JPS5981630A - 非線形集積光学結合器およびそのような結合器を組み込んだパメラトリツク発振器 - Google Patents

非線形集積光学結合器およびそのような結合器を組み込んだパメラトリツク発振器

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JPS5981630A
JPS5981630A JP58178370A JP17837083A JPS5981630A JP S5981630 A JPS5981630 A JP S5981630A JP 58178370 A JP58178370 A JP 58178370A JP 17837083 A JP17837083 A JP 17837083A JP S5981630 A JPS5981630 A JP S5981630A
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wave
waveguides
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ミシエル・パブシヨン
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) この発明は、非線形の集積光学結合器およびそのような
結合器を組み込んだパラメトリック究振器に関する。そ
のような結合器は、電気的に制御することにより、共通
の結合領域を持つ2つの導波路の間で、その導波路の一
方により搬送される光エネルギの全てまたは一部を転送
することができる。
(従来技術) 「集積光学素子(integrated optics
 ) Jという用語は、′串、子的集積回路の製造に使
用される場什と同イ求に、付着、拡散およびマスキング
によるエツチングにより得られる、光信号を処理するた
めに使用される薄膜モノリシック構造を−Hい表わすた
めに使用される。七のような光信号の処理の請求としで
、周囲の媒体の屈折率よりも高い屈折率を持つという特
許を徊し、しかも一連の全反射または漸進性の屈折によ
り光を伝播させる導波路を形成する、緋形構造を製造す
ることが可能である。
そのような導波路をその通路の一部に2本相互しく並列
に配置して、方向性結合器を倚ることは公知である。か
すかな波動現象の結果として、第1の導波路で搬送され
たエネルギか漸進的に第2の導波路に通過し、その線形
構造の幾何学的・ぐラメークと光学パラメータ、特に両
方の導波路とその導波路を隔てている媒体とを構成する
材質の屈折率の値に応じて決まる、結合長さと称する所
定の長さの輪部で、転送されたエネルギの最大値が観測
され、そしてエネルギが第2の導波路から第1の導波路
へ、またはその逆に、漸進的に元に通過する。さらに、
導波路あるいは導波路を隔てる媒ギ部分を電気的に制御
することの可能な電界作用を結合長さに1・「用させる
ことにより、屈折率を変えることも、公知である。この
原理に基づいて、光波を搬送する導波路と並列に、その
エネルギの大きく変化する部分が転送される導波路細分
葡配礪、することにより、光変調器を得ることも可能で
ある。
さらに、導波された周波数ωの電磁放射線から、周波数
がそのωの倍数である導波された電磁放射線を製造する
だめの、周波数変換器もある。この周波数変換器は、薄
膜を用いたモノリノック構造である′1目、子的集積回
路と類似した用語として使用される、集積光学素子の分
野でよく使われる。
第2リン酸カリウム(KDP )の複屈折性結晶などの
異方性材料中を伝播する周波数ωの電磁波が、周波数p
・ω(pは2以上の整数)の高周波を起こさせることが
知られている。しかしながら、出現するエネルギのほと
んどは、変換効率が一般的に挑く普通であることを示す
基本周波数ωにとどまる。このような非線形現象はまた
、異なった屈折率を持つ2つの媒体の境界面における光
ビームの屈4ノ1および屈折を伴なう反射の除にも発生
ずる。
しかしながら、この変換現象の強さは前述の場合よりも
元号に小さい。
集積光学集子の分野では、間聰はこの非線形現象を用い
て過当な変換効率を得ることに関して生じるが、その理
由は、薄膜中への異方性材料の利、dか、爾−子的来槓
回路を製造するために使用される従来の方法では実現で
きないからである。
(発明の構成) 線形結合器と比較して、この発明の結合器では、入射波
の周波数とは異なる周波数で1つの波を発生することが
できる。2つの導波路の間の結合は、その導波路におけ
る同一の伝播電数を持つ種々の波長に対して生ずる。
さらに、この発明の結合器は、入射波と、非線形効果に
より発生されて異なった導波路内を伝播する波との空間
的分離ができるという効果を持つ。
この発明によれば、める種の材料の的えば3のオーダの
非常に大きな線形係数、すなわちニオブ酸リチウム(L
iNbOx )またはタンタル酸リチウム(LiTaO
3)における非線感度係数(non−1inearsu
sceptibility coefficient 
) x555を使用することができ、これにより、導波
路の間のよシ大きな相互作用効率と、比較的低い光出力
レベルに対する非常に大きな光エネルギ密度とが可能に
なる。
最後に、導波路に与えられる電界の助力により、相互作
用を調整することかでき、これにより、それらの種々の
導波路により伝送される波の間の位相整合を調整するこ
とが可能になる。さらにこの発明は、第2高調波発生な
どの+IIj単な非線形相互作用や、・Qラフト922
発振器に使用されるもののようなさらに複雑な相互作用
に使用することができる。
従ってこの究明は、入方向と出力部を刹″し、非線形′
r4j:光拐料で製造され、かつ少なくとも2つの導波
路4刹する千1川状の基板を具備し−C’+’i#成さ
れ、AiJ記少なくとも2つの導波路の一方か、前記基
板の表向上に配置されだ入射導波路を受け、前記少なく
とも2つの導波路が、予め決められた長さに亘って互い
に平行であり、かつ入射波放射線が前記−力の導波路か
ら前記1m方の導波路へ転送され1i+るような距離7
′こけ互いに隔てられ、一方の導波路が前記基板中への
11+イオンのイオン交換によシ倚られ、かつ地方の導
波路が基板中に局所的に集中されたチタンの拡散により
倚られる非線形集積光学結合器に関する。
さらにとの発明は、そのような結合器を組み込んだ・ぐ
ラメ) IJツク発振器に関する。
(実施例) 以下、この発明の詳細な実施例を、添付図面を参照して
説明する。
第1図および第2図はそれぞれ、線形光学で製造される
従来のスイッチ(結合器)の切断正面図および千−1図
である。基板3内に2つの先導波路(以下、単に導波路
とL″う。)lおよび2が挿入さ11.る。結合は、基
板3を構成する材料によって発生する。導波路1と2を
打ち込むため、例えば、シオブ酸リチウムの単結晶ウエ
ーノ・で構成される基板中に、チタンを拡散することが
可能である。
拡t1′i領域において、−笥Sのニオビウムがチタン
で1111央され、純粋のニオブ酸塩よシも高い屈折率
を持つ、式LiTiXNJ−XO3の混合された化合物
が侍られる。基板より高い屈折率を持つこの拡散された
狽域が、導波路1と2を構成する。拡散温既が材料のキ
ュリ一点より商い場合は、ウェーハを均一な電界にさら
すために連続的な冷却段階が使用され、ウェーハを均一
に分極し、従って[モノドメイン(mono−dorn
ain ) J構造を製造する。
電極1.0と20の曲に電圧が印加されると、第1図に
参照番号4で表わした線による市、界分布が生ずる。基
板の表面23に垂直な方向Cの電界成分は、2つの導波
路lと2において絶対値が同じで方向が反対であり、絶
対値が同じでかつ符号が反対の屈折率変動をもたらす。
しか17ながら、非ゼロ電界の、基板の方向Cに垂直な
方向の、異常な屈折率を持つ成分の存在と、与えられた
電界が、基板の2つの導波路の匿iの部分22の屈折率
の値を変化させる事実とによシ、ある種の非対称現象を
呈する。肖らノ′シる結合Q」:、電極20と21の間
に印加Gれる電圧の極性の関数として変化する。
最大の結合を烏える電圧の極性は、基板を構成する材料
の結晶配向によシ決めることができる。もしこの結晶i
Je向が未知の場合は、符号が反対の2つの極性に対し
て、一方の導波路により伝送される光の強さを測定する
ことにより、最適の極性を実験的に極めて容易に決定す
ることができる。
導波管の表面上にE&属電極を直接付着する場合は、比
較的吸収性の金属媒体中を伝播するかすかな導波の存在
により、結合器内のエネルギ損失をきたす。第1図に示
す方法では、これは、導波路1.2と電極10.20と
の間に透明な絶縁性の誘電体層11.21を配置するこ
とにより、防止することができる。この誘電体層は、導
波路によシ搬送される光の波長に対して良好な伝送特性
を有し、かつ導波路よりも低い屈折率を有する材料で、
製造される。基板がニオブkIJチウムで製造される場
合は、ノリ力(8102)が上記誘電体j−に特に適当
な材料である。
第2図に示すように、後VC定義する結合長さを・ぐラ
メータ関数とする長さしの直線部分に亘シ、それら2つ
の導波路1.2は互いに平行である。
直線平行部分間の距離は値dであり、この瞭dは、導波
路により 4&送される光の(2つの導波路を隔てる媒
体内で計算された)数波長を越えてはならない。2つの
導波路は、電界内に匝かれた時に屈折率が印加された電
界値の関数として変化つる同一の電光材料で製造される
。従ってこの材料の屈折率は、印加された電界が存在す
る時でも、基板3を形成する材料の屈折率以上であるよ
うに、選定される。
導波路1,2を形成する材料の電光特性によって、導波
路内の70;界線の分布は、実質的に絶対値か等しくか
つ符号が反対の屈折率の変動を生じさせる。
しかしなから、1つの波が1つの導波路で搬送される時
には、エネルギの一部が、かすかな波の形態で導波路の
外部の導波路の周囲の媒体内を伝桶する。
この波の振幅ケよ、導波路の壁部から遠ざかるに従って
、指数関数的に減少する。第1の導波路に平行に第2の
導波路ケ装置する場合は、そのかすかな波のこう配の結
果として、第2の導波路は第1の液中に搬送されるエネ
ルギを漸進的に捕獲し、2つの導波路が相互に接近する
程、その捕獲か急速しく、起こる。2つの導波路の幾例
学・Qラメータと光学・ぞラメータ、およびその導波路
を隔てる媒体の双方により足捷る、結合長さと称する)
ツ「定の距離の終端it1で、記lの導波路から第2の
導波路へ最大エネルギが転送される。この長さ以上では
、逆の現象が生じる。すなわち、最小値が第2の導波路
内に到達するまで、第2の導波路から第1の導波路へエ
ネルギが漸進的に転送される。存在する1つの媒体の屈
折率のいかなる変化も、結合長さ上の一方向址たは他方
向に作用する。
51↓1図および第2図に示す結合器においては、長さ
Lは、印加される電界が存在しない時の結合長さに等し
く選定することができる。結合領域における2つの導波
路の完全な対称性によって、エネルギ転送は全て第1導
波路から第2導波路へ(あるいは第2導波路から第1導
波路へ)行われる。電極20と21の間に電圧を印加す
ると、結合長さが減少し、エネルギの一部が第2導波路
から第1導波路へ(あるいは第l導波路から第2導波路
へ)転送される。全体的な結果は、旬、圧が増大するに
つJtて、結合長さの終端で測定した第1導波路から第
2導波路へ(あるいは第2導波路から第1導波路へ)転
送されるエネルギが減少し、最終的に転送エネルギはゼ
ロになる。電極に印加される電圧が」冑加すると、その
結果2つの導波路の間の結合が100elIから0%に
減少する。長さしに、ゼロ弗;界の下で結合長さの奇数
倍に等しい1]ηを力えると、結果は同じになる。
また、長さしに、ゼロ電界の下で結合長さの偶数倍に等
しい値を与えることも可能である。そして、電極間に与
えられる電圧がゼロから増加すると、結合はゼロから増
加する。
従って、串、気信号を制御することにより、結合鎖域内
に関連する、1つの導波路により他の導波路へ搬送され
るエネルギの全てまたは一部の切り侯えることのできる
結合器が、得られる。
仮に2つの導波路のうちの一方が、最小長さとして結合
領域の長さしを持つ区域に制限される場合は、上記結合
器は、他の導波路によって搬送されるエネルギの100
%を変調することができる。
しかし・tがら、非線形光学で動作することも可能であ
る。従って、前述した従来の結合器とは異なり、この発
明の結合器は、非線形集積光学方向性結合器である。2
つの導波路の間の結合は、その2つの導波路を隔てる媒
体中を伝播するかすかな波により発生するが、しかし、
導波路が形成されている基板内の非線形相互作用によっ
ても発生する。言い換えれは、これら2つの導波路間の
結合は、2つの導波路内に同一の伝播定数を持つ異なっ
た波長に対してのみ発生する。
そのような横這によれは、ポンピング波と非線形効果に
より発生される波とを空間的に分離し、その2つの波を
別個の導波路に伝播させることができる。
その上、ニオブ酸リチウムまだはタンタル酸すリウムに
おけるX333のような、ある種の材料における非常に
大きな非線形係数を使用することが可能である。
最後に、導波されるモード間の位相整合を行なうために
、導波路に与えられる霜−界の助力により相互作用をm
kすることができる。
「目ピンピング波」という用語は、エネルギを供給する
周波数ωの波、すなわち、第1図において第1導波路5
内を伝送される位相を定義するために、使用される。ポ
ンピング波向に誘起される分極は、 P−X + E + x2EE +xgEEE+・・・
の形である。但し、Eは、導波路が受ける電界、Pはそ
の′N毛界か誘起する分極である。項X 2 EEは周
波数2ωV(おける墳で、 eV2ωt−2β(ω)。
と書くことができる。
第2導波路では、周波数2ωの波が伝播され、その形は
6 i/2o)j−β(2u/z ) テアル。
従って、2つの導波路間の結合により得られる非線形結
晶内の第2高調波発生を圀にとると、周波数ωの第l導
波路中に導波されに)電磁放射線から、周波数2ωで発
生される出力は、 P (2(it )αAL2d2(−が^り)−ト搬Δ
βL/2   S で衆わされ、ここで、Aは使用している基板により決捷
る定数、P(ω)はポンプの出方、Sは相互作用が発生
する表面、Lは相互作用長さ、dは使用される非線形係
数、Δβは相互作用する波の2つの波ベクトル間の差2
β(ω)−β(G))を表わす。
従って、任意の導波路において、特定の電界分布で特徴
づけられる離散数の伝播モードに従ってのみ、輻射エネ
ルギが伝播できることが知らf’している。その上導波
路内のエネルギの伝播速度は明確に規定された値を示す
。この伝播速度には波数β=OJ/vP(但し、Vpは
位相連層)が対応し、そのため、時間tと横座標Xにお
いて、周波数ωの平面電磁波の電界Eと磁界は、A、e
(IJX−ωt)で表わされ、ここでAは合成振幅であ
る。量βはより具体的には導波路をイ1谷成する材料の
屈折率によって決まり、この屈折率自体は、導波路内を
伝播する波の周波数ωまたはp・ωと、導波路の厚さの
関数である。
2π β(ω)=−T−n(ω)である時に、P(2ω)は最
大である。
媒体が固体である時は、上記伎者の栄件はn(ω)=n
(2ω)に設定することと等価であり、これは−般に通
常の分散領域では不可能である。この条件を満足するた
めには、ある棟の材料、例えば第2リン自タカリウム(
KD2PO4)とニオブ酸リチウム(T=Nb05 )
を結晶クク1(に段(する伝播温度と方向に訓tjri
 して接合したものの複屈折が使用される。導波路では
、位相整合を実現するため、モード的分散からも助力が
イMられる。
これらの異なった原理を結合することにより、従東の光
学と導波光学の双方において、拘波数二倍器と・ξラメ
トリック発振器が製造されるようになった。
この究明の結合器においては、異なった方法で製造する
ことにより方向性結合器を形成する2つの集積光学専波
路において、相互作用を行わせることにより、そ−ド的
分散が使用さX′Lる。
第3図に不すように、この発明の結合器では第2商訓波
を考慮する。2つの導波路5および(以下、導波路lお
よび11と君う。)において、2β1(ω)=βII(
2ω) または、  β1/K(ω)=β’/K(2ω)(但し
、Kは真空中の光の波数)を立証することが可能な2つ
の導波路5および6を製造することね2、公知であると
仮定する。
これら2つの4波路を互いに数波長(数μm)の距離に
離すと、方向性結合器か形成される。この方向性結合器
はむしろ特別の形式のものであシ、その理由は、第1導
波路5内を周波数ωで伝播する1つの導波24と第2導
波路6内を周波数2ωで伝播するもう1つの導波25の
、周波数が)4なる2つの導波に対してのみ、2つの導
波路が共振するからである。一般的に、 /3/4 (ω)\β/、5((θ) オ、1: U 
β/rK(2ω) ’=#/、%(2ω)が得られる。
従って結合器は、第1導波路5内を伝播する周波数ωの
導波24と、第2導波路6内を伝播する周波数2ωの導
波25に対してのみ、共振する。
電光材料を使用すれば、導波路の屈折率を変化させ、2
つの導波路が共振する周波数ωと2ωを最終的に修正す
ることが可能であることが、明らかである。
導波路を形成′j−る材料が光学的に非線形であれば、
第1導波路5に周波数ωのポンピング波を結合した時に
、1史川される非線形係数と導波路相互の結合とVCよ
って、第1導波路が、第2導波路中を伝播する周波数2
ωの波を発生ずるととV」1、極めて明らかである。/
lE記すべきことは、β/I(ω)引〃“(ω) 1(K として、周波数ωのボンピング波は第2導波路6丙に結
合つれず(a′・るいは、結合されたとしても省略し付
る程度であり)、周波数2ωの導波25に関しても同じ
ことが適用さJL、この導波25は第1導波路5円に結
合されない。
相互作用4か位相補合中であるので、周波数2ωの汲は
、相互作用長さしについて強さの増加を持つ。出1」で
ひよ、周波数ωの波と周波数2ωの波を分killする
ために必櫟なことは、単に導波路を空間的に分PJIU
−Jるだけである。周波数2ωの波の強さQす、[コブ
ラ< C0BRA ) J形の電極28.29によって
、電気的に調整することができる。「コブラ」形電極は
、基板の両側の2つの導波路の両側に付着された′電極
により、集積電光回路に印加することのできる、出力が
比敷的低い′pl’:気信号により制御することのでき
る、高速の電光スイッチである。従ってこのスイッチは
、同一基板上に、かつ予め決められた結合長さ上で平行
に付着された、2つの特約エネルギ導波路を持つ。制御
電界を与えると、導波路相互の屈折率が変化し、従って
2つの導波路間の最大結合または最小結合を保証する。
チタンの拡散により祷られる2つの導波路を用いて、2
つの導波路により hi送される2つの波の間の位相整
合を行うことは不可能であるが、その理由は、2つの範
囲n(、(ω)−(ne(ω)+Δn6(ω乃とne(
2ω) −(ne(2ω)→−Δne(2ω))がその
位相整合を分離するからである。
ニオブ酸チタンの結晶中でこの位相整合を行うためには
、一方の導波路6をチタンの拡散で製造し、他方の導波
路5をイオン交換(例えば、H+)で製造すると、異常
なJ113折率n。を充分増大させることかできる。す
なわち、 一第2導波路6をチタン仮数で製造し;=第1導波路5
を例えばイオン交換で製造すると、(ne+Δne)H
<cne十Δn 6 )Hかりえられる。
1i(i−)で、ne(2ω)>118(ω)が得られ
るフm常の拡散の場合とは異なり、2つの範囲の交叉が
ある。
加えて、イオン交換によれば、非常に大きな屈折率の変
動(Δne−0,12−0,15)を得ることができ、
そのため、(no十Δn e ) l ((J〕))(
no+Δno)II(2ω)を得る。
これt」−1伝送モードの有効な屈折率を連結する、栄
14″β/4(ω) =#/;j(2ω)が満足され得
ることを意味する。
2つの導波路5と6の幅は必すしも等しくなくてもよい
か、第1導波路5の周波数ωにおける伝播i又と、第2
導波路6の周波数2ωにおける伝播定数は等しい。
この位相整合の条件が満足されると、結合器が共振し、
2つの導波路の111で、第1導波路5の周波数ωの波
と第2導波路6の周波数2ωの波に対して、エネルギの
交換かり能である。出口では、これら2つの周波数ωと
2ωで分離された波が存在する。従って、周波数ωでは
2つの導波路の間にエネルギ交換はなく、同1ポに周波
数2ωでもエネルギ交換ばない。
従って、一般的に、 である。
従って、位相jセ合を調整または予めrA整するために
は、電極に与えられる分極に作用することが可能である
。この分極は、基板の異常屈折率の輔である、結晶軸C
に平行である・ この場合に、2つの波は異常分極?持つが、その理由は
、イオン交換のみがn6を増大させ、そのため、ニオブ
W ’)チウムの最大係数であり、かつ位相整合の未解
決の間鴎のために、従来の結合器では使用できなかった
非線形係数X333を使用することか可能だからである
。タンタル11クリチウムについても、同じ結果か青ら
れる。
AiJ述した方法は、3つの導波路を持った、形状がよ
り複雑な非線形の方向性結合器においても使用できる。
この場合は第4図に示すように、チタンの拡散によって
得られ、導波路6と同一で、周波数2ωで内挿に波が製
造される、第2導波路7が使用される。従って、導波路
5の両側に存在する2つのかすかな波が使用される。
注6己すべさことは、第4図に示す周波数2ωの波を伝
J11iする2つの導波路6と7は、牢−モードの導波
路によシ単一の出力導波路8に再結合できるということ
である。出力導波路8における2つの波25.26の再
結合に先立って、この2つの波25.26の相対位相を
、電極12 、13 。
+ 4 、 i 5で調整することが可能である。この
形状においては、相互作用の効率は、前述の実施例で得
られる効率よりも当然に大きい。
上述した結合器と同じ形式の結合器を用いて、第5図に
示すようなノEラメトリック発振器を製造することが可
能である。従って、非線形媒体内IiC通;19jする
周波数ω、の強いポンピング波により、ω、−ω8+ω
、であるような周波数がそれぞれω1とω8の2つの波
を會む分極を起こすことかでさる。
この現象は原理的に、交v11.の・ぞラメトリック増
幅において誘起される現象と同一である。類似として、
ω、ハホンピング波と叶u−れで、系内にエネルギを供
給し、他方、対称的な動きをするOJiとω。
は1−信1号波」および[アイドル波」と呼はれる。
次いで、発振器を製造するために、i9ラメトリック増
幅を1更用することかでき、レーザのキャビティと同一
のキャピテイ内に非線形媒体を組み込む。この1パラメ
トリックgh器」は、その伝送かレーザと同じコヒーレ
ント特性を呈し、その周波数を連続的に変化させること
ができる点で興味あるものである。従って、ω、が予め
決められると、スタート時の条件に関する2つの波ω1
とω3を見い出すことが必要である。その上、周波数ω
iで発振器を構成したい場合は、波ベクトルkiの方向
をキャビティで負わせる。
例えばω、が第2リン酸カリウム(KDP )の結晶内
に異常波として伝送される場合は、k8の谷値に対して
、ω1+ω8−ω、のような一対の通常の波(ωi、ω
8)が存在し、kiとkpの所定の方向についてJ+k
s=kP  が力えられることが示される。
ωiとω8の値は、ω、の方向に対する結晶の角度θを
調節することにより決められ、ω、の方向は、異常波に
対してはθに依存するものとして、あるいは結晶の温度
を修正しないものとして決められる、k、を変化させる
従って第5図VCおいて、ポンピング波が導波路6内を
伝播され、惰号波とアイドル波は、ωS+ωl−ωp β1(ω!り十β1(ωi)=βI+(ω、)の条件に
従って、導波路5内に製造される。(注記すべきことは
、他の組合せ、例えば導波路5内のω8と導波路6内の
ω1とω、が可能でなければならない、ということであ
る。) 利得が充分であれば、例えば導波路50入力端と出力端
にω8とωiで反射性付着12と13を製造することに
より、導波路5(’l:たは導波路5および導波路6)
中に負帰還を製造することにより、結合器を発振させる
ことが可能である。結合器の伝送波長は前述の式により
決まる。11勺に、その伝送波長は、2つの導波路の屈
折率を、従って同じ整合条件を4h 、−iEする′電
界の作用に」こり、修正することができる。従って、波
長を電気的に調整することのできる・ぐラメトリック発
振器を製造することが可能である。この発振器は、負帰
耐を実現するために使用する手段の関数として、(周波
数ω、における)単−共振形、または(周波数ω8とω
1における)二重共振形になり得る。
従って、ωp−ω8+ωi であり、かつ同時に位相整合を行う、周波数ω、。
ω8およびω1において波を供給するパラメトリック発
振器を製造することが可能である。
これら2つの導波路の屈折率を変えることにより、周波
数が変化する。従って第5図において、そのようfz%
振器は、第2図に示す結合器に対する技術と同じ技術を
用いることによシ、すなわち、導波路6を基板内のチタ
ン拡散によシ製造し、かつ導波路5を同じ基板内の例え
ばHイオンのイオン交換により製造することによシ、製
造された。
この場合110、ニオブ岐リチウム内の非常に高い係数
X336を用いることも可能である。電極の位置および
その′電極に印加される電圧に作用することにより、出
力波の周波数を変えることが可能である。
ま ダた、第6図に示すような、チタンの拡散により得られ
る導波路6が、イオン交換により得られる2つの導波路
5および30の間に位置するような改良を実現すること
も可能である。反射性付着12.13,31.32が、
導波路5および3゜の人力面」二と出力面上に製造され
る。従って、導波路5において周波数ω8とωiの波が
存在し、導波路30において周波数ω8′とωi′の波
が存在する。
この発明に関して考察した全ての場合において、温度を
作用させることにより、導波路を調整することが可能で
ある。従って、基板中へのチタンの拡散は、約1000
℃で数時間のINJ発生し、例えばH+イオンのイオン
交換は、約250℃で約1時間の間発生する。
この発明において考慮する導波路は、必ずしも単一モー
ドの導波路である必要はなく、考尽される周波数は、導
波路中を伝送されるモードの周波数である。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来の結合器の切断正面図および
平面図、第3図はこの発明の結合器の平田1図、第4図
はこの発明の結合器の変形タリの平面図、第5図はこの
発明の結合器を組み込んだ・やラメトリック発振器の平
面図、第6図は@5図に示すノ4ラメトリック発振器の
変形ylJの平面図である。 3・・・基板、5,6.7・・・導波路、8・・・出力
導波路、12.13,14.15・・・電極、28.2
9電極、30・・・導波路、31.32・・・反射性付
着。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)人力曲と出力面を有し、非線形電光材料で製造さ
    れ、かつ少なくとも2つの導波路を有する平面状の基板
    を具1jNf して構成され、前記少なくとも2つの導
    波路の一方が、前記基板の表面上に配置された入射導波
    路を受け、前記少なくとも2つの導波路か、予め決めら
    れた長さに亘って互いVC平イ〕であり、かつ入射波放
    射線が前記一方の導波路からMj記1’h力の導波路へ
    転送されイ4!るような距肉1¥たけ互いV(隔てられ
    、一方の導波路が1り記基板中へのH″−イオンのイオ
    ン交換によシ得られ、かつ能力の導波路が基板中に局H
    r的に集中されたチタンの拡散により伶られる非線形集
    積光学結合器。 (2〕  周波数ωの入射波を受ける第l導波路と、結
    合により製造される周波数2ωの波を伝送−J−る第2
    導波路と、前記周波数ωの入射波と前記結合によシ製漬
    される周波数2ωの波との間の位相整合を実現するため
    に、MOO20の導波路の互いに平行な部分の少なくと
    も一方に変調用の電界?印加する電界印加手段とr具備
    して構成される特許請求の範囲第1項記載の結合器。 (3)基板が複屈折性材料で形成され、電界印加手段が
    導波路の両側に配置された′電極で形成され、該f4i
    、極が、前記基板の異常屈折率を示す軸に平行な分極を
    前記基板内に製造する特許請求の範囲第2項記載の結合
    器。 (4)第2導波路と同じ形式の第3導波路が設けられ、
    かつ該第3導波路が第1導波路の前i1第2嗜波路と反
    対側に配置され、該第2導波路と該第3導波路が出力側
    で再結合されて、単一の出力導波路を形成し、前記第2
    導波路と前記第3導波路により搬送される相対位相ケ、
    前記出力導波路における再結合に先立って調整する手段
    が設けられる特許請求の範囲第2項記載の結合器。 (5)基板が高い非線形係数を持つ材料で形成される特
    許請求の範囲第1項記載の結合器。 (6)基板が、而いオーダ3の非線形感度係数x333
    を持つニオブ酸リチウムで形成される特許請求の範囲第
    5項記載の結合器。 (力 基板が、高いオーダ3の非線形感度係数X333
     ヲ持つタンタル酸リチウムで形成さ)しる特許請求の
    範囲第5項記載の結合器。 (8)基板が第2リン酸カリウムで形成される特許請求
    の範囲第5項記載の結合器。 (9)特許請求の範囲g1項記載の少なくとも2つの導
    波路を組み込んだ非線形集積光学結合器を具備して構成
    されるパラメトリック発振器において、第2得波路がノ
    司波数ω、の入射波捷たはポンピング波を受け、第1導
    波路が6ノ、=ω8+ω1であるような周波数ω8とω
    1の2つの波を結合によシ伝送し、少なくとも第1導波
    路中を伝播する一方の波を反射するために、反射性付着
    が基板の入力面と出力面に配置され、周波数ω8とω1
    を調整する周波数=整手段が設けられることを特命とす
    るパラメトリック発振器。 (11)  周波数調整手段が第1導波路と第2導波路
    の平行な部分の両側に配置される電極を具備して構成さ
    れ、周波数ω8とωiの調整を行う特許請求の範囲第9
    項記載の/eラメトリック発振器。 αη 巣1導波路の第2導波路と反対側に配置された、
    該第1導波路と同じ形式の第3導波路を具備して構成さ
    れ、該第3導波路が周波数ω8′とωi′の2つの波を
    結合によシ伝送し、少なくとも該第3導波路中を伝播す
    る1つの波を反射させるために、基板の入力面と出力面
    に反射性付着が付着され、さらに前記周波数ω8′とω
    1′を調督する周波数調整手段か設けられる特許請求の
    範囲第9項記載のノやラメトリック元振器。 αつ 周波数調整手段か、導波路の平行な部分の両側に
    配置された′電極を具備して構成される特許請求の範囲
    第11項記載の・ぐラメトリック発振器。
JP58178370A 1982-09-28 1983-09-28 非線形集積光学結合器およびそのような結合器を組み込んだパメラトリツク発振器 Pending JPS5981630A (ja)

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