JPS5979809U - 自動焦点装置 - Google Patents

自動焦点装置

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Publication number
JPS5979809U
JPS5979809U JP17663182U JP17663182U JPS5979809U JP S5979809 U JPS5979809 U JP S5979809U JP 17663182 U JP17663182 U JP 17663182U JP 17663182 U JP17663182 U JP 17663182U JP S5979809 U JPS5979809 U JP S5979809U
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JP
Japan
Prior art keywords
objective lens
field deflection
type objective
deflection type
electric field
Prior art date
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Pending
Application number
JP17663182U
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English (en)
Inventor
建夫 須賀
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP17663182U priority Critical patent/JPS5979809U/ja
Publication of JPS5979809U publication Critical patent/JPS5979809U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図、第２図は本考案の一実施例の構成説明図、第３図
は第２図の要部構成説明図で、Ａは正面図、Ｂは側断面
図、第４図は本考案の他の実施例の要部構成説明図で、
Ａは正面図、Ｂは側断面図である。 １・・・光源、２・・・コリメートレンズ、３’、３″
・・・電界偏向形対物レンズ、３１・・・レンズ本体、
３２〜３７・・・電極、４・・・測定物、５・・・スプ
リッター、６・・・光検知器、７・・・オートフォカス
回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 光源からの光を平行光線に変えるコリメートレンズと、
    該平行光線を集光する電界偏向形対物レンズと、該電界
    偏向形対物レンズとコリメートレンズとの間に設けられ
    前記コリメートレンズからの平行光線を通すと共に電界
    偏向形対物レンズからの光を反射するスプリッターと、
    該反対光を受光し電気信号に変換する光検知器と、該光
    検知器よりの信号を受けて前記電界偏向形対物レンズの
    電極に電気信号を加えるオートフォカス回路とを具備し
    てなる自動焦点装置。　　　　　゛−
JP17663182U 1982-11-22 1982-11-22 自動焦点装置 Pending JPS5979809U (ja)

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JP17663182U JPS5979809U (ja) 1982-11-22 1982-11-22 自動焦点装置

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JP17663182U JPS5979809U (ja) 1982-11-22 1982-11-22 自動焦点装置

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JPS5979809U true JPS5979809U (ja) 1984-05-30

Family

ID=30383967

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