JPS598172A - 磁気ヘツド用光学サ−ボ装置 - Google Patents

磁気ヘツド用光学サ−ボ装置

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JPS598172A
JPS598172A JP8283883A JP8283883A JPS598172A JP S598172 A JPS598172 A JP S598172A JP 8283883 A JP8283883 A JP 8283883A JP 8283883 A JP8283883 A JP 8283883A JP S598172 A JPS598172 A JP S598172A
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/596—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks
    • G11B5/59677—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks with optical servo tracking
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82—Disk carriers

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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は磁気ヘッド用サーボ・システムに関し、芒らに
具体的にいえは、光学的サーボ情報ケ有するイ)大気デ
ィスクに関連して磁気ヘッドの位置決めケ行うシステム
に関するものである。
〔先行技術〕
I BM  Technical  Disclosu
reBulletin Vow、 16 &4(197
3年9月)の第1082頁には、1対のレーザーならび
に磁気ディスク上でトラックケ形成するカムヶ検出する
検出器ケ搭載したスライダが示芒れている。
IEEE  Transaction  On  Ma
gnetics。
MAG −16A5 (1980年9月)の第661乃
至633頁にと、黒色染料のトランクで被覆妊れたアル
ミニウム基板が示芒わでいる。磁気被覆フイルムハ゛、
着色層と非情色層ケ交互に含む基板最上面に設けられて
いる。光ファイバーによって7− ム上のLED孕スラ
スライダーのヘッド・コアと接続することが必要となっ
ている。
米国特許第4123788号には、反射層の上に磁性層
ケ設けた磁気記録媒体か示芒れている。
レーサー・ビームによって磁性層ケ部分的に焼損するこ
とによって、サーボ情報ケもたらす反射パターンが形成
訟ねでいる。このサーボ情報ケ読取るためにL E I
)及びフォトダイオードケ使用した光フアイバー検出器
が用いられている。別法と1〜で、写真製版技術によっ
てサーボ情報ケ記録することもできる。
I BM  Technical  Disclosu
re+3ul Ietin Vol、21A、 10 
(1979年6月)の第4259乃至第4260頁には
、フロッピィ・ティスフに永久的なサーボ・マークとし
てのくぼみケ形成することが示されている。
〔発明の概要〕
本発明の目的は磁気ティスフに関連して磁気ヘッドの正
確な位置決めkO]能ならしめる簡単で経済的な光学的
サーボ装置in:勿提供することである。
不発明に従って、磁気記録層ケ有する磁気ティスフに関
連して磁気ヘッドの位置決めr割I’llする7tめの
磁気ヘッド用光学す−ボ装wv’、is気テイスクの磁
気記録層の上に設けらハて反射率の変化ケもたらすサー
ボ・パターンケ記録したサーボ・トランク層と、磁気ヘ
ットにイ」随していてサーボ・トラック層の反射率の変
化に応じて動作特性ケ変えるレーザ一手段とを有する。
この様な構成によりば、データ記録用の領域の1部rサ
ーボ情報の記録のために割く必要はないので、トランク
密度の高い磁気ティスフに関連して磁気ヘッドの位置決
めケ制御するのに適しており、構成も比較的簡単である
。
〔実施例〕
第1図は、本発明による磁気ディスク装置において用い
られ、る磁気ディスク9ケ示している。アルミニウム合
金等の非磁性材料で造らft、でいる基板10は、その
腐食ケ防ぐために耐食性ケ有する非磁性材料から成るク
ラッド層11によって覆ゎねでいる。望ましいクランド
層としては、米し14力許第4079169号に示され
ているコバルトケベースにした合金やその他の材料が用
いI−)才する。
望ましい磁気記録層12としては、鉄、コバルト及びク
ロムからなるものが用いられるクロムの薄膜16は、厚
芒約10〜20nmのイ」着層勿もたら丁。fl史いオ
ーツ?−コート層14U1ヘッドが7jtたまその飛行
特性を失なって磁気記録91層11体と一時的に接触し
たとき、開始および停止の間に磁気層12ケ摩耗から保
護する目的に使用きれるものである。最」二層15は厚
さ約20〜40nrnのシリコンなとの刊本Iてできて
おり、なめらかな表面16ケ有する。層14と15に1
ザントインチ状の被段層8ケ形成している。被恍層8(
14および15)d1特願昭57−41834号に示さ
れているようにレーザー光線ケ受けると、光学的に見え
るマークを形成する性質ケ有する。この特許出願は、竹
にRh、 P tSItdなどの金属膜上のシリコン膜
に関するものである。最上層15は無定形シリコンから
17にることが望捷しい。無定形ンリコン壕lこは類似
物の層15の厚きは、レーザー光線の波長におけるティ
スフ表面の反射率と、サーボ指標として使用される磁気
記録ティック9の表面16上のマーク・アレイの反射率
とが著しく異なるように選択畑力でいる。
第2図(l−jRh/Si二層構造の典型的な反射特性
を示したものである。Rh層14 u’JIP G 4
5 nmであシ、81層15の厚さは曲線Aの15nm
  がら曲線Fの4Dnmまで5nm刻みで増加してい
る。
必要ならば、レーザー光の波長での反射率が最小になる
ようにSiij5の厚芒勿選択づ−ることかできる。例
えば、曲線B ij 600Amの波長で反射率が0%
になることケ示している。820Amの波長(Ga  
A/−Asレーザー・ダイオードx     1 −x の出力波長)では、反射率が8係になる曲線Eが選択さ
れる。
この構成物ヶレーザー加熱して層14と15の拐料間で
反応″!、たけ相互拡散ケ起こ芒セることによって、多
層フィルム上にサーボ・トランク・パターンとなる指標
ケ形成1−ることができる。Rh層上のS1層の場合、
レーザーで1込んだスポットは反応してR112S r
 ケ形成し、その反射率は、約50係となる。レーザー
で宵込んだ指標と背景の間の光反射率の差は約42係で
あり、容易に検出できるコントラス]・ケもたらす。
第6図は、レーザー光線の典型的出力レベルに゛示し5
たもので、これは厚σ10〜ろOnmのII h層1−
1に光学的記憶のための30 nmのsiI@r形成し
7jRh/Si二層+17L造」二に、直径i 71m
 のスポットの片2のテーク・ピントケ書込むのに使用
itする。
丸字サーボIII Kする」混合には、サーボ・トラッ
ク勿形成するように多数のスポット2含む大きなアレイ
若しくはパターンか書込丑れる。
サーボ・トランクケ形成する技法&、j’いくつかある
。てきノ1.ば、」二記のようにレーサー反応ケ加える
のかよいか、レーザー研摩、密着印画、エンボスおよび
フ第1・レジスト・フィルムの露光に用いた写真製版技
術によってもできる。
第4図は、磁気記録トランクMTおよび光学サーボ・ト
ランクOTi備えり磁気テイスク9ヶ示し左ものである
。回転する磁気記録媒体Mの上方に空気力学作用によっ
て浮上するのに適したスライダ17は、トランクMTの
読取り又け1込みケ行うための磁気変換器19とトラッ
クOTの読取9足行うための光学変換器21に支持して
いる。
ディスク表面」二でスライダ4半径ブ5173]に位置
調節ブーるため、磁気ディスク・システムに使用−gf
′lる各種のサーボモータ祷構によって作動で第1る部
4218によってスライダ17が支持づわでいる。第5
1図は、第1図にもとづく磁気記録層12および光学記
録層8ヶ備えた磁気ディスク9ケ示した・ものである。
層8の表面上のスポット2oは、光学変換器、即ちレー
ザー・ダイオード21への光学的フィードバック勿変調
するために使+11芒れる。
光かフィートバンク3iると、ダイオード21 iI:
J異なる動作特性勿生じるか、本発明ではそtL ’、
1利用して、ヘッドかトランク上にあゐか一?ノ1とも
トランクから離層、でいるかケ示づ−ため、あらかじめ
定めた周波数で電圧の変動ケ生じることによって、ディ
スク上に光学的に読取り可能な指標ケ検出することかで
きる。第51図には、ダイオード21のチャネル26か
らの直進光線すが示しであるが、これが反射してダイオ
ード21のチャネルに入り、ダイ、l−−トの電圧変動
ケもたらづ−。ダイオード21から外側に向った光線(
0)は反射してチャネル26から外れるので、ダイオー
ド21の出カケ変ljfる効果ケもたない。その結宋、
検出器の空間的分解能は、ディスク表面−1−の照射ス
ポットの・」法よりもかなり高くなる。すなわち照射ス
ポット中心伺近の領域から反射してもどる尤だけが、1
/−ブーの活性領域にもどり、そこで検出器わる。
磁気ディスク9」二のサーボトランクは、表面16から
の逆反射fC,を用いて第51図のレーザー・ダイオ−
421の動作特性ケ変調することによって、読工(ゾら
)する。1911えは、定電流源によってダイオード2
1ケ励振芒せることかでき、ダイオード両端間の電月:
変動が監視芒れ検1」Xてれる。逆反射光により、レー
ザーの放出領域直下のディスク表向16の反射率に応じ
て、ダイオード21の動作電圧か変化する。光学パター
ンによって生じるダイオード両端間の電圧変動に、所望
のトランクの中心からの変位の関数となる。
ダイオード21から表面16への光学経路は、簡+11
.である。ダイオード211rJ−7+Ti気ヘツドの
スライダ7に直接取伺けら才1、ディスク表向の上方約
0.25〜I D OD 71mの高子の所ケ飛行する
。ディスク9の表面16から反射した光は、ダイオード
21に直接もどって入る。
第52図は、742290表面16から距離(Iの所に
配置芒力たレーザー・ダイオード21ケ示したものであ
る。ダイオード21のリード両端間の電圧変動が第56
図に示しであるが、dか増加するにつねて、最大電圧変
動ないし振幅d1電川の上限の包絡線ケ示す点線に沿っ
て下向する。実線から、光学経路の長石が増加するにつ
)1て電圧の振幅が変動し、光学的波長の半分の周期で
、波の加算および減算効果ケもたらづ−ことかわか谷。
しかし、距離が大体75μm  ケ越えると、変動し」
−約1mVのピーク電圧変動の所で安定する。このテー
クは、反射アルミニウムから構成子ノ1.た衣面ケもつ
媒体について、860nmで作動するGaA]As注入
二重へテロ構造レーザー研摩いて収集したものである。
レーザーの精密な周波数は変動することがあるが、この
発明の操作に1、周波数のイ・vIかな変動に対して不
変である。市原から給電芒れろ所有の電流に対するダイ
オード両端間の電月二は、デイスク9の表面16からの
逆反射光によって変調さノ1.るか、埠54図の電圧(
■)〜電流(L)特性かられかる様に、反射領域で相電
圧かより大きく、(曲線M)非反射領域では電圧けより
不埒い(曲線NM)。すなわち、表面16上に反射率の
大きな領域と小さな領域ケ交互に設けることり(よって
、断力の定電流で電圧変化Δv2ダイオード21の出力
端子に生じることかできる。反射・領域と非反射領域に
よる電圧の変化率が変動するためティスフ9上での光学
変換器21のトランク位置の関数として変動周波数の出
力が生しることにより、ティスフ上でのヘッドの位置ケ
検出づ−ることかできろ。
第61図ないし第63図は磁気記録トランクMTの両側
に形成芒わたマークから成る光学サーボ・トランク0T
−1乃至0T−3ケ示しており、これはヘッドかトラン
ク土留通過するとき中心から外れている場合にレーザー
両端間の電圧に変動基本周波数ケ生じる。ヘッドが1−
ラック上でセンタリング芒工1、でいる場合、トランク
の両側のマークか等しく検出づれ、従って電圧の変調は
第2調第14図は、レーザー・フィードバンク検出器の
もう1つの具体例ケ示したもので、検出ダイオード41
かレーザー・ダイオード21の後面側に配置芒れている
。レーザー ・ダイオード21は定電流によって励振σ
)1、十の前面から出てティスフ表面16によって反射
8れてレーザー空胴にもどる光によって、動作条件が変
化づ−る。反射光に1位相に応じてレイ−光の放出全増
大させる事も減少芒せる事もできる。検出タイオード4
1で後面からの九葡測定することにより、この放出の変
化が検出σ第1る。光学的収束素子r使用していないけ
れど、借間的分解能は高い。これは、ティスフ表#iT
 16上のスポットの中心付近からの反射光だけがレー
ザー空胴にもどるためである。第51図および第15図
の配置の検出器は、複雑な収束用捷たは調節用光学素子
ケ必要とせずに、微細サーボ・パターンの検出のための
高い空間的分解能ケもたらす。
第6.1図は、光学変換器21によって検出器わる光学
サーボ・トランク0T−1?z示したものである。この
場合、サーボ・トランクOT−1は磁気記録層12中の
磁気トラックMTk横切って左右に波打つ連続溝である
。第62[ネ1は、トラックMTの両側に交互に配置烙
れたスポットから成るサーボ・トラック0T−2に示し
たものである。
第63図は、トランクM Tの両側に交互に配置された
矩形セグメントからIソるサーボ・トランク0′F−6
ケ示したものである。
トランク0T−1ないし0T−6によって光の反射の一
様な変動が生じ、それによってダイオード21中に光学
的フィードバックの変動勿生じて、ダイオード21の両
端間の電圧r変調1−る。ダイオード21がトランクM
TJ二でセンタリング芒れている場合には、ダイオード
21の電圧は位置検出システムからほとんど出カケ生じ
させない第21AI波周波数で変動する。出力が小さい
のは、後で述べる様に位相検出器が第2調波信号ケ拒絶
するためである。
逆に、ダイオード21かトラックMTの中心から外れて
いる場合には、光学的マークによる反射変調の周波数は
、トランク位置上で受取る周波数の半分であり、従って
より低い周波数イぎ号がフィルターケ通過し、その結果
位相検出器からの出力信号が大きくなる。
第7図は、ディスク9の表面16上のサーボ・トランク
0T−ni読取るとき、ダイオード21の出カケ処理す
るのに使用でれる回路ケ示しICものである。ダイオー
ド21の本体22がレーザー光チャネル23’(f取9
巻いている。ダイオード本体22は、スポット24でワ
イヤ26と接続芒〕17、チャネル26σ点25でワイ
ヤ28と接続さノ1.でいる。ワイヤ26け、ノードD
K接続芒ノ1ている同軸ケーブル27中のワイヤ28 
f+]の接地1tYI軸シールドである。電源Vから抵
抗器29、ノードI〕、ワイヤ28ケ経てダイオード2
1に電力が供給芒れる。ノードI)に送られた信号は、
高域増幅器ンステム中ケ通過する。このシステムは入力
結合コンデンサ30.フイードバンク抵抗器3ろ、フィ
ートバンク・コンデンサ39、増幅器32 ’、r:含
んでいて、コンデンサろOが人力ノードI〕とI>の間
にあり、増幅器ろ2、抵抗器33及びコンデンサ39か
ノードEと1”の間で互いに並列に接続芒わている。
コンデンサ’50は、すべての直流信号r阻止する働き
ケする。抵抗器33とコンデンサろ9の時定!5!は、
第8図に示す応答RDF’xもたらすのに充分であり、
ディスクかあらかじめ定めた角速度で回転しているもの
とすねは、その応答は第61図ないし第6,3図の何れ
かのパターンによって生じる周波数よりも低いカットオ
フ周液数f にまで上昇する。すなわち、ディスク上の
パターンによって引起こ芒れるダイオード21の出力の
変動がノードDからノードFに移るか、低周波数の雑音
は除去される。ノードFからの出力は、相対的に低周波
数の帯域フィルター35へ送らズする。このフィルター
の通過帯域の中心周波数はヘッドかトラック1ケ外ねて
いるときのパターン基本周波数f にほぼ等しく定めら
れているので、ヘッドがトランクMT上にあるときけ、
第9図のノードF−G間の応答R6Fによって示される
ように、より高い周波数(2f )の信号はフィルター
ろ5によって除かれる。そのPf果ベヘン・がサーボ・
トランクMT上にある場合に生じる出力の方か、ヘッド
がトラックMTから外れているときノードGで受取る出
力よりも小σく庁る。位相検出器ろ7か基本信号の位相
と振幅音検出し、−rtlから所与のトランクMTの中
心からのヘッドのずわの大きさと方向か導かれる。
第10.1図は、斜線を施した円LBKよって示したレ
ーザー光線がたどる複数のトランク1.2.6.71示
したものである。第102図りXそノ1.に対応する信
号S1、S2、S3欠示したもので、光線LBか進路1
ケたどる場合、ディスク上のスボン)SP 10所で最
高電圧ケ生じ、トランク6の場合はスポットSP  の
中間にあるスポットSP2の所で最高電圧ケ生じること
勿示している。トラック2に対する応答信号S2U’、
スポットSP1およびSP の所でピークになるが、振
幅は非常に小さい。反射されてレーザー・ダイオードに
フィードバックされる光線の割合が増すので、光線反射
(dずつと不埒な程度Kまで減少1−ることになる。
卯、11図は、位相検出器37 V(、送られまた七ね
によって生成埒わる一絹の信号ケ示したもので、この検
出器は、第10.2図に示すSlのような信号ケ受取る
。信号の符号は、半サイクル毎に変化する。ザイクルの
始ま!llケ、第11図の垂直線で示しである。光学変
換器がトランク1ケたどるとき、平均出力Solは正と
なる。もちろん、トランク3についての平均出力S06
は丁度逆になるはずである。
第12図は、平均出力S1゜とトラ゛ツク位i6の間の
関係r示したものである。トラック1Vc対しては正で
あるが、トランク2(MT)J二ではゼロとなり、トラ
ックろについては負と女る。
第131図は、pio、1図に示した形式のトランクと
スポットのアレイケ示したものであるか、スポットsp
   sp  およびトランクN、N−14 1ケ追加しである。
第132図は、位相検出器の平均出力80ケ示したもの
であるか、隣接するトラ・ツクで傾きが逆になっており
、従って測定孕開始した1−ラ・ツクに対してどちらか
の方向に変位しているかをこの信号で示すことかできる
0 種々の出力レベルのレーザー光線7.(40又は100
ナノ秒間照射してサーボ・トう・ツクとしてσ)スポッ
トに形成してみた結果、40ナノ秒で13mWのレーザ
ー光線が最適であった。
第15図は°、第14図に示した形式の構成ケ示したも
ので、検出ダイオード41によってレーザー・ダイオー
ド21からのレーザー・エネルギーケ測定できるように
、両者か整列して半導体チ・ノブ17に組込1れている
。
第16図に示した別の具体例では、レーザー・ダイオー
ド21はチップ17′上に形成きれ、検出ダイオード4
1はそれに隣接するチップ17″上に形成芒カフている
。要するに第14図に1y1シて説明した如き装置勿具
体化するのに2−h)のチ゛ノフ。
ケ使用することもでき、植−一のチ・ンプr使用するこ
ともできる。
【図面の簡単な説明】
第1図−−上面に光学サーボ・トランク用の被覆層ケ(
!Xiえた磁気ディスクの概1略断面図である。 第2図は第1図の磁気ディスクの上面に光学的に読取り
可能なサーボ・トラッキング情報ケ形成するために異な
る6種の浮子の上部無定形ノリコン層ケ使ITILyc
!合のRh −S i二層の反射率と波長の関係勿示す
図である。 第6図は、第1図の11 h −S i二層上にサーボ
情報’it”4込むのに必要なレーザー・パルスの幅と
トランク書込出力密度との関係ケ示す図である。 第4図は本発明にもとづく光学的フィードバラフケ使用
したサーボ用の光学変換器及びテータ記録用の変換器ケ
備えたヘンド葡示づ一図である。 第51図は第1図の磁気ディスクとその表向上方で浮」
ニする第4図の磁気ヘッドとの関係ケ示す図である。 第52図は第51図のヘッドに設けられているレーザー
・ダイオードと磁気ディスクとの関係ケ概略的に示す図
である。 第53図はレーザー・ダイオードのリード両端間の電圧
変a11と、磁気ディスクからレーザー・ダ 、イオー
 ド捷での距離との関係ケ示す図である。 第54図はレーザー・ダイオードの下方に逆反射光の光
学的フィードバラフケ生成する反射1ri+がある場合
およびそねかない場合のレーザー・ダイオードについて
の′電流−電圧の関係ケ示す図である。 第61図、第62図及び66図は磁気トラノクケ中心と
する光学サーボ・トランクとしてのパターンケ示・す図
である。 第7図1l−1′第61ないし第63図に示′1一様な
サーボ・トランクに関連しているレーザー・タイオード
から信号ケ受取って処理するための回路ケ示す図である
。 第8図は、第7図のノードDとツートド゛との間のロー
ルオフ増幅器の周波数応答ケ承り一図である。 第9図は゛帯域フィルターの周波数応答ケ示す図である
。 第101図は第62図に示した種類の光学サーボ・トラ
ンフケ説明の便宜上直線状にして示す図である。 第10.2図は第101図の配置で、レーザー光線L 
Bがトラックn=1.2.3にたどるときの応答信号の
レベルと時間の関係ケ示す図である。 第11図は第101図および第102図のトラック1ケ
たどるときの応答信号と位相検出器の出力(So)およ
び平均出力87ケ示す図である。 ′1 第12図は第101図のトラック1からトラックろに移
る間の位相検出器の平均出力(So)の変化ケ示す図で
ある。 第13,1図は第101図のものと類似のサーボ・トラ
ンク勿示す図である。 第16.2図は第131図のトラックN−1、N1N 
−1−1について盆横切るときの平均出力S00変化ケ
示す図である。 第14図は磁気ディスクの表面から浮上しているヘッド
に設けられているレーザー・ダイオードと検出ダイオー
ドとの関係裟示す図である。 第15図及び第16図は°第14図におけるレーザー・
ダイオードと検出ダイオードとrlつのデツプに搭載し
た構成及び2つのチップに分けて搭載した構成ケ示す図
である。 8・・・・光学記録層、12・・・・磁気記録層、17
・・・・スライダ、21・・・・光学変換器(レーザー
・ダイオード)。 出願人インターサシ田フフv−ヒシネス・マシーンス・
コーポレーンヨン代理人  弁理士  山   本  
 仁   朗(外1名) FIG、 5.1 FIG、5.2

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 磁気記録層を有する磁気ディスクに関連して磁気ヘッド
    の位置決め音制御するためのサーボ装置であって、上記
    磁気ディスクの磁気記録層の上に設けられて反射率の変
    化ケもたらすサーボ・パターンケ記録したサーボ・トラ
    ンク層と、上記磁気ヘッドに細隙していて上記サーボ・
    トランク層の反射率の変化に応じて動作特性ケ変えるレ
    ーザ手段とケ有することケ特徴とする磁気ヘッド用光学
    サーボ装置。
JP8283883A 1982-06-30 1983-05-13 磁気ヘツド用光学サ−ボ装置 Granted JPS598172A (ja)

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