JPS5987742A - 荷電粒子用レンズ - Google Patents
荷電粒子用レンズInfo
- Publication number
- JPS5987742A JPS5987742A JP57197966A JP19796682A JPS5987742A JP S5987742 A JPS5987742 A JP S5987742A JP 57197966 A JP57197966 A JP 57197966A JP 19796682 A JP19796682 A JP 19796682A JP S5987742 A JPS5987742 A JP S5987742A
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- JP
- Japan
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- lens
- iris
- magnetic
- ion
- electrostatic
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- Granted
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/145—Combinations of electrostatic and magnetic lenses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、イメンヒーム露光装Ｆｔ俸イオン源を用いた
分析装置等のイオン及び電子ビームを使用した装置のレ
ンズに関する新規な改良を行ｔｒうものである。
分析装置等のイオン及び電子ビームを使用した装置のレ
ンズに関する新規な改良を行ｔｒうものである。
イオンヒーム露光装置又は２次イオン賀爬分Ｍｉ装置ｉ
Ｍでは細く絞った１次イオンビームにより試料光１ｒＩ
ｉを走査し、試料を加工［たり、試料から得られる２次
但嘱を分析したりする。
Ｍでは細く絞った１次イオンビームにより試料光１ｒＩ
ｉを走査し、試料を加工［たり、試料から得られる２次
但嘱を分析したりする。
イオンビームの収束には静電レンズが使用感れることか
多い、これは静電レンズが質量数の弄なったイオンに対
しても同じ電圧で収束できる特色がある。
多い、これは静電レンズが質量数の弄なったイオンに対
しても同じ電圧で収束できる特色がある。
一方電、子ビームをイオンビームと同一軸上から試料に
照射できると数々の有利な点が生れる、例えばイオンと
電子の物理的な特徴の差を利用して電子ビームにより表
面形状を観察しイオンビームにより微細加工を行ったり
することができるし分析装置においてはイオンビームに
より２次イオン質歇分析を行ない？■電子ビームよりオ
ージェ電子分光を行ったりできる。この場合試料面にお
ける加工、分析領域が微細であるから特に同一軸上から
電子及びイメンを照射できることが重要である。電子ビ
ームを収束ζせる場合静電レンズを使用しマもよいが、
数十オン〃゛ストロームまで収束させようとするとレン
ズの工作精度がむすかくなる。そこで通常磁気レンズが
使用される。
照射できると数々の有利な点が生れる、例えばイオンと
電子の物理的な特徴の差を利用して電子ビームにより表
面形状を観察しイオンビームにより微細加工を行ったり
することができるし分析装置においてはイオンビームに
より２次イオン質歇分析を行ない？■電子ビームよりオ
ージェ電子分光を行ったりできる。この場合試料面にお
ける加工、分析領域が微細であるから特に同一軸上から
電子及びイメンを照射できることが重要である。電子ビ
ームを収束ζせる場合静電レンズを使用しマもよいが、
数十オン〃゛ストロームまで収束させようとするとレン
ズの工作精度がむすかくなる。そこで通常磁気レンズが
使用される。
本発明では前述のようなイオンと電子を共用する様な装
置において極めて幼芽的な手段を枡供することを目的と
している。
置において極めて幼芽的な手段を枡供することを目的と
している。
荷！１粒子をＩＩＶ束ζせるためのレンズは静電レンズ
でも磁気レンズでも光学レンズと同様１／σ＋１／ｂ＝
１／ｆ の式が成立する。ここでαけ光源からレンズ中
心までの距離、ｂｈレンズ中心から結像点までの距離１
．ｆけ焦点距離である。
でも磁気レンズでも光学レンズと同様１／σ＋１／ｂ＝
１／ｆ の式が成立する。ここでαけ光源からレンズ中
心までの距離、ｂｈレンズ中心から結像点までの距離１
．ｆけ焦点距離である。
即ちなるべく １１１ ＜ ｉニーるためにはレンズ中
心から結像点（試料位置）までの距離を短くした方が良
い。
心から結像点（試料位置）までの距離を短くした方が良
い。
しかしながら試料から得られる各種の情報の検出器を試
料近回に設置し、効率を上はるためできるだけ試料に近
すけようとすると試料とレンズ下面までの距離（ワーキ
ングディスタンス・動作距離という）がある程度必要と
なってぐる。そこで動作距離をある程度とり、なお静電
レンズと磁気レンズの両者を試料面に近ずけるには双方
をうまく結合せねばならない。
料近回に設置し、効率を上はるためできるだけ試料に近
すけようとすると試料とレンズ下面までの距離（ワーキ
ングディスタンス・動作距離という）がある程度必要と
なってぐる。そこで動作距離をある程度とり、なお静電
レンズと磁気レンズの両者を試料面に近ずけるには双方
をうまく結合せねばならない。
以下第１図により本発明による荷電粒子レンズの好適な
実施例について詳細に説明する。
実施例について詳細に説明する。
第１図において、磁気レンズ巻線１．ふ・よび磁気回路
２により磁気レンズを構成する、この場合４−レンズ絞
りの役目をする。まｆＣ３及び５け、静ｍ゛レンズの上
下電極で通常接地電位になる。又４ｉ１１中間電椿とし
て高常圧をかける。ヌ絶縁物乙により高圧を浮かし外部
から真空中に電圧をもたらす役目をする。
２により磁気レンズを構成する、この場合４−レンズ絞
りの役目をする。まｆＣ３及び５け、静ｍ゛レンズの上
下電極で通常接地電位になる。又４ｉ１１中間電椿とし
て高常圧をかける。ヌ絶縁物乙により高圧を浮かし外部
から真空中に電圧をもたらす役目をする。
図中４のレンズ絞り又は中間電極は、磁りｉレンズの場
合１００μから数百μの穴径で静電レンズの場合は１１
１１Ｌから数龍であるから複数の穴をあけ真空列から移
動させ目的により最適の穴径を選択できるようにする。
合１００μから数百μの穴径で静電レンズの場合は１１
１１Ｌから数龍であるから複数の穴をあけ真空列から移
動させ目的により最適の穴径を選択できるようにする。
又静電レンズを構成する３枚のｉ、４１Ｆ３，４．５は
磁性体ではない材料、例えばタンタルとかモリブテン等
をイリ１用寸ればイオンによる１ｉＪ傷も少なくでよい
。又、磁気レンズとして使用する場合は中間型′！１ｉ
４ｆ′ｉ接地するかこれに近い電位にする。
磁性体ではない材料、例えばタンタルとかモリブテン等
をイリ１用寸ればイオンによる１ｉＪ傷も少なくでよい
。又、磁気レンズとして使用する場合は中間型′！１ｉ
４ｆ′ｉ接地するかこれに近い電位にする。
図面は本発明による荷電粒子゛用レンズを示す構成図で
ある。 １・・・・・・磁気レンズ巻線 ２・・・・・・磁り（回路 ３・・・・・・士電榛 ４・・・・・・中間電極 ５・・・・・・下１１枠 ｌｉｔ上 出願人 株伏会社 第二粋工舎 イ（゛押入 弁理士 最上 務
ある。 １・・・・・・磁気レンズ巻線 ２・・・・・・磁り（回路 ３・・・・・・士電榛 ４・・・・・・中間電極 ５・・・・・・下１１枠 ｌｉｔ上 出願人 株伏会社 第二粋工舎 イ（゛押入 弁理士 最上 務
Claims (1)
- コイル巻線及び磁極より構成きれ六磁父レンズと、その
磁気レンズ中心に設Ｈられた絞りを共用し上下に静電、
レンズ用電罹を配置り、絞りに高電圧を印加することに
より静電レンズを構成したことを％徴とする荷電粒子用
複合レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197966A JPS5987742A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | 荷電粒子用レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197966A JPS5987742A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | 荷電粒子用レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987742A true JPS5987742A (ja) | 1984-05-21 |
| JPH0332852B2 JPH0332852B2 (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=16383280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57197966A Granted JPS5987742A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | 荷電粒子用レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987742A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535962A (en) * | 1976-07-06 | 1978-01-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electron microscope |
-
1982
- 1982-11-11 JP JP57197966A patent/JPS5987742A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535962A (en) * | 1976-07-06 | 1978-01-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332852B2 (ja) | 1991-05-15 |
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