JPS5994755A - ポジ画像形成用組成物 - Google Patents

ポジ画像形成用組成物

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JPS5994755A
JPS5994755A JP58198187A JP19818783A JPS5994755A JP S5994755 A JPS5994755 A JP S5994755A JP 58198187 A JP58198187 A JP 58198187A JP 19818783 A JP19818783 A JP 19818783A JP S5994755 A JPS5994755 A JP S5994755A
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はポジー7オトレジス) (positivep
hotoresist)を使用する画像形成方法、該方
法に使用するのに適する組成物、および該方法によって
製造される画像を有する支持体に関する。
ポジーフォトレジストを使用する画像の製造において、
化学線に暴露されたレジスト部分は、非暴露部分に比し
て、現像液により溶解し易いか、または現像液によって
より容易に除去される。したがって、ポジ画像を形成す
るために、非暴露部分はそのままの状態を維持し、暴露
部分だけが現像液で除去される。このような画像形成方
法は印刷板およびプリント回路の製造にとって特に有用
であ灸ことがわかっている。
この種の画像形成に使用される現像液は、通常、有機溶
媒を含有している。しかしながら、この有機溶媒の使用
に付随する毒性、易燃性および汚染の危険を回避するた
めに、溶媒として水性現像液を採用する傾向にある。
英国特許第1467226号明細書およびその追加特許
第1512973号には、ある種の有機溶媒可溶性、放
射線感受性プレポリマーが開示されている。このプレポ
リマーは、 (1)a)  付加または縮合反応を受は得る基Rを少
なくとも2個、および b)放射線反応性基−COOR1(該基または各基R1
は放射線誘導によって二量化または重合化され得る1ま
たはそれ以上の二重または三重結合を有する有機基であ
り、かつ、該基または各基−COOR”は基Rに対して
オルト−またはべり一位に存在する。)を少なくとも1
個、含有する多官能性炭素環式化合物および/または複
素環式化合物中なくとも1個と、 (2)基Rによって付加または縮合反応を受は得る基を
少なくとも2個含有する多官能性炭素環式化合物および
/または複素環式化合物中なくとも1個と、 の重付加または重縮合生成物である。
前記付加または縮合反応を受けるのに適する化学官能の
組合せには、ポリアミドを得るための酸塩化物とアミン
との組合せまたは酸とインシアネートとの組合せ、ポリ
ウレアを得るため 、のアミンとインシアネートとの組
合せ、およびポリウレタンを得るためのポリフェノール
またはポリオールとインシアネートとの組合せが含まれ
る。適する放射線を二量化性または重合性基には、アリ
ル、アクリロイルおよびメタクリロイル基が含まれる。
照射後、これらのプレポリマーを有機溶媒で処理する現
像によって、ネガ画像を得る。
西ドイツ公開公報第2935826号には、ポリイミド
、ポリイソインドロキナゾリンジオン、ポリオキサジン
ジオンおよびポリキナゾリンジオン用の低重合および/
または重合先駆物質が開示されている。これら先駆物質
は放射線感受性であり、かつ、 オレフィン性不飽和モノエポキシド、たとえばグリクジ
ルアクリレートまたはメタアクリレ−ト と 、 芳香族および/または複素環式テトラカルボン酸二無水
物とジアミンとのカルボキシル基含有重付加生成物(オ
ルト位にアミド基を有してもよい。)、または芳香族お
よび/または複素環式ジヒドロキシジカルボン酸または
相当するジアミノジカルボン酸とジイソシアネートとの
カルボキシル基含有重付加生成物と、 ノ付加物である。適するテトラカルボン酸二無水物には
ピロメリト酸およびペンゾフェノンテト2カルボン酸二
無水物が含まれ、これらと反応し得る適切なジアミンに
は4.4′−ジアミノジフェニルエーテルおよび4.4
′−シアミノジフェニル−5,3′−ジカルボキサミド
が含まれる。使用し得るヒドロキシ酸には、4.4’−
ジヒドロキシジフェニルメタン−3,3′−ジカルボン
酸が含まれ、適する相当するアミノ酸には4.4′−ジ
アミノ−ジフェニル−6,3′−ジカルボン酸が含まれ
る。これらのいずれかと反応するのに適するジイソシア
ネートは4,4′−ジフェニルメタンジインシアネート
である。
光重合および溶媒での現像に続いて、ネガ画像を形成す
る残存重合体は、加熱して光架橋性基を除去しそして閉
環して°梯子状(ladder) ’構造を形成し得る
。このような梯子状重合体はその後の加熱に対して高い
抵抗性を有する。これら光重合体の幾つか、その架橋性
、その熱閉環性および用途についての詳細は、アール、
ルプナー(R,Rubner)等による文献、[写真科
学および工学(Photographic 5cien
ee and Engineering) J 519
79.25.303−309に記載されている。
本発明者は、前記特許明細書に記載された感光性プレポ
リマーをある種の放射線感受性不飽和カルボン酸と混合
して新規組成物を形成し、次にこれを照射したとき、水
性塩基で現像し得るポジー7オトレジストが得られるこ
とを見い出した。このような挙動は前記文献に記載また
は示唆されていす、これらの文献には現像媒体として有
機溶媒を使用するネガ画像の製造のみが記載されている
にすぎない。
したがって、本発明は (1) 1)付加または縮合反応を受は得る基Rを少なくとも2
個含有する多官能性炭素環式化合物および/または複素
環式化合物中なくとも1個と・ 2)前記基Rとの付加まだは縮合反応を受は得る基を少
なくとも2個含有する多官能性炭素環式化合物および/
まだは複素環式化合物中なくとも1個と、の重付加また
は重縮合生成物であり、かつ、 基几の反応によって形成される基に対してオルト−また
はベリー位に基−COOI’U (基中、R1は放射線
誘導によって二量化捷だは重合化し得る二重または三重
結合を1個またはそれ以上有する有機基を表わす。)を
少なくとも1個有する・有機溶媒可溶性、放射線感受性
プレポリマー:および (111次式l: (式中、 里は水素原子またはメチル基を表わし・そして R3は水素原子、またはエステル基を介して芳香族また
は脂肪族七ノーまたはジ−カルボン酸に結合されかつ次
式: CH2=C−COO−で表わさ几2 れる他の基を1個または2個含有してもよいアルキレン
鎖を表わす0)で表わされる不飽和モノ−またはジ−カ
ルボン酸を、前記(1)項のプレポリマーの重量に対し
て、1ないし25重量壬、好ましくは2ないし10重量
係:からなる組成物を提供するものである。
前記有機溶媒可溶性、放射線感受性プレポリマー(1)
は、 3)基Rを少なくとも2個および該基孔に対してオルト
−またはべり一位に存在する基−Coo)Llを少なく
とも1個含有する多官能性炭素環式および/または複素
環式化合物中なくとも1個と・ 4)前記基Rとの付加または縮合反応を受は得る基を少
なくとも2個含有する多官能性炭素環式化合物および/
または複素環式化合物中なくとも1個と・ を反応させることによって形成される生成物であること
ができる。典型的には、テトラカルボン酸二無水物とヒ
ドロキシアルキルアクリレートまたはメタアクリレート
とを反応させて2個の遊離カルボン酸基を有するジエス
テルを形成させる02個またはそれ以上のカルボン酸基
および1個またはそれ以上の基COO几lを有する核酸
および他の酸は酸塩化物に変換することができ、次に2
個またはそれ以上のアミノ基を有する化合物と反応させ
てもよいし、または2個またはそれ以上のインシアネー
ト基を有する化合物と反応させてもよい0いずれの場合
においても、プレポリマー生成物はエステル結合を通じ
テホリアミド鎖に結合する、アルキレンアクリレートま
たはメタアクリレート基、または他の感光性基、を有す
るポリアミドである。
また、前記有機溶媒可溶性、放射線感受性プレポリマー
に)は、 5) 本明細書で定義した基Rを少なくとも2個含有す
る多官能性炭素環式化合物および/または複素環式化合
物中なくとも1個、および6)基Rとの付加または縮合
反応を受は得る基を少なくとも2個含有する多官能性炭
素環式化合物および/′iたは複素環式化合物中なくと
も1個、 のカルボキシル基含有重付加または重縮合生成物と、 7)本明細書で定義した基−C00R+を少なくとも1
個およびカルボキシル基と反応する基を少なくとも1個
含有する化合物と、 を反応させることによって形成される生成物であシ・ この重付加または重縮合生成物における前記カルボキシ
ル基が基几の反応によって形成された基に対してオルト
−またはべり一位に存在するものであってもよい。典型
的には、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを縮合
させて遊離カルボン酸基を有するポリアミドを形成し、
該基とグリシジルアクリレート捷たはメタクリレートと
を反応させてろ一アクリロイルオキンーまだは一メタ′
クリロイルオキシー2−ヒドロキシ−プロピルオキ7カ
ルボニル側基を形成する0 本発明はまた、 A)基体に本発明による組成物の層を塗布し、B)前記
層に所定のパターンで化学線を照射し、そして C)前記層の照射部を塩基の水溶液によって除去する、 ことからなるポジ画像の形成方法を提供するものである
。
本発明による特に好ましい組成物は、前記有機溶媒可溶
性、放射線感受性プレポリマー(1)が次式U: (式中、 R4は次式■ないし■: 2 =CH2−CH=CH2−R,5−0−CO−C=CH
2([11、QV)。
で表わされる基を表わし、 各式において、 R2は前記の意味を表わし、 R5は1個の炭素原子上にて水酸基によって置換されて
もよいアルキレン基を表わし・歌は水素もしくは塩素原
子またはアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、 R7は環炭素原子を介して結合された炭素環式または複
素環式芳香族基を表わし、 Xは共有結合、酸素もしくは硫黄原子、アルキレン基、
カルボニル基まだはスルホニル基を表わし、そして nは1または2を表わす。)で表わされる繰返し単位か
らなるポリアミドであるか、または前記プレポリマー(
1)が次式■: (式中、R4およびXは前記の意味を表わす。)で表わ
される繰返し単位からなるポリアミドである、ものであ
る〇 このようなポリアミドは通常2000ないし10000
の範囲の分子量を有する。
プレポリマー(1)からネガ画像を調整する公知方法と
同様に、本発明の新規方法によって形成された画像は、
環化によって形成された複素環式鎖員を有する高い熱抵
抗性梯子状重合体を形成するだめに加熱(調質)するこ
とができるOたとえば、式■で表わされる繰返し単位を
有するポリアミドを使用して本発明方法によるポジ画像
を形成する場合、該画像を調質すると次式: で表わされる繰返し単位を有するポリイミドに変換し、
そして式■で表わされる繰返し単位を使用する場合、画
像を調質すると次式M:(式中、Xは前記の意味を表わ
す。) で表わされる繰返し単位を有するポリイミドに変換する
。
したがって、ポジ画像の調整方法は下記追加の工程: D)環化および複素環式鎖員の形成を行なうために残存
組成物を加熱すること、を含んでもよい。
さらに、本発明は前記方法によってつくられだポジ画像
を提供するものでちる。
本発明の有用性はこの考えの正確さとは関係ないが、前
記プレポリマー(1)と前記式Iで表わされる酸との混
合物への照射がこれら両者の間でのおよびプレポリマー
自体の分子間での架橋を起こすものと信する。このこと
は、光架橋中間体の形成ケもたらす。この中間体(徒有
機溶媒に溶解しないが、式Iで表わされる酸から銹導さ
れる遊離カルボン酸基を有する。このような光架橋生成
物を水性塩基で処理すると、これら遊離酸基での塩形成
が行なわれる。こうして得られた塩は、有機溶媒可溶性
(一方、水不溶性)出発材料よりは、水によく溶解する
。それ故、照射領域は水性塩基中で塩として除去され、
ポジ画像が基体の表面に残る。
前記式Iで表わされる酸ならびに前記式■および■で表
わされる繰返し単位を有するプレポリマーの定義におけ
る、アルキル、アルコキシおよびアルキレン基は、好ま
しくは1ないし4の炭素原子を有する。式■および■で
表わされる繰返し単位を有する特に好ましいプレポリマ
ーは B4がアクリロイルオキシアルキル、メタクロイ
ルオキシアルキル、アクリロイルオキシヒドロキシアル
キルまたはメタクリロイルオキシヒドロギシアルキル基
、特に2−(アクリロイルオキシ)−エチル、2−(メ
タクリロイルオキシ)エチル、3−アクリロイルオキシ
−2゜−ヒドロキシプロピルまたは3−メタクリロイル
オキシ−2−ヒドロキシアルキル基金表t)L、そして
Xは酸素原子またはカルボニル基を表わすものである。
前記式■で表わされる酸は、好ましくはR3が水素原子
、または1個または2個のカルボン酸基を有する芳香族
環にまたはアルキレンカルボン酸基に直接結合されたエ
トキシカルボニル基を表わすものである。このような式
Iで表わされる酸として適するものには、アクリル酸、
メタクリル酸、および下記アクリレート基−含有酸なら
びに相当するメタクリレート基−含有酸を包含する; 2−(2,4−ジカルボキシフェニルカルボニルオキシ
)エチルアクリレ−)12−(2゜5−ジカルボキシフ
ェニルカルボニルオキシ)エチルアクリレート、2−(
2−カルボキシエチルカルボニルオキシ)エチルアクリ
レート、1.5−ビス(2−(アクリロイルオキシ)エ
トキシカルボニル)−ベンゼン−2,4−ジカルボン酸
、1.4−ビス(2−(アクリロイル  −オキシ)エ
トキシカルボニル)ベンゼン−2゜5−ジカルボン酸、
4.4′−ビス(2−(アクリロイルオキシ)エトキシ
カルボニル)ベンゾフェノン−3,3−ジカルボン酸、
3,3′−ビス(2−(アクリロイルオキシ)エトキシ
カルボニル)ベンゾフェノン−4,4′−ジカルボン酸
、3,4′−ビス(,2−(アクリロイルオキシ)エト
キシカルボニル)ベンゾフェノン−4,3′−ジカルボ
ン酸および2−(アクリロイルオキシ)エチル水素フタ
レート、が含まれる。
前記式!で表わされる酸(’H,sがエステル基を介し
て酸に結合されたアルキレン鎖を表わすもの)はジー、
トリーまたはテトラカルボン酸無水物とヒドロキシアル
キルアクリレートまたはメタクリレートとを公知の方法
にしたがってエステル化することによって調製してもよ
い。
本発明組成物の光重合においては、波長200−600
nmの化学線が好ましく使用される。適する化学線源に
は炭素アーク、水銀蒸気アーク、燐放出紫外線を有する
螢光灯、アルゴンおよびキセノングロー灯、タングステ
ン灯、および写真投光灯が含まれる。これらの中では、
水銀蒸気アーク、特に太陽灯、螢光太陽灯、および金属
ハロゲン化物灯が最適である。光重合性組成物の暴露に
要する時間は、たとえば、使用した個々の化合物、光源
の種類、および照射゛される組成物からの距離を含む種
々の因子に依存するであろう。適切な時間は光重合技術
で周知のものによって容易に決定することができる。
本発明組成物は、好ましくは添加される光重合開始剤、
すなわち、照射したとき1組成物の重合を開始させる遊
離基の形成にみちびく励起状態を付与する触媒、を含有
する。適する光重合開始剤の例は有機過酸化物およびヒ
ドロベルオ中シト:a−ハロゲン置換アセトフェノンた
とえばトリクロロメチル4′−第三プチルフェニルケト
ン:a−ヒドロキシ−a−アルキル置換アセトフェノ/
たとえば2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプ
ロパン−1−オン:ベンゾインおよびそのアルキルエー
テル(たとえばそのn−ブチルエーテル)、a−メチル
ベンゾイン;ベンゾフェノンたとえばベンゾフェノン自
体および4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノ
ン〔ミヒラー(Michler’)  ケトン〕:ベン
ジルのtたは1−フェニルプロパン−1゜2−ジオンの
オキシムの0−アルコキシカルボニル誘導体たとえばベ
ンジル(0−エトキシカルボニル)−−−モノオキシム
および1−フェニルプロパン−1,2−ジオン2−(0
−エトキシカルボニル)オキシム:ベンジルケタールた
とえばそのジメチルケタール;置換チオキサントンたと
えば2−クロロチオキサントン:アントラキノン:およ
びフェノチアジン染料(たとえば、メチレンブルー)ま
たはキノキサリン(たとえば、2−(m−またはp−メ
トキシフェニル)−キノキサリン−6′−または7′−
スルホン酸)と電子供与体たとえばベンゼンスルフィン
酸(benzensulphinic acid ) 
%他のスルフィン酸またはその塩(たとえばナトリウム
塩)、またはアルシン、ホスフィン、またはチオ尿素と
、の混合物からなる光レドックス系:である。
適する光重合開始剤は日常試験によって容易に見出され
る。通常、光重合開始剤は、成分(1)および(II)
の合計重量に対して、α05ないし10重量%、好まし
くはα5ないし5重量%混入される。
まだ、本発明組成物は、所望により、カルボン酸基の無
いアクリレートまたはメタクリレートエステル、たとえ
ば2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメタアクリ
レート、2−ヒドロキシアルキルアクリレートおよびメ
タアクリレート、および2−(2−ヒドロキシエトキシ
)エチルアクリレートおよびメタアクリレートを含有す
ることもできる。
暴露後、本発明組成物の暴露部分は塩基の水溶液との接
触によって除去される。画像を現像するために使用され
る溶液は、好ましくは炭酸または水酸化ナトリウムまた
はカリウム(L5ないしsl水溶液である。
現像された画像を加熱して耐熱構造とする場合、該加熱
は好ましくは150°ないし350℃にて5分ないし3
時間行なわれる。
以下の実施例によシ本発明の詳細な説明するが、特記し
ない限り、すべての部およびチは重量に亀とづくもので
ある。
各実施例にて使用されるプレポリマー■は、英国特許第
1,512,975号明細書の実施例2に記載された方
法を用いて、ピロノIJ )酸二無水物、2−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、および4.4′−ジアミノジ
フェニルエーテルかう調製される。
プレポリマー■は次のようにしてつくられる:ピロメリ
ト酸二無水物(2αOg)、乾燥N−メチルピロリドン
(2tOrrfり、および乾燥ピリジン(3αOrrf
! )を−緒に攪拌し、乾燥2−ヒドロキシエチルアク
リレート(214g)をz時間かけて添加する。その間
、混合物の温度は30℃以下に保持する。この混合物を
室温でさらに3時間攪拌すると、その時間までに酸価は
36.6rng KO)t/gとなる。
次に、この混合物を12〜15℃に冷却し、塩化チオニ
ル(56,Ornl! )を1時間かけて添加する。
さらに1時間12〜15℃で攪拌した後、4.4’−ジ
アミノジフェニルエーテル(1αOg)およびN−メチ
ルピロリドン(4S、Omff)を添加する。
との混合物を一侠攪拌し、その間室温まで上昇させる。
エタノール(50ml )で処理し、室温で2時間攪拌
する。水−(407,5ml )を添加し、この混合物
を2時間攪拌し、最後にエタノール(62,5mIりを
添加すると、褐色油が沈殿する。
この油を傾瀉法によりて上層から分離し、次にN−メチ
ルピロリドン(50mlり  中に溶解させる。得られ
た溶液を水(21)にゆつくシ添加する。黄色固体が沈
殿し、炉別しそして40℃減圧下で乾燥してプレポリマ
ー■を得る。
プレポリマー■は次のようにして調製される:4.4−
ジアミノベンゾフェノン(1t9g)をジメチルアセト
アミド(120mIり中に溶解し、ベンゾフェノン−5
,5’、 4.4’−テトラカルボン酸二無水物(2t
Og)を5分間かけて添加する。この間、この混合物の
温度は30℃以下に保持する。次に、この混合物を室温
でさらに2時間攪拌する。次に、2−ヒドロキシエチル
メタクリレート(149g)を添加し、この混合物をさ
らに2時間室温で攪拌する。
次に、グリシジルメタクリレート(50ml )、ベン
ジジメチルアミン(14g)およびヒドロキノン(0,
2g)を添加し、混合物を60℃に加熱する。混合物を
60“0で19時間攪拌し、次に冷却する。次に、1:
1の体積比のジエチルエーテル:エタノール(s o 
o 画) K ユク<シ添加することによって重合体が
沈殿する。こうして形成された黄色固体を炉別し、減圧
下で乾燥する。こうして、酸価52.5 mg KOH
7gの重合体を得る。
得られた重合体(1αOg)をジメチルアセトアミド(
100mj )中に溶解し、グリシジルメタクリレート
C1,24g)s  ベンジルジメチルアミン(104
g)およびヒドロキノン(102g)を添加する。得ら
れた混合物を60℃でさらに10時間加熱し、前述した
ようにして沈殿させると、無視し得る程度の酸含量の黄
色固体を得る。この黄色固体がプレポリマー■でるる。
これらの実施例に使用される酸で市販されていないもの
は、次のようにして調製される。
コハク酸無水物(3(LOg)、2−ヒドロキシエチル
アクリレート(342gL  テトラメチルアンモニウ
ム塩化物(a2g)および2,6−ジー第三ブチル−4
−メチルフェノール(IIL15g)の混合物を90℃
で3時間加熱する。この時間経過後、この混合物のIR
(赤外吸収)スペクトルによれば無水物のほとんどが反
応したことが認められる。この混合物を冷却して所望の
酸を得る。
の混合物 トリメリド酸無水物(L66.4g)、  2−ヒドロ
キシエチルアクリレ−) (10&Og)、 N−メチ
ルビロリドン(1434g)、  テトラメチルアンモ
ニウム塩化物(t2g)および2,6−ジー第三ブチル
−4−メチルフェノール(08g)を90℃で3時間攪
拌する。この時間経過後、この溶液の1几スペクトルに
よれば無水物はほんの微量しか認められない。この溶液
を酸混合物Iとする。
合物 ベンゾフェノン−31413S 4’−テトラカルボン
酸二無水物(19部2g)、 2−ヒドロキシエチルメ
タクリレート(19αOg)、 テトラメチルアンモニ
ウム塩化vlJ(a 9 g )および2゜6−ジー第
三ブチル−4−メチルフェノール([16g)を混合し
、80℃で2時間加熱する。
この混合物を冷却し、更に大量の2−ヒドロキシエチル
メタクリレ−) (122−Og)  を添加する。こ
の混合物を再び80℃で2時間加熱し、次に冷却する。
この混合物は1几分光器によれば無視し得る程度の酸含
量しか有さす、かつ、モル比率で、2−ヒドロキシエチ
ルアクリレートと三種のビス(2−(メタクリロイルオ
キシ)エトキシカルボニル)ベンゾフェノンジカルボン
酸(すなわち、4,4′−ジ置換−3,3′−ジカルボ
ン酸、3,3′−ジ置換−4,4′−ジカルボン酸およ
び5,4′−ジ置換−4,3′−ジカルボン酸)との2
:1混合物である。この混合物を酸混合物■とする。
実施例1 プレポリマーI(5部)、アクリル酸(11部)1ベン
ジルジメチルケタール((Ll 5部)およびN−メチ
ルピロリドン(7部)を混合し、銅クラツド積層体に塗
布する。この塗膜を50℃で1時間乾燥して、粘着性の
無い厚さ4 pmのフィルムを得る。
このフィルムに、22Jして中圧水銀灯(30w/α)
を20分間照射する。照射後、この画像を、穏やかにブ
ラシをかけながら29!+水酸化ナトリウム水溶液中に
浸漬することによって現像する。こうして、この露光領
域を洗い流すと、鋼上に良好なポジレリーフ画像(re
liefimage)が残る。
実施例2 アクリル酸を2−(2−カルボキシエチルカルボニルオ
キシ)エテルアクリレート11部で置き換えて、実施例
1を繰返す。良好なポジレリーフ画像を鋼上に得る。
実施例5 アクリル酸を酸混合物)(11部で置き換えて、実施例
1を繰返す。良好なポジレリーフ画像を鋼上に得る。次
に、塩化第2鉄(41%Fectg )の水溶液を用い
て35℃で非被覆銅領域をエツチングする。被覆領域は
何ら影響を受けることなく残存する。
実施例4 アクリル酸α5部を用いて、実施例1を繰返す。このポ
ジ画像を、穏やかにブラシをかけなから1チ水酸化す)
 IJウム水溶液中にて現像する。
実施例5 アクリル酸を酸混合物1(12部)と酸混合物…((l
L7部)との混合物で置き換えて、実施例1を繰返す。
2チ水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬した後、良好なポ
ジ画像を得る。適切な画像を有する積層体を、樹脂の調
質を行なうために、300℃ で10分間加熱する。積
層体上に画像が残シ、さらに300℃で加熱しても何ら
影響を受けない。
実施例6 プレポリマーI[(5,0部)、N−メチルピロリドン
(5−0部)、酸混合物1((L4部)、酸混合物■(
06部)およびミヒラーケトン((11部)を銅クラツ
ド積層体に塗布し、50℃で1時間乾燥すると、粘着性
の無い厚さ10部m  のフィルムが残る。このフィル
ムに、750mfiして金属ノ・ログン化物灯(500
0w)を5分間照射する。1チ水酸化ナトリウム水溶液
中にて現像すると、良好なポジ画像を得る。
実施例7 プレポリマー1[(5,0部)、N−メチルピロリドン
(1(LO部)、ベンジルジメチルケタール(α2部)
およびアクリル酸((LOJ部)を銅クラツド積層体に
塗布し、1時間50℃で乾燥すると、粘着性の無いフィ
ルムが残る。このフィルムに、750mm離して金属ノ
10ゲン化物灯(5000w)  を照射する。2チ水
酸化す) IJウム水溶液中にて現像すると、ポジ画像
を得る。
特許出願人  チバーガイギ−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)(+1  下記 1) 付加または縮合反応を受は得る基Rを少なくとも
    2個含有する多官能性炭素環式化合物および/または複
    素環式化合物中なくとも1個と、 2) 基Rとの付加または縮合反応を受は得る基を少な
    くとも2個含有する多官能性炭素環式化合物および/l
    たは複素環式化合物中なくとも1個と、 の重付加または2重縮合生成物であり、かつ、基Rの反
    応によって形成される基に対してオルト−またはベリー
    位に基−COOR’(基中、R1は放射線誘導によって
    三量化または重合化し得る二重または三重結合を1個ま
    たはそれ以上有する有機基を表わす。)を少なくとも1
    個有する、有機溶媒可溶性、放射線感受性プレポリマm
    :および (Il  次式■: OH,=C−C0OR’ □・(I) (式中、 R2は水素原子またはメチル基を表わし、そして R3は水素原子、またはエステル基を介して芳香族また
    は脂肪族モノ−またはジ−カルボン酸に結合されかつ次
    式: CH,=C−Coo−で表わされ2 る他の基を1個または2個含有してもよいアルキレン鎖
    を表わす。)で表わされる不飽和モノ−またはジ−カル
    ボン酸を、前記プレポリマー(:)の重量に対して、1
    ないし25重量%:からなるポジ画像形成用組成物。 (2)  プレポリマー(1)が、 3)基Rを少なくとも2個および該基Rに対してオルト
    −またはべり一位に存在する基−COOR’を少なくと
    も1個含有する多官能性炭素環式および/または複素環
    式化合物受なくとも1個と。 4)基Rとの付加または縮合反応を受は得る基を少なく
    とも2個含有する多官能性炭素環式化合物および/また
    は複素環式化合物受なくとも1個と、 を反応させることによって形成される生成物である、特
    許請求の範囲第1項記載の組成物。 (3)  プレポリマー())が、Rとしてカルボン酸
    基を2個またはそれ以上有しかつ基−COOR’を1個
    またはそれ以上有する酸を用い、 a)カルボン酸基を酸塩化物基に変換し、得られた酸塩
    化物を2個またはそれ以上のアミン基を有する化合物と
    反応させることによって、または b)核酸を2個またはそれ以上のインシアネート基を有
    する化合物と反応させることによって、 得られるポリアミドである、特許請求の範囲第1項記載
    の組成物。 (4)  プレポリマー(1)が、 5)基Rを少なくとも2個含有する多官能性炭素環式化
    合物および/または複素環式化合物受なくとも1個、お
    よび 6)基Rとの付加または縮合反応を受は得る基を少なく
    とも2個含有する多官能性炭素環式化合物および/また
    は複素環式化合物受なくとも1個 のカルボキシル基含有重付加または重縮合生成物と、 7)基−COOR’を少なくとも1個かつカルボキシル
    基と反応する基を少なくとも1個含有する化合物と、 を反応させることによって形成される生成物であシ、 前記重付加または重縮合生成物におけるカルボキシル基
    が基Rの反応によって形成された基に対してオルト−ま
    たはべり一位に存在する、特許請求の範囲第1項記載の
    組成物。 (5)  プレポリマー(1)が遊離カルボン酸基を有
    するポリアミドとグリシジル基−含有アクリレートまた
    はメタアクリレートとの反応によって得られるものであ
    る、特許請求の範囲第4項記載の組成物。 (6)  プレポリマー(1)が次式■:(式中、 R4は次式■ないし■: 2 −CH,−CH=CH2−R’−0−CO−C=C迅(
    ホ)、          帽 しへ で表わされる基を表わし、 前記各式において、 R2、特許請求の範囲第1項記載の意味を表わし、 R5は1個の炭素原子上にて水酸基によって置換されて
    もよいアルキレン基ヲ表わし、R6は水素もしくは塩素
    原子またはアルキルもしくはアルコキシ基を表わし、 R7は環炭素原子を介して結合された炭素環式または複
    素環式芳香族基を表わし、 Xは共有結合、酸素もしくは硫黄原子、アルキレン基、
    カルボニル基マたはスルホニル基ヲ表わし、そして nは1または2を表わす。)で表わされる繰返し単位か
    らなるポリアミドであるか、またはプレポリマー(1)
    が次式■: で表わされる繰返し単位からなるポリアミドである、特
    許請求の範囲第1項記載の組成物。 (7)  R’がアクリロイルオキシアルキル、メタア
    クリロイルオキ7アルキル、アクリロイルオキシヒドロ
    キシアルキル、またはメタクリロイルオキシヒドロキシ
    アルキル基を表わ−r、特許請求の範囲第6項記載の組
    成物。 (8)弐■で表わされる酸におけるR13が水素原子を
    表わすか、または1個または2個のカルボン酸基を有す
    る芳香族基にまたはアルキレンカルボy fi9基に直
    接結合されたエトキシカルボニル基を表わす、特許請求
    の範囲第1項記載の組成物。 (9)A)  基体に、 (1)下記 1)付加または縮合反応を受は得る基Rを少なくとも2
    個含有する多官能性炭素環式化合物および/または複素
    環式化合物受なくとも1個と、 2)基Rとの付加または縮合反応を受は得る基を少なく
    とも2個含有する多官能性炭素環式化合物および/また
    は複素環式化合物受なくとも1個と、 の重付加または重縮合生成物であり、かつ、基凡の反応
    によって形成される基に対してオルト−またはベリー位
    に基−COOR’ (基中、R1は放射線誘導によって
    二量化または重合化し得る二重または三重結合を1個ま
    たはそれ以上有する有機基を表わす。)を少なくとも1
    個有する、有機溶媒可溶性、放射線感受性プレポリマー
    :および (11)  次式■: (式中、 R2は水素原子またはメチル基を表わし、そして R3は水素原子、またはエステル基を介して芳香族また
    は脂肪族モノ−またはジ−カルボン酸に結合されかつ次
    式: CHz=C−000−で表わされ2 る他の基を1個または2個含有してもよいアルキレン鎖
    を表わす。)で表わされる不飽和モノ−またはジ−カル
    ボン酸、前記プレポリマー(1)の重量に対して、1な
    いし25重量%二からなる組成物の層を使用し、 B)前記層に所定のパターンで化学線を照射し、そして C)前記層の照射部を塩基の水溶液によって除去する、 ことからなるポジ画像の形成方法。 αQ 残存組成物を150°ないし350℃で5分ない
    し3時間加熱する、特許請求の範囲第9項記載の方法。
JP58198187A 1982-10-22 1983-10-22 ポジ画像形成用組成物 Granted JPS5994755A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8230302 1982-10-22
GB8230302 1982-10-22
GB8321379 1983-08-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5994755A true JPS5994755A (ja) 1984-05-31
JPH0430577B2 JPH0430577B2 (ja) 1992-05-22

Family

ID=10533799

Family Applications (1)

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JP58198187A Granted JPS5994755A (ja) 1982-10-22 1983-10-22 ポジ画像形成用組成物

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Country Link
JP (1) JPS5994755A (ja)
GB (1) GB8321379D0 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019023171A (ja) * 2017-07-24 2019-02-14 日本精化株式会社 アニオン性親水基含有(メタ)アクリレート化合物及び該化合物を含む塗料用組成物

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5776017A (en) * 1980-09-03 1982-05-12 Du Pont Polymeric heat resistance photopolymerizing composition
JPS5792332A (en) * 1980-11-28 1982-06-08 Toyobo Co Ltd Photosensitive resin composition

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5776017A (en) * 1980-09-03 1982-05-12 Du Pont Polymeric heat resistance photopolymerizing composition
JPS5792332A (en) * 1980-11-28 1982-06-08 Toyobo Co Ltd Photosensitive resin composition

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019023171A (ja) * 2017-07-24 2019-02-14 日本精化株式会社 アニオン性親水基含有(メタ)アクリレート化合物及び該化合物を含む塗料用組成物

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GB8321379D0 (en) 1983-09-07
JPH0430577B2 (ja) 1992-05-22

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