆｙ、υ装置、＠・・・バーコード刻入装置、（
ハ）・・ステーション、ＣＡ・・・中央ｔｔｊｌＪ御装
置、（ハ）・・・針部、（イ）・・・フォーク、（７）
・・・光学センサ、θυ・・コンテナ、（６）・・・フ
ォーク、（財）・・・上下動案内体、０◇・・ステーシ
ョン棚、Ｃつ・・ロボット、０η・・・チャック部、０
→・・・小形搬送車である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　為野信−（外１名） 特許庁長官殿 １．事件の表示　　　　特願昭１−１９０６３６号２・
発明ノ名称　　　　多数被処理品の処理設備３、補正を
する書 事件との関係　　　特許出願人 住　所　　　　　東京都千代田区丸の内二丁［１２番３
号名　称（６０１，）　　　三菱電機株式会社代表者片
山仁八部 ５、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の４両。 ６、　補止の内容 （１）明卸１誉第７ページ第１４行、第８ベージ第°９
〜１０行の１０ンド」全１０ツト」に補正する０（２）
明細書第８ページ第１７行の「７０個」を「多数個」に
補正する。 （３）　　１４１４細書第１１ペ一ジ第５行の「藺導電
電動機」を「＠導電動機」に補正する。 （４）明細書第１１ページ第１１．−１２行の「テフロ
ン俸□□□との接触か離れ、−１を削除する。 以Ｊニ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ＋１１　　被処理品に施された識別番号を読取る番号読
   取り装置、複数の棚に仕切られた多数の針部が設けられ
   、識別番号が読取られた上記被処理品を所定の針部に一
   時収容し次工程に対し待期させる収納庫、上記番号読取
   力装置から上記被処理Ｉｌｌ′ｉｏを受は上記針部に収
   納し、また、針部の被処理品を取出し上記番号読取シ装
   置にかけ識別番号を確認させるための運搬具、制御指令
   によって処理条件が設定されるようにしてあり、そり、
   それ上記針部から取ＩＪＪさｉｔ識別番号が確認さｈ−
   た被処理品を処理加工する複数種の処理装置、上記被処
   理品を上記番号読取り装置側から受取シ次工程の上記処
   理装置に渡し、また、処理が関連する処理装置間では上
   記被処理品を受渡し、その工程の処理が終っｆｃ被処理
   品を上記番号読取り装置側に渡し、識別番号が確認され
   るようにする搬送装置、及びコンピュータを有し、上記
   各処理装置、番号読取り装置、運搬具及び搬送装置を制
   御し、かつ、上記各被処理品の識別番号を登録して工程
   管理をする制御装置を備えた多数被処理品の処理設備。 （２）　　運搬具はフォークラ有するスタッカクレーン
   からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   多数被処理品の処理設備。 （３）　　搬送装置は被処理品の積込み、下し機構を内
   蔵していて、搬送路を走行する搬送車を配したことｆｒ
   、特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の多
   数被処理品の処理設備。 （４）　　収納庫の針部には、次の同じ処理工程群別に
   複数個宛の被処理品を収納し、各処理工程終了ごとに再
   び収納待期させるより　ｖｃ　１．たこ七を特徴とする
   特許請求の範囲第１項ないし第３項のいづれかの項記載
   の多数被処理品の処理設備。 （５）　　被処理品は半導体ウェー八からなり、多数枚
   ヲカセットに収納して１０ツトとなし、このロット単位
   で処理するようにしたこと金特依とする特許請求の範囲
   第１項なｒし第４項のいづｆＬかの項記載の多数被処理
   品の処理設備。 ＋６１　　Ｗ数種の処理装置は、化学処理ブロック、熱
   処理ブロック、金属蒸着処理ブロック、イオン注入処理
   ブロック、レジスト感光処理ブロック及びエツチング処
   理ブロックにおけるそ引、ぞれの処理装置をなしてｈる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の多数被処
   理品の処理設備。