JPS5982999U - プラズマ装置用放電電極 - Google Patents

プラズマ装置用放電電極

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JPS5982999U
JPS5982999U JP17871882U JP17871882U JPS5982999U JP S5982999 U JPS5982999 U JP S5982999U JP 17871882 U JP17871882 U JP 17871882U JP 17871882 U JP17871882 U JP 17871882U JP S5982999 U JPS5982999 U JP S5982999U
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JP
Japan
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discharge electrode
plasma equipment
electrode
plasma
equipment
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Application number
JP17871882U
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English (en)
Inventor
大竹　勉
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図と第２図は従来のプラズマ装置用放電電極の概観
図である。第３図は従来の放電電極の電極連結棒の部分
を断面構造で示した図、第４図は本考案における電極連
結棒の部分を断面構造で示した図である。 ４１ａ”ｃ・・・電極板、４２・・・ステンレス棒、４
３・・・セラミックのパイプ、４４ａ・・・セラミック
　　−のパイプ、４４ｂ・・・カーボンのパイプ、４４
Ｃ・・・セラミックのパイプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数個の電極板を連結してなるプラズマ装置用放電電極
    において、連結部の一部に表面からＬ字型の溝を形成し
    たことを特徴とするプラズマ装置用放電電極。
JP17871882U 1982-11-26 1982-11-26 プラズマ装置用放電電極 Pending JPS5982999U (ja)

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JP17871882U JPS5982999U (ja) 1982-11-26 1982-11-26 プラズマ装置用放電電極

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JP17871882U JPS5982999U (ja) 1982-11-26 1982-11-26 プラズマ装置用放電電極

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