JPS5983037A - 非破壊検査装置 - Google Patents
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- JPS5983037A JPS5983037A JP57193082A JP19308282A JPS5983037A JP S5983037 A JPS5983037 A JP S5983037A JP 57193082 A JP57193082 A JP 57193082A JP 19308282 A JP19308282 A JP 19308282A JP S5983037 A JPS5983037 A JP S5983037A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
よび装置、特に工場などの連続生産ラインにおいて生産
される製品や部品の内部欠陥等を、非接触、非破壊で検
査する方法および装置に関する。特Ｋ、連続走行中の金
属板、コムノート、板ガラス等にＸ線を照射し、透過Ｘ
線からそれらの材料の内部欠陥等を検出する連結非破壊
検査方法お，［：び装置に関ず（）ものである。
される製品や部品の内部欠陥等を、非接触、非破壊で検
査する方法および装置に関する。特Ｋ、連続走行中の金
属板、コムノート、板ガラス等にＸ線を照射し、透過Ｘ
線からそれらの材料の内部欠陥等を検出する連結非破壊
検査方法お，［：び装置に関ず（）ものである。
鉄板、パイプ等の金属材料あるいは製品、自動車、車両
等の量産金属部品、板カラスやセラミソク碍子等の窯業
製品、タイヤ等のコム製品等の工場での品質検査（内部
欠陥の検査、厚さの検査等）に、Ｘ線を利用した非破壊
検査が行なわれている。また食品等に混入している異質
物の検出にもＸ線透過による検査が行なわれている。
等の量産金属部品、板カラスやセラミソク碍子等の窯業
製品、タイヤ等のコム製品等の工場での品質検査（内部
欠陥の検査、厚さの検査等）に、Ｘ線を利用した非破壊
検査が行なわれている。また食品等に混入している異質
物の検出にもＸ線透過による検査が行なわれている。
このＸ線を利用した検査方法には透過Ｘ線像をフィルム
に撮影する透過検査法と、イノージインテンシファイア
（ １．ｉ ） チューブを利用して透過Ｘ線像を直
接目で見る透視検査法があり、いずれも古くから広く行
なわれている。
に撮影する透過検査法と、イノージインテンシファイア
（ １．ｉ ） チューブを利用して透過Ｘ線像を直
接目で見る透視検査法があり、いずれも古くから広く行
なわれている。
これらの方法のうち透過検査法は鮮明な像が得られるた
め、精密な検査には特に適して（・るが、透過Ｘ線像を
一旦フイルムに撮影するため、結果を得るまでにはフィ
ルムを現像しなければならず、時間がかかるという欠点
がある。一方、透視検査法は瞬時に結果を知ることかで
゛きるが、画像が鮮明でなく、精密な検査には適さない
土、記録が残らないと℃・う欠点がある。
め、精密な検査には特に適して（・るが、透過Ｘ線像を
一旦フイルムに撮影するため、結果を得るまでにはフィ
ルムを現像しなければならず、時間がかかるという欠点
がある。一方、透視検査法は瞬時に結果を知ることかで
゛きるが、画像が鮮明でなく、精密な検査には適さない
土、記録が残らないと℃・う欠点がある。
したがって、工場の生産ラインで連続して製造される材
料や製品を、高い応答性をもって高精度で検査し、しか
も検査結果を記録に残したり、電気信号にして製造ライ
ンにフィードバックするという目的には、従来の上記検
査法では十分対応することができない。
料や製品を、高い応答性をもって高精度で検査し、しか
も検査結果を記録に残したり、電気信号にして製造ライ
ンにフィードバックするという目的には、従来の上記検
査法では十分対応することができない。
本発明は、このような問題点に鑑み、連続走行中の被検
物体を高応答性をもって連続的に非破壊検査し、その検
査結果の記録も、フィートバツク用の利用も可能にした
新規なＸ線非破壊検査方法およびその方法を実施するだ
めの装置を提供することを目的とするものである。
物体を高応答性をもって連続的に非破壊検査し、その検
査結果の記録も、フィートバツク用の利用も可能にした
新規なＸ線非破壊検査方法およびその方法を実施するだ
めの装置を提供することを目的とするものである。
本発明の非破壊検査方法は、蓄積性螢光体ノートを使用
してこの」−に被検物体を透過したＸ線を照射させ、そ
の後この螢光体ノー）・に励起光を照射して蓄積記録さ
れた透過Ｘ線像を再生して読み取り、その読取信号から
検査結果を得る」゛うにしたことを特徴とするものであ
る。特に好ましくは蓄積性螢光体ノートは連続走行する
被検物体と等速度で走行させ、読み取った信号はＣ Ｒ
ｉ’にディスプレーしてモニタする一方、写真フィル
ム、磁気テープ、オプティカルティスフ等に永久記録す
るためにも使用され、また製造ラインへのフィートバン
クのための検出信号として、コントローラ等へ送られる
ものである。これらの読取信号（検出信号）の使用方法
は、要求に応じて適宜選択、組み合わされる。
してこの」−に被検物体を透過したＸ線を照射させ、そ
の後この螢光体ノー）・に励起光を照射して蓄積記録さ
れた透過Ｘ線像を再生して読み取り、その読取信号から
検査結果を得る」゛うにしたことを特徴とするものであ
る。特に好ましくは蓄積性螢光体ノートは連続走行する
被検物体と等速度で走行させ、読み取った信号はＣ Ｒ
ｉ’にディスプレーしてモニタする一方、写真フィル
ム、磁気テープ、オプティカルティスフ等に永久記録す
るためにも使用され、また製造ラインへのフィートバン
クのための検出信号として、コントローラ等へ送られる
ものである。これらの読取信号（検出信号）の使用方法
は、要求に応じて適宜選択、組み合わされる。
上記蓄積性螢光体シートとは、蓄積性螢光体を７−１・
状の支持体−Ｌに塗布したものであるが、このシートと
は、一枚一枚が分離した個別シート状のもののみならず
、エツトレスベルトのように無端状に形成したものも含
むものとする。蓄積性螢光体とは、Ｘ線等の放射線を照
射したときその放射線のエネルギーを蓄積し、その後可
視光、赤外光等の励起光を照射したとき蓄積エネルギー
を可視光として放出する螢光体のことを言い、例えば特
開昭５５−１．２４２９号に詳細に開示されている。
状の支持体−Ｌに塗布したものであるが、このシートと
は、一枚一枚が分離した個別シート状のもののみならず
、エツトレスベルトのように無端状に形成したものも含
むものとする。蓄積性螢光体とは、Ｘ線等の放射線を照
射したときその放射線のエネルギーを蓄積し、その後可
視光、赤外光等の励起光を照射したとき蓄積エネルギー
を可視光として放出する螢光体のことを言い、例えば特
開昭５５−１．２４２９号に詳細に開示されている。
本発明ではこの蓄積性螢光体シートに被検物体を透過し
たＸ線をスリットを通して照射し、その後シートに励起
光を照射して発光した輝尽発光光を光電的に検出してい
るが、このスリットは鉛箔のようにＸ線を透過しない遮
蔽部利で形成され、被検物体の走行方向と直角な方向あ
るいは少なくとも走行方向に交叉する方向に延びている
。
たＸ線をスリットを通して照射し、その後シートに励起
光を照射して発光した輝尽発光光を光電的に検出してい
るが、このスリットは鉛箔のようにＸ線を透過しない遮
蔽部利で形成され、被検物体の走行方向と直角な方向あ
るいは少なくとも走行方向に交叉する方向に延びている
。
励起光はスリットを通してＸ線に露光されたシートの部
分に照射されるが、好ましくはビーム状にされてスリッ
トに活って走査され、輝尽発光光を時系列信号として光
電的に検出する。
分に照射されるが、好ましくはビーム状にされてスリッ
トに活って走査され、輝尽発光光を時系列信号として光
電的に検出する。
励起光を照射され、輝尽発光光を放出したノートは、繰
返使用のために消去手段により残留エネルギーを放出せ
しめられろ。この消去手段は、励起光と同様の波長域の
比較的強度の高い光を一様にあるいは２次元走査により
シートに照射するもので、例えは励起光を照射する位置
の下流・（ノートの移動方向の下流）に設置される。
返使用のために消去手段により残留エネルギーを放出せ
しめられろ。この消去手段は、励起光と同様の波長域の
比較的強度の高い光を一様にあるいは２次元走査により
シートに照射するもので、例えは励起光を照射する位置
の下流・（ノートの移動方向の下流）に設置される。
シートは好中しくは被検物体と同じ速度で同方向に移動
され、この上に被検物体の透過Ｘ線像が１対１の大きさ
の比で記録されるようにするが、このシートの移動速度
は必ずしも被検物体と同しにする必要はない。極端な場
合は、シートを静止させ、被検物体は移動させたままＸ
線を露光してもよい。このときはスリットにシャッター
を設けて瞬間的にシートにＸ線をスリット状に露光し、
次いでシートをスリットの幅の分易上移動してまた静止
させ、再びシャッターを開（・て次の部分を記録すると
いうようにしてもよい。このときは、シートの移動方向
と被検物体の移動方向を逆にすることもできる。
され、この上に被検物体の透過Ｘ線像が１対１の大きさ
の比で記録されるようにするが、このシートの移動速度
は必ずしも被検物体と同しにする必要はない。極端な場
合は、シートを静止させ、被検物体は移動させたままＸ
線を露光してもよい。このときはスリットにシャッター
を設けて瞬間的にシートにＸ線をスリット状に露光し、
次いでシートをスリットの幅の分易上移動してまた静止
させ、再びシャッターを開（・て次の部分を記録すると
いうようにしてもよい。このときは、シートの移動方向
と被検物体の移動方向を逆にすることもできる。
以下、実施例により本発明の方法、装置を詳細に説明す
る。
る。
第１図は多数の鉄板１，１・・・・・・の内部欠陥を７
−１・状（個別の）の蓄積性螢光体ノー ト２．２・・
・・・・によって検査する実施例を示すものである。
−１・状（個別の）の蓄積性螢光体ノー ト２．２・・
・・・・によって検査する実施例を示すものである。
被検物体である多数の鉄板］、ｉｔ ・・曲は搬送ヘ
ルド３の上に載置され、矢印Ａの方向に連続的に送られ
る。この下に鉛箔の遮蔽部月４が配され、この遮蔽部材
４は矢印Ａに直角な方向に延びた露光スリン）４Ａを有
している。このスリット４Ａの」一方にはＸ線源５が設
置される。遮蔽部材４の下には透明な搬送ベルト６が矢
印Ｉ３方向に送られ、この上に多数のン−ト状の蓄積性
螢光体シーｌ−２，２・・・・・が載置され、矢印Ｂ方
向に移動せしめられる。
ルド３の上に載置され、矢印Ａの方向に連続的に送られ
る。この下に鉛箔の遮蔽部月４が配され、この遮蔽部材
４は矢印Ａに直角な方向に延びた露光スリン）４Ａを有
している。このスリット４Ａの」一方にはＸ線源５が設
置される。遮蔽部材４の下には透明な搬送ベルト６が矢
印Ｉ３方向に送られ、この上に多数のン−ト状の蓄積性
螢光体シーｌ−２，２・・・・・が載置され、矢印Ｂ方
向に移動せしめられる。
スリット４Ａの位置より下流側、搬送ヘルド６の裏側に
、スリット４Ａの長さ方向にレーザ光源７からのレーザ
光７Ａを走査さぜる走査光原糸（ガルバノメータミラー
）が配され、このレーザ光７Ａによって走査された蓄積
性螢光体ノート６０発光する輝尽発光光を集光し、光電
的に検出する検出器９が設置される。この検出器９は、
レーザ光７Ａの走査線に清った直線状の入射端面９ａと
フォトマル９Ｂの円形の受光面に沿った環状の射出端面
９１〕を有し、入射端面９ａから入射した輝尽発光光を
射出端面９１〕まで全反射によって案内する透明なアク
リル樹脂板製の集光器９Ａと、−に言己フ第１・マル９
Ｂとからなっている（例えば特開昭５５−８７９７０号
に開示されている）。
、スリット４Ａの長さ方向にレーザ光源７からのレーザ
光７Ａを走査さぜる走査光原糸（ガルバノメータミラー
）が配され、このレーザ光７Ａによって走査された蓄積
性螢光体ノート６０発光する輝尽発光光を集光し、光電
的に検出する検出器９が設置される。この検出器９は、
レーザ光７Ａの走査線に清った直線状の入射端面９ａと
フォトマル９Ｂの円形の受光面に沿った環状の射出端面
９１〕を有し、入射端面９ａから入射した輝尽発光光を
射出端面９１〕まで全反射によって案内する透明なアク
リル樹脂板製の集光器９Ａと、−に言己フ第１・マル９
Ｂとからなっている（例えば特開昭５５−８７９７０号
に開示されている）。
このレーザ光７Ａが走査される位置から下流の離れた位
置に、遮光板１０を介して消去光源１１が設けられる。
置に、遮光板１０を介して消去光源１１が設けられる。
この消去光源１１はレーザ光７Ａに走査されて蓄積エネ
ルギーを輝尽発光光として放射したシート２に残留した
Ｘ線エネルキーを放射させろ光を発光するもので、白熱
電球、螢光ランプ、キセノンフラッシュ等が使用される
。
ルギーを輝尽発光光として放射したシート２に残留した
Ｘ線エネルキーを放射させろ光を発光するもので、白熱
電球、螢光ランプ、キセノンフラッシュ等が使用される
。
フォトマル９Ｂの出力は、モニターテレビ１２、記録用
磁気テープ装置Ｊ３、欠陥検出警告装置１４等に伝達さ
れ、被検物体を透過したＸ線から得られる’ｌ＊報を表
示、記録ある（・は警告に使用する。警告装置１４は、
例えばフォトマル９Ｂからの出力を予め定められた参照
レベルと比較し、被検物体１のＸ線透過率が所定以上あ
るいは以下になったときに警告音を発するような装置と
することができる。この警告音の代わりにあるいは警告
音とともに、不良品排除信号１４Ａを出して別に下流に
設けた不良品排除装置（図示せず）により不良な鉄板］
を排除するようにすることもできる。
磁気テープ装置Ｊ３、欠陥検出警告装置１４等に伝達さ
れ、被検物体を透過したＸ線から得られる’ｌ＊報を表
示、記録ある（・は警告に使用する。警告装置１４は、
例えばフォトマル９Ｂからの出力を予め定められた参照
レベルと比較し、被検物体１のＸ線透過率が所定以上あ
るいは以下になったときに警告音を発するような装置と
することができる。この警告音の代わりにあるいは警告
音とともに、不良品排除信号１４Ａを出して別に下流に
設けた不良品排除装置（図示せず）により不良な鉄板］
を排除するようにすることもできる。
上記のように構成された装置によれば、被検物体Ｊを透
過したＸ線５Ａは露光スリット４Ａを通して蓄積性螢光
体シー１・２にスリット状に照射され、これによって被
検物体１の一部を走行方向に直角にスリット状に透過し
たＸ線の持つ画像情報がシート２に蓄積記録される。被
検物体１が矢印式方向に移動するのと同時にシート２も
矢印Ｂ方向に移動し、被検物体１のＸ線透過部がスリッ
ト４Ａの幅の分だけ移動−「る間にノート２はス１ノッ
ト４Ａの幅り、上移動され、被検物体１の全面に亘って
透過Ｘ線をシート２」二に蓄積するようにしている。す
なわち、被検物体１どシート２とが同じ速度で同方向に
移動すれば被検物体１の全域に亘って、等大の透過Ｘ線
像がノート２−１−に蓄積記録される。また、連続して
移動する物体１に対して、シート２をＸ線露光時と、し
〜ザ光照射時に停止させ、その間は高速で送る間欠送り
とすることもできる。このときは、例えばＸ線露光とレ
ーザ光照射を同時に停止中の７−ト２に対して行ない、
瞬間的なＸ線露光の後、スリットの幅だけ物体１が送ら
れる間にシート２をスリットの幅以上移動させ、物体が
スリットの幅だけ送られた後に次の露光を瞬間的に行な
うという方法をとることができる。このとき、シ〜ｌ−
２１には例えば第２Δ図のようにスリット幅の画像記録
部２ａが多数平行に並んで形成され、これらの画像記録
部２ａには被検物体１の全域に亘る透過像がスリット幅
で隣接する部分に区切られて順次記録されることになる
。
過したＸ線５Ａは露光スリット４Ａを通して蓄積性螢光
体シー１・２にスリット状に照射され、これによって被
検物体１の一部を走行方向に直角にスリット状に透過し
たＸ線の持つ画像情報がシート２に蓄積記録される。被
検物体１が矢印式方向に移動するのと同時にシート２も
矢印Ｂ方向に移動し、被検物体１のＸ線透過部がスリッ
ト４Ａの幅の分だけ移動−「る間にノート２はス１ノッ
ト４Ａの幅り、上移動され、被検物体１の全面に亘って
透過Ｘ線をシート２」二に蓄積するようにしている。す
なわち、被検物体１どシート２とが同じ速度で同方向に
移動すれば被検物体１の全域に亘って、等大の透過Ｘ線
像がノート２−１−に蓄積記録される。また、連続して
移動する物体１に対して、シート２をＸ線露光時と、し
〜ザ光照射時に停止させ、その間は高速で送る間欠送り
とすることもできる。このときは、例えばＸ線露光とレ
ーザ光照射を同時に停止中の７−ト２に対して行ない、
瞬間的なＸ線露光の後、スリットの幅だけ物体１が送ら
れる間にシート２をスリットの幅以上移動させ、物体が
スリットの幅だけ送られた後に次の露光を瞬間的に行な
うという方法をとることができる。このとき、シ〜ｌ−
２１には例えば第２Δ図のようにスリット幅の画像記録
部２ａが多数平行に並んで形成され、これらの画像記録
部２ａには被検物体１の全域に亘る透過像がスリット幅
で隣接する部分に区切られて順次記録されることになる
。
このように平行に記録されたスリット幅の記録部２ａに
、レーザ光７Ａをシート２の停止中に走査し、この記録
部２ａかも発光した輝尽発光光を検出器９の集光器９Ａ
により集光し、フォトマル９Ｂで時系列の画像信号を得
る。この画像信号の中には被検物体１の内部欠陥に関す
る情報が出力レベルの犬あるいは小の形で含よねている
から、この画像信刊から、内部欠陥を検出するこ七がで
きる。
、レーザ光７Ａをシート２の停止中に走査し、この記録
部２ａかも発光した輝尽発光光を検出器９の集光器９Ａ
により集光し、フォトマル９Ｂで時系列の画像信号を得
る。この画像信号の中には被検物体１の内部欠陥に関す
る情報が出力レベルの犬あるいは小の形で含よねている
から、この画像信刊から、内部欠陥を検出するこ七がで
きる。
もちろん、モニターチンピ１２には、被検物体１の透過
Ｘ線像をその才ま映出することかで゛き、目視により内
部欠陥を検出するととも可能になる。
Ｘ線像をその才ま映出することかで゛き、目視により内
部欠陥を検出するととも可能になる。
検出の終ったシート２は、検出部（レーザ光照射部）の
下流において消去光源１１からの光を照射され、内部（
Ｃ残留するＸ線エネルギーは放出されて、可使ｍ可能な
状態に再生される。遮光板１０は、この消去光が集光器
９Ａに入射してノイズとならないようにするためのもの
である。。
下流において消去光源１１からの光を照射され、内部（
Ｃ残留するＸ線エネルギーは放出されて、可使ｍ可能な
状態に再生される。遮光板１０は、この消去光が集光器
９Ａに入射してノイズとならないようにするためのもの
である。。
上記実施例によれは、被検物体１を連続走行させたまま
、連続的にその内部欠陥のＸ線透過による検査が可能と
なる。また、その検出の応答性も物体の搬出中に検出結
果を得ることができるので、き］つめて高い。
、連続的にその内部欠陥のＸ線透過による検査が可能と
なる。また、その検出の応答性も物体の搬出中に検出結
果を得ることができるので、き］つめて高い。
上記実施例において、シート２を連続的に移動させる場
合、シート２０走行速度を被検物体１の走行速度と等し
くし、Ｘ線を連続的に照射し続けると、シート２には物
体１の透過像がそのまま蓄積記録されるが、このときは
スリット／ＩＡの幅をきわめて小さくしないと、記録の
分Ｎ酢が低下し、実用上問題となる。スリットの幅をあ
る程度大きくする場合は、Ｘ線の照射を瞬間的に行なう
よう、スリットにンヤソターを設けるか、Ｘ線源側で瞬
間的発生をするような手段が必要に７ｊる。このときは
、シート２」−に記録されるスリット露光部（記録部２
ａ）があまり隣接すると、前回の露光で記録を終了した
部分が次回の露光により影響を受けるおそれがあるので
、各記録部２ａは多少間隔をおいて記録される必要があ
る。
合、シート２０走行速度を被検物体１の走行速度と等し
くし、Ｘ線を連続的に照射し続けると、シート２には物
体１の透過像がそのまま蓄積記録されるが、このときは
スリット／ＩＡの幅をきわめて小さくしないと、記録の
分Ｎ酢が低下し、実用上問題となる。スリットの幅をあ
る程度大きくする場合は、Ｘ線の照射を瞬間的に行なう
よう、スリットにンヤソターを設けるか、Ｘ線源側で瞬
間的発生をするような手段が必要に７ｊる。このときは
、シート２」−に記録されるスリット露光部（記録部２
ａ）があまり隣接すると、前回の露光で記録を終了した
部分が次回の露光により影響を受けるおそれがあるので
、各記録部２ａは多少間隔をおいて記録される必要があ
る。
また、シート２が連続走行中にこのシート２をレーザ光
７Ａで走査するとき、走査の方向をシート２０走行方向
に直角にすると、シート２上では走査軌跡は第２Ｂ図に
錯綜で示すように斜めになる。第２Ｂ図で、実線で示る
。
７Ａで走査するとき、走査の方向をシート２０走行方向
に直角にすると、シート２上では走査軌跡は第２Ｂ図に
錯綜で示すように斜めになる。第２Ｂ図で、実線で示る
。
次に、蓄積性螢光体ノートをエンドレスベルト状にして
連結使用し、圧延された鉄板の厚さを測定して、測定結
果を圧延ローラー＼フィードバックする検査方法の実施
例を、第３図により説明する。
連結使用し、圧延された鉄板の厚さを測定して、測定結
果を圧延ローラー＼フィードバックする検査方法の実施
例を、第３図により説明する。
一対の圧延ローラ２］、Ａ、２１Ｂにより鉄板２１が圧
延され、矢印Ａ方向に送られる。
延され、矢印Ａ方向に送られる。
この下にスリット２２Ａを有する鉛箔の遮蔽部材２２が
配置され、その下に蓄積性螢光体シートのエンドレスベ
ルト２３が４本のローラ２／ＩＡ、 ２４Ｂ、２，４
．Ｃ，２４，１，）に懸架されて鉄板２１と同じＢ方向
に駆動される。スリット２２Ａの下にはレーザ光源２５
がらのレーザ光２５△をスリット２２Ａに涜っ−（走査
する走査ミラー２６が配され、このレーザ光２５Ａによ
って走査されたエツトレスベルト２３から発光する輝尽
発光光を集光する集光器２７が、その入射端面２７Ａを
走査線に隣接させて配設されて（・る。この集光器２７
は第１図の集光器９Ａと同じもので、その射出端面を〕
刊トマル２８の受光面に対向させている。
配置され、その下に蓄積性螢光体シートのエンドレスベ
ルト２３が４本のローラ２／ＩＡ、 ２４Ｂ、２，４
．Ｃ，２４，１，）に懸架されて鉄板２１と同じＢ方向
に駆動される。スリット２２Ａの下にはレーザ光源２５
がらのレーザ光２５△をスリット２２Ａに涜っ−（走査
する走査ミラー２６が配され、このレーザ光２５Ａによ
って走査されたエツトレスベルト２３から発光する輝尽
発光光を集光する集光器２７が、その入射端面２７Ａを
走査線に隣接させて配設されて（・る。この集光器２７
は第１図の集光器９Ａと同じもので、その射出端面を〕
刊トマル２８の受光面に対向させている。
エンドレスベルト２３の露光、レーーｆ走査部の下流の
離れた位置しζは、多数の消去ラップ２９が配設されて
いる。フォトマル２８の出力は、板厚計算器３０に入力
され、ここでフォトマルの出力から鉄板２１の厚さが計
算され、この出力は圧延ローラ２．Ｉ Ａ、 ２１１
３の間隔をコントロールするコントローラ３１に入力さ
れる一方、さらに内部欠陥を検出する検出部３２に入力
される。検出部３２の出力は、原料等のコントローラへ
送られる。
離れた位置しζは、多数の消去ラップ２９が配設されて
いる。フォトマル２８の出力は、板厚計算器３０に入力
され、ここでフォトマルの出力から鉄板２１の厚さが計
算され、この出力は圧延ローラ２．Ｉ Ａ、 ２１１
３の間隔をコントロールするコントローラ３１に入力さ
れる一方、さらに内部欠陥を検出する検出部３２に入力
される。検出部３２の出力は、原料等のコントローラへ
送られる。
」二記実施例によれば、蓄積性螢光体シートはエンドレ
スベルト２３に形成されているため、繰返し使用が自動
的に行なわれ、装置全体がコンパクトになり、実用上有
利である。
スベルト２３に形成されているため、繰返し使用が自動
的に行なわれ、装置全体がコンパクトになり、実用上有
利である。
また、検査出力が圧延ロールにフィードバックされるた
め、常に適正な圧延の厚さが得られるように自動制御す
ることが可能となる。
め、常に適正な圧延の厚さが得られるように自動制御す
ることが可能となる。
以上の説明から明らかなように、本発明の方法あるいは
装置によれば、連続的に走行する被検物体、特にウェブ
状のものを連続的に検査することが容易になり、しかも
その非接触、ブ１−破壊の検査が１司い応答性な・しっ
に司１ｊμとなり、工業にσ）価値は大きし・。また、
この方法は従来の１．１．による目視による方法よりも
はるかに高い解像力を得ることがて゛きる。
装置によれば、連続的に走行する被検物体、特にウェブ
状のものを連続的に検査することが容易になり、しかも
その非接触、ブ１−破壊の検査が１司い応答性な・しっ
に司１ｊμとなり、工業にσ）価値は大きし・。また、
この方法は従来の１．１．による目視による方法よりも
はるかに高い解像力を得ることがて゛きる。
なお、上記方法において、被検物体が厚い鉄板である場
合のようにＸ線として高エネルギーのものを使用しなげ
ればならなし・ときには、蓄積性螢光体、、？−トでの
、Ｘ線吸収が低下１−１十分な情報を蓄積記録できなく
なる場合がある。このときは、被検物体に金属箔を重ね
合わせ、ここで２次電子を発生させ、この電子により蓄
積性螢光体ノートに記録するという方法をとることも可
能である。
合のようにＸ線として高エネルギーのものを使用しなげ
ればならなし・ときには、蓄積性螢光体、、？−トでの
、Ｘ線吸収が低下１−１十分な情報を蓄積記録できなく
なる場合がある。このときは、被検物体に金属箔を重ね
合わせ、ここで２次電子を発生させ、この電子により蓄
積性螢光体ノートに記録するという方法をとることも可
能である。
第１図は本発明の方法を実施する装置の−実施例を示す
概略図、 第２ Ａ図、第２Ｂ図は本発明の方法によって被検物体
のＸ線透過像を記録された蓄積性螢光体シートの例を示
す平面図、 第３図は本発明の方法を実施する装置の他の実施例を示
す概略図である。 ］、２】・・・被検物体 ４，２２・・・遮蔽部材２
．２３・・蓄積性螢光体シート ７、永５ ・レーザ光源 ９Ａ、２７・・・集光器９
１３．２８ ７第１・マル ］−１，２９・・・消去光
源１２・・モニタテレビ １３・・・磁気テープ装置 １４．３２・・・欠陥検出器 ２１Ｊ、、２１Ｂ・・・圧延ローラ ３０・・・板厚割算器 ３１・・・圧延ローラノコントローラ （い資）手続ネ…ｊ］三書 ａＳ和５８ ＋Ｔ ３月１０ ）−：］待８′［庁長官
殿 １、事イ′１の表示 特騨Ｉ昭５７−１９３０８２号 ２、発明の名称 非破壊検査方法ａ５よび装門 ３、ンｄｉ ｉＥを４る者 ４、代理人 東京都港区六水木５丁目２番１号 ４Ｔシ ロ、補正により増加りる発明の数 な し７、
補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄
８、補１１−の内容 １）明細内第１４＠第８〜９行
概略図、 第２ Ａ図、第２Ｂ図は本発明の方法によって被検物体
のＸ線透過像を記録された蓄積性螢光体シートの例を示
す平面図、 第３図は本発明の方法を実施する装置の他の実施例を示
す概略図である。 ］、２】・・・被検物体 ４，２２・・・遮蔽部材２
．２３・・蓄積性螢光体シート ７、永５ ・レーザ光源 ９Ａ、２７・・・集光器９
１３．２８ ７第１・マル ］−１，２９・・・消去光
源１２・・モニタテレビ １３・・・磁気テープ装置 １４．３２・・・欠陥検出器 ２１Ｊ、、２１Ｂ・・・圧延ローラ ３０・・・板厚割算器 ３１・・・圧延ローラノコントローラ （い資）手続ネ…ｊ］三書 ａＳ和５８ ＋Ｔ ３月１０ ）−：］待８′［庁長官
殿 １、事イ′１の表示 特騨Ｉ昭５７−１９３０８２号 ２、発明の名称 非破壊検査方法ａ５よび装門 ３、ンｄｉ ｉＥを４る者 ４、代理人 東京都港区六水木５丁目２番１号 ４Ｔシ ロ、補正により増加りる発明の数 な し７、
補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄
８、補１１−の内容 １）明細内第１４＠第８〜９行
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）走行する被検物体にＸ線を透過させ、この透過Ｘ線
を走行方向と交叉する方向に延びたスリットを介して蓄
積性螢光体シートに照射せしめ、この蓄積性螢光体シー
トを前記スリットと交叉する方向に移動させるとともに
このシートの前記スリットを通してＸ線に露光された部
分に励起光を照射し、この励起光照射により発光する輝
尽発光光を光電的に検出することを特徴とする非破壊検
査方法。 ２）走行する被検物体にＸ線を照射するＸ線源、被検物
体を透過した」二記Ｘ線を受ける位置に設けられ、被検
物体の走行方向と交叉する方向に延びたＸ線露光スリッ
トを有するＸ線遮蔽部材、このＸ線露光スリットを通過
する上記Ｘ線を受ける位置に、このスリットと交叉する
方向に移動可能に設けられた蓄積性螢光体シート、この
シートを上記スリットと交叉する方向に移動する手段、
スリット状にＸ線に露光された上記ノートの部分に励起
光を照射する励起光照射手段、この励起光を照射された
シートの部分から発光する輝尽発光光を光電的に検出す
る光電検出手段、および輝尽発光光の発光波上記ソート
に消去光を照射してノート中に残留するＸ線エネルギー
を放出させる消去手段からなる非破壊検査装置。 ３）前記蓄積性螢光体ソートがエンドレスベルト状に形
成されていることを特徴とする特許請求の範囲第２項記
載の非破壊検査装置。 ４）前記シートを移動する手段が、該ソートを前記被検
物体と同じ方向に移動させるものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第２項または第３項記載の非破壊検査
装置。 ５）前記励起光照射手段が、励起光をビーム状にして前
記シートのスリット状にＸ線に露光された部分を走査す
る走査光学系を備えたものであることを特徴とする特許
請求の範囲第２項、第３項または第４項記載の非破壊検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193082A JPS5983037A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193082A JPS5983037A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 非破壊検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983037A true JPS5983037A (ja) | 1984-05-14 |
| JPH0376403B2 JPH0376403B2 (ja) | 1991-12-05 |
Family
ID=16301918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57193082A Granted JPS5983037A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 非破壊検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983037A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4937110A (en) * | 1987-07-22 | 1990-06-26 | Goyo Paper Working Co. Ltd. | Laminated material for hot and cold cups and its manufacturing method |
| JPH04320246A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取装置 |
| JP2009510497A (ja) * | 2005-09-27 | 2009-03-12 | デュール デンタル アクチェンゲゼルシャフト | 露光されたディスケットを読み出す器具 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548674A (en) * | 1978-10-05 | 1980-04-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | Reading device for radiation picture information |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP57193082A patent/JPS5983037A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548674A (en) * | 1978-10-05 | 1980-04-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | Reading device for radiation picture information |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4937110A (en) * | 1987-07-22 | 1990-06-26 | Goyo Paper Working Co. Ltd. | Laminated material for hot and cold cups and its manufacturing method |
| JPH04320246A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取装置 |
| JP2009510497A (ja) * | 2005-09-27 | 2009-03-12 | デュール デンタル アクチェンゲゼルシャフト | 露光されたディスケットを読み出す器具 |
| JP4768819B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2011-09-07 | デュール デンタル アクチェンゲゼルシャフト | 露光されたディスケットを読み出す器具 |
| US9417337B2 (en) | 2005-09-27 | 2016-08-16 | Michael Thorns | Device for reading out exposed imaging plates |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0376403B2 (ja) | 1991-12-05 |
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