JPS5986146A - 光学顕微鏡検査用飛点スキヤナとその駆動方法 - Google Patents
光学顕微鏡検査用飛点スキヤナとその駆動方法Info
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- JPS5986146A JPS5986146A JP58172848A JP17284883A JPS5986146A JP S5986146 A JPS5986146 A JP S5986146A JP 58172848 A JP58172848 A JP 58172848A JP 17284883 A JP17284883 A JP 17284883A JP S5986146 A JPS5986146 A JP S5986146A
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- Japan
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- inspection
- scintillator
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- scanning electron
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 title description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、走査電子顕微鏡において光学顕微１・晃倹
査を行なりだめの飛点スキャナ（フラ・ｆング・スポッ
ト・スキャナ）とその駆動方法に関する。
査を行なりだめの飛点スキャナ（フラ・ｆング・スポッ
ト・スキャナ）とその駆動方法に関する。
走査電子顕微鏡は多種類の駆動方式が１■能であるため
、集積回路の欠陥の解析および機能の検査に対して重要
な補助手段となっている。
、集積回路の欠陥の解析および機能の検査に対して重要
な補助手段となっている。
この発明の目的は、走査電子顕微鏡の更に別の駆動方式
を可能にｒる装置を提供することである。
を可能にｒる装置を提供することである。
この目的は！背許請求の範囲第１頃に記載した光学顕微
鏡検査用の飛点スキャナによって４咳される。
鏡検査用の飛点スキャナによって４咳される。
この光学顕微鏡検査の場合集束された光束を、放出する
交互作用生成物が検出される。この発明によれば走査電
子顕微鏡の応用範囲を僅がの変更によ１）°Ｃフレーー
スキャナの分野にまで拡げることができる。例えば走査
゛電子顕微（−急のこの発明による新しい動作方式によ
り集積回路内の光によって電流を誘起することができる
。これにに・′）′Ｃｌ１１１３ｒｃ法（電子ビーム誘
起電流？二よる・−位ａｌ１１定法）ｌ二類似した欠陥
分析が可能となる。しかも７１２ ＩＦ ’ｉＫ了・”
頑ｕｌｉ、 鏡のこの発明による新しい動作方式では照
射障害を起すことはない。
交互作用生成物が検出される。この発明によれば走査電
子顕微鏡の応用範囲を僅がの変更によ１）°Ｃフレーー
スキャナの分野にまで拡げることができる。例えば走査
゛電子顕微（−急のこの発明による新しい動作方式によ
り集積回路内の光によって電流を誘起することができる
。これにに・′）′Ｃｌ１１１３ｒｃ法（電子ビーム誘
起電流？二よる・−位ａｌ１１定法）ｌ二類似した欠陥
分析が可能となる。しかも７１２ ＩＦ ’ｉＫ了・”
頑ｕｌｉ、 鏡のこの発明による新しい動作方式では照
射障害を起すことはない。
この発明の種々の実施態様とその利点は特許請求の範囲
第３頂１ぷＬ降ならびに以下の説明中に明らかにさｉし
ている。
第３頂１ぷＬ降ならびに以下の説明中に明らかにさｉし
ている。
走査電子顕微鏡におい°て光学顕微Ｑ検査を行な、
うための飛点スキャナの原理を図面に示す。
うための飛点スキャナの原理を図面に示す。
検査対象としての集積回路ＩＣを誘起電流によって非破
壊検査するためにはレーザースキャナ又は飛点スキャナ
が必要となる。この装置では走査光点りが集積回路ＩＣ
上に投像される。この発明による飛点スキャナの一例で
は市販されている走査電子顕微鏡の走査電子ビームＲが
シンチレータＳ上に集束され、このシンチレータＳが走
査電子顕微・境内部の光源となる。ンンｔし・−夕Ｓか
ら放出された光は光学系Ｏを通して集積回路ＩＣ上に投
像さ７）する。光学系Ｏは一般に使用されている簡単な
構成のものでよい。
壊検査するためにはレーザースキャナ又は飛点スキャナ
が必要となる。この装置では走査光点りが集積回路ＩＣ
上に投像される。この発明による飛点スキャナの一例で
は市販されている走査電子顕微鏡の走査電子ビームＲが
シンチレータＳ上に集束され、このシンチレータＳが走
査電子顕微・境内部の光源となる。ンンｔし・−夕Ｓか
ら放出された光は光学系Ｏを通して集積回路ＩＣ上に投
像さ７）する。光学系Ｏは一般に使用されている簡単な
構成のものでよい。
飛点スキャナによって可能となる検査の種類は飛点スキ
ャナ又はレーザースキャナに関する文献によって知るこ
とができる。例えば飛点ス、キャナについては文献（Ｔ
ｈｅ Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ ５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎ
ｓｔｒｕｒｎｅｒ＋ｔｓ、 ３９． （２） （１
９６８）、 ｐ＋」８０〜１８３）に、レーザースキ
ャナについては文献（ｐｒｏＣ，ｏｆ ｔｈｅ ＩＦＪ
Ｊ、 Ｍａｒｃｈ’ １９７６、［）、３９３−３９４
）に記載されている。例えば集積回路ＩＣの表面を光点
しで走査すると同時に。
ャナ又はレーザースキャナに関する文献によって知るこ
とができる。例えば飛点ス、キャナについては文献（Ｔ
ｈｅ Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ ５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎ
ｓｔｒｕｒｎｅｒ＋ｔｓ、 ３９． （２） （１
９６８）、 ｐ＋」８０〜１８３）に、レーザースキ
ャナについては文献（ｐｒｏＣ，ｏｆ ｔｈｅ ＩＦＪ
Ｊ、 Ｍａｒｃｈ’ １９７６、［）、３９３−３９４
）に記載されている。例えば集積回路ＩＣの表面を光点
しで走査すると同時に。
集積回路内で誘起された信号を増幅して記録する。
この信号の記録は例えばビデオ噌幅召を通して行なわれ
る。誘起信号を解析すると検うし、１頂表面についての
情報が得られる。集積回路にイヒｔ″、得る一連の現象
がこの発明の飛点スキー＼・すに、Ｊ：って調べられる
。例えばｉＣの測定点に直流又は交流を誘起し、それに
よって発生した信−リ全仙の測定点において検出するこ
とができる。この信号の検出は例えば電子ビーム走査に
よる電子ビーｌ、として適当な形状としだ借切の走査成
子ビーノ、Ｒを使用することも可能である。集積回路Ｉ
Ｃ内のダイナミック過程は走査光点りを使用してストロ
ボ式に追跡することができる。更に集積回路ＩＣ内部の
論叩状態も走査光点りの強度を走査電子ビームＲの強度
の上昇を通′して短時間−上昇させることにより非破壊
式に変化させることができる。
る。誘起信号を解析すると検うし、１頂表面についての
情報が得られる。集積回路にイヒｔ″、得る一連の現象
がこの発明の飛点スキー＼・すに、Ｊ：って調べられる
。例えばｉＣの測定点に直流又は交流を誘起し、それに
よって発生した信−リ全仙の測定点において検出するこ
とができる。この信号の検出は例えば電子ビーム走査に
よる電子ビーｌ、として適当な形状としだ借切の走査成
子ビーノ、Ｒを使用することも可能である。集積回路Ｉ
Ｃ内のダイナミック過程は走査光点りを使用してストロ
ボ式に追跡することができる。更に集積回路ＩＣ内部の
論叩状態も走査光点りの強度を走査電子ビームＲの強度
の上昇を通′して短時間−上昇させることにより非破壊
式に変化させることができる。
この発明により集積回路の橋査の可能性が現在使用され
ている補助手段の僅かな変更により改善される。
ている補助手段の僅かな変更により改善される。
この発明の装置は、市販されている走査電子顕微鏡の走
査光点が光学系０の縮小作用無しに集積回路の測定点と
して典型的な寸法を走査できるようにすることによって
、市販の走査顕微鏡をｆ吏用して作り上げることができ
る。
査光点が光学系０の縮小作用無しに集積回路の測定点と
して典型的な寸法を走査できるようにすることによって
、市販の走査顕微鏡をｆ吏用して作り上げることができ
る。
４・、 図面の簡＋１１な説明
図１ｎｉは建直電子顕微鏡に１６いて光学顕微＠３検査
４・行ｔｒうための飛点スキャナの原理を示す。
４・行ｔｒうための飛点スキャナの原理を示す。
Ｒ・・・走査電子ビーム、 Ｓ・・・ シンチレータ、
Ｏ・・・光学系、 Ｌ・・・ ンンｆンータ放用尤の
投像光点、 ＩＣ・・・集積回路。
Ｏ・・・光学系、 Ｌ・・・ ンンｆンータ放用尤の
投像光点、 ＩＣ・・・集積回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １〕 走査電子顕微値の電子ビーム（Ｒ）がシンチレー
タ（Ｓ）に向けられ、シンチレータの放出、３Ｙ： （
Ｌ ）が光学系［０）を通して検査対象点（ＩＣ）ｉ二
投像されることを！（°１徴とする光学顕微・瞳検査用
飛点スキャナ。 ２）・検査対象［ＩＣ）内に光（Ｌ）によって電流を誘
起することを特徴とする、走査電子顕微Ｃ童の電子ビー
ムがシンチレータに向けられ、シンチレータの放出光カ
リを学系を通して検査対頂点に投像される光学顕微境検
査用飛点スキャナの尾動方１宍。 ３） Ｅ１３ＩＣ法類似の欠陥解析を行なうことを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の方法。 ４）一つの測定点（ＩＣ）において電流を誘起（２，そ
れによって発生した信号を他の測定点において検出する
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記戦の方法。 ５）他の測定点において信号を電子ビームによって走査
することを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の方法
。 ６）走査電子ビーム（Ｒ）の強度を短時間増大させて走
査光点（Ｉｌの強度を短時間上昇させることにより一つ
の論理回路内の論１里状態を変化させることを特徴とす
る特許請求の範囲第２項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823235449 DE3235449A1 (de) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | Flying-spot scanner fuer lichtmikroskopische untersuchungen in einem raster-elektronenmikroskop und verfahren zu seinem betrieb |
| DE32354495 | 1982-09-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986146A true JPS5986146A (ja) | 1984-05-18 |
Family
ID=6174089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58172848A Pending JPS5986146A (ja) | 1982-09-24 | 1983-09-19 | 光学顕微鏡検査用飛点スキヤナとその駆動方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0107034A3 (ja) |
| JP (1) | JPS5986146A (ja) |
| DE (1) | DE3235449A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8600711D0 (en) * | 1986-01-13 | 1986-02-19 | Jones R H | Testing electrical chip |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL295612A (ja) * | 1962-07-26 | |||
| DE2730889C2 (de) * | 1977-07-08 | 1985-07-11 | Gesellschaft für Strahlen- und Umweltforschung mbH, 8000 München | Einrichtung zur ortsauflösenden Materialuntersuchung einer Probe |
| JPS5769234U (ja) * | 1980-10-15 | 1982-04-26 | ||
| US4415851A (en) * | 1981-05-26 | 1983-11-15 | International Business Machines Corporation | System for contactless testing of multi-layer ceramics |
-
1982
- 1982-09-24 DE DE19823235449 patent/DE3235449A1/de not_active Withdrawn
-
1983
- 1983-09-19 JP JP58172848A patent/JPS5986146A/ja active Pending
- 1983-09-19 EP EP83109279A patent/EP0107034A3/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0107034A3 (de) | 1984-12-19 |
| EP0107034A2 (de) | 1984-05-02 |
| DE3235449A1 (de) | 1984-03-29 |
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