JPS5984217A - 回転多面鏡 - Google Patents

回転多面鏡

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JPS5984217A
JPS5984217A JP57194348A JP19434882A JPS5984217A JP S5984217 A JPS5984217 A JP S5984217A JP 57194348 A JP57194348 A JP 57194348A JP 19434882 A JP19434882 A JP 19434882A JP S5984217 A JPS5984217 A JP S5984217A
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JP
Japan
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mirror
rotating polygon
polygon mirror
mirror surface
effective
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JP57194348A
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JPH0439053B2 (ja
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Toru Kameyama
徹 亀山
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光偏向装置に用いられる回転多面鏡に関するも
のであり、組立時に、損傷を受けることがない様な構成
を有する回転多面鏡に関するものである。
第1図は回転多面鏡を用いた光偏向装置の一実施例を示
す図である。第1図に示す様に、回転多面鏡を用いた光
偏向装置は、一般に回転多面鏡1と回転多面鏡1が取シ
付けられている駆動源であるモーター2とから構成され
、レーザーなど光源3から出た元ビーム4をその回転に
よって被走査面上のA点からB点まで矢印方向に走査す
るものである。
第2図は従来の回転多面鏡の斜視図である。回転多面鏡
5は銅・アルミニウムなどでできた一坏物で、外周に複
数の鏡面5aが形成されている。
そしてその鏡面5aの回転軸CD方向の端部は、上方は
上端面5bまた下方は不図示の下端面の位置まで延びて
いる。各鏡面はダイヤモンドバイトなどを使い、精度の
高い加工機によシ切削加工されている。
中央部に設けられた穴5Cはモーターの出力軸力と、回
転多面鏡を取シ付ける為の軸に回転多面鏡5を位置決め
嵌合させる為の穴である。
この様な回転多面鏡は、鏡面にキズ、打痕等がつかない
様に細心の注意を払って加工され、またモーターに取り
付けられる。石英ガラスなどの脆性材料でできた回転多
面鏡はもし加工中あるいは組立中に何かにぶつかってキ
ズがついた如、打痕ができたとしてもその部分の反射膜
だけが剥がれたシ、母材が欠落するだけで、その被害は
その狭い非常に限定された範囲内だけにとどまシ、周囲
に影響を及ぼすことはない。しかし、銅・アルミニウム
など延性材料でできた回転多面鏡は、キズ、打痕等によ
る影響がその部分だけにとどまらず、歪を生じて広い範
囲に広がる。金弟2図の回転多面#p、5の一つの鏡面
5aの稜部のP点に何かがぶつかって、そこに小さな打
痕ができたとする。第6図は鐘囲5a上に平面原器を置
き、正面から見た時の梯子を拡大して示した図である。
原器を通して鏡面5aを見ると鏡面5aにはP点を中心
に微小な面形状の変化が広範囲に亘って現われ、この変
形は二点鎖線で囲まれた鏡面の有効部5dの中に達して
いる。一般に鏡面の有効部5d内の平面度は、鏡面で反
射された光ビームが被走査面上で規定のスポット形状を
保つ様に、また回転多面鏡の回転角度と光ビームの偏向
角度が正しく比例する様にとの配慮から、数分の1μm
以下の高精度に抑えられている。したがってP点にたと
え非常に小さな打痕がつき、その周囲で有効部5d内の
範囲に1〜2μm程度の面形状の変化が生じたとしても
、その回転多面鏡はもはや使用でき力くなってしまう。
本発明の目的は、加工中や組立中に誤まって回転多面鏡
を何かにぶつけても、変形が鏡面の有効部にまで及ばな
い様な回転多面鏡を提供することにある。
本発明に係る回転多面鏡においては、各鏡面に鏡面の有
効部を衝撃による変形から守る為の手段を設けることに
よシ上記目的を達成せんとするものである。この手段は
、鏡面の有効部が直接に衝撃を受けにくい構成をとるこ
と、又は鏡面の有効部以外に加えられた衝撃が、有効部
にはほとんど以下、本発明に関して詳述する。
第4図は本発明の回転多面鏡の一実施例を示す斜視図、
第5図はその平面図である。第4図の回転多面鏡乙の特
徴は、回転多面鏡の全周に亘って鏡面に2本の溝6dと
6eを設けたことである。
それぞれの溝は鏡面6aの上端面6bの近くと、下端面
(上端面6bの対向面)の近くに設けられている。
この溝はたとえば回転多面鏡6をその回転軸を中心に回
転させながら旋盤加工などによって形成され、溝の底部
は第5図の破線の様である。第5図の矢印部分で、鏡面
6aを切断した断面図を示したものが第6図である。
今鏡Z6aの稜部のP′点に何かがぶつかって、そこに
小さな打痕ができたとする。第7図は第6図と同様鏡面
6a上に平面原器を置き、正量から見た時の図を拡大し
て示したものである。原器を通して鋺面6aを見ると鏡
面6aにはP′を中心に微小な面形状の変化が広がって
いるが、それは鏡面6aのうちの溝6dと上端面6bで
囲まれた部分6fのところだけにとどまυ、鏡面の有効
部6Cには及んでいない。これは溝6dの一種の緩衝作
用の働きで、歪が有効部6Cのある鏡面側に伝わらない
為である。
第4図の回転多面鏡6が持つ綾部のうち最もぶつける確
率が高いのはP′点のある綾部とその反対面の稜部で、
次にぶつけ易いのが鏡面と鏡面の突き当て部で形成され
る稜部である。したがって第4図の様な構造であれば起
こシ得る事故のかなりの部分を防ぐことができる。保護
部6f、6gの形状は、有効部とは異なる円板状の構成
でも良い。
溝6dと6Cの幅と保護部6fと6gの回転軸C/D’
方向の幅はできるだけ狭い方が、回転多面鏡の幅に占め
る有効部以外の部分の幅が小さくなるので、コスト面か
らも光偏向装置の小型化の而からも望ましい。しかしこ
れらを余シ小さくするとP′点にかかった衝撃が少し強
かった様な場合、保護部6f部が大きく変形して、有効
部6Cのある鏡面側に当たυ、有効部6C内に面形状の
変形を発生させてしまう恐れがある。溝6dと6eの弘
保護部6fと6gの幅及び溝の深さは回転多面鏡の材質
と、考えられる衝撃の強さを考慮して必要最小限でかつ
十分な値にとる必要がある。
第8図は、本発明の別の実施例を示す回転多面鏡の斜視
図、第9図はその平面図である。第8図の回転多面鏡で
は、鏡面7aの外側、鏡面7aの上端面7b側と下端面
側に段部7d、7eが設けられ、これが保護部となって
いる。第10図は第9図の矢印部分で鏡面7aを切断し
た図である。
もし保護部7dの稜部21点に何かがぶつかってそこに
小さな打痕ができたとしても、それによる変形は段部の
おかげで保護部7dだけにとどまり、鏡面7aには及ば
ない。この実施例は保護部が鏡面よシも引込んでいるの
で、第4図実施?lJにくらべれば鏡面の変形を防ぐ効
果はやや劣るが、保護部の生成加工が簡単であるという
利点がある。
第11図は、本発明の他の実施例における回転多[11
1鏡の鏡面の部分断面図である。第11図の回転多面鏡
8では、回転多面鏡8の外周面の下端面8bの近傍と、
下端面の近傍に、鏡面8aよりも前にせシ出した形の保
詩部8fと8gを設け、さらに保股部8f、8gc!:
鏡而8aとの間に小さな溝8dと8eをそれぞれ設け、
鏡面の変形防止の効果を高めたものである。この実施V
llは保恨部が鏡面よりも前へ出ているので鏡ll11
を保砕する効果が大きいが、生成加工が若干むずかしい
という欠点がある。
第12図、第16図は上述した回転多面鏡とは形状の違
った回転多面鏡の場合の実施vすを示す図である。回転
多面鏡9は図の様に多角錐状を成している。この実施’
17!Iの場合の保護部の構成は基本的には先に述べた
第4図の実施例の場合と同じである。回転多面鏡9の保
護部9fと9gはそれぞれ鏡面9aの下端面9bの近傍
に設けられた溝9dと上端面9bとの間に、また鏡面9
aの下端面近傍に設けられた溝9eと下端面との間に設
けられについた打痕によるQ点またはQ′点の周囲の変
形す の範囲は、保護部9fまたは9gの部分だけにとどまり
、鏡面9aに広がることは力い。第12図形状の回転多
面鏡の場合、Q点のある稜部よシもQ′点のある稜部の
方が何かにぶつける可能性は高い。稜部な形成する二つ
の面のなす角度が小さければ小さい程(よシ鋭角な程)
、その稜部なぶつける確率は高い。
回転多面鏡の形状は以上の例で述べた形の他きわめて多
様な形状が存在する。本発明はどの様な形状の回転多面
鏡に対しても、その形状に応じて適宜実施し得るもので
ある。即ち、構成のポイントは保護したいぶつかり易い
綾部よ如さらにぶつかり易い部分を意図的に作っておい
て、ぶつかυ易い稜部にぶつかる前に後者の保護の為に
作った部分がぶつかって、前者の稜部を保膜する様にす
ること、この衝撃が鏡■の有効部に伝わらない様な構成
を取ることである。
以上の説明では、延性材料でできた回転多面鏡に対する
本発明の効果を述べたが、本発明は脆性材料でできた回
転多面鏡に対しても、鏡面有効部の反射膜の剥がれや母
材の欠落を防止するという意味で効果を発揮し、有効な
ものである。
以上説明した様に本発明によれば回転多面鏡の形状に若
干の工夫を加えることによって加工中あるいは組立中の
回転多面鏡の不良の発生を減少させ、組立作業を楽にす
ることができて、生産性の向上に寄与するところが大き
い。
【図面の簡単な説明】
第1図は一般的々光偏向装置の使用?lJを示した図、
第2図は従来の回転多面鏡を示す斜視図、第3図は第2
図に示す回転多面鏡の鏡1iLI58の拡大図、第4図
は本発明の回転多面鏡の一実施vすを示す斜視図、第5
図は第4図に示す回転多面鏡の平施例な示す斜視図、第
9図は第8図に示す回転多面鏡の平面図、第10鴎は第
9図に示す回転多面鏡の鏡面7aの断面図、第11図は
本発明の回転多面鏡の更なる実施例における鏡面の断面
図、第12図は本発明の回転多面鏡の更なる実施ψ]の
斜視図、第13図は、第12図に示す回転多面鏡の鏡面
の断面図。 図中、1,5.(S、7,8,9・・・回転多面鏡5a
、6a、7a、8a、9a・・・鏡面5C,6C・・・
鏡面の有効部 6f 、6g 、7d 、7e 、8f 、8g 、9
f 、9g @−”保護部出願人 キャノン株式会社 代理人  丸 島 偽 !際胛週 4M

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) ’!!ffi数の鏡面を有する回転多面鏡にお
    いて、前記各鏡面に、鏡面の有効部を衝撃による変形か
    ら防止する為の手段を設けた事を特徴とする回転多面鏡
JP57194348A 1982-11-05 1982-11-05 回転多面鏡 Granted JPS5984217A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57194348A JPS5984217A (ja) 1982-11-05 1982-11-05 回転多面鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57194348A JPS5984217A (ja) 1982-11-05 1982-11-05 回転多面鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5984217A true JPS5984217A (ja) 1984-05-15
JPH0439053B2 JPH0439053B2 (ja) 1992-06-26

Family

ID=16323083

Family Applications (1)

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JP57194348A Granted JPS5984217A (ja) 1982-11-05 1982-11-05 回転多面鏡

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JPH0439053B2 (ja) 1992-06-26

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