JPS5984019A - 排ガス処理におけるモノ・シランガス燃焼方法 - Google Patents
排ガス処理におけるモノ・シランガス燃焼方法Info
- Publication number
- JPS5984019A JPS5984019A JP57194452A JP19445282A JPS5984019A JP S5984019 A JPS5984019 A JP S5984019A JP 57194452 A JP57194452 A JP 57194452A JP 19445282 A JP19445282 A JP 19445282A JP S5984019 A JPS5984019 A JP S5984019A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- nozzle
- combustion
- pipe
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 title claims abstract description 44
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 124
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 19
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 14
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 14
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052987 metal hydride Inorganic materials 0.000 description 8
- 150000004681 metal hydrides Chemical class 0.000 description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012629 purifying agent Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 2
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 2
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 2
- 235000001674 Agaricus brunnescens Nutrition 0.000 description 1
- 101000896726 Homo sapiens Lanosterol 14-alpha demethylase Proteins 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100021695 Lanosterol 14-alpha demethylase Human genes 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G2209/00—Specific waste
- F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
- F23G2209/142—Halogen gases, e.g. silane
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
半導体製造工場の反応炉からでるモノ・シランガス（５
ｉＨ４） （排ガス）を酸化して無害なガスとして排出
する際にガス処理器内の浄化剤組成物のうち化学的に酸
化吸収させ排ガス中の金属水素化物を固定化し、温度並
びに湿度を一定に保ってガス処理筒で浄化する方法にお
いて、反応炉から真空ポンプ及びブロワ−を介して加湿
器に送ると金属水素化物は固定化しているものの加湿器
内で固定化した金属粉末と排ガスとが分離されても排ガ
ス中にはいまだ多″Ｉｌに金属水素化物が含まれたま〜
であるのでガス処理筒を用いた酸化吸収型の浄化剤は酸
化吸収能力が低下するばかりか、酸化再生に作用する中
間生成物が排ガスと共釦放出する欠点があった。
ｉＨ４） （排ガス）を酸化して無害なガスとして排出
する際にガス処理器内の浄化剤組成物のうち化学的に酸
化吸収させ排ガス中の金属水素化物を固定化し、温度並
びに湿度を一定に保ってガス処理筒で浄化する方法にお
いて、反応炉から真空ポンプ及びブロワ−を介して加湿
器に送ると金属水素化物は固定化しているものの加湿器
内で固定化した金属粉末と排ガスとが分離されても排ガ
ス中にはいまだ多″Ｉｌに金属水素化物が含まれたま〜
であるのでガス処理筒を用いた酸化吸収型の浄化剤は酸
化吸収能力が低下するばかりか、酸化再生に作用する中
間生成物が排ガスと共釦放出する欠点があった。
本願はこれ等の欠点に鑑み発明したもので、反応炉から
排ガスをブロワ−に送る前段において反応炉から出る排
ガスを空気を送りモノ・シランガスを燃焼させ酸化金属
は燃焼器内で排ガスと分離して排ガスをブロワ−に送る
ようにした排ガス処理方法において燃焼器内に開口する
モノ・シランガス噴射ノズルの開口端に酸化金属が付着
するのを防止するようにした排ガス処理におけるモノ・
シランガス燃焼方法に関するものである。
排ガスをブロワ−に送る前段において反応炉から出る排
ガスを空気を送りモノ・シランガスを燃焼させ酸化金属
は燃焼器内で排ガスと分離して排ガスをブロワ−に送る
ようにした排ガス処理方法において燃焼器内に開口する
モノ・シランガス噴射ノズルの開口端に酸化金属が付着
するのを防止するようにした排ガス処理におけるモノ・
シランガス燃焼方法に関するものである。
モノ・シランガス（５ｉＨ４）は空気に触れると爆発的
に燃える。
に燃える。
燃焼方法は従来単管ノズルを使用してきた処５ｉ８４が
燃焼して生成される５ｉｆｔがノズル先端に付着しさら
に成長を続け、ついにはノズルを閉塞してしまう。二う
なると被燃焼ガスの元圧によりきのこ状に塊った５ｉＯ
ｚ がポンという音と共にノズル先端から剥離される
。
燃焼して生成される５ｉｆｔがノズル先端に付着しさら
に成長を続け、ついにはノズルを閉塞してしまう。二う
なると被燃焼ガスの元圧によりきのこ状に塊った５ｉＯ
ｚ がポンという音と共にノズル先端から剥離される
。
この状態が続くと、燃焼室がこのきのこ状の塊りでいっ
ばいになり燃焼室の清浄もメンテナンスのひとつとなる
。又、生成される５ｉＯｚの成長でノズルが閉塞される
故、燃焼口がせばめられ完全燃焼せずＳｒ ８４の毒性
がそのま〜排気される事になる。
ばいになり燃焼室の清浄もメンテナンスのひとつとなる
。又、生成される５ｉＯｚの成長でノズルが閉塞される
故、燃焼口がせばめられ完全燃焼せずＳｒ ８４の毒性
がそのま〜排気される事になる。
そこで本願は燃焼管を二重構造とし、内管を外管より短
くし、内管が形成するノズルの先端の燃焼雰囲気に波状
振動波を与えて燃焼するか、ノズルの先端より一定間隔
はなれた処で燃焼するよ５ ％ｙスズル先端部に５ｉ（
ｈの塊りをつくることなく完全燃焼させるようにするこ
とを特徴とした発明である。
くし、内管が形成するノズルの先端の燃焼雰囲気に波状
振動波を与えて燃焼するか、ノズルの先端より一定間隔
はなれた処で燃焼するよ５ ％ｙスズル先端部に５ｉ（
ｈの塊りをつくることなく完全燃焼させるようにするこ
とを特徴とした発明である。
今、その実施例を説明すれば、加湿器（１）の内底部に
排ガスの散気ヘッダー＜２）を開口させ、散気ヘッダー
（２）をブロワ−（３）に連結し、ブロワ−（３）と反
応炉（４）とを真空ポンプ（５）を介してノ（イブ（６
）で連結し、加湿器（１）の上部と内部に浄化剤を封入
したガス処理筒（川の上部とをパイプ（９）で連結し、
ガス処理筒（８）の下部と一す”イクロン（（呻とをパ
イプ（１１）で連結する。
排ガスの散気ヘッダー＜２）を開口させ、散気ヘッダー
（２）をブロワ−（３）に連結し、ブロワ−（３）と反
応炉（４）とを真空ポンプ（５）を介してノ（イブ（６
）で連結し、加湿器（１）の上部と内部に浄化剤を封入
したガス処理筒（川の上部とをパイプ（９）で連結し、
ガス処理筒（８）の下部と一す”イクロン（（呻とをパ
イプ（１１）で連結する。
サイクロン（則の下部からでているパイプ鰻を却！（＋
５１を内挿するものである。
５１を内挿するものである。
又、パイプ（６）の一箇所で真９ポンプ（５）どブロワ
−（３）の間に流１１調整弁ａｅを取り付はパイプ（６
）内の圧力が下がったならば自動的にエアーを吸引して
パイプ内にエアーな送るように形成し、且つ真空ポンプ
（５）とブロワ−（３）との間においてパイプ（６）に
燃焼器（７）を配設し、燃焼器（７）とブロワ−（３）
間においてパイプ（６）Ｋフィルターａηを設けたもの
である。
−（３）の間に流１１調整弁ａｅを取り付はパイプ（６
）内の圧力が下がったならば自動的にエアーを吸引して
パイプ内にエアーな送るように形成し、且つ真空ポンプ
（５）とブロワ−（３）との間においてパイプ（６）に
燃焼器（７）を配設し、燃焼器（７）とブロワ−（３）
間においてパイプ（６）Ｋフィルターａηを設けたもの
である。
次に燃焼器（力について詳細に述べれば、第１実施例は
ジャケット胴Ｑ８１と内胴（１１と二重の燃焼筒２１を
形成し、燃焼筒（至）の前後端は押え板（２１）と盲板
（２２１で密閉し、盲板ｃａｂ Ｋは内部に真空ポンプ
（５）から配設さ−れているパイプ（６）と連結したノ
ズル（６ａ）を内挿した内胴０！１より小径の小円筒Ｃ
２３１を連結開口し、且小円筒（胸の稜部はノズル（６
ａ）を嵌合した盲リング（２ａで閉塞し、更に小円筒（
２，１は盲板（２２）の内端よりや！内ｆｌ１Ｍ （１
９内に突出する位いの長さとし、ノズル（６ａ）は小円
筒（ハ）より長く内胴ａ優に突出して形成する。
ジャケット胴Ｑ８１と内胴（１１と二重の燃焼筒２１を
形成し、燃焼筒（至）の前後端は押え板（２１）と盲板
（２２１で密閉し、盲板ｃａｂ Ｋは内部に真空ポンプ
（５）から配設さ−れているパイプ（６）と連結したノ
ズル（６ａ）を内挿した内胴０！１より小径の小円筒Ｃ
２３１を連結開口し、且小円筒（胸の稜部はノズル（６
ａ）を嵌合した盲リング（２ａで閉塞し、更に小円筒（
２，１は盲板（２２）の内端よりや！内ｆｌ１Ｍ （１
９内に突出する位いの長さとし、ノズル（６ａ）は小円
筒（ハ）より長く内胴ａ優に突出して形成する。
小円筒（２３１の上部には空気導入パイプ（２３ａ）が
連結開口されている。
連結開口されている。
燃焼筒（、！（Ｉｔの前部下面に二重管より成る排気パ
イプ（２９を設け、排気バイプレ９０大径の外バイブ（
２５ａ）は短く内端はジャケット胴ｕ８１に連結開口し
、小径の内パイプ（２５ｂ）は長く外パイプ（２５ａ）
の下部に突出し、内パイプ（２５ｂ）の内端は内胴（１
１に連結開口し、更に外端はブロワ−（３）に連結する
パイプ（６）に連結し、外パイプ（２５ａ）の下端は内
パイプ（２５ｂ）と気密に盲リング（イ）で閉塞されて
いる。
イプ（２９を設け、排気バイプレ９０大径の外バイブ（
２５ａ）は短く内端はジャケット胴ｕ８１に連結開口し
、小径の内パイプ（２５ｂ）は長く外パイプ（２５ａ）
の下部に突出し、内パイプ（２５ｂ）の内端は内胴（１
１に連結開口し、更に外端はブロワ−（３）に連結する
パイプ（６）に連結し、外パイプ（２５ａ）の下端は内
パイプ（２５ｂ）と気密に盲リング（イ）で閉塞されて
いる。
ノズル（６ａ）の内端圧は二本の門形状の棒状サボー）
（Ｊ７）が固定され、サポー）（２ηの内側部レズル
（６ａ）の反対側）Ｋは三角形状の板を放射状で且ノズ
ル（６ａ）側に山形に突出する形状に組立てられたディ
ストリビュータ−（胸を取り付けて成るものである。
（Ｊ７）が固定され、サポー）（２ηの内側部レズル
（６ａ）の反対側）Ｋは三角形状の板を放射状で且ノズ
ル（６ａ）側に山形に突出する形状に組立てられたディ
ストリビュータ−（胸を取り付けて成るものである。
又、ザボート０７１が位置する下部圧内胴ＯＩにマンホ
ール筒Ｃ！９１の上端を固定し、マンポール筒ｒｘ’ｓ
はジャケット胴０（至）を貫通して外部蹟突出し下部に
蓋体ｔ’ｌｌ＋＋を着脱自在に取り付けておくものであ
る。
ール筒Ｃ！９１の上端を固定し、マンポール筒ｒｘ’ｓ
はジャケット胴０（至）を貫通して外部蹟突出し下部に
蓋体ｔ’ｌｌ＋＋を着脱自在に取り付けておくものであ
る。
（３１）は給水パイプでジャケット胴囲の後端上部に連
結開口し、 １．（２１は排水パイプで外パイプ（２５
ａ）が外部に放出されないようにされているものである
。
結開口し、 １．（２１は排水パイプで外パイプ（２５
ａ）が外部に放出されないようにされているものである
。
Ｃ（゛（はジャマ板でジャケット胴（１８１と内胴０９
の間隔を平行に保つためのものでジャケット胴（＋８１
と内胴（１！塾間に適宜に設けられ、乱形状はリング状
でな（一部は切欠き他の望間部と連通し水が容易に流れ
るようになっている。
の間隔を平行に保つためのものでジャケット胴（＋８１
と内胴（１！塾間に適宜に設けられ、乱形状はリング状
でな（一部は切欠き他の望間部と連通し水が容易に流れ
るようになっている。
前記構成よりノズル（６ａ）より排ガスが噴射すると空
気導入パイプ（２３ａ ）より導入されたエアーが小円
筒（２）よりノズル（６ａ）の先端部方向に噴射するの
でノズル（６ａ）より噴射するモノ・シランガス（５ｉ
Ｈ４）はを気に触れて爆発的に燃え、その燃焼によって
生ずる対流、ディストリピ−タ−（至）圧衝突する火焔
による渦流及び火焔そのものがディストリビー−ター（
２）に衝突するための振動等によって生ずる波状振動が
排ガスの燃焼雰囲気（５）に伝わり、燃焼したモノ・シ
ランガス（ＳｉＨ４）により生じた酸化金属（Ｓｉ（ｈ
）はノズル（６ａ）の先端に付着することなく下部に落
下する。
気導入パイプ（２３ａ ）より導入されたエアーが小円
筒（２）よりノズル（６ａ）の先端部方向に噴射するの
でノズル（６ａ）より噴射するモノ・シランガス（５ｉ
Ｈ４）はを気に触れて爆発的に燃え、その燃焼によって
生ずる対流、ディストリピ−タ−（至）圧衝突する火焔
による渦流及び火焔そのものがディストリビー−ター（
２）に衝突するための振動等によって生ずる波状振動が
排ガスの燃焼雰囲気（５）に伝わり、燃焼したモノ・シ
ランガス（ＳｉＨ４）により生じた酸化金属（Ｓｉ（ｈ
）はノズル（６ａ）の先端に付着することなく下部に落
下する。
従ってマンホール筒（Ｉ！ω内に酸化金属が一定量溜っ
たら蓋体（７）を開いて捨ればよいものである。
たら蓋体（７）を開いて捨ればよいものである。
第２実施例はジャケット胴囲と内胴ｕ９と二重の燃焼筒
（２０を形成し、燃焼筒シ１の前後端は押え板ＣＤと盲
板＠で密閉し、盲板（２）には内部に真空ポンプ（５）
から配設されているパイプ（６）と連結したノズル（６
ａ）を内挿した内胴０より小径の小円筒（至）を連結開
口し、且、小円筒−の後部はノズル（６ａ）を嵌合した
盲リング（２４）で閉塞し、更に小円筒ｄは盲＆、（２
渇の内端よりや＼内胴（Ｉｎ内に突出する位いの長さと
し、ノズル（６ａ）は小円筒ｃ！（より長く内胴α９に
突出して形成する。且、小円筒（ハ）の上部には空気導
入パイプ（２３ａ）が連結開口されている。
（２０を形成し、燃焼筒シ１の前後端は押え板ＣＤと盲
板＠で密閉し、盲板（２）には内部に真空ポンプ（５）
から配設されているパイプ（６）と連結したノズル（６
ａ）を内挿した内胴０より小径の小円筒（至）を連結開
口し、且、小円筒−の後部はノズル（６ａ）を嵌合した
盲リング（２４）で閉塞し、更に小円筒ｄは盲＆、（２
渇の内端よりや＼内胴（Ｉｎ内に突出する位いの長さと
し、ノズル（６ａ）は小円筒ｃ！（より長く内胴α９に
突出して形成する。且、小円筒（ハ）の上部には空気導
入パイプ（２３ａ）が連結開口されている。
燃焼筒（２（至）の前部下面には第１実施例と同一構成
の排気パイプ（ハ）を同一にして設ける。
の排気パイプ（ハ）を同一にして設ける。
小円筒（゛シ渇とノズル（６ａ）間にノズル（６ａ）よ
り長い中間筒ｃ！４１を設け、中間筒Ｃ３４１の後端（
内端）は開口し、前端（外端）は気密に密閉してＮ２ノ
ズルｃｐ５１を連結開口しておくものである。
り長い中間筒ｃ！４１を設け、中間筒Ｃ３４１の後端（
内端）は開口し、前端（外端）は気密に密閉してＮ２ノ
ズルｃｐ５１を連結開口しておくものである。
けておくものである。給水パイプｃ３１）、排水パイプ
（３２１及びジャマ板（１口は第１実施例と同一に設は
同一の作用をさせるものである。
（３２１及びジャマ板（１口は第１実施例と同一に設は
同一の作用をさせるものである。
前ｊ＋＋ｒ ４ａ成より、ノズル（６ａ）より排ガスが
噴けると９気導入パイプ（２３ａ）より導入されたエア
ーが小円筒１．２３）よりノズル（６ａ）の先端部方向
に噴射するのでノズル（６ａ）より噴射するモノ・シラ
ンガス（ＳｉＨ＜）は空気に触れて爆発的に燃える。
噴けると９気導入パイプ（２３ａ）より導入されたエア
ーが小円筒１．２３）よりノズル（６ａ）の先端部方向
に噴射するのでノズル（６ａ）より噴射するモノ・シラ
ンガス（ＳｉＨ＜）は空気に触れて爆発的に燃える。
この時、中間筒６４）内にＮ２ノズル０９より窒素ガス
を吹き込むと窒素ガスはノズル（６ａ）の開口端部に窒
素ガス雰囲気（［りを作るためモノ・シランガス（Ｓｉ
Ｈ＋）は窒素ガス雰囲気（Ｂｌより先で燃焼する。
を吹き込むと窒素ガスはノズル（６ａ）の開口端部に窒
素ガス雰囲気（［りを作るためモノ・シランガス（Ｓｉ
Ｈ＋）は窒素ガス雰囲気（Ｂｌより先で燃焼する。
即ち、ノズル（６ａ）の開口端と燃焼器との間に一定の
間隙を作るので酸化金属（ＳｉＯｉ：）はノズル（６ａ
）の先端には付着することなく下部に落下する。
間隙を作るので酸化金属（ＳｉＯｉ：）はノズル（６ａ
）の先端には付着することなく下部に落下する。
従ってマンホール筒ｃ２９）内に酸化金属が一定量溜っ
たら蓋体（７）を開いて捨ればよいものである。
たら蓋体（７）を開いて捨ればよいものである。
本願は叙上のようになるので燃焼器に送った排ガスの燃
焼雰囲気に波状振動を与えて排ガス噴射用の単管ノズル
の先端に酸化金属が付着するのを防止することを特徴と
し、及び燃焼器に突出している排ガス噴射用の単管ノズ
ルの先端に窒素ガスの雰囲気部を形成し、モノ・シラン
ガスをこの窒素ガスの雰囲気部の先部で燃焼させ排ガス
噴射用の単管ノズルの先端に酸化金属が付着するのを防
Ｉトすることを特徴としているのでノズルの先端の燃焼
雰囲気に波状振動波を８’ｉ０ｚの塊りをつくることな
く完全燃焼させることができる等のすぐれた特徴を有す
るものである。
焼雰囲気に波状振動を与えて排ガス噴射用の単管ノズル
の先端に酸化金属が付着するのを防止することを特徴と
し、及び燃焼器に突出している排ガス噴射用の単管ノズ
ルの先端に窒素ガスの雰囲気部を形成し、モノ・シラン
ガスをこの窒素ガスの雰囲気部の先部で燃焼させ排ガス
噴射用の単管ノズルの先端に酸化金属が付着するのを防
Ｉトすることを特徴としているのでノズルの先端の燃焼
雰囲気に波状振動波を８’ｉ０ｚの塊りをつくることな
く完全燃焼させることができる等のすぐれた特徴を有す
るものである。
第１図は排ガス処理装置のフローシート、第２図及び第
３図は燃焼器の拡大断面図、第４図は従来の燃焼器のノ
ズル部の拡大断面図である。 特許出願人 東洋酸素株式会社 外１名 手続補正書（方式） 昭和５８年 ８月 °ｒ日 ３、 ｈｌｉ正をする古 １丁件との関係特許出願人 ４代理 人 住 所 〒１０１ 東京都Ｔ代１１１区鍛冶町二丁
目４番１号（佐伯ビル４階）’Ｉ’Ｔ’、Ｌ（２５２）
２５５１ ６、 ｈｌｉｉ日こより増加する発明の数７ｈ１１正
の対象 図面（第４図）及び代理権を糺明する書面８、
ｈｌｉ ｉｔ−の内容 別紙の通り１・ｌ
ｌｊＭｆ三；配Ｅ！ｌＮ５ＩＣ育ｌコ１１１１手続補正
書（自発） １ 事件の表示昭和５７年特願第１９４４５２ 号
□３、補止をする音 ４、代 理 人 ６、補正により増加する発明の数 ７補正の対象明＃Ｉ１１ 宵 全文訂正明細書 寺願昭５７−１９４４５２号） 発明の名称 排ガス処理におけるシランガス燃焼方法２特許請求の範
囲 ｌ） 反応炉内の排ガスを真空ポンプで吸引し、吸引し
た排ガスを燃焼器に送り燃焼器にて燃焼して酸化物と排
ガスとに分離し、燃焼器より排出される排ガスをフィル
ターに送りブロワ−にて加湿器に送り、加湿された排ガ
スをガス処理筒に送って清浄化した後、排ガスをサイク
ロンに送って排気する排ガス処理において、燃焼器に送
った排ガスの燃焼雰囲気に波状振動を与えて排ガス噴射
用の単管ノズルの先端に酸化金属が付着するのを防止す
ることを特徴とする排ガス処理装置におけるシランガス
燃焼方法。 ′２）反応炉内の排ガスを真空ポンプで吸引し、吸引し
た排ガスを燃焼器に送り燃焼器にて燃焼−て酸化物と排
ガスとに分離し、燃焼器より排出される排ガスをフィル
ターに送りプロワ−にて加湿器に送り、加湿された排ガ
スを処理筒に送って清浄化した後、排ガスをサイクロン
に送って排気する排ガス処理において燃焼器に突出して
いる排ガス噴射用の単管ノズルの先端に窒素ガスの雰囲
気部を形成し、シランガスをこの窒素ガスの雰囲気部の
先端部で燃焼させ排ガス噴射用の単管ノズルの先端に酸
化金属が付着するのを防止することを特徴とする排ガス
処理におけるシランガス燃焼方法。 ３、発明の詳細な説明 半導体製造工場の反応炉からでるシランガスを酸化して
無害なガスとして排出する際にガス処理器内の浄化剤組
成物のうち化学的に酸化吸収させ排ガス中の金属水素化
物な固定化し、温度運びに湿度を一定に保ってガス処理
筒で浄化する方法において、反応炉から真空ポンプ及び
ブロワ−を介して加湿器に送ると金属水素化物は固定化
しているものの加湿器内で固定化した金属粉末と排ガス
とが分離されても排ガス中にはいまだに多量に金属水素
化物が含まれだま〜であるのでガス処理筒を用いた酸化
吸収型の浄化剤は酸化吸収能力が低下するばかりか、酸
化再生に作用する中間生成物が排ガスと共に放出する欠
点があった。 本願はこれ等の欠点に鑑み発明したもので、反応炉から
排ガスをブロワ−に送る前段において反応炉から出る排
ガスを空気を送りシランガスを燃焼させ酸化金属は燃焼
器内で排ガスと分離して排ガスをブロワ−に送るように
した排ガス処理方法において燃焼器内に開口するシラン
ガス噴射ノズルの開口瑞に酸化金属が付着するのを防［
Ｅするようにした排ガス処理におけるシランガス燃焼方
法に関するものである。 シランガスは空気に触れると燃焼する。 燃焼方法は従来単管ノズルを使用してきた処シランガス
が燃焼して生成される酸化水素がノズル先端に付着しさ
らに成長を続け、ついにはノズルを閉塞してしまう。こ
うなると被燃焼ガスの元圧によりきのこ状に塊った酸化
水素がノズル先端から剥離される。 この状態が続くと、燃焼室がこのきのこ状の塊りでいっ
ばいになり燃焼室の清浄もメンテナンスのひとつとなる
。又、生成される酸化水素の成長でノズルが閉塞される
故、燃焼口がせばめられ完全燃焼せずシランガスの毒性
がそのま〜排気される事になる。 そこで本願は燃焼管を二重構造とし、内管を外管より短
クシ、内管が形成するノズルの先端の燃焼雰囲気に波状
振動波を与えて燃焼するか、ノズルの先端より一定間隔
はなれた処で燃焼するようにしノズルの先端部に酸化水
素の塊りをつくるととなく完全燃焼させるようにするこ
とを特徴とした発明である。 今、その実施例を説明すれば、加湿器（１）の内底部に
排ガスの散気ヘッダー（２）を開口させ、散気ヘッダー
（２）をブロワ−（３）に連結し、ブロワ−（３）と反
応炉（４）とを真空ポンプ（５）を介してノくイブ（６
）で連結し、加湿器（１）の上部と内部に浄化剤を封入
したガス処理筒（８）の上部とをノくイブ（９）で連結
し、ガス処理筒（８）の下部とサイクロン（Ｉυとをパ
イプ住υで連結する。 サイクロン０１の下部からでているパイプ（１２＋を水
封式セパレーター〇僧の底部に開口する。 更に加湿器（１）の内部に冷凍機（１４）に連結した冷
却管０５）を内挿するものである。 又、パイプ（６）の一箇所で真空ポンプ（５）とブロワ
−（３）の間に流量調整弁Ｃ１６１を取り付はノ（イブ
（６）内の圧力が下がったならば自動的にエアーを吸引
してパイプ内にエアーを送るように形成し、且つ真空ポ
ンプ（５）とブロワ−（３）との間にお℃・てパイプ（
６）に燃焼器（７）を配設し、’ｆ！’ ９Ａ器（’７
）と゛ブロワー（３）間においてパイプ（６）にフィル
ター（ｌηを設けたものである。 次に燃焼器（力について詳細に述べれば、第１実施例は
ジャケット胴（ｌ樽と内胴ａ１と二重の燃焼筒（イ）を
形成し、燃焼筒−の前後端は押え板（２カと盲板Ｇ！２
で密閉し、１板（２３には内部に真空ポンプ（５）から
配設されているパイプ（６）と連結したノズル（６ａ）
を内挿した内胴（１１より小径の小円筒（ハ）を連結開
口し、且小円筒（２）の後部はノズル（６ａ）を嵌合し
た盲リングＧ２４）で閉塞し、更に小円筒（ハ）は盲板
（２４０内端よりやに内１１８Ｉ内に突出する位いの長
さとし、ノズル（６ａ）は小円筒（ハ）より長く内胴（
１９に突出して形成する。 小円筒（ハ）の上部には空気導入パイプ（２３ａ）が連
結開口されている。 燃焼筒（イ）の前部下面に二重管より成る排気パイプＧ
！５１を設け、排気パイプＧ！■の大径の外パイプ（２
Ｓａ）は短く内端はジャケット胴（１秒に連結開口し、
小径の内パイ、プ（２５ｂ）は長く外パイプ（２５ａ）
の下部に突出し、内パイプ（２５ｂ）の内端は内胴０に
連結開口し、更に外端はブロワ−（３）に連結するパイ
プ（６）に連結し、外パイプ（２５ａ）の下端は内パイ
プ（２５ｂ）と気密に盲リング０６で閉塞されている。 ノズル（６ａ）の内端には二本の門形状の棒状サポート
ＱＤが固定され、サポートＱ′０の内側部（ノズル（６
ａ）の反対側）には三角形状の板を放射状で且ノズル（
６ａ）側に一山形に突出する形状に組立てられたディス
トリビュータ−（至）を取り付けて又、サポート（２７
１が位置する下部に内＋１１ｉｉ！（１９にマンホール
筒（２！Ｊｌの上端を固定し、マンホール筒（２９）は
ジャケット胴側を貫通して外部に突出し下部に蓋体聾υ
を着脱自在に取り付けておくものである。 ！３１１は給水パイプでジャケット１個部の後端上部に
連結開口し、１３２１は排水パイプで外ノ（イブ（２５
ａ）１／Ｃ連結開口し、給水パイプ（３＋）より水を補
給し排水パイプ＋３３より排水し・燃焼筒（２（ｌｌを
冷却するものである。 Ｃ遇はジャマ板でジャケット胴吐と内胴０１の間隔を平
行に保つためのものでジャケット胴ｕ８１と内胴０傷間
に適宜に設けられ、貝形状はリング状でなく一部は切欠
き他の空間部と連通し水が容易に流れるようになってい
る。 前記構成よりノズル（６ａ）より排ガスが噴射すると空
気導入パイプ（Ｚ３ａ）より導入されたエアーが小円筒
（ハ）よりノズル（６ａ）の先端部方向に噴射するので
ノズル（６ａ）より噴射する７ランガスは空包に触れて
燃え、その燃焼によって生ずる対流、ディストリビー−
ター（ハ）に衝突する火焔による渦流及び火焔そのもの
がディストリピ−タ−（イ）に衝突するだめの振動等に
よって生ずる波状振動が排ガスの燃焼雰囲気（Ａ）に伝
わり、燃焼したシランガスにより生じた酸化珪素のノズ
ル（６ａ）の先端に付着することな（下部に落下する。 従ってマンホール筒（２）内に酸化珪素が一定量溜った
ら蓋体０（１１を開いて捨ればよいものである。 第２実施例はジャケット胴（博と内胴Ｑｌと二重の燃焼
筒Ｃ！υを形成し、燃焼筒（２１の前後端は押え板（２
１）と盲板Ｑ′ＩＪで密閉し、盲板（イ）には内部に真
空ポンプ（５）から配設されているパイプ（６）と連結
したノズル（６ａ）を内挿した内胴（１９より小径の小
円筒（ハ）を連結開口し、且つ、小円筒（ハ）の後部は
ノズル（６ａ）を嵌合した盲リング（２４）で閉塞し、
更に小円筒＠は盲板ｃｌ！々の内端よりや〜内胴（１９
内に突出する位いの長さとし、ノズル（６ａ）は小円筒
（ハ）より長く内胴ａ１に突出して形成する。且つ小円
筒ｅ３１の上部には空気導入パイプ（２３ａ）が連結開
口されている。 燃焼筒（イ）の前部下面には第１実施例と同一構成の排
気パイプＣ湯を同一にして設ける。 小円筒（２鵠とノズル（６ａ）間にノズル（６ａ）より
長い中間筒（３４）を設け、中間筒＋３４］の後端（内
側）は開口し、前端（外端）は気密に密閉してＮｔノズ
ル（３５１を連結開口しておくものである。 又、中間筒１３４１が開口して位置する下部には第１実
施例と同一構成のマンホール筒Ｑ１０を同一に設けてお
（ものである。給水パイプ（３１）、排水パイプ（３２
１及びジャマ板ｒ３１は礒１実施例と同一に設は同一の
作用をさせるものである。 前記構成よりノズル（６ａ）より排ガスが噴射すると空
気導入パイプ（２３ａ）より導入されたエアーが小円筒
（２３）よりノズル（６ａ）の先端部方向に噴射するの
でノズル（６ａ）より噴射するシランガスは空気に触れ
て燃える。 この時、中間筒（３４１内にＮ２ノズルＣ３５＋より窒
素ガスを吹き込むと窒素ガスはノズル’（６ａ）の開口
端部に窒素ガス雰囲気（１３）を作るためシランガスは
窒素ガス雰囲気（Ｂ）より先で燃焼する。 即ち、ノズル（６ａ）の開口端と燃焼器との間に一定の
間隙を作るので酸化珪素はノズル（６ａ）の先端には付
着することなく下部に落下する。 従ってマンホール筒彌内に酸化珪素が一定量溜ったら蓋
体（３（ηを開いて捨てればよいものである。 本Ｍは叙上のようになるので燃焼器に送った排ガスの燃
焼雰囲気に波状振動を与えて排ガス噴射用の単管ノズル
の先端に酸化珪素が付着するのを防止することを特徴と
し、及び燃焼器に突出している排ガス噴射用の単管ノズ
ルの先端に窒素ガスの雰囲気部を形成し、シランガスを
この窒素ガスの雰囲気部の先部で燃焼させ排ガス噴射用
の単管ノズルの先端に酸化金属が付着するのを防止する
ことを特徴としているのでノズルの先端の燃焼雰囲気に
波状振動波を与えて燃焼するか、ノズルの先端より一定
間隔はなれた処で燃焼するようにしノズルの先端部に酸
素珪素の塊りをつくることなく完全燃焼させることがで
きる等のすぐれた特徴を有するものである。 弱図面の簡単な説明 第１図は排ガス処理装置のフローシート、第２図及び第
３図は燃焼器の拡大断面図、第４図は従来の燃焼器のノ
ズル部の拡大断面図である。 特許出願人 東洋酸素株式会社 手続補正書（自発） 昭和Ｆ１ａ年 ６月ン０日 ３ 補正をする音 トウヨウ゛リン ソ 氏 名 東洋酸素株式会社 ４、代 理 人 ） ６ 浦正により増加する発明の数 ７、補正の対象 へ 補 正 書 昭和６８年６月ノ日 特願昭５７−１９４４５２号 本願の明細書（昭和５８年４月２６日付提出の全文訂正
間［１’）を下記の通り訂正する。 記 （１）明細書第３貞第１６行目、同第１９行目、第４頁
第３行目、及び同第１１行目中「酸化水素」とあるな「
酸化珪素」と訂正する。 （２） 同第１０頁第２０行中「酸素」とあるを「酸
化」と訂正する。 （３）同第８頁第６行目中「酸化珪素のノ」とあるな「
酸化珪素はノ、」と訂正する。 特許出願人 東洋酸素株式会社
３図は燃焼器の拡大断面図、第４図は従来の燃焼器のノ
ズル部の拡大断面図である。 特許出願人 東洋酸素株式会社 外１名 手続補正書（方式） 昭和５８年 ８月 °ｒ日 ３、 ｈｌｉ正をする古 １丁件との関係特許出願人 ４代理 人 住 所 〒１０１ 東京都Ｔ代１１１区鍛冶町二丁
目４番１号（佐伯ビル４階）’Ｉ’Ｔ’、Ｌ（２５２）
２５５１ ６、 ｈｌｉｉ日こより増加する発明の数７ｈ１１正
の対象 図面（第４図）及び代理権を糺明する書面８、
ｈｌｉ ｉｔ−の内容 別紙の通り１・ｌ
ｌｊＭｆ三；配Ｅ！ｌＮ５ＩＣ育ｌコ１１１１手続補正
書（自発） １ 事件の表示昭和５７年特願第１９４４５２ 号
□３、補止をする音 ４、代 理 人 ６、補正により増加する発明の数 ７補正の対象明＃Ｉ１１ 宵 全文訂正明細書 寺願昭５７−１９４４５２号） 発明の名称 排ガス処理におけるシランガス燃焼方法２特許請求の範
囲 ｌ） 反応炉内の排ガスを真空ポンプで吸引し、吸引し
た排ガスを燃焼器に送り燃焼器にて燃焼して酸化物と排
ガスとに分離し、燃焼器より排出される排ガスをフィル
ターに送りブロワ−にて加湿器に送り、加湿された排ガ
スをガス処理筒に送って清浄化した後、排ガスをサイク
ロンに送って排気する排ガス処理において、燃焼器に送
った排ガスの燃焼雰囲気に波状振動を与えて排ガス噴射
用の単管ノズルの先端に酸化金属が付着するのを防止す
ることを特徴とする排ガス処理装置におけるシランガス
燃焼方法。 ′２）反応炉内の排ガスを真空ポンプで吸引し、吸引し
た排ガスを燃焼器に送り燃焼器にて燃焼−て酸化物と排
ガスとに分離し、燃焼器より排出される排ガスをフィル
ターに送りプロワ−にて加湿器に送り、加湿された排ガ
スを処理筒に送って清浄化した後、排ガスをサイクロン
に送って排気する排ガス処理において燃焼器に突出して
いる排ガス噴射用の単管ノズルの先端に窒素ガスの雰囲
気部を形成し、シランガスをこの窒素ガスの雰囲気部の
先端部で燃焼させ排ガス噴射用の単管ノズルの先端に酸
化金属が付着するのを防止することを特徴とする排ガス
処理におけるシランガス燃焼方法。 ３、発明の詳細な説明 半導体製造工場の反応炉からでるシランガスを酸化して
無害なガスとして排出する際にガス処理器内の浄化剤組
成物のうち化学的に酸化吸収させ排ガス中の金属水素化
物な固定化し、温度運びに湿度を一定に保ってガス処理
筒で浄化する方法において、反応炉から真空ポンプ及び
ブロワ−を介して加湿器に送ると金属水素化物は固定化
しているものの加湿器内で固定化した金属粉末と排ガス
とが分離されても排ガス中にはいまだに多量に金属水素
化物が含まれだま〜であるのでガス処理筒を用いた酸化
吸収型の浄化剤は酸化吸収能力が低下するばかりか、酸
化再生に作用する中間生成物が排ガスと共に放出する欠
点があった。 本願はこれ等の欠点に鑑み発明したもので、反応炉から
排ガスをブロワ−に送る前段において反応炉から出る排
ガスを空気を送りシランガスを燃焼させ酸化金属は燃焼
器内で排ガスと分離して排ガスをブロワ−に送るように
した排ガス処理方法において燃焼器内に開口するシラン
ガス噴射ノズルの開口瑞に酸化金属が付着するのを防［
Ｅするようにした排ガス処理におけるシランガス燃焼方
法に関するものである。 シランガスは空気に触れると燃焼する。 燃焼方法は従来単管ノズルを使用してきた処シランガス
が燃焼して生成される酸化水素がノズル先端に付着しさ
らに成長を続け、ついにはノズルを閉塞してしまう。こ
うなると被燃焼ガスの元圧によりきのこ状に塊った酸化
水素がノズル先端から剥離される。 この状態が続くと、燃焼室がこのきのこ状の塊りでいっ
ばいになり燃焼室の清浄もメンテナンスのひとつとなる
。又、生成される酸化水素の成長でノズルが閉塞される
故、燃焼口がせばめられ完全燃焼せずシランガスの毒性
がそのま〜排気される事になる。 そこで本願は燃焼管を二重構造とし、内管を外管より短
クシ、内管が形成するノズルの先端の燃焼雰囲気に波状
振動波を与えて燃焼するか、ノズルの先端より一定間隔
はなれた処で燃焼するようにしノズルの先端部に酸化水
素の塊りをつくるととなく完全燃焼させるようにするこ
とを特徴とした発明である。 今、その実施例を説明すれば、加湿器（１）の内底部に
排ガスの散気ヘッダー（２）を開口させ、散気ヘッダー
（２）をブロワ−（３）に連結し、ブロワ−（３）と反
応炉（４）とを真空ポンプ（５）を介してノくイブ（６
）で連結し、加湿器（１）の上部と内部に浄化剤を封入
したガス処理筒（８）の上部とをノくイブ（９）で連結
し、ガス処理筒（８）の下部とサイクロン（Ｉυとをパ
イプ住υで連結する。 サイクロン０１の下部からでているパイプ（１２＋を水
封式セパレーター〇僧の底部に開口する。 更に加湿器（１）の内部に冷凍機（１４）に連結した冷
却管０５）を内挿するものである。 又、パイプ（６）の一箇所で真空ポンプ（５）とブロワ
−（３）の間に流量調整弁Ｃ１６１を取り付はノ（イブ
（６）内の圧力が下がったならば自動的にエアーを吸引
してパイプ内にエアーを送るように形成し、且つ真空ポ
ンプ（５）とブロワ−（３）との間にお℃・てパイプ（
６）に燃焼器（７）を配設し、’ｆ！’ ９Ａ器（’７
）と゛ブロワー（３）間においてパイプ（６）にフィル
ター（ｌηを設けたものである。 次に燃焼器（力について詳細に述べれば、第１実施例は
ジャケット胴（ｌ樽と内胴ａ１と二重の燃焼筒（イ）を
形成し、燃焼筒−の前後端は押え板（２カと盲板Ｇ！２
で密閉し、１板（２３には内部に真空ポンプ（５）から
配設されているパイプ（６）と連結したノズル（６ａ）
を内挿した内胴（１１より小径の小円筒（ハ）を連結開
口し、且小円筒（２）の後部はノズル（６ａ）を嵌合し
た盲リングＧ２４）で閉塞し、更に小円筒（ハ）は盲板
（２４０内端よりやに内１１８Ｉ内に突出する位いの長
さとし、ノズル（６ａ）は小円筒（ハ）より長く内胴（
１９に突出して形成する。 小円筒（ハ）の上部には空気導入パイプ（２３ａ）が連
結開口されている。 燃焼筒（イ）の前部下面に二重管より成る排気パイプＧ
！５１を設け、排気パイプＧ！■の大径の外パイプ（２
Ｓａ）は短く内端はジャケット胴（１秒に連結開口し、
小径の内パイ、プ（２５ｂ）は長く外パイプ（２５ａ）
の下部に突出し、内パイプ（２５ｂ）の内端は内胴０に
連結開口し、更に外端はブロワ−（３）に連結するパイ
プ（６）に連結し、外パイプ（２５ａ）の下端は内パイ
プ（２５ｂ）と気密に盲リング０６で閉塞されている。 ノズル（６ａ）の内端には二本の門形状の棒状サポート
ＱＤが固定され、サポートＱ′０の内側部（ノズル（６
ａ）の反対側）には三角形状の板を放射状で且ノズル（
６ａ）側に一山形に突出する形状に組立てられたディス
トリビュータ−（至）を取り付けて又、サポート（２７
１が位置する下部に内＋１１ｉｉ！（１９にマンホール
筒（２！Ｊｌの上端を固定し、マンホール筒（２９）は
ジャケット胴側を貫通して外部に突出し下部に蓋体聾υ
を着脱自在に取り付けておくものである。 ！３１１は給水パイプでジャケット１個部の後端上部に
連結開口し、１３２１は排水パイプで外ノ（イブ（２５
ａ）１／Ｃ連結開口し、給水パイプ（３＋）より水を補
給し排水パイプ＋３３より排水し・燃焼筒（２（ｌｌを
冷却するものである。 Ｃ遇はジャマ板でジャケット胴吐と内胴０１の間隔を平
行に保つためのものでジャケット胴ｕ８１と内胴０傷間
に適宜に設けられ、貝形状はリング状でなく一部は切欠
き他の空間部と連通し水が容易に流れるようになってい
る。 前記構成よりノズル（６ａ）より排ガスが噴射すると空
気導入パイプ（Ｚ３ａ）より導入されたエアーが小円筒
（ハ）よりノズル（６ａ）の先端部方向に噴射するので
ノズル（６ａ）より噴射する７ランガスは空包に触れて
燃え、その燃焼によって生ずる対流、ディストリビー−
ター（ハ）に衝突する火焔による渦流及び火焔そのもの
がディストリピ−タ−（イ）に衝突するだめの振動等に
よって生ずる波状振動が排ガスの燃焼雰囲気（Ａ）に伝
わり、燃焼したシランガスにより生じた酸化珪素のノズ
ル（６ａ）の先端に付着することな（下部に落下する。 従ってマンホール筒（２）内に酸化珪素が一定量溜った
ら蓋体０（１１を開いて捨ればよいものである。 第２実施例はジャケット胴（博と内胴Ｑｌと二重の燃焼
筒Ｃ！υを形成し、燃焼筒（２１の前後端は押え板（２
１）と盲板Ｑ′ＩＪで密閉し、盲板（イ）には内部に真
空ポンプ（５）から配設されているパイプ（６）と連結
したノズル（６ａ）を内挿した内胴（１９より小径の小
円筒（ハ）を連結開口し、且つ、小円筒（ハ）の後部は
ノズル（６ａ）を嵌合した盲リング（２４）で閉塞し、
更に小円筒＠は盲板ｃｌ！々の内端よりや〜内胴（１９
内に突出する位いの長さとし、ノズル（６ａ）は小円筒
（ハ）より長く内胴ａ１に突出して形成する。且つ小円
筒ｅ３１の上部には空気導入パイプ（２３ａ）が連結開
口されている。 燃焼筒（イ）の前部下面には第１実施例と同一構成の排
気パイプＣ湯を同一にして設ける。 小円筒（２鵠とノズル（６ａ）間にノズル（６ａ）より
長い中間筒（３４）を設け、中間筒＋３４］の後端（内
側）は開口し、前端（外端）は気密に密閉してＮｔノズ
ル（３５１を連結開口しておくものである。 又、中間筒１３４１が開口して位置する下部には第１実
施例と同一構成のマンホール筒Ｑ１０を同一に設けてお
（ものである。給水パイプ（３１）、排水パイプ（３２
１及びジャマ板ｒ３１は礒１実施例と同一に設は同一の
作用をさせるものである。 前記構成よりノズル（６ａ）より排ガスが噴射すると空
気導入パイプ（２３ａ）より導入されたエアーが小円筒
（２３）よりノズル（６ａ）の先端部方向に噴射するの
でノズル（６ａ）より噴射するシランガスは空気に触れ
て燃える。 この時、中間筒（３４１内にＮ２ノズルＣ３５＋より窒
素ガスを吹き込むと窒素ガスはノズル’（６ａ）の開口
端部に窒素ガス雰囲気（１３）を作るためシランガスは
窒素ガス雰囲気（Ｂ）より先で燃焼する。 即ち、ノズル（６ａ）の開口端と燃焼器との間に一定の
間隙を作るので酸化珪素はノズル（６ａ）の先端には付
着することなく下部に落下する。 従ってマンホール筒彌内に酸化珪素が一定量溜ったら蓋
体（３（ηを開いて捨てればよいものである。 本Ｍは叙上のようになるので燃焼器に送った排ガスの燃
焼雰囲気に波状振動を与えて排ガス噴射用の単管ノズル
の先端に酸化珪素が付着するのを防止することを特徴と
し、及び燃焼器に突出している排ガス噴射用の単管ノズ
ルの先端に窒素ガスの雰囲気部を形成し、シランガスを
この窒素ガスの雰囲気部の先部で燃焼させ排ガス噴射用
の単管ノズルの先端に酸化金属が付着するのを防止する
ことを特徴としているのでノズルの先端の燃焼雰囲気に
波状振動波を与えて燃焼するか、ノズルの先端より一定
間隔はなれた処で燃焼するようにしノズルの先端部に酸
素珪素の塊りをつくることなく完全燃焼させることがで
きる等のすぐれた特徴を有するものである。 弱図面の簡単な説明 第１図は排ガス処理装置のフローシート、第２図及び第
３図は燃焼器の拡大断面図、第４図は従来の燃焼器のノ
ズル部の拡大断面図である。 特許出願人 東洋酸素株式会社 手続補正書（自発） 昭和Ｆ１ａ年 ６月ン０日 ３ 補正をする音 トウヨウ゛リン ソ 氏 名 東洋酸素株式会社 ４、代 理 人 ） ６ 浦正により増加する発明の数 ７、補正の対象 へ 補 正 書 昭和６８年６月ノ日 特願昭５７−１９４４５２号 本願の明細書（昭和５８年４月２６日付提出の全文訂正
間［１’）を下記の通り訂正する。 記 （１）明細書第３貞第１６行目、同第１９行目、第４頁
第３行目、及び同第１１行目中「酸化水素」とあるな「
酸化珪素」と訂正する。 （２） 同第１０頁第２０行中「酸素」とあるを「酸
化」と訂正する。 （３）同第８頁第６行目中「酸化珪素のノ」とあるな「
酸化珪素はノ、」と訂正する。 特許出願人 東洋酸素株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１反応炉、内の排ガスを真空ポンプで吸引し、吸引
した排ガスを燃焼器に送り燃焼器にて燃焼して酸化物と
排ガスとに分離し、燃焼器より排に送って清浄化した後
、排ガスをサイクロンに送って排気する排ガス処理にお
いて、燃焼器に送った排ガスの燃焼雰囲気に波状振動を
与えて排ガス噴射用の単管ノズルの先端に酸化金属が付
着するのを防止することを特徴とする排ガス処理におけ
るモノ・シランガス燃焼方法。 （２）反応炉内の排ガスを真空ポンプで吸引し、吸引し
た排ガスを燃焼器に送り燃焼器にて燃焼して酸化物と排
ガスとに分離し、燃焼器より排出される排ガスをフィル
ターに送りブロワ−にて加Ａ送り、加湿された排ガスを
処理筒に送って清浄化した後、排ガスをサイクロンに送
って排気する排ガス処理において、燃焼器ＶＣ／１２′
突出している排ガス噴射用の単管ノズルの先端に窒素ガ
スの雰囲気部を形成し、モノ中シランガスをこの窒素ガ
スの雰囲気部の先部で燃焼させ排ガス噴射用の単管ノズ
ルの先端に酸化金属が付着するのを防止することを特徴
とする排ガス処理におけるモノ・シランガス燃焼方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57194452A JPS5984019A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 排ガス処理におけるモノ・シランガス燃焼方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57194452A JPS5984019A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 排ガス処理におけるモノ・シランガス燃焼方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984019A true JPS5984019A (ja) | 1984-05-15 |
Family
ID=16324800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57194452A Pending JPS5984019A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 排ガス処理におけるモノ・シランガス燃焼方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984019A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63279014A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-11-16 | ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード | 有害流出ガスの分解方法及び装置 |
| JPH0195214A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Toyo Sanso Kk | 特殊材料ガスの燃焼方法 |
| US5405445A (en) * | 1991-12-11 | 1995-04-11 | Fujitsu Limited | Vacuum extraction system for chemical vapor deposition reactor vessel and trapping device incorporated therein |
| CN105953241A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 江苏沃尔特环保有限公司 | 一种高效燃烧的内燃式沼气焚烧火炬 |
| JP2019020011A (ja) * | 2017-07-13 | 2019-02-07 | 大陽日酸株式会社 | 燃焼ノズル、燃焼筒、及び燃焼除害装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021993A (ja) * | 1973-06-28 | 1975-03-08 |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP57194452A patent/JPS5984019A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021993A (ja) * | 1973-06-28 | 1975-03-08 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63279014A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-11-16 | ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード | 有害流出ガスの分解方法及び装置 |
| JPH0195214A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Toyo Sanso Kk | 特殊材料ガスの燃焼方法 |
| US5405445A (en) * | 1991-12-11 | 1995-04-11 | Fujitsu Limited | Vacuum extraction system for chemical vapor deposition reactor vessel and trapping device incorporated therein |
| CN105953241A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 江苏沃尔特环保有限公司 | 一种高效燃烧的内燃式沼气焚烧火炬 |
| JP2019020011A (ja) * | 2017-07-13 | 2019-02-07 | 大陽日酸株式会社 | 燃焼ノズル、燃焼筒、及び燃焼除害装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5833829A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JP2014134350A (ja) | インレットノズル、及び除害装置 | |
| JPS6387519A (ja) | 半導体製造装置の排ガス燃焼方法 | |
| JPH04502957A (ja) | 酸素を除去した有毒気体溶出物の燃焼のための方法および装置 | |
| EP0311317A2 (en) | Combustion method for specific exhaust gases containing deleterious substances | |
| CN108119904A (zh) | 一种在线阳光控制镀膜尾气处理装置及其处理工艺 | |
| US1592474A (en) | Process for the thermal decomposition of gaseous hydrocarbons, natural gas, or the like by heat | |
| JP3866808B2 (ja) | 半導体製造工程排ガス除害装置 | |
| CA1277442C (en) | Gas scavenger | |
| CN215489744U (zh) | 氰化尾渣脱氰系统 | |
| JPS6142321A (ja) | シランガス処理装置 | |
| CN206746316U (zh) | 一种锅炉脱硝装置 | |
| KR102881671B1 (ko) | 소각 및 연소로의 백필터 집진기 | |
| US1082245A (en) | Apparatus for the treatment of smoke from furnaces and the like. | |
| CN218741267U (zh) | 一种余热锅炉用废气处理装置 | |
| KR200296844Y1 (ko) | 폐기가스 처리를 위한 연소식 처리장치 | |
| JP3088810B2 (ja) | 排ガス乾式処理装置 | |
| JPS5790508A (en) | Combustion apparatus for solid fuel | |
| JPS5982927A (ja) | 排ガス処理方法 | |
| US1526280A (en) | Apparatus for cleaning gas and vapors, more especially blast-furnace gases | |
| JPS5527031A (en) | Silencer for air nozzle | |
| JP2688658B2 (ja) | 排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置 | |
| CN210974825U (zh) | 一种焙烧装置 | |
| JPS60227415A (ja) | 気相成長装置 | |
| CN209378801U (zh) | 带声波吹灰器的烟气过滤装置 |