JPS5984484A - ガスの流れを横切る安定な放電を確立しかつ維持するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 この発明は、ガス・フロー・チャンネル内通るガスの流
れを横切る安定な放電を確立しかつ維持するための装置
に関する。この発明は、特に、高出力・流動ガス・レー
ザに応用することができ、それゆえに、このようなガス
・レーザについての出願を次に述べる。

先行技術の説明 近年、特に金属加工業において利用でるために、高出力
の流動ガス・レー１１の開発が盛んに行なわれてきてい
る。この種の公知のレーザについてのいくつかの例は、
アメリカ合衆国性８′１第３，６４１．４５７号、第３
．７０２．９７３号、第３゜７４８．５９４号、第３．
７５８．８７４号、第３．８８６．４８１号、第３．０
２１．０９８号、第４．’　０５８．７７８号、第４．
３１’７．０９０号および第４．３２１．５５８号に述
べられている。このような高出力レーザの設胴における
大きな問題の１つは、熱の放散である。高出力レーザは
、不当に高い温度では能率良く動作し１号ないからであ
る。たとえば、今日、高出力用途に４３いて主に用いら
れているＣＯ□レーザは、２００℃よりはるかに高い温
度では能率良く動作することができない。高出力レーザ
の設計における他の問題は、ガスの流れを横切る安定な
放電を確立しかつ維持することが困難なことにある。上
述した先行出願のうち、アメリカ合衆国性ｈ′［第３．
７１１８゜５９４号および第３，７５８，８７４号は、
特にこの問題に対処したものである。高出力流動・ガス
・レーザの構成における上記問題は、他の高出力流動ガ
ス電気装置の設計おＪ：び製造においても問題となって
いることがわかっている。

発明の概要 この発明の目的は、ガス・フロー・チャンネルを通るガ
スの流れを横切る安定な放電を確立しかつ維持するため
の改善された装置を提供することにある。この発明の他
の目的は、上述した熱放散ならびに安定な放電に関して
の改善を可能とするだけでなく、この種の装置の製造お
よびメインテナンスをも容易どするような装置を提供づ
ることにある。この発明のさらに他の目的は、上述の点
が改良された構造を有する高出力流動ガス・レーザを提
供することにある。

この発明のある広い局面によれば、外部電源の電極に接
続するための手段を右Ｊる少なくとも１個の電極を、そ
れぞれが含む、複数個のモジコ−ル部材内 Ｊ：す、ガス・フロー・チャンネルの壁の少なくとも一
部が占められており、かつこれらのすべての部材がガス
・フロー・チャンネルの壁の各部分に沿って延びる絶縁
材料ブ［１ツク内に埋め込まれていることを特徴どする
、ガス・フロー・チャンネルを通るガスの流れを横切る
安定な放電を確立しかつ維持りるための装置が提供され
る。

後述するこの発明の好ましい実施例では、各モジュール
部材は、ガス・フロー・チャンネルに関づるライン内に
配置された複数個の電極を含む。

ある実施例では、各モジュール部材内の電極ラインは、
チせンネルを通るガスの流れに平行に延びており、第２
の実施例では、各モジュール部材はチャンネルを通るガ
スの流れを横切るように延びている。これら双方の実施
例において、各モジュール部材は、各電極に電気的に接
続されておりかつ絶縁月利ブロック内に埋め込まれてい
るバラスト・インピーダンスを含んでいる。

この発明の他の重要な特徴によれば、ガス・フロー・チ
ャンネルの下流側に設けられたモジコール部材内のバラ
スト・インピーダンスは、上流側に設けられたモジゴー
ル部材内のバラスト・インピーダンスよりも低いインピ
ーダンス値を有しており、それによって下流側のチャン
ネルを通るガスの流れのより低いインピーダンスが補償
され、かつチャンネルの様々な部分を横切る実質的に一
定の電圧が発生される。

上述のように、この発明の上記した実施例の双方におい
て、各電極は、モジュール部材の内面から突出し、かつ
ガス・フＬ１−・チャンネル内に突出する金属ビンを含
む。この発明の第３の実施例もまた下記において説明さ
れ、そこではモジュール部Ｈの各電極がガス・フロー・
チャンネルの内面に実質的に平行に延びる平坦な層とな
っており、各モジュール部材は、さらに、前記平坦な電
極を覆う誘電体層を含んでおり、この誘電体層は、ガス
・フロー・チャンネルの各部分に設けられたモジュール
部（Ａの内面を構成し、また各電極についてのバラスト
・インピーダンスの誘電体として機能する。

この発明他の特徴と効果は、以下の説明から明らかとな
るであろう。

好ましい実施１（ｉＩの説明 全体的なレーザの構造（第１図を参照）第１図を参照し
て、ここでは高出力流動ガス・レーザが示されており、
この高出力流動ガス・レーザは大気圧と異なる内圧に耐
え１ｑる外ハウジング２を含む。この形式のレーザでは
、この内圧は約０．２気圧Ｊ、り小さい。特に、レーザ
・ガスを励起するのに用いる、この種の放電のための装
置についての好ましい内圧は、約０．０５気圧である。

好ましくは、このガスは、高出力レーザにおいて通常用
いられている公知のＣＯ２混合ガスの１ｇ！である。

レーザ・チャンネルは、四辺形に配置された４木のレッ
グから構成されるように折曲げられた、全体を参照番号
３で示す光学キャビテｆすなわち共振器の形態を有する
。２本のレッグは、第１図において３ａａ３．ｌ：び３
Ｃで示されており、光学キャビディ全体の構成は、昭和
５８年８月１８日付で同一出願人により出願された［高
出力流動ガス・レーザ装置」なる題名の特許出願におい
てより特定的に説明されている。各レッグには、別々の
ガス・フロー・チャンネル内とえば４ａ、４ｃが供給さ
れており、このガス・フロー・チャンネルを通るガスの
流れが電気モータ４２で駆動される羽根中４１により発
生してＪ３す、羽根車４１の出力側にはディフ７−ザ４
４が設けられている。

各チャンネル内のガスは、折曲げられｌζレーザ・チャ
ンネルの各レッグ（３ａ　、　３ｃ　）を横切って流れ
ているが、最初、ガスは、各レーザ・チャンネル・レッ
グの上流側に設けられた、全体が参照番＠５で示されて
おりかつ以下においてより詳細に説明される放電装置に
より励起される。ガスがレーザ・チャンネル・レッグ（
たどえば３ａ。

３ｃ）を横切って流れるにつれて、ガスは放電により加
熱され、Ｌ、　ｔ＝がって各チャンネルで励起されたガ
スは各チャンネルに入ってくるガスよりも実質的に高い
温度を有づる。加熱されたガスは、壁４５にＪζり導か
れて熱交換器４６を流れ、次に導管４７を経由してガス
・フロー・チャンネルを通る循環の１こめに羽根車４１
の入力側に流れ込む。

昭和５８年８月１８日付ぐ同一出願人により出願された
［高出力流動・ガス・レーザ装置」なる題名の特許出願
においてより特定的に述べられているように、光学装置
３を備えるミラーは、全体を５０で示す独立の取付部材
により工場の床４９上に支持されており、この独立の取
イ］部材５０はハウジング取付部材４９から独立してお
りかつ別部材で構成されており、したがって光学装置は
羽根車４１およびモータドライブ４２により発生する妨
害振動から機械的に絶縁される。この独立の取付部材５
０は、レッグ（たとえば５２．５４）上に支持された温
度安定化された軟鋼フレームを含／ｖでおり、各レッグ
は弾性ブー１〜（ｂｏｏｔ　二艮靴状部材）あるいは金
属ベローズのような柔軟な貫通導出部材６’ｌを介して
ハウジング２内の真空チ１νンバから突出しており、ヂ
１１ンバ近傍の重いベース５つの方向に延びている。こ
のチャンバは、羽根車および駆動部を含んでおり、振動
絶縁取付部材により工場の床４８から機械的に絶縁され
ている。安定化のために、レッグの下方端部には放射状
に延びるウェブが設【ノられている。この構成は、主要
な振動源（すなわち、羽根車および駆動部）から光学部
品を機械的に絶縁するが、他方レーザ光源（′？Ｉなわ
ち光学的共振器）を工場の床にＭ補的に連結することを
可能とする。

羽根車４１を駆動するモータ４２が、ハウジング２の一
方端部壁に取付けられており、がっ９１で導入されかつ
９２から排出される水により冷ムＩＪされている。ハウ
ジング２の他方端部に設けられた端部壁９３は、ハウジ
ング内部を都合良くアクセスするために除去可能にされ
ている。このため、端部壁９３にはハウジングの環状フ
ランジ９５に着脱自在に固定される環状フランジ９４が
形成されている。

各ガス・７ｍ＋−・チャンネルについての放電装置５は
、分節電極およびバラストを含む高周波数タイプのもの
である。このような各放電装置５は、外部電源に接続す
るようにされた電極と、各電極に電気的に接続されたバ
ラスト・インピーダンスど、電極およびバラスト・イン
ピーダンスに熱結合された冷ム］Ｊ部材とを含む複数個
のモジコール部材から構成されており、これらのづべて
の部材がガス・フロー・チマｌンネル壁の各部分に沿っ
て延びる絶縁相別ブロック内に埋め込まれている。第２
図ないし第４図は、あるモジュールの構成を示しており
、第５図および第６図は第２のモジュール構造を示して
おり、ざらにｗ１７図は第３のモジュール構造を示して
おり、これらは第１図に示した各放電装置５ならびに各
ガス・フロー・チャンネル（たとえば４ａ）について用
いられるものである。

７．２図住いし第４図の放電装置の構造全体を１０５で
示す第２図ないし第４図の放電４Ｒ’ｌｕは、各レーザ
・チャンネル・レッグ１０３に対しての各ガス・フロー
・チャンネル１０４の各両端に沿って延びる複数個のモ
ジュール部材１１０を備える。第３図に特に示されてい
るように、各モジュール１１０は、複数個の電極１１２
と、各電極１１２に対するこの場合にはコンデンサであ
るバラスト・インピーダンス１１４ど、各電極バラスト
コンデンサに熱結合されたこの場合には冷却フィンであ
る冷却部Ｕ’１１６ど、各モジュールのづべての電極１
１２、コンデンサ１１４および冷却フィン１１６を埋め
込む絶縁材料ブロック１１８とを含む。すべてのモジュ
ール１１０は、各ガス・フ［ニー・チ１ノンネル１０７
１を横切って側面を接して配置されており、各モジコー
ルのずべての電極はチ１１ンネルを通るガスの流れに平
行に延びる千鳥状ライン内に配置されている。各モジュ
ールの冷却フィン１１６は、各モジコールの外面すなわ
ちガス・フロー・チャンネル１０４の外面から離れｌζ
而を通って延びており、かつ冷却管１２０はモジュール
内で発生された熱を除去するための各モジュールのすべ
ての冷却フィンの延長部１１６′内の開］］を通ってい
る。

各モジュールの電極１１２は、第２図に示すように、外
部冷却管１２０に接続された高電圧高周波源１２２によ
り付勢されている。このような冷却管は、冷却フィン１
１６を介して各モジュールのずべての電極１１２に良好
な電気伝導性を与えるために、銅から構成され得る。バ
ラスト・コンデンサ１１４が、冷却フィン１１６と各電
極１１２との間に接続されており、このコンデンサおＪ
：び電極の双方が、冷却フィンおよび冷却チューブ１２
０を介しＣのモジ１−ル内で発生された熱を容易に除去
するために、冷却フィン１１６と良好な熱結合関係に配
置されている。

モジコール部材１１０より占められているガス・フロー
・チャンネル１０４の２個の対向壁のそれぞれは、ガス
・フロー・チャンネル１０４の内面をライニングする、
セラミックのような耐熱絶Ｂ材Ｉ１１からなるシート１
２４を含む。各シート１２４は、ヂ１７ンネルの各側に
対してすべてのモジュール部Ｕ１１４ａなどを取（＝Ｊ
けるために用いられており、この目的のために、モジュ
ール部材がシー１−に取付けられるときに、モジコール
部材１１０の電極１１２が通る複数個の開口が形成され
でいる。

第３図に特に示すように、各電極１１２は、セラミック
・スリーブ１２６を含んでおり、このセラミック・スリ
ーブ１２６はモジコール部Ｈの絶縁材料１１８内に部分
的に埋め込まれており、かつ電極１１２どどもにモジュ
ールの内面をライニングする耐熱シート１２４を通って
延びている。

各電極１１２は、ガス・フロー・チャンネル内に突出す
るシート１２４を通って延びる直線部分１１２ａを含ん
ぐおり、この上部ではチップがチャンネルを通るガスの
流れを横切って延びるレッグ１１２ｂを形成するように
曲げられている。各電極の先端のチップ１１２ｃが、次
に、シート１２４の方向へ内側に折曲げられており、か
っこのシートとわずかに接触するように終了している。

耐熱シーｈ　１２４にモジコール部材を取付けるにあた
り、セラミック・スリーブ１２６を含む電極１１２は、
このシー］への開口を通っており、モジ１−ル部祠がシ
ート１２４に組込まれた後、次に電極は横切って延びる
レッグ１１２ｂと内側に延びるデツプ１１２Ｃを形成づ
るように折曲げられる。チャンネル内各側に沿うモジュ
ール部材は、次に、たどえば固着部材１３０（第３図を
参照）のような適切な手段によって各耐熱シー１−１２
４に固定される。ガス・フロー・チャンネル１０４の各
側の［ジコールについての冷却管１２０が直列に接続さ
れる。

各市２．（Ｉフィン１１６は、好ましくは、低熱抵抗を
有する銅からなり、他方各電極１１２はステンレス線の
ような高熱抵抗４Ｊ　１ｒ３１からなる。各電極１１２
と各バラスト・コンデンサ１１４との接合部分は、比較
的小さな熱抵抗材料からなる絶縁簿膜１３２（第４図を
参照）により絶縁されている。

この構成は、電極１１２およびバラスト・］ンデンザ１
１４から冷却フィン１１６を経由する外部冷７ＪＩ管１
２０への比較的小さな熱抵抗経路と、ガス・フｌコー・
チ亀・ンネル１０４内に突出する電極１１２の部分への
比較的高い熱抵抗経路を提供し、それによってヂ１７ン
ネル内の電極の加熱を防止する。

第１図に示したレーザにおけるガス・フロー・チャンネ
ルのぞれぞれについての第２図ないし第４図に示した放
電装置は、電極により発生した熱の放散ならびに加熱の
防止のための有効な手段を提供づ−る。安定化された分
節電極を含む述べてきた構成は、各ガス・フロー・チャ
ンネルを通るガスの流れを横切る安定な放電を確立しか
つ維持するだめの有効な手段をも与える。さらに、電極
、バラスト・コンデンサａ３よび冷却部材がモジュール
部材を形成する絶縁材料か〕・６るブにスツク内に埋め
込まれているというこの構成は、各レーザ・チャンネル
・レッグについての放電装置の構成をも簡単どし、かつ
必要ならば個々のモジュールを取替えることによりその
メインテナンスならびに補修をも容易とするものである
。

一例どして、第２図ないし第４図に示した構成は、各ガ
ス・フロー・チャンネル１０４の２個の対向壁のそれぞ
れに沿う１９個のモジ、１−ル１１０を含んでおり、各
モジュールは２本の千鳥状ライン内に配列された１３個
の電極１１２を含んでおり、各電極には上述したように
バラスＩ〜・コンデンサ１１４および冷却フィン１１６
が設けられている。電極１１２．バラスト・ｍｌンデン
→す１１４および冷却フィン１１６を埋め込むための接
着剤１１８どして、エポキシ樹脂が用いられる。

好ましくは、ガス・フロー・ヂ１１ンネル４の下流側に
設けられたバラス１−・コンデンサ１１４は、チャンネ
ルの上流側のバラスト・コンデンサよりも低いインピー
ダンス値を有しており、それによって下流側のチャンネ
ル内 低いインピーダンスを補償し、かつチャンネルの様々な
部分を横切る実質的に一定な電圧を発生ずる。−例とし
て、ガス・フロー・チャンネル１０４の上流側（第２図
の上方を参照）に設【ノられたバラスト・コンデンサ１
１４は、３００Ｉ）Ｆの餡を有しており、下流側のバラ
スト・コンデンサは７００ｐ　Ｆの値を右しており、さ
らに中間のモジュールのバラス１−・コンデンサは５０
０１１　Ｆの値を有し得る。

第５図および第６図の放電ｖ、同の構造第５図おＪ、び
第６図は、この発明の第２の実施例を示し、ここでは２
１０で示されるモジコール部４Ａは、横方向に並べられ
ているが、第２図ないし第４図に示したガス・フロー・
チャンネルのように横切っておらず２０４で示すように
ガス・フロー・チャンネル内軸方向に延びている。第５
図おＪ：び第６図に示した構造では、第２図および第４
図に示した１９個のモジュール部材に代えでまたつＩｃ
の５個のモジコール部材２１０が設（プられでいる。第
５図から明らかなように、各モジュール部材２１０もま
た、第２図ないし第４図に示したように点局２１２の２
本のラインを含んでいるが、第５図および第６図では、
各電極のラインは第２図ないし第４図に示した構成のよ
うにチャンネル内通るガスの流れに平行ではなく、チャ
ンネル２０４を通るガスの流れを横切って延びている。

第５図および第６図に示した構造の重要な利点の１つは
、カス・フロー・チャンネル内下流側のバラスト・コン
デンサ２１４（第６図）を、チャンネルの」−流側のバ
ラスト・コンデンサよりも低いインピーダンス値を右す
るように設けるのに都合が良く、それによって上述のよ
うに、チャンネルの様々な部分を横切る実質的に一定の
電圧を発生ずることが可能になるということである。し
たがって、ガス・フロー・チャンネル２０４の上流側（
第５図の上方）のモジュール部材２１０は、チャンネル
の下流側のモジュール部材１１０内のバラス１〜・コン
デンサより−し高いインピーダンス値バラスト・コンデ
ンサーで構成され得る。

第５図および第６図の放電装置の構造における他の特徴
は、モジコール部材２１０内に含まれる冷却部材が、冷
却フィン１１６ではなく、２１６で示すような水導入管
であることにある１、これらの冷却管２１６もまた、モ
ジュール部材のプラスチック材料２１８内に埋め込まれ
ており、かつ第２図ないし第４図の実施例の冷Ｎ１フィ
ンよりも大ぎな速度で熱を取出１ことを可能とでる。

第５図おＪ、び第６図に示した構成のざらに他の相）θ
点は、内面の絶縁シート（第２図ないし第４図の実施例
の１２４）が除去されており、モジコール部材の内面が
モジュール部材により占められるガス・フロー・チャン
ネル２０４の壁の各部分を構成していることにある。

このように、第６図に特に示されているように、ビン電
極が各モジュールの２本の線内に配列されており、この
ラインは好ましくは２個の電極２１２ａ　、　２−１２
ｂに示されているように千鳥状に配置されている。また
、電極２１２ａに対してコンデンサ２１４ａにＪ：す、
電極２１２ｂに対してバラスト・コンデンサ２１４ｂに
より示されているように、各電極に対して１個のバラス
ト・コンデンサが存在する。各モジュール部材は、さら
に、バラスト・：１ンデンサの２本のラインの間に延び
ており、かつこれらの双方と熱的に結合しくいる１個の
水導入管２１６を含む。水導入管２１６は銅から構成さ
れることができ、かつ各モジュール内の電極に対する高
電圧接続として機能する。

各モジュールの内面にはガス・フロー・チャンネル内に
突出するように、電極が通る開口２２５の形成されたセ
ラミック・ブロック２２４が設けられいることを除い−
（は、第２図ないし第４図に示した実施例のように、各
モジュール２１０の電極、バラス１−・コンデンサ°お
よび水導入管２１６がエポーヤシ充填材料２１８内にず
べて埋め込まれている。絶縁モールド２２４が、セラミ
ック・ブロックにエポキシ充填材料２１８を接着ツ°る
のに用いられており、このモールドはモジコールのため
のライナー２２４として保持されかつ機能する。

また、ガス・フロー・チャンネル内の電極のチップには
、第２図ないし第４図の実施例ようにかつ第５図によく
示されているように、チャンネルを通るガスの流れの方
向を横切るＪ：うに延びるレッグが形成されている。各
モジュールの内面にはセラミックブロック２２４が形成
されているので、第２図ないし第４図の実施例のように
、各ピン電極のまわりにセラミック・スリーブを設ける
ことが必要ではないが、電極に対するセラミックブロッ
ク内の開口２２５は、２個の部材の間の空間すなわちク
リアランスを与えるように、電極の外径よりｂいや大き
な径を有づることが好ましい。

第７図の放電装置の構造 第７図は、この発明のさらに他の実施例を示し、ここで
は全体を３１０で示すモジュール部材の各電極が、３０
４て・示Ｊ゛カス・フロー・チャンネルの内面に実質的
に平行に延びる平坦な金属層３１２となっている。各モ
ジュール部材は、さらに、１層の誘電体材料３１４を含
んでおり、この誘電体祠料層はガス・フ［１−・チャン
ネル３０４の各部分にお＋Ｊるモジコール部材の内面を
構成し、また各電極にス・１してのバラスト・コンデン
サの誘電体として機能Ｊる。

第７図に示づように、このように、各モジュール部材３
１２は、１列の平坦な電極３１２と、ガス・フロー・チ
ャンネル３０４を横切つＣ延びる誘電体層３１４を含／
Ｖでおり、そのためそれぞれ、バラスト・コンデンサが
設けられた１列の電極と電気的に等価に形成されている
。各モジコール部材は、さらに、モジュール部材の長さ
方向端縁に沿って延び、かつ平坦な電極３１２のライン
の内面に接触する水導入管３１６を含む。水導入管３１
６もまた、先に説明した実施例において、電気導体３２
０により示されているように、平坦な電極に高電圧電気
的接続を形成づるためにも用いられる。各モジュール内
のすべての前述の部材は、先に）ホベた実施例のように
エポキシ樹脂３１８にで埋め込まれていてもよい。

誘電体層３１４は、チタン酸バリウムのような強誘電体
セラミック材料からなるものでもよい。

これらの層は、異なるモジコールにおいて異なる厚みで
あってもよい。先に説明した２個の実施例のように、チ
ャンネルの様々な部分を横切る実質的に一定な電圧を発
生させるために、ガス・フロー・ヂＩ７ンネルの上流側
でのモジュール部材３１２により低いインピーダンス値
を与えるためである。

一例として、上）ホしたすべての実施例における電極（
、艮、１５０ｋ　Ｗ、２００ボルト（ＲＭ　Ｓ　）、１
０　Ｋ　ｌ−１ｚの電源に接続覆ることができる。

この発明は、いくつかの好ましい実施例について説明し
てきたが、この発明について他の多くの変形、腹圧おＪ
：び応用をなし得ることがわかるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を特に有効に応用することができる
高出力流動ガス・レーザの一形態を示づ図である。第２
図は、第１図のレーザにおける各ガス・フロー・チャン
ネルの一構成を示づ拡大斜視図ひある。第３図は、第２
図のガス・フロー・チャンネルの１モジユールの構造を
示す部分切欠断面図である。第４図は、第３図のモジュ
ール内の１個の電極に関連する部品をより詳細に示寸拡
大断面図である。第５図は、第１図のレーザにおける各
ガス・フ［］−・チャンネルの第２の構造例を示す斜視
図である。第６図は、第５図の各七ジュールの各電極に
関連する部品を示す拡大断面図である。第７図は、第１
図のレーザにおりる各ガス・フロー・ヂトンネルの第３
の構造例を示ず図である。 図において、２は外側ハウジング、３は光学装置、３ａ
　、３ｃはレッグ、４ａ、、４Ｃはガス・フ［１−・チ
ャンネル、５は放電装置、４１は羽根車、４２はモータ
、４４はディフューザ、４５は壁、４６は熱交換器、４
７は導管、５０は独立の取付部材、５９はベース、６０
はつ１ブ、６４は柔軟なリードスルー、９３はハウジン
グの端部壁、９４．９５は環状フランジ、１０３はレー
ザ・チャンネル・レッグ、１０４はガス・フロー・チャ
ンネル、１０５は放電装置、１１０はモジュール部々、
４．１１２は電極、１１４はバラスト・インピーダンス
、１１６は冷却フィン、１２０は外部冷却管、１２２は
高電圧高周波電源、１２４は耐熱シート、１２６はセラ
ミック・スリーブ、１３０は固着部材、２０４はガス・
フロー・チ１１ンネル、２１０は七ジ］−ル部材、２１
６は冷却管、２１８はプラスチック材料、２２４はセラ
ミック・ブロック、２２５は開口、３０４はガス・フロ
ー・チトンネル、３１０はモジュール部材、３１２は平
坦な金属層、３１４は誘電体材料層、３１６は水導入管
、３１８はエポキシ樹脂、３２０は導電体を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　ガス・フロー・チャンネルを通るガスの流れを
   横切る安定な放電を確立しかつ維持するための装置にお
   いて、 前記ガス・フロー・チャンネルの壁の少なくとも一部が
   、外部電源の電極に接続するための手段を有づる少なく
   とも１個の電極をそれぞれが含む複数個のモジコール部
   材と、前記電極に熱結合された冷却部材とにより占めら
   れており、すべての前記構成部材が前記ガス・フロー・
   チＶンネル壁の各部分に沿つＣ延びる絶縁材料ブロック
   に埋め込まれていることを特徴とする、ガス流を横切る
   安定な放電を確立しかつ維持するだめの装置。 （２）　前記各モジコール部材は、各電極に電気的に接
   続され、かつ前記冷却部材と熱結合された絶縁材わ１ブ
   ロツク内に埋め込まれたバラスト・インピーダンスを含
   む、特許請求の範囲第１項８８載の装置。 （３）　前記各モジュール部材は、前記カス・フロー・
   チャンネルについてのライン内に配列された複数個の電
   極を含む、特許請求の範囲第１項記載の装置。 （４）　各モジュール部材内の電極のＷｉｔ記ラインは
   、ガス・フロー・チャンネルを通るガスの流れに平行に
   延びる、特許請求の範囲第１項記載の装置。 （５）　各モジュール部材内の電極の前記ラインは、ガ
   ス・フロー・チャンネルを通るガスの流れを横切って延
   びる、特許請求の範囲第１項記載の装置。 （６）　前記ガス・フロー・チトンネルの下流側に設（
   プられたモジュール部材内の前記ｌ＜ラスト・インピー
   ダンスは、下流側のチャンネルを通るガスの流れのより
   低いインピーダンスを補償し、かつチャンネルの様々な
   位置を横切って実質的に一定の電圧を発生ずるように、
   上流側に設けられたモジコール部材内のバラスト・イン
   ピーダンスよりも低いインピーダンス値を有する、特許
   請求の範囲第２項記載の装置。 〈７〉　前記各電極は、ガス・フロー・チャンネル内に
   突出するようにモジュール部材の内面から突出づ−る金
   属ビンと、電極に接続されかつ絶縁相別ブロック内に埋
   め込まれたバラスト・インピーダンスとを含む、特８′
   ［請求の範囲第１項記載の装置。 （８）　ガス・フロー・チャンネル内に突出する各金属
   ビン電極のデツプには、前記チャンネルを通るガスの流
   れの方向を横切るように延びるレッグが形成されている
   、特許請求の範囲第７項記載の装置。 （９）　前記バラスト・インピーダンスは、絶縁材料ブ
   ロック内に埋め込まれたコンデンサである、特許請求の
   範囲第７項記載の装置。