JPS599011Y2 - 単結晶引上装置 - Google Patents
単結晶引上装置Info
- Publication number
- JPS599011Y2 JPS599011Y2 JP11258579U JP11258579U JPS599011Y2 JP S599011 Y2 JPS599011 Y2 JP S599011Y2 JP 11258579 U JP11258579 U JP 11258579U JP 11258579 U JP11258579 U JP 11258579U JP S599011 Y2 JPS599011 Y2 JP S599011Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- shaft
- cylindrical
- pulling
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、単結晶を融液から成長させる単結晶引上装置
に関する。
に関する。
一般に、融液から単結晶を戊長させる場合、その引上装
置に要求される要素としては装置振動、気密度（すなわ
ち引上軸のシール）及び温度分布等が挙げられる。
置に要求される要素としては装置振動、気密度（すなわ
ち引上軸のシール）及び温度分布等が挙げられる。
従来、るつぼ内の融液から引上軸を回転させながらゆっ
くり引上げて単結晶を戊長させる所謂チョクラルスキー
法による単結晶引上装置では、引上軸及びるつぼ軸が夫
々シール部のところで軸の回転と移動の両動作を行う構
或となっており、かつ引上軸及びるつぼ軸に対する気密
がオイルシールやテフロン等のシール材を用いて行なわ
れている。
くり引上げて単結晶を戊長させる所謂チョクラルスキー
法による単結晶引上装置では、引上軸及びるつぼ軸が夫
々シール部のところで軸の回転と移動の両動作を行う構
或となっており、かつ引上軸及びるつぼ軸に対する気密
がオイルシールやテフロン等のシール材を用いて行なわ
れている。
このため、気密を良くするために軸とシール材の密着を
よくすると摩擦によって振動の発生を招き、逆に振動を
発生させないように軸とシール材の密着をゆるめるとシ
ール性が悪化するという問題があった。
よくすると摩擦によって振動の発生を招き、逆に振動を
発生させないように軸とシール材の密着をゆるめるとシ
ール性が悪化するという問題があった。
また駆動源（モータ）からの振動が融液の振動を発生さ
せること、摩耗によるシール材の融液への混入等が起り
、単結晶の品質を悪化させる欠点があった。
せること、摩耗によるシール材の融液への混入等が起り
、単結晶の品質を悪化させる欠点があった。
本考案は、上述の点に鑑み、できるだけ装置振動を小さ
く抑え、しかも気密度を良好にして良質の単結晶が得ら
れるようにした単結晶引上装置を提供するものである。
く抑え、しかも気密度を良好にして良質の単結晶が得ら
れるようにした単結晶引上装置を提供するものである。
本考案においては、引上軸の回転部と移動部を分離し、
夫々にシール部を設けると共に、シール材として磁性流
体を用い、振動の回避と気密性の向上とを同時に果すよ
うに構戊したものである。
夫々にシール部を設けると共に、シール材として磁性流
体を用い、振動の回避と気密性の向上とを同時に果すよ
うに構戊したものである。
以下、図面を用いて本考案による単結晶引上装置の一例
を説明しよう。
を説明しよう。
図において、１は融液２を収容したるつぼ、３は単結晶
引上軸、４は融液２から引上軸３の先端に或長じた単結
晶である。
引上軸、４は融液２から引上軸３の先端に或長じた単結
晶である。
５はるつぼ１を囲うウオータジャケットで、この上側に
引上軸３に沿うように円筒ウオータジャケット６が設け
られ、さらに、この円筒ウオータジャケット６の外側に
円筒ウオータジャケット６に対して軸心方向、即ち上下
方向に移動する円筒ジャケット７が配される。
引上軸３に沿うように円筒ウオータジャケット６が設け
られ、さらに、この円筒ウオータジャケット６の外側に
円筒ウオータジャケット６に対して軸心方向、即ち上下
方向に移動する円筒ジャケット７が配される。
円筒ジャケット７は、引上軸３と関連しており、かつ送
りねじ９によって上下移動する架橋１０に支持されてい
る。
りねじ９によって上下移動する架橋１０に支持されてい
る。
８は引上用モータで送りねじ９を回転する。
引上軸３の移動は、引上用モータ８一送りねじ９一架橋
１〇一円筒ジャケット７を経て行なわれる。
１〇一円筒ジャケット７を経て行なわれる。
また、架橋１０上には回転用モータ１１が取付けられ、
このモータ１１の軸１２と引上軸３とがベルト１３を介
して連結され、モータ１１の駆動によってベルト１３を
介して引上軸３が回転される。
このモータ１１の軸１２と引上軸３とがベルト１３を介
して連結され、モータ１１の駆動によってベルト１３を
介して引上軸３が回転される。
一方、円筒ジャケット７と円筒ウオータジャケット６間
に移動部に対するシール部１４が設けられると共に、円
筒ジャケット７の仕切られた上端部と引上軸３間に回転
部に対するシール部１５が設けられる。
に移動部に対するシール部１４が設けられると共に、円
筒ジャケット７の仕切られた上端部と引上軸３間に回転
部に対するシール部１５が設けられる。
之等のシール部１４及び１５は、夫々所謂磁性流体（例
えばマグネタイトの粒子を流体媒質中に浮遊したもの）
をシール材として用い、この磁性流体１６を円筒マグネ
ット１７にて保持して構或される。
えばマグネタイトの粒子を流体媒質中に浮遊したもの）
をシール材として用い、この磁性流体１６を円筒マグネ
ット１７にて保持して構或される。
また円筒ジャケット７にはガス人口１８及びガス出口１
９が設けられ、この人口１８及び出口１９を通じてガス
（例えばアルゴンガス）を円筒ジャケット７及び円筒ウ
オータジャケット６間に流すことによって磁性流体１６
の流体媒質の蒸発を炉外に出すようになされる。
９が設けられ、この人口１８及び出口１９を通じてガス
（例えばアルゴンガス）を円筒ジャケット７及び円筒ウ
オータジャケット６間に流すことによって磁性流体１６
の流体媒質の蒸発を炉外に出すようになされる。
ガス出口１９は真空で引くと効果的である。
一方、るつぼ１を保持するるつぼ軸２１の移動及び回転
も、上記の引上軸３の場合と同様に構或される。
も、上記の引上軸３の場合と同様に構或される。
すなわち、ウオータジャケット５の下側にはるつぼ軸２
１に沿う円筒部２２が設けられ、この円筒部２２の外側
に円筒部２２に沿って上下移動する円筒ジャケット２３
が設けられる。
１に沿う円筒部２２が設けられ、この円筒部２２の外側
に円筒部２２に沿って上下移動する円筒ジャケット２３
が設けられる。
この円筒ジャケット２３はるつぼ軸２１に関連されてお
り、移動用モータ２６で回転する送りねじ２４によって
上下移動する架橋２５に支持されている。
り、移動用モータ２６で回転する送りねじ２４によって
上下移動する架橋２５に支持されている。
したがって、このるつぼ軸２１の移動は、モータ２６一
送りねじ２４一架橋２５一円筒ジャケット２３を経て行
なわれる。
送りねじ２４一架橋２５一円筒ジャケット２３を経て行
なわれる。
又、架橋２５には回転用モータ２７が取付けられ、この
モータ２７よりベルト２８を介してるつぼ軸２１を回転
するようになされている。
モータ２７よりベルト２８を介してるつぼ軸２１を回転
するようになされている。
そして、円筒部２２と円筒ジャケット２３間に移動部に
対するシール部２９が形威され、かつ、円筒ジャケット
２３の仕切られた下端部とるつぼ軸２１間に回転部に対
するシール部３０が形或される。
対するシール部２９が形威され、かつ、円筒ジャケット
２３の仕切られた下端部とるつぼ軸２１間に回転部に対
するシール部３０が形或される。
之等シール部２９及び３０は、上記と同様の磁性流体１
６と円筒マグネット１７にて構戊される。
６と円筒マグネット１７にて構戊される。
かかる構或の単結晶引上装置によれば、引上軸３の移動
と回転とを分離して構威し、夫々にシール部１４及び１
５を形威し、しかもそのシール材として所謂磁性流体を
用いたことにより、移動動作及び回転動作が摩擦なくス
ムーズに行なわれ、装置振動の発生が起らず、かつその
移動部及び回転部における気密性が完全に保たれる。
と回転とを分離して構威し、夫々にシール部１４及び１
５を形威し、しかもそのシール材として所謂磁性流体を
用いたことにより、移動動作及び回転動作が摩擦なくス
ムーズに行なわれ、装置振動の発生が起らず、かつその
移動部及び回転部における気密性が完全に保たれる。
また、磁性流体１６が移動部側では円筒ウオータジャケ
ットの外側に配され、回転部側では仕切板２０で仕切ら
れているために、融液２が磁性流体１６によって汚染さ
れることがない。
ットの外側に配され、回転部側では仕切板２０で仕切ら
れているために、融液２が磁性流体１６によって汚染さ
れることがない。
さらにガス入口１８及びガス出口１９を通じてガスを流
し、磁性流体１６の流体媒質の蒸発を炉外に流出するの
で、磁性流体１６による融液２の汚染がより確実に回避
される。
し、磁性流体１６の流体媒質の蒸発を炉外に流出するの
で、磁性流体１６による融液２の汚染がより確実に回避
される。
さらに、るつぼ軸２１に対しても引上軸と同様に移動と
回転とが分離され、夫々に磁性流体１６によるシール部
２９及び３０を設けられるので、気密性を保持した状態
でるつぼ軸２１の移動及び回転がスムーズに行い得、る
つぼ１内の融液２の振動を小さくすることができる。
回転とが分離され、夫々に磁性流体１６によるシール部
２９及び３０を設けられるので、気密性を保持した状態
でるつぼ軸２１の移動及び回転がスムーズに行い得、る
つぼ１内の融液２の振動を小さくすることができる。
従って、良質の単結晶が容易に得られるものである。
図は本考案による単結晶引上装置の一例を示す断面図で
ある。 １はるつぼ、３は引上軸、４は単結晶、１４は移動部に
対するシール部、１５は回転部に対するシール部、１６
は磁性流体、１７は円筒マグネットである。
ある。 １はるつぼ、３は引上軸、４は単結晶、１４は移動部に
対するシール部、１５は回転部に対するシール部、１６
は磁性流体、１７は円筒マグネットである。
Claims (1)
- 単結晶引上軸の回転部に対するシール部と移動部に対す
るシール部とが分離して設けられ、上記両シール部が夫
々磁性流体からなるシール材にて構威されて或る単結晶
引上装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11258579U JPS599011Y2 (ja) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | 単結晶引上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11258579U JPS599011Y2 (ja) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | 単結晶引上装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5631573U JPS5631573U (ja) | 1981-03-27 |
| JPS599011Y2 true JPS599011Y2 (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=29344952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11258579U Expired JPS599011Y2 (ja) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | 単結晶引上装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599011Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-08-16 JP JP11258579U patent/JPS599011Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5631573U (ja) | 1981-03-27 |
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