JPS5993261A - 鏡面研磨装置 - Google Patents
鏡面研磨装置Info
- Publication number
- JPS5993261A JPS5993261A JP19967882A JP19967882A JPS5993261A JP S5993261 A JPS5993261 A JP S5993261A JP 19967882 A JP19967882 A JP 19967882A JP 19967882 A JP19967882 A JP 19967882A JP S5993261 A JPS5993261 A JP S5993261A
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- JP
- Japan
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- polishing
- polished
- polishing liquid
- plate
- tip
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
- B24B13/02—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor by means of tools with abrading surfaces corresponding in shape with the lenses to be made
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は、鏡面研磨装置に係シ、殊に成形レンズの金
型、ガラス等の硬脆材料からなるレンズの球鏡面の研磨
を行う鏡面研磨装置に関するものである。
型、ガラス等の硬脆材料からなるレンズの球鏡面の研磨
を行う鏡面研磨装置に関するものである。
従来技術
第１従来例の鏡面研磨装置としては、例えば第１図に示
すような液中研磨方式のものがある。
すような液中研磨方式のものがある。
図中、符号１は研磨液Ａが入れられる水槽で、水槽ｌの
底部中央を貫通させて水槽ｌ内に回転する下軸２の先端
が突出させられている。
底部中央を貫通させて水槽ｌ内に回転する下軸２の先端
が突出させられている。
下軸２の先端には凸状の研磨皿３が取り付けられ−Ｃお
シ、研磨皿３の表面には研磨材３ａが接着剤で接着され
ている。
シ、研磨皿３の表面には研磨材３ａが接着剤で接着され
ている。
研磨皿３の上方には張付皿４が配設されておシ、張付皿
４の頂部に凹球面部５ａを有する軸受部５が設けられて
いる。軸受部５の凹球面部５ａ ＫＦｉカンザシ６の先
端に形成されている球体部６ａが嵌合されて球面対偶を
なしている。カンザワ６は図示しない揺動機構によって
下軸２の軸心と平行する垂直状態を保って同一平面上で
揺動するように構成されている。張伺皿４には被研磨品
７が取り付けられる。
４の頂部に凹球面部５ａを有する軸受部５が設けられて
いる。軸受部５の凹球面部５ａ ＫＦｉカンザシ６の先
端に形成されている球体部６ａが嵌合されて球面対偶を
なしている。カンザワ６は図示しない揺動機構によって
下軸２の軸心と平行する垂直状態を保って同一平面上で
揺動するように構成されている。張伺皿４には被研磨品
７が取り付けられる。
かかる構成の鏡面研磨装置は張付皿４に例えば、ガラス
である凹状の被研磨面を有する被研磨品７全ピツチ８で
張り付け、研賠皿３上に被研磨品７奮載置するように設
定し、水槽１内に研磨液Ａを研磨皿３と被研磨品７とが
水没するまで入れ、下軸２を回転させると共に図示しな
い揺動機構によってカンザシ６を回転軸２の軸心と平行
する垂直状態金保って揺動させて被研磨品７の被研磨面
を球鏡面となるように研磨する。
である凹状の被研磨面を有する被研磨品７全ピツチ８で
張り付け、研賠皿３上に被研磨品７奮載置するように設
定し、水槽１内に研磨液Ａを研磨皿３と被研磨品７とが
水没するまで入れ、下軸２を回転させると共に図示しな
い揺動機構によってカンザシ６を回転軸２の軸心と平行
する垂直状態金保って揺動させて被研磨品７の被研磨面
を球鏡面となるように研磨する。
しかしながら、このような第１従来例の鏡面研磨装置に
めっ−Ｃは、研磨皿３と被研磨品７とを研磨液Ａに水没
させた状態で研磨する液中研磨であるため、研ｍｒ＆Ａ
中の研磨剤が水槽１の底部に自重によって沈澱してしま
い有効に作用せず効率が悪いことと、研磨熱が研磨液Ａ
によって奪われることから研磨時間が非常に長くかかる
という問題点がめった。
めっ−Ｃは、研磨皿３と被研磨品７とを研磨液Ａに水没
させた状態で研磨する液中研磨であるため、研ｍｒ＆Ａ
中の研磨剤が水槽１の底部に自重によって沈澱してしま
い有効に作用せず効率が悪いことと、研磨熱が研磨液Ａ
によって奪われることから研磨時間が非常に長くかかる
という問題点がめった。
また１第２従来例の鏡面研磨装置としては、夕ｕえば第
２図に示すようなオスカ一式のものがある。
２図に示すようなオスカ一式のものがある。
この従来例は第１従来例のように研暦皿３と被研磨品７
とを研磨液Ａに水没させるのではなく、研磨皿３に研磨
液Ａをかけるようにした点が第１従来例と異なる。
とを研磨液Ａに水没させるのではなく、研磨皿３に研磨
液Ａをかけるようにした点が第１従来例と異なる。
従って、この従来例では水槽１′の底部とタンク１０と
をパイプ１１で連結し、タンク１０にポンプ１２ｔ−設
け、ポンプ１２には研磨液吹出管１３を接続し、研磨液
吹出管１３の先端部１３ａを研磨皿３の上方に位置する
ように構成されている。
をパイプ１１で連結し、タンク１０にポンプ１２ｔ−設
け、ポンプ１２には研磨液吹出管１３を接続し、研磨液
吹出管１３の先端部１３ａを研磨皿３の上方に位置する
ように構成されている。
かかる構成の鏡面研磨装置は下軸２を回転させると共に
カンザシ６を揺動させて被研磨品７を研磨皿３により研
磨しているときにポンプ１２？ｔＩｌｔ動させて研磨液
吹出管１３の先端部１ａａ ｊ ’ｐ 、連続的に研磨
液Ａを吹き出させ、研暦皿３上にかけて被研磨品７の研
磨を行っている。そして、研磨皿３から水槽１′に流れ
落ちた研磨液Ａは・（イブ１１會介してタンク１０に集
められ、再びポンプ１２によって研磨液吹出管１３の先
端部１３＆から吹き出される。このように研磨液入は循
環させられて使用されている。
カンザシ６を揺動させて被研磨品７を研磨皿３により研
磨しているときにポンプ１２？ｔＩｌｔ動させて研磨液
吹出管１３の先端部１ａａ ｊ ’ｐ 、連続的に研磨
液Ａを吹き出させ、研暦皿３上にかけて被研磨品７の研
磨を行っている。そして、研磨皿３から水槽１′に流れ
落ちた研磨液Ａは・（イブ１１會介してタンク１０に集
められ、再びポンプ１２によって研磨液吹出管１３の先
端部１３＆から吹き出される。このように研磨液入は循
環させられて使用されている。
しかしながら、このような第２従来例の鏡面研磨装置に
あっては、研磨液入を４ｖｆ Ｎ皿３上にかけ、その研
磨液Ａを循環させるようにしているため、切削ぐずが混
じった研磨液Ａが再び研磨皿３上にかけられ、研磨皿３
上で周辺にある研磨ｇｈと切ｓ＋Ｊ ＜ずが＃ω１暦品
７のカンザシ６による揺動によって研暦皿３の中心付近
までもってこられるので、被研磨品７の被研磨面に傷が
付くといり問題点があった。
あっては、研磨液入を４ｖｆ Ｎ皿３上にかけ、その研
磨液Ａを循環させるようにしているため、切削ぐずが混
じった研磨液Ａが再び研磨皿３上にかけられ、研磨皿３
上で周辺にある研磨ｇｈと切ｓ＋Ｊ ＜ずが＃ω１暦品
７のカンザシ６による揺動によって研暦皿３の中心付近
までもってこられるので、被研磨品７の被研磨面に傷が
付くといり問題点があった。
す
この発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、
その目的は被研磨品の研磨時間を短靴でき、しかも協の
ない研磨された球鏡面を有する研磨品を得ることができ
る鏡面研磨装置を提供することにある。
その目的は被研磨品の研磨時間を短靴でき、しかも協の
ない研磨された球鏡面を有する研磨品を得ることができ
る鏡面研磨装置を提供することにある。
実施例
以−Ｆｌ この発明を図面に基づいて説明する。
第３図及び第４図はこの発明の第１実施例を示す図でめ
る。
る。
まず、構成を説明すると、図中、符号２０は研磨液Ａが
入れらする水槽で、水槽２０の側壁２０ａには研磨液ｌ
趙を常時一定に保つように研磨ｉＡを溢流させる研磨液
溢流用穴２１が設けられている。
入れらする水槽で、水槽２０の側壁２０ａには研磨液ｌ
趙を常時一定に保つように研磨ｉＡを溢流させる研磨液
溢流用穴２１が設けられている。
その水槽２０の底部中央を舅通させて水槽２０内に回転
する下軸２２の先端が突出させられている。
する下軸２２の先端が突出させられている。
Ｆ＠２２の先端には凸状の研磨皿２３が取り付けられて
おり、研磨皿２３０嚢面には研磨材２３ａが接着剤で接
着されている。そして、水［２０の底部からの研磨皿２
３の高さは水槽２０に入れられ、研磨液Ａの常に一定と
なる研磨液面に研磨皿２３の周辺が接するような高さに
設定されている。
おり、研磨皿２３０嚢面には研磨材２３ａが接着剤で接
着されている。そして、水［２０の底部からの研磨皿２
３の高さは水槽２０に入れられ、研磨液Ａの常に一定と
なる研磨液面に研磨皿２３の周辺が接するような高さに
設定されている。
その研磨皿２３の上方には張付皿２４が配設されておシ
、張付皿２′４の頂部に凹球面部２５ａを有する軸受部
２５が設けられている。軸受部２５の凹球面部２５ａに
はカンザシ２６の先端に形成されている球体部２６ａが
獣舎されて球面対偶をなしている。カンザシ２６は図示
しない揺動機構によって下軸２２の軸心と平行する垂直
状態を保って同一平面上で揺動するように構成されてい
る。
、張付皿２′４の頂部に凹球面部２５ａを有する軸受部
２５が設けられている。軸受部２５の凹球面部２５ａに
はカンザシ２６の先端に形成されている球体部２６ａが
獣舎されて球面対偶をなしている。カンザシ２６は図示
しない揺動機構によって下軸２２の軸心と平行する垂直
状態を保って同一平面上で揺動するように構成されてい
る。
更に、水槽２０の研磨液溢流用穴２１はパイプ２７を介
してタンク２８に連結されておシ、タンク２８にはポン
プ２９が設けられている。ポンプ２９には研磨液吹田管
３０が接続されている。そして、研磨液吹出管３０の先
端部３０ａが研磨皿２３の上方に位置するよう配設され
ている。また、研磨液吹出管３０の先端部３０ａには先
端開口を開閉する間欠シャッタ３１が設けられて２シ、
間欠シャッタ３１は１〜１５分間隔で開閉するように構
成されている。３２は張付型２４に取り付けられる被研
磨品でめる。
してタンク２８に連結されておシ、タンク２８にはポン
プ２９が設けられている。ポンプ２９には研磨液吹田管
３０が接続されている。そして、研磨液吹出管３０の先
端部３０ａが研磨皿２３の上方に位置するよう配設され
ている。また、研磨液吹出管３０の先端部３０ａには先
端開口を開閉する間欠シャッタ３１が設けられて２シ、
間欠シャッタ３１は１〜１５分間隔で開閉するように構
成されている。３２は張付型２４に取り付けられる被研
磨品でめる。
次に作用を説明する。
まず、張付型２４に例えばガラスである凹状の被研磨面
金有する被研磨品３２をピッチ３３で張り付け、研磨皿
２３上に被研磨品３２を載置するように設定する。
金有する被研磨品３２をピッチ３３で張り付け、研磨皿
２３上に被研磨品３２を載置するように設定する。
次に、水槽２０内に研磨液Ａを入れて研磨液面を研磨液
溢流用穴２１が設けられている高さにし、研磨皿２３の
周辺が研磨液Ａに接するように設定する。
溢流用穴２１が設けられている高さにし、研磨皿２３の
周辺が研磨液Ａに接するように設定する。
しかる後に下軸２２を回転させると共にカンザシ２６を
揺動させて被研磨品３２を研磨皿２３により研磨する。
揺動させて被研磨品３２を研磨皿２３により研磨する。
このような被研、磨品３２の研磨中にポンプ２９を稼動
させて研磨液吹出管３０の先端部３０ａの先端開口よシ
１〜１５分間隔で間欠的に研磨液Ａを吹き出させ、研磨
皿２３の中心付近に滴下させるようにして被研磨品３２
の研磨を行う。このとき、滴下された研磨液Ａは研磨皿
２３を経て水槽２０内に流れ込むが、水槽２０内で部分
となった研磨液Ａは研磨液溢流用穴２１から溢流し、パ
イプ２７を通して集められて研磨ＵＡのω［磨液面は常
に一定に保れ、研暦皿２３、被研磨品３２が水没するこ
とはない。従って、研磨熱が研磨液Ａによって奪われる
ことはなく、被研磨品３２の研磨時間は従来より短縮さ
れる。研磨液吹出管３０の先端部３０ａから研磨液Ａが
吹き出されないときも同様に研磨時間が短縮さｇる。ま
た、タンク２８に集められた研磨液Ａが再びポンプ２９
によって研磨液吹出管３０の先端部３０ａから吹き出さ
せるというように循環しているときには研磨液Ａ中の研
磨剤が水槽２０の底部に沈澱することはないので、研磨
剤が被研磨品３２の研磨中、有効に作用することになる
。
させて研磨液吹出管３０の先端部３０ａの先端開口よシ
１〜１５分間隔で間欠的に研磨液Ａを吹き出させ、研磨
皿２３の中心付近に滴下させるようにして被研磨品３２
の研磨を行う。このとき、滴下された研磨液Ａは研磨皿
２３を経て水槽２０内に流れ込むが、水槽２０内で部分
となった研磨液Ａは研磨液溢流用穴２１から溢流し、パ
イプ２７を通して集められて研磨ＵＡのω［磨液面は常
に一定に保れ、研暦皿２３、被研磨品３２が水没するこ
とはない。従って、研磨熱が研磨液Ａによって奪われる
ことはなく、被研磨品３２の研磨時間は従来より短縮さ
れる。研磨液吹出管３０の先端部３０ａから研磨液Ａが
吹き出されないときも同様に研磨時間が短縮さｇる。ま
た、タンク２８に集められた研磨液Ａが再びポンプ２９
によって研磨液吹出管３０の先端部３０ａから吹き出さ
せるというように循環しているときには研磨液Ａ中の研
磨剤が水槽２０の底部に沈澱することはないので、研磨
剤が被研磨品３２の研磨中、有効に作用することになる
。
更に、被研磨品３２の研磨中にできた被研磨品３２の切
削くずは（ＩＪＦ磨皿２３の周辺が研磨液Ａの研磨液面
と接するように設定されているので、水槽２０の底部へ
と沈澱し、被研磨品３２の表面が切削ぐずによって湯伺
けられるということはない。
削くずは（ＩＪＦ磨皿２３の周辺が研磨液Ａの研磨液面
と接するように設定されているので、水槽２０の底部へ
と沈澱し、被研磨品３２の表面が切削ぐずによって湯伺
けられるということはない。
゛また、タンク２８に集められた研磨ａＡが再びポンプ
２９によって研磨液吹出管３０の先端部３０ａから吹き
出されて循環している場合にも水槽２０の側壁２０ａに
設けられでいる研磨液温九用穴２１から誠流し／ζ研Ｍ
液Ａをタンク２８に果めて循環させているので、水桶２
０の底部に沈澱した切Ｐ８１」くずが再びψｆＭ液吹出
管３０の先端部３０ａ嘉ら吹き出される研磨液Ａに混じ
ることはない。
２９によって研磨液吹出管３０の先端部３０ａから吹き
出されて循環している場合にも水槽２０の側壁２０ａに
設けられでいる研磨液温九用穴２１から誠流し／ζ研Ｍ
液Ａをタンク２８に果めて循環させているので、水桶２
０の底部に沈澱した切Ｐ８１」くずが再びψｆＭ液吹出
管３０の先端部３０ａ嘉ら吹き出される研磨液Ａに混じ
ることはない。
弔５図はこの発明の第２央厖例を示す図でめる。
図において第１実施ｆｌＪと同一ないし均等な部位又は
部材には同一符号ｆｃ刊して重複した説明を噛略する。
部材には同一符号ｆｃ刊して重複した説明を噛略する。
この実ＪＭ例ではＦ軸２２の先端に張付型２４がＩＩ
Ｉ）付けられておシ、張付型２４にピッチ３３で凸状の
被研磨面を有する仮研磨品３２が張り付けられている。
Ｉ）付けられておシ、張付型２４にピッチ３３で凸状の
被研磨面を有する仮研磨品３２が張り付けられている。
その張付型２４の上方にｔｙｒｍ皿２３が配設されてお
り、研磨皿２３の表面には研磨材２３ａが接着剤で接着
されている。また、研磨皿２３′の頂部に凹球面部２５
ａをＭする軸受部２５が設けられ、軸受部２５の凹球面
部Ｚ５ａにカンザシ２６の先端に形成されている球体部
２６ａが嵌合されて球面対偶をなしている。
り、研磨皿２３の表面には研磨材２３ａが接着剤で接着
されている。また、研磨皿２３′の頂部に凹球面部２５
ａをＭする軸受部２５が設けられ、軸受部２５の凹球面
部Ｚ５ａにカンザシ２６の先端に形成されている球体部
２６ａが嵌合されて球面対偶をなしている。
この実施例では、水槽２０内に研磨ｇ人を入れて研磨液
面を研磨液溢流用穴２１が設けられている高さにし、被
研磨品３２に載置された研磨皿２３がカンザシ２６の揺
動によって左右に揺動したときに研磨皿２３の周辺の図
において左右部分が研磨ｇ１．Ａの研磨液面に接するよ
りに設定されて研磨皿２３によシ被研磨品３２の研磨が
行われる。
面を研磨液溢流用穴２１が設けられている高さにし、被
研磨品３２に載置された研磨皿２３がカンザシ２６の揺
動によって左右に揺動したときに研磨皿２３の周辺の図
において左右部分が研磨ｇ１．Ａの研磨液面に接するよ
りに設定されて研磨皿２３によシ被研磨品３２の研磨が
行われる。
この実施例の作用は第１実施レリの作用と同じであるの
で説明を省略する。
で説明を省略する。
これら両実施例における研磨液吹出官３０の先端部３０
ａから研磨皿２３或いは被研磨品３２への滴下は研Ｍｆ
ｉ、Ａの作用を充分に発揮させるためにカンザシ２６に
よシ張付皿２４或いは研磨器２３′が左右に大きく振れ
たときに滴下させることが望ましい。
ａから研磨皿２３或いは被研磨品３２への滴下は研Ｍｆ
ｉ、Ａの作用を充分に発揮させるためにカンザシ２６に
よシ張付皿２４或いは研磨器２３′が左右に大きく振れ
たときに滴下させることが望ましい。
また、これら両実施例では水槽２０は下軸２２が回転し
ても水槽２０は回転しないが、水槽２０を下軸２２に固
定させて下軸２２と同時に水槽２０を回転させるように
しても良いことは勿論であり、このときには水槽２０の
下方に受皿を設け、受皿にパイプ２７の一端を接続させ
る必要がある。
ても水槽２０は回転しないが、水槽２０を下軸２２に固
定させて下軸２２と同時に水槽２０を回転させるように
しても良いことは勿論であり、このときには水槽２０の
下方に受皿を設け、受皿にパイプ２７の一端を接続させ
る必要がある。
効果
以上説明してきたように、この発明によればその構成を
、研磨液面を常時一定に保つ水槽の底部を貫通させて該
水槽内に回転する下軸の先端を突出させ、該下軸の先端
に研磨器或いは被研磨品の少なくともいずれか一方を取
り利け、前記下軸の上方に位置して揺動するカンザシに
前記研磨器或いは被研磨品に対応する被研磨品または研
磨器を取υ付け、８ｉＩ記下軸に取シ付けられた研磨器
の周辺或いは前記カンザシに取り付けられ、被研磨品上
を揺動して最大に振れたときにおける研磨器の周辺の一
部が前記研磨液面に接するようにしたため、研磨器によ
る被研磨品の研磨中、研磨液面は常に一定に保たれ、研
磨器が水没することはないので、研磨熱も下がらないこ
とから被研磨品の研磨時間を従来より短縮することがで
きる。
、研磨液面を常時一定に保つ水槽の底部を貫通させて該
水槽内に回転する下軸の先端を突出させ、該下軸の先端
に研磨器或いは被研磨品の少なくともいずれか一方を取
り利け、前記下軸の上方に位置して揺動するカンザシに
前記研磨器或いは被研磨品に対応する被研磨品または研
磨器を取υ付け、８ｉＩ記下軸に取シ付けられた研磨器
の周辺或いは前記カンザシに取り付けられ、被研磨品上
を揺動して最大に振れたときにおける研磨器の周辺の一
部が前記研磨液面に接するようにしたため、研磨器によ
る被研磨品の研磨中、研磨液面は常に一定に保たれ、研
磨器が水没することはないので、研磨熱も下がらないこ
とから被研磨品の研磨時間を従来より短縮することがで
きる。
また、研磨器により研磨されたときにできた被研磨品の
切削くずは水槽の底部に沈澱するので、研磨器による被
研磨品の研磨中に被研磨品の表面が切削ぐずによって傷
付けられることはなく、協のない球鏡面を有する研磨品
が得られる。
切削くずは水槽の底部に沈澱するので、研磨器による被
研磨品の研磨中に被研磨品の表面が切削ぐずによって傷
付けられることはなく、協のない球鏡面を有する研磨品
が得られる。
第１図は第１従来例の鏡面研磨装置ｄの要部をンバす断
面図、第２図は第２従来例を示す第１図と同様な断面図
、第３図はこの発明の′＃Ｊ１実施例である鏡面研磨装
置の要部を示す断面図、第４図は同鏡面研磨装置の研磨
液吹出管の先端部を示す部分断面図、第５図は第２実施
例を示す第３図と同様な断面図でるる。 ２０・・・水槽、２２・・・下軸、２３．２３・・・研
磨器、２４．２４・・・張付器、２６・・・カンザシ、
３２・・・被研磨品、Ａ・・・研磨液。 Ｃ） 第４図 ゛第５図
面図、第２図は第２従来例を示す第１図と同様な断面図
、第３図はこの発明の′＃Ｊ１実施例である鏡面研磨装
置の要部を示す断面図、第４図は同鏡面研磨装置の研磨
液吹出管の先端部を示す部分断面図、第５図は第２実施
例を示す第３図と同様な断面図でるる。 ２０・・・水槽、２２・・・下軸、２３．２３・・・研
磨器、２４．２４・・・張付器、２６・・・カンザシ、
３２・・・被研磨品、Ａ・・・研磨液。 Ｃ） 第４図 ゛第５図
Claims (1)
- 研磨液面を常時一定に保つ水槽の底部を貫通させて該水
槽内に回転する一Ｆ軸の先端を突出させ、該下軸の先端
に研磨皿或いは被研磨品の少なくともいずれか一方を取
シ付け、前記下軸の上方に位置して揺動するカンザワに
前記研磨皿或いは被研磨品に対応する被研磨品或いは研
磨皿を取υ付け、前記下軸に取シ付けられた研磨皿の周
辺または前記カンザワに取り付けられ、被研磨品上を揺
動して最大に振れたときにおける研若皿の周辺の一部が
前記研磨液面に接するようにしたことを特徴とする鏡面
研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19967882A JPS5993261A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 鏡面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19967882A JPS5993261A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 鏡面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5993261A true JPS5993261A (ja) | 1984-05-29 |
Family
ID=16411790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19967882A Pending JPS5993261A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 鏡面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5993261A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1072089C (zh) * | 1994-11-28 | 2001-10-03 | 佳能株式会社 | 研磨／抛光方法，研磨／抛光工具及其制造方法 |
-
1982
- 1982-11-16 JP JP19967882A patent/JPS5993261A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1072089C (zh) * | 1994-11-28 | 2001-10-03 | 佳能株式会社 | 研磨／抛光方法，研磨／抛光工具及其制造方法 |
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