JPS5985988U - 干渉測定器用除振装置 - Google Patents

干渉測定器用除振装置

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Publication number
JPS5985988U
JPS5985988U JP18268282U JP18268282U JPS5985988U JP S5985988 U JPS5985988 U JP S5985988U JP 18268282 U JP18268282 U JP 18268282U JP 18268282 U JP18268282 U JP 18268282U JP S5985988 U JPS5985988 U JP S5985988U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
interference measuring
vibration isolator
base
fluid pressure
measuring instrument
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Pending
Application number
JP18268282U
Other languages
English (en)
Inventor
板本　繁
正美 米田
Original Assignee
富士写真光機株式会社
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Publication date
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Publication of JPS5985988U publication Critical patent/JPS5985988U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案−実施例の原理構成図である。 第２図は本考案の他の実施例を説明するための説明図で
ある。 １・・・干渉測定器、２・・・基台、３・・・測定ステ
ージ、４・・・ベローズ状支持体、５・・・コンプレッ
サー、６、・・・電磁弁、７・・・圧力調整弁、８・・
・検出器、９・・・制御部、０・・・・対象物。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）干渉測定器および測定対象物を載置するステージ
    等が配設された基台を流体圧力により支持すると共にこ
    の基台のレベル低下を検出する検出器の出力に応答して
    基台を支持する流体圧力を制御する制御部を備えた干渉
    測定器用除振装置において、前記干渉測定器の作動もし
    くは作動準備信号に応答して前記制御部による流体圧力
    制御を禁止するロック装置を設けたことを特徴とする干
    渉測定器用除振装置。
  2. （２）流体圧力をエアーコンプレッサー、により発生さ
    せて基台を支持させると共に、その流体回路内に電磁弁
    を設け、この電磁弁をロック装置として用いた実用新案
    登録請求の範囲第（１）項に記載の干渉測定器用除振装
    置。
JP18268282U 1982-12-01 1982-12-01 干渉測定器用除振装置 Pending JPS5985988U (ja)

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JPS5985988U true JPS5985988U (ja) 1984-06-11

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5920192B2 (ja) * 1976-06-28 1984-05-11 日本電気株式会社 メモリ制御方式

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5920192B2 (ja) * 1976-06-28 1984-05-11 日本電気株式会社 メモリ制御方式

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