JPS5980629U - クリ−ンル−ムの送風量制御装置 - Google Patents

クリ−ンル−ムの送風量制御装置

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JPS5980629U
JPS5980629U JP17649982U JP17649982U JPS5980629U JP S5980629 U JPS5980629 U JP S5980629U JP 17649982 U JP17649982 U JP 17649982U JP 17649982 U JP17649982 U JP 17649982U JP S5980629 U JPS5980629 U JP S5980629U
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JP
Japan
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clean room
control device
air flow
flow control
room air
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JP17649982U
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康司 遠藤
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Tonets Corp
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  • Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案による制御装置を用いたクリーンル
ーム空気調和装置の系統図、第２図は塵埃数が危険値に
到達するまでに要する予測時間の予測方式を示す図、第
３図は送風量設定出力の算定方式を示す図である。 符号の説明、１・・・空調器、２・・・給気ダクト、３
・・・圧力チャンバー、４・・・高性能フィルタ、５・
・・クリーンルーム、シ・・還気口、７・・・還気ダク
ト、８・・・外気取入ダクト、９・・・塵埃測定器、１
０・・・制御装置、１１・・・送風量調節器、１２・・
・送風量測定器、１３・・・送風量制御用操作器、１４
・・・圧力測定器、１５・・・圧力調節器、１６・・・
回転数制御装置、１７・・・電動機、１８・・・送風機
。 第２図 第３図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリーンルームの塵埃数を測定し、その値の時間変化に
    より塵埃数が危険値に達するまでに要する時間を予測し
    、その予測時間によってクリーンルームの送風量を制御
    するようにしたことを特徴とするクリーンルームの送風
    量制御装置。
JP17649982U 1982-11-24 1982-11-24 クリ−ンル−ムの送風量制御装置 Granted JPS5980629U (ja)

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JP17649982U JPS5980629U (ja) 1982-11-24 1982-11-24 クリ−ンル−ムの送風量制御装置

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JPS5980629U true JPS5980629U (ja) 1984-05-31
JPS6320921Y2 JPS6320921Y2 (ja) 1988-06-09

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010255898A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Omron Corp 送風制御パターン作成装置、送風制御装置、送風制御パターン作成方法、送風制御パターン作成プログラム、送風制御方法、および風量制御システム

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010255898A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Omron Corp 送風制御パターン作成装置、送風制御装置、送風制御パターン作成方法、送風制御パターン作成プログラム、送風制御方法、および風量制御システム

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