JPS5983978U - 拡散治具 - Google Patents
拡散治具Info
- Publication number
- JPS5983978U JPS5983978U JP18034782U JP18034782U JPS5983978U JP S5983978 U JPS5983978 U JP S5983978U JP 18034782 U JP18034782 U JP 18034782U JP 18034782 U JP18034782 U JP 18034782U JP S5983978 U JPS5983978 U JP S5983978U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- support
- fitting part
- wafer support
- support plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の拡散治具斜視図、第２図は従来の拡散治
具を炉中に収容した状態を示す正面図、 ゛第３図以
下本願考案に係り、第３図は側面図、第４図は平面図、
第５図は正面図、第６図は第５図において各ウェーハ支
持体先端部を縦断した正面図。第７図は固定部材の正面
図。 ７・・・支承板、７ａ・・・受台部、８．８′・・・ウ
エー−ハ支持体嵌合部、９，９′・・・ウェーハ支持体
、９′ａ・・・稜角部、１０・・・支承体表合部、１１
・・・ウェーハ支承溝、１２・・・固定部材。 第３図 第５図
具を炉中に収容した状態を示す正面図、 ゛第３図以
下本願考案に係り、第３図は側面図、第４図は平面図、
第５図は正面図、第６図は第５図において各ウェーハ支
持体先端部を縦断した正面図。第７図は固定部材の正面
図。 ７・・・支承板、７ａ・・・受台部、８．８′・・・ウ
エー−ハ支持体嵌合部、９，９′・・・ウェーハ支持体
、９′ａ・・・稜角部、１０・・・支承体表合部、１１
・・・ウェーハ支承溝、１２・・・固定部材。 第３図 第５図
Claims (2)
- （１）二個の支承板の各広面を対向させてその中間に三
本のウェーハ支持体を横架する治具において、各支承板
にはその広面の両端部にウェーハ支持体嵌合部を切欠き
形成すると共に、該広面幅中央下端部には下端から上方
へ向（切欠きによるウェーハ支持体嵌合部を形成し、前
記各部、 支承板は組立時の下部片側面に受台部を形
成して成り、前記各ウェーハ支持体は角柱状としてウェ
ーハ支承溝を長手方向に適宜間隔おきに並設すると共〆
その画先端周縁部に支承体表合部□を形成して、前記各
支承板嵌合部を各ウェーハ支持体嵌合部に嵌合させて組
立て一体に形成することを特徴とする拡散治具。 - （２）前記ウェーハ支持体の中、支承板広面中央下−部
のウェーハ支持体嵌合部に嵌合させるものにあっては、
その稜角部にウェーハ支承溝を刻設して成り、その画先
端部の水平方向の稜角部を□前記支承板の受台部に載置
するよ、う！成して成ることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項記載の拡散治具。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18034782U JPS5940446Y2 (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 拡散治具 |
| EP83107498A EP0100539A3 (en) | 1982-07-30 | 1983-07-29 | Assembled device for supporting semiconductor wafers or the like |
| KR1019830003575A KR920001025B1 (ko) | 1982-07-30 | 1983-07-30 | 반도체 웨이퍼 지지용 조립장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18034782U JPS5940446Y2 (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 拡散治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983978U true JPS5983978U (ja) | 1984-06-06 |
| JPS5940446Y2 JPS5940446Y2 (ja) | 1984-11-16 |
Family
ID=30391060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18034782U Expired JPS5940446Y2 (ja) | 1982-07-30 | 1982-11-29 | 拡散治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940446Y2 (ja) |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP18034782U patent/JPS5940446Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5940446Y2 (ja) | 1984-11-16 |
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